IEC 62047-4:2008
(Main)Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
IEC 62047-4:2008 describes the generic specifications for micro-electromechanical systems (MEMS) made by semiconductors, which are the basis for specifications given in other parts of this series for various types of MEMS applications such as sensors, RF MEMS, excluding optical MEMS, bio MEMS, micro TAS, and power MEMS. This standard specifies general procedures for quality assessment to be used in IECQ-CECC systems and establishes general principles for describing and testing of electrical, optical, mechanical and environmental characteristics. IEC 62047-4:2008 aids in the preparation of standards that define devices and systems made by micromachining technology, including but not limited to, material characterization and handling, assembly and testing, process control and measuring methods. MEMS described in this standard are basically made of semiconductor material. However, the statements made in this standard are also applicable to MEMS using materials other than semiconductor, for example, polymers, glass, metals and ceramic materials.
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 4: Spécification générique pour les MEMS
La CEI 62047-4:2008 décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d'autres parties de cette série pour différents types d'applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l'exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Cette norme spécifie les procédures générales d'évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales. La CEI 62047-4:2008 contribue à la préparation de normes servant à définir des dispositifs et des systèmes fabriqués par des techniques de micro-usinage, incluant, mais sans s'y limiter, la caractérisation et la manipulation des matériaux, l'assemblage et les essais, les méthodes de mesure et de commande de processus. Les MEMS décrits dans cette norme sont essentiellement constitués de matériaux semi-conducteurs. Toutefois, les déclarations faites dans cette norme peuvent également être appliquées aux MEMS utilisant des matériaux autres que des semi-conducteurs, par exemple, des polymères, du verre, des métaux et des matériaux en céramiques.
General Information
Standards Content (Sample)
IEC 62047-4
Edition 1.0 2008-08
INTERNATIONAL
STANDARD
NORME
INTERNATIONALE
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 4: Generic specification for MEMS
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 4: Spécification générique pour les MEMS
IEC 62047-4:2008
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