EN ISO 14644-13:2017

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017)

ISO 14644-13:2017 gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom. Under consideration are all surfaces (external or internal) that are of interest. It provides guidance on the assessment of cleaning methods for achieving the required surface cleanliness by particle concentration (SCP) and surface cleanliness by chemical concentration (SCC) classes and which techniques should be considered to achieve these specified levels.
The appropriateness of cleaning techniques will make reference to the cleanliness classes and associated test methods found in ISO 14644‑9 and ISO 14644‑10.
The following matters of general guidance will be provided:
-      expected surface cleanliness levels;
-      suitability of cleaning methods;
-      compatibility of surfaces with the cleaning technique;
-      assessment of cleaning appropriateness.
The following will be excluded from this document:
-      classification of cleaning methods;
-      product produced within a cleanroom;
-      specific surface-related cleaning methods;
-      detailed description of cleaning mechanisms, methods and procedures of various cleaning methods;
-      detailed material characteristics;
-      description of damage mechanisms by cleaning processes and time-dependent effects;
-      references to interactive bonding forces between contaminants and surfaces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent;
-      other characteristics of particles such as electrostatic charge, ionic charges, etc.;
-      chemical reactions between molecular contaminants and surfaces;
-      microbiological aspects of surface cleanliness;
-      radioactive aspects of contamination;
-      health and safety considerations;
-      environmental aspects such as waste disposal, emissions, etc.;
-      selection and use of statistical methods.

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO 14644-13:2017)

Die Norm behandelt die Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Rein-raum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Sie gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partiku-lären Oberflächenreinheit (SCP, en: surface cleanliness by particle concentration) und der chemischen Oberflächenreinheit (SCC, en: surface cleanliness by chemical concentration) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.
Die Wirksamkeit von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsklassen und die damit verbundenen Prüfverfahren aus ISO 14644 9:2012 und ISO 14644 10:2013 verweisen.
Die folgenden Aspekte der allgemeinen Anleitung werden vorausgesetzt:
   die erwarteten Oberflächenreinheitsgrade;
   die Eignung der Reinigungsverfahren;
   die Kompatibilität von Oberflächen mit der Reinigungstechnik;
   die Bewertung der Reinigungswirksamkeit.
Das Folgende wird in dieser Norm nicht berücksichtigt:
   die Klassifizierung von Reinigungsverfahren;
   das innerhalb eines Reinraum hergestellte Produkt;
   die spezifische Oberfläche in Bezug auf die Reinigungsverfahren;
   die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von verschiedenen Reinigungsverfahren;
   die detaillierten Materialkenngrößen;
   die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich von Schäden durch die Reinigungsprozesse und zeitabhängige Auswirkungen;
   Verweisungen auf interaktive Bindungskräfte zwischen den Kontaminanten und Oberflächen oder Generierungsprozesse, die üblicherweise zeit- und prozessabhängig sind;
   weitere Kenngrößen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw.;
   die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberflächen;
   die mikrobiologischen Aspekte der Oberflächenreinheit;
   die radioaktiven Aspekte der Kontamination;
   die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit;
   die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw.;
   die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren.

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d'obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particulaire et chimique (ISO 14644-13:2017)

ISO 14644-13:2017 donne des lignes directrices concernant le nettoyage, jusqu'à atteindre un degré de nettoyage spécifié, des surfaces d'une salle propre ainsi que des surfaces des équipements et des matériaux contenus dans une salle propre. Toutes les surfaces d'intérêt (internes ou externes) sont concernées par le présent document. Il fournit des préconisations concernant l'évaluation des méthodes de nettoyage en vue d'obtenir les classes exigées de propreté particulaire des surfaces (SCP) et de propreté chimique des surfaces (SCC) ainsi que les techniques qu'il convient d'utiliser pour atteindre ces niveaux spécifiés.
L'adéquation des techniques de nettoyage fera référence aux classes de propreté et aux méthodes d'essai associées disponibles dans l'ISO 14644‑9 et l'ISO 14644‑10.
Les préconisations générales porteront sur les questions suivantes:
-      niveaux de propreté des surfaces souhaités;
-      pertinence des méthodes de nettoyage;
-      compatibilité des surfaces avec la technique de nettoyage;
-      évaluation de l'adéquation du nettoyage.
Les points suivants ne seront pas traités dans le présent document:
-      classification des méthodes de nettoyage;
-      produits fabriqués dans une salle propre;
-      méthodes de nettoyage spécifiques en lien avec une surface;
-      description détaillée des mécanismes de nettoyage, méthodes et modes opératoires de diverses méthodes de nettoyage;
-      caractéristiques détaillées des matériaux;
-      description des mécanismes de détérioration dus aux procédés de nettoyage et effets dans le temps;
-      références aux forces de liaison entre les contaminants et les surfaces, ou aux processus de génération qui dépendent généralement du temps et du procédé;
-      autres caractéristiques des particules, telles que la charge électrostatique, les charges ioniques, etc.;
-      réactions chimiques entre les contaminants moléculaires et les surfaces;
-      aspects microbiologiques de la propreté des surfaces;
-      aspects radioactifs de la contamination;
-      considérations relatives à la santé et la sécurité;
-      aspects environnementaux tels que l'élimination des déchets, les émissions, etc.;
-      sélection et utilisation de méthodes statistiques.

Čiste sobe in podobna nadzorovana okolja - 13. del: Čiščenje površin za doseganje določenih ravni čistoče po klasifikaciji delcev in kemikalij (ISO 14644-13:2017)

Ta del standarda ISO 14644 obravnava čiščenje (odstranjevanje kontaminantov) v določeni meri na površinah čistih prostorov, površinah opreme v čistih prostorih in površinah materialov v čistih prostorih.
Iz tega dokumenta so izključeni:
• čiščenje izdelkov in postopkov;
• čiščenje mikrobiološke kontaminacije;
• podrobne metode in postopki čiščenja.
V tem delu standarda ISO 14644 so podane smernice o različnih metodah čiščenja, ki so razvrščene, npr. mokro/suho in fizično/kemično.
V tem delu standarda ISO 14644 so podane smernice o metodah, ki naj bi se jih uporabilo za doseganje zahtevane čistosti površine s koncentracijo delcev (SCP) in čistočo površine s kemičnimi koncentracijami (SCC) in katere tehnike naj bi se upoštevalo, da te ravni dosežejo.
Učinkovitost tehnik čiščenja se nanaša na razrede čistoče in s tem povezane preskusne metode, ki jih najdemo v standardu ISO 14644-8, -9 in -10.
Zagotavlja naslednje splošne smernice:
• oceno škodljivih učinkov, kot so zdravstveni in varnostni vidiki,
lastnosti površine/materiala;
• združljivost površin s čistilno tehniko,
• površinske lastnosti, kot je morfologija;
• konfiguracije, kot so špranje, luknje in razpoke,
• odpadki in odplake
• primernost čistilnih sredstev in materialov (npr. čistost, snažnost, lastnosti)

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 08-Aug-2017
• Withdrawal Date: 27-Feb-2018
• ICS: 13.040.35 - Cleanrooms and associated controlled environments
• Technical Committee: CEN/TC 243 - Cleanroom technology
• Drafting Committee: CEN/TC 243 - Cleanroom technology
• Current Stage: 6060 - Definitive text made available (DAV) - Publishing
• Start Date: 09-Aug-2017
• Completion Date: 09-Aug-2017
• Ref Project: SIST EN ISO 14644-13:2017 - Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017)

Standards Content (Sample)

SLOVENSKI STANDARD
SIST EN ISO 14644-13:2017
01-oktober-2017
ýLVWHVREHLQSRGREQDQDG]RURYDQDRNROMDGHOýLãþHQMHSRYUãLQ]D
GRVHJDQMHGRORþHQLKUDYQLþLVWRþHSRNODVLILNDFLMLGHOFHYLQNHPLNDOLM,62

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to
achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
(ISO 14644-13:2017)
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur
Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und
Chemikalienklassifikationen (ISO 14644-13:2017)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 13: Nettoyage des
surfaces afin d'obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications
particulaire et chimique (ISO 14644-13:2017)
Ta slovenski standard je istoveten z: EN ISO 14644-13:2017
ICS:
13.040.35 Brezprašni prostori in Cleanrooms and associated
povezana nadzorovana controlled environments
okolja
SIST EN ISO 14644-13:2017 en
2003-01.Slovenski inštitut za standardizacijo. Razmnoževanje celote ali delov tega standarda ni dovoljeno.

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SIST EN ISO 14644-13:2017


EN ISO 14644-13
EUROPEAN STANDARD

NORME EUROPÉENNE

August 2017
EUROPÄISCHE NORM
ICS 13.040.35
English Version

Cleanrooms and associated controlled environments - Part
13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of
cleanliness in terms of particle and chemical classifications
(ISO 14644-13:2017)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil
- Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d'obtenir des 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung
niveaux de propreté par rapport aux classifications definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und
particulaire et chimique (ISO 14644-13:2017) Chemikalienklassifikationen (ISO 14644-13:2017)
This European Standard was approved by CEN on 26 May 2017.

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EN ISO 14644-13:2017 (E)
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2

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SIST EN ISO 14644-13:2017
EN ISO 14644-13:2017 (E)
European foreword
This document (EN ISO 14644-13:2017) has been prepared by Technical Committee ISO/TC 209
“Cleanrooms and associated controlled environments” in collaboration with Technical Committee
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