ISO 10692-1:2001
(Main)Gas cylinders — Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry — Part 1: Outlet connections
Gas cylinders — Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry — Part 1: Outlet connections
Bouteilles à gaz — Raccords pour robinets de bouteilles à gaz pour l'industrie de la microélectronique — Partie 1: Raccords de sortie
La présente partie de l'ISO 10692 s'applique aux raccords de sortie des robinets de bouteilles à gaz pour gaz et mélanges de gaz et traite des exigences particulières à appliquer lorsqu'une propreté et une absence de particules maximales sont exigées dans le cadre de la fabrication des composants microélectroniques ou applications similaires.
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Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 10692-1
First edition
2001-08-15
Gas cylinders — Gas cylinder valve
connections for use in the micro-electronics
industry —
Part 1:
Outlet connections
Bouteilles à gaz — Raccords pour robinets de bouteilles à gaz pour
l'industrie de la microélectronique —
Partie 1: Raccords de sortie
Reference number
ISO 10692-1:2001(E)
©
ISO 2001
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ISO 10692-1:2001(E)
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ISO 10692-1:2001(E)
Contents Page
Foreword.iv
1 Scope .1
2 Normative references .1
3 General requirements.1
4 General design.2
5 Dimensions.2
6 630 and 640 series connections.2
7 710 and 720 series connections.6
8 Components common to both series .10
9 Thread profile.12
10 Allocation of outlet to single gases listed in annex A .12
11 Allocation of other gases and of gas mixtures to outlets .13
Annex A (normative) Mandatory outlet allocations for selected single gases.14
Annex B (informative) Examples showing how to use the information given in clauses 10 and 11.16
Bibliography.17
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ISO 10692-1:2001(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO
member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical
committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has
the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in
liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical
Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 3.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting.
Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this part of ISO 10692 may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
International Standard ISO 10692-1 was prepared by Technical Committee ISO/TC 58, Gas cylinders,
Subcommittee SC 2, Cylinder fittings.
ISO 10692 consists of the following parts, under the general title Gas cylinders — Gas cylinder valve connections
for use in the micro-electronics industry:
— Part 1: Outlet connections
— Part 2: Specification and type testing for valve to cylinder connections
Annex A forms a normative part of this part of ISO 10692. Annex B is for information only.
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 10692-1:2001(E)
Gas cylinders — Gas cylinder valve connections for use in the
micro-electronics industry —
Part 1:
Outlet connections
1 Scope
This part of ISO 10692 applies to the outlet connections of gas cylinder valves for gases and gas mixtures and
concerns special requirements where the highest levels of cleanliness and freedom from particles are demanded
for the manufacture of microelectronic components or similar applications.
2 Normative references
The following normative documents contain provisions which, through reference in this text, constitute provisions of
this part of ISO 10692. For dated references, subsequent amendments to, or revisions of, any of these publications
do not apply. However, parties to agreements based on this part of ISO 10692 are encouraged to investigate the
possibility of applying the most recent editions of the normative documents indicated below. For undated
references, the latest edition of the normative document referred to applies. Members of ISO and IEC maintain
registers of currently valid International Standards.
ISO 68-2, ISO general-purpose screw threads — Basic profile — Part 2: Inch screw threads.
ISO 6506-1, Metallic materials — Brinell hardness test — Part 1: Test method.
ISO 10156, Gases and gas mixtures — Determination of fire potential and oxidizing ability for the selection of
cylinder valve outlets.
ISO 10297, Gas cylinders — Refillable gas cylinder valves — Specification and type testing.
ISO 10298, Determination of toxicity of a gas or gas mixture.
ISO 11114-1, Transportable gas cylinders — Compatibility of cylinder and valve materials with gas contents —
Part 1: Metallic materials.
3 General requirements
3.1 Materials
The following materials and specifications are recommended:
� For valve and nipple: AISI 316L, microfinished, hardness at least 130 HBW in accordance with ISO 6506-1;
� For the union nut: AISI 304, threading silver plated.
Other materials and values may be chosen if they give at least equivalent performance in terms of yield stress and
resistance to corrosion (see ISO 11114-1).
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ISO 10692-1:2001(E)
3.2 Operation
�7 �1
For these connections the outboard leak rate shall not exceed a value of 1 � 10 mbar�l�s at 137 bar helium
when the connection is tightened to 50 N�m.
�9 �1
When this outboard leak rate is obtained, an inboard helium leak rate shall be no greater than 1 � 10 mbar�l�s .
The gasket shall be an unused recessed flat, uncoated gasket of Ni 200, fully annealed with the requirements of
8.1. Its hardness shall be HBW 2,5/62,5: 80 to 100 HBW (in accordance with ISO 6506-1) with a surface finish
� 0,8µm turned in the sealing area. Gaskets of other materials, e.g. polymers, may be used if they do not
compromise the leak integrity of the connection and are compatible with the duty. These gaskets shall be used at a
torque appropriate for the material.
NOTE Conditions of use may cause significant differences in both the inboard and outboard leak rates, e.g. nickel gaskets
should be used only once.
3.3 Marking
The valves shall be marked with the requirements listed in ISO 10297, as far as appropriate. In addition to all the
required valve marking the letters "nnn", where nnn is the outlet number, shall be marked.
4 General design
Figure 1 shows the connection in the assembled state (view from the top). The nipple tip has two notches to
facilitate the removal of the gasket.
A pair of keys on the nipple and of the corresponding key ways on the valve prevent rotation of the parts during
assembly. The keys shall be opposite to each other and vertically oriented. The antirotational device shall always
be in place. The nut shall not engage on the outlet thread until the antirotational pins fitted to the plug are engaged
in the slots on the valve outlet. An alternative way to design the antirotational device of the nipple is described in
8.3.
The union nut shall have two venting holes opposite to each other.
5 Dimensions
Dimensions for the outlet connections are given in Figures 2 to 9. Only dimensions explicitly given there are
mandatory. Others shall be chosen as appropriate. All dimensions are in millimetres. The thread definition is given
in clause 9.
The diameters d , d , d and d are not dimensioned in the figures because they assume different values for each
A B M N
connection. They are chosen in such a way that combinations other than the intended ones are impossible. The
diameters d and d on the valve outlet as well as d and d on the nipple shall be concentric within 0,05 mm full
A B M N
indicator movement because these are critical dimensions for safety.
6 630 and 640 series connections
Details of the valve outlet are given in Figure 2. Figure 3 gives details of the nipple.
The values of the diameters d , d , d and d for the 630 and 640 series connections are given in Table 1.
A B M N
Figure 4 shows the union nut.
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ISO 10692-1:2001(E)
Key
1 Valve outlet
2 Nipple
3 Union nut
4 Gasket and circlips
Figure 1 — Assembly drawing of the connections (view from the top)
Table 1 — Index diameters of the 630 and 640 series connections
d d d d
A B M N
No.
min. max. min. max. min. max. min. max.
632 16,49 16,58 20,22 20,32 16,31 16,40 20,04 20,14
634 16,84 16,94 19,86 19,96 16,66 16,76 19,69 19,79
636 17,2 17,3 19,51 19,61 17,02 17,12 19,33 19,43
638 17,55 17,65 19,15 19,25 17,37 17,48 18,97 19,08
640 17,91 18,00 18,80 18,89 17,73 17,83 18,62 18,71
642 18,26 18,36 18,26 18,36 18,08 18,18 18,08 18,18
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ISO 10692-1:2001(E)
l d 10,62u d u 10,71
11,1 min.
1 1 1
� 0,25
l d
8,38 8,13 max.
2 2
� 0,13
� 0
l d 23,37u d u 23,49
8,38
3 3 3
� 0,25
� 0,25
a
l d
9,14
4 4 1,030 external
� 0
0
l 17,15 r 0,25u r u 0,38
5 1 1
� 0,25
l r 0,76u r u 0,89
42,54 max.
6 2 2
4,09u l u 4,19
l
� 45° � 5°
7 7
l 0,76u l u 0,89
� 30° � 5°
8
8
—— � 60° � 1°
a
Nominal diameter in inches.
Figure 2 — Valve outlet of the 630 and 640 series connections (view from the top)
4 © ISO 2001 – All rights reserved
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ISO 10692-1:2001(E)
l d 14,61u d u 14,73
1 2,29 � 0,13 1 1
� 0,25
10,62u d u 10,71
l 8,76 d
2
2 2
0
� 0,25
l d
4,75 8,13 maximum
3 3
0
l 3,38u l u 3,47 d 17,32u d u 17,45
4 4
4 4
l d
5,85 minimum 23,42 � 0,13
5 5
� 0,25
l r 0,25u r u 0,38
17,78
6 1 1
0
l r
1,52 � 0,05 4,8 � 0,25
7 2
l 3,78u l u 3,84 r 0,76u r u 0,89
8 8 3 3
l 0,76u l u 0,89
� 30° � 5°
9 9
8,51u l u 8,76
l
10 � 60° � 1°
10
l
2,11 maximum ——
11
Figure 3 — Nipple of the 630 and 640 series connections
© ISO 2001 – All rights reserved 5
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ISO 10692-1:2001(E)
l d
18,14 � 0,13 26,59 � 0,25
1 1
a
l d
11,4 min.
2 2 1,035 internal
0
l 23,24 d
17,70 � 0,13
3 3
� 0,25
l d
1,98
4 28,7 � 0,25 5
l
31,8 hexagonal � 30° � 5°
5
a
Nominal diameter in inches.
Figure 4 — Union nut of the 630 and 640 series connections
7 710 and 720 series connections
The connections of the 710 and 720 series are similar to those of the 630 and the 640 series,
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 10692-1
Première édition
2001-08-15
Bouteilles à gaz — Raccords pour robinets
de bouteilles à gaz pour l'industrie de la
microélectronique —
Partie 1:
Raccords de sortie
Gas cylinders — Gas cylinder valve connections for use in the
micro-electronics industry —
Part 1: Outlet connections
Numéro de référence
ISO 10692-1:2001(F)
©
ISO 2001
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ISO 10692-1:2001(F)
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Imprimé en Suisse
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ISO 10692-1:2001(F)
Sommaire Page
Avant-propos.iv
1 Domaine d'application.1
2Références normatives .1
3 Exigences générales .1
4 Conception générale .2
5 Dimensions.2
6 Raccords des séries 630 et 640.2
7 Raccords des séries 710 et 720.6
8 Éléments communs aux deux séries.9
9 Profil du filetage.12
10 Attribution des sorties aux gaz à composant unique donnésdansl’annexe A.12
11 Attribution des sorties pour autres gaz et mélanges de gaz .13
Annexe A (normative) Attribution obligatoire des sorties pour certains gaz choisis .14
Annexe B (informative) Exemples montrant comment utiliser l’information donnée dans les articles 10
et 11.16
Bibliographie .17
© ISO 2001 – Tous droits réservés iii
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ISO 10692-1:2001(F)
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiéeaux
comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude aledroit de fairepartie ducomité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en
liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec la Commission
électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI, Partie 3.
Les projets de Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour
vote. Leur publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités
membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments delaprésente partie de l’ISO 10692 peuvent faire
l’objet de droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de
ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
La Norme internationale ISO 10692-1 a étéélaborée par le comité technique ISO/TC 58, Bouteilles à gaz, sous-
comité SC 2, Accessoires de bouteilles.
L'ISO 10692 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Bouteilles à gaz — Raccords pour
robinets de bouteilles à gazpourl'industriedelamicroélectronique:
— Partie 1: Raccords de sortie
— Partie 2: Spécifications et essais de type pour les raccords entre le robinet et la bouteille
L’annexe A constitue un élément normatif de la présentepartiedel’ISO 10692. L’annexe B est donnée uniquement
à titre d’information.
iv © ISO 2001 – Tous droits réservés
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NORME INTERNATIONALE ISO 10692-1:2001(F)
Bouteilles à gaz — Raccords pour robinets de bouteilles à gaz
pour l'industrie de la microélectronique —
Partie 1:
Raccords de sortie
1 Domaine d'application
La présente partie de l’ISO 10692 s'applique aux raccords de sortie des robinets de bouteilles à gaz pour gaz et
mélanges de gaz et traite des exigences particulières à appliquer lorsqu'une propreté et une absence de particules
maximales sont exigées dans le cadre de la fabrication des composants microélectroniques ou applications
similaires.
2Références normatives
Les documents normatifs suivants contiennent des dispositions qui, par suite de la référence qui y est faite,
constituent des dispositions valables pour la présente partie de l'ISO 10692. Pour les références datées, les
amendements ultérieurs ou les révisions de ces publications ne s’appliquent pas. Toutefois, les parties prenantes
aux accords fondés sur la présente partie de l'ISO 10692 sont invitées à rechercher la possibilité d'appliquer les
éditions les plus récentes des documents normatifs indiqués ci-après. Pour les références non datées, la dernière
édition du document normatif en référence s’applique. Les membres de l'ISO et de la CEI possèdent le registre des
Normes internationales en vigueur.
ISO 68-2, Filetages ISO pour usages généraux — Profil de base — Partie 2: Filetages en inches.
ISO 6506-1, Matériaux métalliques — Essai de dureté Brinell — Partie 1: Méthode d'essai.
ISO 10156, Gaz et mélanges de gaz — Détermination du potentiel d’inflammabilité et d’oxydation pour le choix des
raccords de sortie de robinets.
ISO 10297, Bouteilles à gaz — Robinets de bouteilles à gaz rechargeables — Spécifications et essais de type.
ISO 10298, Déterminationdelatoxicité d’un gaz ou d’un mélange de gaz.
ISO 11114-1, Bouteilles à gaz transportables — Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les
contenus gazeux — Partie 1: Matériaux métalliques.
3 Exigences générales
3.1 Matériaux
Les spécifications et matériaux suivants sont recommandés:
� pour le robinet et l’olive: AISI 316L, superpoli, dureté minimale de 130 HBW conformément à l'ISO 6506-1;
� pour l'écrou de raccord: AISI 304, filetage recouvert d’argent.
Il est possible de choisir d'autres valeurs et matériaux s'ils permettent d'obtenir au moins les mêmes performances
en termes de limite apparente d'élasticité et de résistance à la corrosion (voir l'ISO 11114-1).
© ISO 2001 – Tous droits réservés 1
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ISO 10692-1:2001(F)
3.2 Fonctionnement
�7 �1
Pour ces raccords, le taux de fuite externe ne doit pas dépasser une valeur de 1 � 10 mbar�l�s pour une
pression d’hélium de 137 bar lorsque le raccord a un couple de serrage égal à 50 N�m.
Lorsque ce taux de fuite externe est obtenu, un taux de fuite interne d’hélium ne doit pas être supérieur à
�9 �1
1 � 10 mbar�l�s .
Le joint d’étanchéité doit être un joint d’étanchéité non revêtu de Ni 200 avec un plat non usager en creux, suivant
les exigences de 8.1. Sa dureté doit être 80 HBW 2,5/62,5 à 100 HBW 2,5/62,5 (conformément à l’ISO 6506-1),
avec une rugosité de surface meilleure que 0,8µm dans la zone d ’étanchéité.Les joints d’étanchéité en autres
matériaux, par exemple en polymères, peuvent être utiliséss’ils ne compromettent pas l’intégrité du raccord et sont
compatibles avec le fonctionnement. Ces joints d’étanchéité doivent être utilisés au couple approprié pour le
matériau.
NOTE Des conditions d’utilisation peuvent causer des différences significatives à la fois dans les taux de fuite interne et
externe, par exemple il convient que des joints d’étanchéité en nickel ne soient utilisésqu’une fois.
3.3 Marquage
Les robinets doivent porter un marquage mentionnant les exigences de l'ISO 10297 suivant le cas applicable. En
plus du marquage complet requis sur le robinet, les lettres «nnn» doivent être ajoutées, où«nnn» désigne le
numéro de la sortie.
4 Conception générale
La Figure 1 montre le raccord une fois assemblé (vue de dessus). L'extrémité de l’olive comporte deux entailles
permettant de faciliter l'extraction du joint d'étanchéité.
Deux clavettes montées sur l’olive et les deux rainures de clavetage correspondantes sur le robinet empêchent la
rotation des éléments pendant l'assemblage. Les clavettes doivent être en face l'une de l'autre et orientées
verticalement. Le dispositif antirotation doit toujours rester en place. L'écrou ne doit pas s'engager sur le filetage de
sortie tant que les chevilles antirotation fixées sur le bouchon ne sont pas engagées dans les rainures de la sortie
du robinet. Un autre type de dispositif antirotation pour l’olive est décrit en 8.3.
L'écrou de raccord doit comporter deux évents placés enfacel'undel'autre.
5 Dimensions
Les dimensions des raccords de sortie sont données aux Figures 2 à 9. Seules les dimensions qui y sont données
de manière explicite sont obligatoires. Les autres dimensions doivent être choisies selon les cas. Toutes les
dimensions sont exprimées en millimètres. La définition du filetage est donnée à l’article 9.
Les diamètres d , d , d et d ne sont pas cotés sur les figures car leurs valeurs sont différentes pour chaque
A B M N
raccord. Ces diamètres sont choisis de sorte que seules les combinaisons souhaitées sont réalisables. Les
diamètres d et d pour la sortie du robinet et d et d pour l’olive, doivent être concentriques à 0,05 mm prèslors
A B M N
d'un mesurage réalisé avec un indicateur, car ces dimensions sont critiques en termes de sécurité.
6 Raccords des séries 630 et 640
Les détails de la sortie du robinet sont représentés à la Figure 2 et ceux de l’olive à la Figure 3.
Les diamètres d , d , d et d pour les raccords des séries 630 et 640 sont donnés dans le Tableau 1.
A B M N
La Figure 4 représente l'écrou de raccord.
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ISO 10692-1:2001(F)
Légende
1 Sortie du robinet
2 Olive
3 Écrou de raccord
4Jointd’étanchéité et circlips
Figure 1 — Schéma d'ensemble des raccords (vue de dessus)
Tableau 1 — Diamètres pour les raccords des séries 630 et 640
d d d d
A B M N
N°
min. max. min. max. min. max. min. max.
632 16,49 16,58 20,22 20,32 16,31 16,40 20,04 20,14
634 16,84 16,94 19,86 19,96 16,66 16,76 19,69 19,79
636 17,2 17,3 19,51 19,61 17,02 17,12 19,33 19,43
638 17,55 17,65 19,15 19,25 17,37 17,48 18,97 19,08
640 17,91 18,00 18,80 18,89 17,73 17,83 18,62 18,71
642 18,26 18,36 18,26 18,36 18,08 18,18 18,08 18,18
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ISO 10692-1:2001(F)
l d 10,62u d u 10,71
11,1 min.
1 1 1
� 0,25
l d
8,38 8,13 max.
2 2
� 0,13
0
l d 23,37u d u 23,49
8,38
3 3 3
� 0,25
� 0,25
a
l d
4 9,14 4 1,030 extérieur
0
0
0,25u r u 0,38
l 17,15 r
1
5 1
� 0,25
l r 0,76u r u 0,89
42,54 max.
6 2 2
4,09u l u 4,19
l
� 45° � 5°
7 7
l 0,76u l u 0,89
30° � 5°
8 8 �
—— 60° � 1°
�
a
Diamètre nominal en inches.
Figure 2 — Sortie de robinet pour les raccords des séries 630 et 640 (vue de dessus)
4 © ISO 2001 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 10692-1:2001(F)
l d 14,61u d u 14,73
2,29 � 0,13
1 1 1
� 0,25
l d 10,62u d u 10,71
8,76
2 2 2
0
� 0,25
l d
4,75 8,13 max.
3 3
0
l 3,38u l u 3,47 d 17,32u d u 17,45
4 4 4 4
l 5,85 min. d
23,42 � 0,13
5 5
� 0,25
l r 0,25u r u 0,38
17,78
6 1 1
0
l r
1,52 � 0,05 4,8 � 0,25
7 2
l 3,78u l u 3,84 r 0,76u r u 0,89
8 8 3 3
l 0,76u l u 0,89
� 30° � 5°
9 9
8,51u l u 8,76
l 60° � 1°
10 �
10
l
2,11 max. ——
11
Figure 3 — Olive des raccords des séries 630 et 640
© ISO 2001 – Tous droits réservés 5
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 10692-1:2001(F)
l d
18,14 � 0,13 26,59 � 0,25
1 1
a
l d
11,4 min.
2 2 1,035 intérieur
0
l 23,24 d
17,7 � 0,13
3 3
� 0,25
l d
28,7 � 0,25 1,98
4 5
l
31,8 hexagonal � 30° � 5°
5
a
D
...
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