ISO 3529-3:1981

Vacuum technology - Vocabulary - Part 3: Vacuum gauges

In addition to terms used in the three official ISO-languages (E, F, R) the equivalent terms in German are given. General terms, general categories and characteristics are provided. The last two subsections deal with total pressure and partial pressure vacuum pumps, resp.

Technique du vide — Vocabulaire — Partie 3: Manomètres à vide

General Information

• Status: Withdrawn
• Publication Date: 30-Nov-1981
• Withdrawal Date: 30-Nov-1981
• ICS: 01.040.23 - Fluid systems and components for general use (Vocabularies)
• ICS: 23.160 - Vacuum technology
• Technical Committee: ISO/TC 112 - Vacuum technology
• Drafting Committee: ISO/TC 112/WG 2 - Vacuum instrumentation
• Current Stage: 9599 - Withdrawal of International Standard
• Start Date: 10-Apr-2014
• Completion Date: 13-Dec-2025

Relations

• Revised: ISO 3529-3:2014 - Vacuum technology - Vocabulary - Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
• Effective Date: 18-Feb-2010

Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL S
NORME INTERNAT
MEXA tMliI CTAHBAPT
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATIONWV~E~YHAPO~~HAR OPTAHkl3ALU4R I-IO CTAH~APTi43A~klM~ORGANISATlON INTERNATIONALE DE 6lORMALISAT10N
Vacuum technology - Vocabulary -
Part 3 : Vacuum gauges
First edition - 1981-12-15
Technique du vide - Vocabulaire -
Partie 3 : ManomGtres 12 vide
Premiere Edition - 1981-12-15
BaKyyMtiafl TeXHMKa - CflOBapb -
“laCTb 3: BaKyyMMeTPbl
llepeoe msAaHHe - 1981-12-15
Vakuumtechnik - Verzeichnis wen Fachausdrücken und Definitionen -
Teil 3 : Vakuummeßgeräte
ii-
UDClCDUlY~K 621.52.001.4
Ref. Mo./Ref. no : ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
-g
=ä
\-
fkXNlKa hi” : L’ICO 3529/3-1981 (ADPIP)
LLY-
230:
-7
Descriptors : vacuum technology, manometers, vocabulary. / Descripteurs : technique du vide, manomktre, vocabulaire. /AecKpwmopt,l :
m&
TeXHMKa BaKYYMHaR, MaHOfvleTpbl, CflOBapb.
Price based on 22 pages/Prix base sur 22 pages/ljet+a paccwTaHa Ha 22 CTP.

Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of
national Standards institutes (ISO member bedies). The work of developing Inter-
national Standards is carried out through ISO technical committees. Every member
body interested in a subject for which a technical committee has been set up has the
right to be represented on that committee. International organizations, governmental
and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to
the member bodies for approval before their acceptance as International Standards by
the ISO Council.
International Standard ISO 3529/3 was developed by Technical Committee
ISO/TC 112, Vacuum technology, and was circulated to the member bodies in
May 1978.
lt has been approved by the member bodies of the following countries :
Australia India Romania
Belgium Italy South Africa, Rep. of
Chile Japan Spain
Czechoslovakia Mexico United Kingdom
France Netherlands USA
Germany, F. R. Poland Y ugoslavia
No member body expressed disapproval of the document.
International Organkation for Standardization, 1981
Printed in Switzeriand
ii
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une federation mondiale
d’organismes nationaux de normalisation (comites membres de I’ISO). L’elaboration
des Normes internationales est confiee aux comites techniques de I’ISO. Chaque
comite membre interesse par une etude a Ie droit de faire Partie du comite technique
correspondant. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouverne-
mentales, en liaison avec I’ISO, participent egalement aux travaux.
Les projets de Normes internationales adoptes par les comites techniques sont soumis
aux comites membres pour approbation, avant leur acceptation comme Normes inter-
nationales par Ie Conseil de I’ISO.
La Norme internationale ISO 3529/3 a etc elaboree par Ie comite technique
ISO/TC 112, Technigue du vide, et a etc soumise aux comites membres en mai 1978.
Les comites membres des pays suivants I’ont approuvee :
Afrique du Sud, Rep. d’ France
Pologne
Allemagne, R. F. Inde Roumanie
Australie Italie
Royaume-Uni
Belgique Japon Tchecoslovaquie
C hili Mexique USA
Espagne Pays- Bas
Yougoslavie
Aucun comite membre ne I’a desapprouvee.
Organisation internationale de normalisation, 1981 l
Imprime en Suisse
BBeAeHMe
MC0 (Me>KflyHapoaHafi OpraHMsaqm no CTaHAapTMsaqtm) flBmeTc54 BceMupHoVI Qejqepa-
qL’le@l Ha4VlOHaJlbHbiX OpraHl43aLJld l-l0 CTaHAapTU3aqWl (WeHOB HCO). @RTenbHOCTb fl0
pa3pa60TKe Me>K,qyHapO,qHblx CTaHAapTOB IlpOBO~MTCFI TeXHWeCKMMM KOMMTeTaMVl HCo.
flto60M WleH OpraHM3a4MM, 3aVlHTepeCOBaHHblti B flefiTenbHOCTkl, An54 KOTOpOti 6bin CO3aaH
TeXHWleCKMli KOMMTeT, MMeeT flpaB0 6blTb llpe,&TaBneHHblM B 3TOM KOMMTeTe. npaBklTenb-
CTBeHHble M HellpaBlATenbCTBeHHble Me>KAyHapOAHble OpraHM3a4Ml4, MMetOqvie CBF13M C Hco,
TaK>Ke rlpklHLlMatOT yqaCTkIe B pa6oTe.
npOeKTbl MewyHapOfiHblx CTaHAapTOB, llpl4HRTble TeXHWieCKMMM KOMMTeTaMM, paCCbl-
natoTm WeHaM opraHu3aqw Ha o,qo6peHwe nepep, yTBep~#eHIAeM MX COBeTOM WO
B KaqeCTBe MewyHapOqHblX CTaHAapTOB.
Me+qyHapO,qHblii CTaHAapT MC0 %29/3 6bin pa3pa60Tat-i TeXHkWeCKMM KOMlrlTeTOM
VlCO/TK 112, ~2lKyyMHEM Texwum, PI pa3ocnat-i KOMMTeTaM-WleHaM B Mae 1978 roAa.
OH 6bin o,qo6peH KOMMTeTaMLn-W-leHaMV Cne~ytotqMx CTpaH:
ABcTpanuM HlqepnaHJJoB ~paH1(Mvl
EienbrrnM rlonbLLlkl 4exocnoBaKm
lAHJJPll4 PyMblHWl tOAP
klcnawu COe&4HeHHOrO KOpOneBCTBa 5h-l0HMl4
VlTanwl CLLIA
MeKCMKM @e~epa-rmtioti Pecny6mtw reprvratiMi4
Hvr O&MH KOMMTeT-WleH He Bblpa3Wl HeO~O6petWW 3TOMy flOKyMeHTy.
0 MeqqyHapoAHag Oprawnaqm no CTaH~apnmaqwq 1981 l
PlsfiaHo B LLIBehqapm4
iV
Page
Contents
............................................. 2
Scope and field of application
3 Vacuumgauges .
3.1 General terms .
................................. 4
3.2 General categories of vacuum gauges
..................................... 4
3.3 Characteristics of vacuum gauges
....................................... 6
3.4 Total pressure vacuum gauges
...................................... 12
3.5 Partial pressure vacuum gauges
Indexes
English . 16
French .
Russian .
German .

Page
Sommaire
Objet et domaine d’application . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3 Manomhtres a vide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I . .
3.1 Termesgeneraux .
............................
3.2 Categories ghkales de manomhres a vide
...............................
3.3 Caractkristiques des manometres ZJ vide.
Manomhtres de Pression totale .
3.4
..................................... 12
3.5 Analyseurs de pressions partielles
Index
Anglais. 16
Francais . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Russe .
Allemand .
vi
CoAepmativre
CTP.
06beKT 1/1 06nacTb nprnMeHeHw/ . ., . 3
3 BaKyyMMeTPbl . .
3.1 OCHOBHbE TePMMHbl . . . .
3.2 OCHOBHbE BMAbl BaKyyMMeTpOB .
.......... 5
3.3 XapaKTepMcTPlKPl BaKyyMMeTpOB . . 5
3.4 BaKyYMMeTPbl nomoro Gaßneww . . 7
3.5 BaKyyMMeTpbi Am M3Mepetim napqManbHor0 ~asnetim .
hC&iBI+ITHblii yKa3aTeJlb
@PaHqY3CKHti . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
PYCCKMti . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HeMeL(KMti .
vii
Seite
Inhalt
..........................................
Zweck und Anwendungsbereich.
...................................................
3 Vakuummeßgeräte
3.1 Allgemeine Ausdrücke .
.............................
3.2 Allgemeine Arten von Vakuummeßgeräten
3.3 Kenngrößen von Vakuummeßgeräten .
........................................
3.4 Totaldruckvakuummeßgeräte
3.5 Partialdruckvakuummeßgeräte .
Alphabetisches Stichwortverzeichnis
Englisch .
Französisch .
Russisch .
Deutsch .
. . .
VIII
INTERNATIONAL STANDARD
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
NORME INTERNATIONALE
MC0 3529/3-1981 (AIWP)
MEXAYHAPOflHblti CTAHBAPT
Vacuum technology - Vocabulary -
Part 3 : Vacuum gauges
Technique du vide - Vocabulaire -
Partie 3 : Manomhtres 6 vide
BaKyyMtiaFI TeXHHKa - CIlOBapb -
‘laCTb 3 : BaKyyMMeTpbl
Verzeichnis von Fachausdrücken und Definitionen -
Vakuumtechnik -
Teil 3 : Vakuummeßgeräte
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
VI CO 352913-1981 (AIWP)
Objet et domaine d’application
Scope and field of application
La presente Partie de I’ISO 3529 donne les definitions des diffe-
This part of ISO 3529 gives definitions of vacuum gauges. lt is a
rents manometres a vide. Elle fait Suite a I’ISO 3529/ 1, qui defi-
continuation of ISO 3529/1, which defines general terms used
nit les termes generaux utilises en technique du vide, et a
in vacuum technology, and of ISO 3529/2, which gives defini-
I’ISO 3529/2, qui donne les definitions des pompes a vide et
tions of vacuum Pumps and related terms.
termes associes.
NOTES
NOTES
1 En Supplement aux termes donnes dans les trois langues officielles
1 In addition to terms used in the three official ISO languages
de I’ISO (anglais, francais et russe), Ia presente Norme internationale
(English, French and Russian), this International Standard gives the
donne les termes equivalents en allemand; ces termes ont etc inclus a
equivalent terms in the German language; these have been included at
Ia demande du comite technique ISO/TC 112 et sont publies sous Ia
the request of Technical Committee ISO/TC 112, and are published
responsabilite du comite membre de I’Allemagne R. F. (DIN).
under the responsibility of the member body for Germany F.R., (DIN).
Toutefois, seuls les termes donnes dans les langues officielles peuvent
However, only the terms given in the official languages tan be con-
etre consideres comme termes ISO.
sidered as ISO terms.
2 Les abreviations suivantes sont utilisees pour les termes francais et
2 The following abbreviations are used in connection with the French
allemands :
and German terms in this document :
(m) masculin
(m) masculine feminin
(f)
(fl feminine neutre
(n)
(n) neuter
3 Vacuum gauges 3 Manometres a vide
3.1 General terms Termes g6n6raux
3.1.1 pressure gauge : An instrument for measuring gas or manometre (m) : Instrument de mesure d’une Pression de gaz
vapour pressures, greater, equal to or less than the prevailing ou de vapeur, qu’elle soit superieure, egale ou inferieure a Ia
Pression de I’atmosphere ambiante.
atmospheric pressure.
manometre a vide (m) [terme impropre, a deconseiller : jauge
3.1.2 vacuu m gauge : An instrument for measuri or
w WS
a vide (f)] : Manometre pour Ia mesure des pressions de gaz ou
vapou pressu res less than the prevailing atmospheric pressu re.
de vapeurs inferieures a Ia Pression de I’atmosphere ambiante.
NOTE - Certains types de manometres 6 vide habituellement utilises
NOTE - Some types of vacuum gauges commonly in use do not ac-
tually measure a pressure (as expressed in terms of a forte acting on a ne mesurent pas veritablement une Pression (au sens d’une forte
s’exercant sur une surface) mais bien une autre grandeur physique qui,
surface), but some other physical quantity related to pressure, under
specific conditions. dans certaines conditions particulieres, depend de Ia Pression.
3.1.2.1 gauge head : Of certain types of gauge, the part of capteur (m) (synonymes a eviter : tete, tube, jauge, cellule) :
Pour certains types de manometres, Partie de I’appareil qui est
the gauge which contains the pressure-sensitive element and
which is directly connected to the vacuum System. raccordee directement a I’enceinte a vide et qui contient I’ele-
ment sensible a Ia Pression.
3.1.2.1.1 nude gauge : A gauge head without envelope. In capteur ins&6 (m) : Capteur sans enveloppe propre. Dans ce
this case, the sensitive element is inserted directly into the cas, I’element sensible est insere directement dans I’enceinte a
vide.
vacuum System.
3.1.2.2 gauge control unit : Of certain types of gauge, the coffret d’alimentation et de mesure (m) : Pour certains
types de manometres, Partie comprenant I’alimentation et les
part of the gauge containing the power supply and all electrical
circuits electriques qui permettent Ie fonctionnement du mano-
circuitry necessary for the Operation of the gauge.
metre.
dispositif indicateur (m) : Pour certains types de manome-
3.1.2.2.1 gauge indicating unit : Of certain types of gauge,
tres, Partie comprenant Ie dispositif de lecture, habituellement
the part of the gauge which indicates the output Signal, usually
gradue en unites de Pression.
scaled in units of pressure.
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
MC0 3529134 981 (AWP)
06beKT Pl 06naCrb flpUlMeHeHWl Zweck und Anwendungsbereich
t-iacToswjaR L4aCTb L/Ico 3529 npmBO&PIT Onpe~efleHW BaKyyMMeTpOB.
Dieser Teil von ISO 3529 enthält Definitionen für die
OHa FlBnFieTCFI llpO~OJUKeHVleM Mc0 3529/1, KOTOpa OnpeAeflReT
verschiedenen Arten von Vakuummeßgeräten. Sie
OCHOBHble TepMMHbl, rlpl4MeHfieMble B BaKyyMHOti TeXHVlKe, a TaKxe
ist die Fortsetzung von ISO 3529/1, in welcher die ail-
MC0 3529/2, KOTOpaFl AaeT Ollpe~eneHWI BaKyyMHblX HaCOCOB kl
gemeinen, in der Vakuumtechnik üblichen Begriffe
OTHOCRqMXCFI K 3TOh o6nacTvr TepMviHOB.
definiert werden, und von ISO 3529/2, welche die
Definitionen von Vakuumpumpen und zugehörigen
llPMMEqAHl4FI Begriffen enthält.
1 6 fiOllOnHeHl4e K TepMMHaM, IlpVlMeHFieMblM Ha TpeX OC@l4ManbHblX F13blKaX
Die Fachausdrücke sind in Englisch, Französisch, Russisch
t’lco (aHrnkltiCKOM, CjYIpaHqy3CKOM M pyCCKOM), HaCTORU(Mti Me>K(lyHapOF(Hblh
und Deutsch angegeben, die Definitionen nur in Englisch,
CTaHAapT AaeT, B llpWlO~eHltll4, 3KBMBaJleHTHble TepMMHbl Ha HeMeL(KOM
Französisch und Russisch.
F13blKe, KOTOpble 6brm BKnlOCIeHbl r-IO flpOCb6e TeXHNeCKOrO KOMPITeTa
VlCO/TK 112 M ny6ntiKytOTCfi noA OTBeTCTBeHHOCTb KOMMTeTa-WeHa gnfl
Im Dokument benutzte Abkürzungen :
@eJJepaTVlBHOti Pecny6mKu repMaHWl (DIN). OAHaKO TOnbKO TepMMHbl Ha
OC@~klanbHblX FI3blKa.X MOQIT 6blTb paCCMaTpl4BaeMbl B KaWCTBe TepMVlHOB flC0.
(m) maskulin
(f) feminin
M HeMeqKVlX
2 CneAytouq4e coKpaqeHm MCllOnb30BaHbl BO @paH4y3CKMX
(n) neutrum
TepMMHaX B 3TOM AOKyMeHTe:
(m) MyNCKOrO pOAa
>KeHCKOrO poAa
Cf)
(n) cpeAHer0 poAa
3 BaKyyMMeTpbl 3 Vakuummeßgeräte
Allgemeine Ausdrücke
3.1 OCHOBHble TePMHHbl
3.1.1 MaHoMerp: flpt46op ,qn~ ur3MepeHws AaBneHug ra3a w-w napa Manometer (n)
6onbuero, paBHoro ww MeHbwero, qeM npeBanMpytOqee aTMoc@ep-
Hoe AasneHMe.
I-lPt’lMEqAHME - B aHrnMkKOM R3blKe TepMMH «MaHOMeTp ” np~MeH5IeTcFl
TOnbKO AnFl npM6opoB, OCHOBaHHblX Ha CpaBHeHWl ypOBHeti WlAKOCTM.
Vakuummeßgerät (rd; Vakuummeter In)
3.1.2 BaKyyMMeTp: IlpwOop gsl M3MepeHvw 4aBneHMq ra3a ww napa
MeHbwero, qeM npe IHvle.
Banmpytoqee aTMocc@epHoe Aasne
IlPMMEL4AHVlE - tieKOTOpble TMflbl 06blwO llpviMeH5IeMblX BaKyyMMeTpOB
B AekTBMTenbHOCTM t’l3MepWOT He AasneHMe (KaK 3T0 CneAyeT M3 TepMPlHa
0 CMJle, AetiCTByKIUjeti Ha rlOBepXHOCTb), a HeKOTOpytO ApyrytO C@3lNeCKytO
BemwHy, cBR3aHHym npM 0npeAeneHHblx ycnosimx c AaBneHMeM.
3.1.2.1 MaHOMeTfX’lWCKaR rOnOBK% B HeKOTQ/JblX TMnaX npn6opoB Vakuummeßsystem (rd; Vakuummeßröhre (0;
Vakuummeßzelle (fl; Vakuummeßkopf (m)
-Ta LlaCTb, KOTOpa5I COAep>rtMT qyBCTBMTenbHbltl K AaBneHPltO 3neMeHT
MKOTOpaF1HenOCpe~CTBeHHOnpMCOe~MHFieTC~KBaKyyMHOMCMCTeMe.
3.1.2.1 .l CO6CTBeHHO f=OJlOBKa: MaHOMeTpWieCKafl rOnOBKa 6e3 KOp- Einbaumeßsystem (n)
nyCa. B 3TOM Cnyqae qyBCTBMTenbHbl# 3neMeHT BBOflMTCFI HenOCpeA-
CTBeHHO B BaKyyMHytO CWTeMy.
Betriebs- und Anzeigeg
3.1.2.2 6nOK ynpaBneHm MaHOMeTpa: B HeKOTOpblX TMnax npw erät eines
60~0~ - Vakuummeßgerätes (rd
Ta MX ‘4aCTb, KOTOpaR CO,4epxUT 6noK nMTaHM5I VI BCe 3neK-
Tpwecwe qenq HeO6XO#Mble ,qnfi pa6OTbl npti6opa.

ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
VI CO 3529/3-1981 (AWP)
3.2 General categories of vacuum gauges Catbgories generales de manometres 6 vide
3.2.1 differential vacuum gauge : A vacuum gauge which
manometre differentiel (m) : Manometre mesurant Ia diffe-
measures the diff erence of pressures existing simultaneously
rence des pressions qui s’exercent simultanement des deux
on either side of a sensitive partition element, for example a cot& d’un element sensible separateur, par exemple une mem-
flexible diaphragm or a movable separating liquid. brane elastique (diaphragme) ou un liquide mobile.
3.2.2 absolute vacuum gauge : A vacuum gauge by means manometre absolu im): Manometre grate auquel Ia Pression
est determinee uniquement a I’aide des resultats de mesurage
of which pressure may be determined in terms of measured
de grandeurs physiques.
physical quantities alone.
3.2.3 total pressure vacuum A vacuum gauge for manomktre de Pression totale
e : (m) : Ma nometre mesurant Ia
53aug
meas U ring th e total pressure of a gas or a gaseous mixture. Pression totale d’un gaz ou d’un
melange gazeux.
- The compression gauge measures only the pressure of the NOTE - Le manometre a compression mesure uniquement Ia Pression
NOTE
gases which do not condense within the gauge during the measuring des gaz qui, au cours du processus de mesurage, ne se condensent pas
procedure. dans Ie manometre.
3.2.4 partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyseur de pressions partielles : Manometre mesurant les
analyzer : A vacuum gauge for measuring currents derived courants derives des constituants ionises d’un melange de gaz.
from the ionized constituents of a gaseous mixture. These cur- Ces courants representent des pressions partielles dont les
rents represent partial pressures with different proportionality constantes de proportionalite different d’un constituant a
constants for different components. I’autre.
3.3 Characteristics of vacuum gauges Caracteristiques des manometres 2 vide
3.3.1 pressure range of a vacuum gauge : The range of htendue de mesurage d’un manometre 6 vide (f) : 6tendue
pressure over which the error of a Single reading indicated by des valeurs de Ia Pression pour lesquelles I’erreur de mesurage
sur I’indication du manometre, dans les conditions determinees
the vacuum gauge, under specified conditions, does not ex-
d’emploi et en un seul mesurage, ne depasse pas I’erreur maxi-
ceed the maximum permitted error.
male toleree.
NOTE - For certain types of gauge, this range depends on the nature NOTE - Pour certains types de manometres, cette etendue depend de
of the gas. In such a case, the pressure range for nitrogen must always Ia nature du gaz. Dans ce cas, I’etendue de mesurage pour I’azote doit
be specified. toujours etre specifiee.
NOTE - For certain types of gauge, the sensitivity coefficient depends NOTE - Pour certains types de manometres, Ie coefficient de sensibi-
lit6 depend de Ia nature du gaz. Dans ce cas, Ia sensibilite pour I’azote
on the nature of the gas. In such a case, the sensitivity for nitrogen
must always be specified. doit toujours etre specifiee.
3.3.3 relative sensitivity factor : Of a vacuum gauge for a facteur de sensibilith relative (m) : Pour un manometre a
specified gas, the sensitivity of the gauge for that gas divided vide pour un gaz donne, rapport de Ia sensibilite du manometre
by the sensitivity of the gauge for nitrogen, at the same pour ce gaz a Ia sensibilite pour I’azote, pour une meme pres-
sion et dans les memes conditions de fonctionnement.
pressure and under the same operating conditions.
3.3.4 ionization gauge coefficient (in inverse pressure coefficient d’un manometre A ionisation (m) (en unit6s
d’inverse de Ia Pression) : Pour un gaz donne, quotient du cou-
units) : For a given gas, the ion current divided by the product
of the ionizing current and the corresponding pressure. The rant d’ions par Ie produit du courant d’ionisation et de Ia pres-
operating Parameters should be stated. sion correspondante. ll faut indiquer les parametres de fonc-
tionnement du capteur.
3.3.5 equivalent nitrogen pressure : Of a gas acting on a Pression Äquivalente d’azote (f) : Pour un gaz agissant sur
un manometre, Pression d’azote qui donnerait Ie meme resultat
vacuum gauge, that pressure of nitrogen which would produce
the same gauge reading. de mesurage.
ue aux rayons X : Pour un
3.3.6 X-ray limit : Of a hot cathode ionization gauge, that limite d manomet re a ionisation a
cathode chaude, Pression d’azote pur qui donnerait, en
pressure of pure nitrogen which would give the same gauge

ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
MC0 3529134 981 (AWP)
3.2 OCHOBHbE Bk’lplbl BaKyyMMeTpOB Allgemeine Arten von Vakuummeß-
geräten
3.2.1 fil@C#lepeH~HanbHblii BaKyyMMeTp: BaKyyMMeTp, KOTOpblti Differenzdruckvakuummeter (n)
M3MepReT pa3HMqy ,qaBneHMti, Cy~eCTBytOqMX OAHOBpeMeHHO fl0 o6e
CTOpOHbl qyBCTBMTeJlbHOr0 pa3~eJlVlTenbHOrO 3neMeHTa, HaflpL+lMep -
r1/16Koti ,qMa@parMbi w-w ~OABWKHOM pa3densvoqeM >KMP,KOCTM.
3.2.2 a6ConmTHbrti BaKyyMMeTp: BaKyyMMeTp, C flOMOqbt0 KOTO- absolutes Vakuummeter (n)
pOr0 AasneHMe MO>KeT 6blTb OnpefieneHO HeflOCpeflCTBeHHO B eAl+
HPlLJaX M3MepFleMblX C@l3Vl‘IeCKVlX BenM‘iMH.
3.2.3 BaKyyMMeTp nonHoro ~asnetww: BaKyyMMeTp ,qnfi MsMepe- Totaldruckvakuummeter tn)
Hw nonHor0 AaBneHwi ra3a MnM ra3oBoM
CMeCM.
aHam3aTop napqidanbHor0
3.2.4 napqmnbHbih BaKyyMMeTp; Partialdruckvakuummeter (n)
~aBneHw: BaKyyMMeTp (Tuns Macc-cneKTporpa@a) AnFi M3MepeHvw
ClacTwHblx AaBneHW cocTaBnwou(~x ra30BoM cMecM.
3.3 XapaKTePHCTHKH BaKYYMMeTpOB Kenngröße n von Vakuummeßgeräten
Meßbereich eines Vakuummeters Im)
3.3.1 AManaaon Aasnetibw BaicyyMMeTpa: flMana3oH AaBneHwi, B
~0~0p0~ norpeurHocTb noKa3aHmM fiaHHor0 BaKyyMMeTpa He npe-
BblUJaeT, llpl4 OllpeAeneHHblX yCnOBMFIX, MaKCMManbHO AOrlyCTMMOti
norpeuHocTi4.
I-lPVlMEqAHklE - )$lFI HeKOTOPblX TMllOE3 llpkl6OpOB 3TOT Aklalla3OH 3aBMCMT
OT npMpO#l r83a. B TaKMX CflyWSW Bceraa ~Onxeti 6blTb yKa3ai-i ,qManasoti
JJaBneHPlM /pl a30Ta.
Empfindlichkeit eines Vakuummeters (f)
3.3.2 K03+Ct)H4HeHT qyBCTBHTenbHOCTH: )$IA AaHHOrO JJaBneHWI -
M3MeHeHMe llOKa3aHPlti BaKyyMMeTpa, AeneHHOe Ha COOTBeTCTBytO~ee
M3Metiewe &aBneHw.
llPVlMEC1AHVlE - flJVl HeKOTOPblX TMllOB BaKyyMMeTpOB K03C@@QMeHT
3aBldCklT OT llfNlpO,4bl f-a3a. B TaKklX Cflyrafiix BCerfla AOJVKHa 6blTb yKa3aHa
~YBCTBMTeJlbHOCTb F\flFl a30Ta.
3.3.3 K03Ct)Ct)H~HeHT OTHOCHTenbHOiii ~YBCTBHTenbHOCTH: Y BaKyyM- relative Vakuummeterempfindlichkeit (f)
MeTpoB An5i 0npefleneHHblx ra3oB - qyBCTBMTenbHOCTb BaKyyMMeTpa
Anfl3Toro ra3a, ,qeneHHafi Ha qyBcTBuTenbHocTb er0 K a3oTy npH TOM
xe 4aBneHw M VlfleHTMC1HblX ycnoBvl57x M3MepeHMR.
3.3.4 KOX#X@llJHeHT HOHH3al+lOHHOrO BaKyyMMeTpa (B 06paTHblx Vakuummeterk onstante eines lonisations-
eAMHwqax AaBneHm54): An9 AaHHoro ra3a - MoHHblti T~K, 4eneHHblM
Vakuummeters (f)
Ha npou3BeAeHMe MoHM3Mpytqero ToKa i4 cooTBeTcTBytoqer0 fiaßne-
HMF(. napaMeTpbl M3MepeHMti flOJl~Hbl 6blTb yKa3aHbl.
Stickstoffäquivalen
3.3.5 3KBHBaneHTHOe a30THOe AasneHMe: ,@lR ra3a, B03,LJetiCTBytO- tdruck (m)
qer0 Ha BaKyyMMeTp - TaKoe GaBneHme wcTor0 a30Ta, KoTopoe
hasano 6bi aHanorwHoe noKa3aHMe nptidopa.
3.3.6 pC!HTreHOBCKHiTi npep(en: : &lFl MOHM3a~MOHHOrO Ba .KyyMMeTpa Röntgengrenze (f)
c rop5wM KaTofloM - AaBneHMe qMCTOr0 a30Ta, KOTOpOMy (6e3 Bnw+

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Ul CO 3529/3-1981 (AWP)
reading, without a X-ray effect, as is produced by the residual I’absence de rayons X, Ie meme resultat de mesurage que le
current caused by photo-electrons mainly emitted at the ion- courant residuel du aux photo-electrons emis principalement
collector.
par Ie collecteur d’ions.
3.4 Total pressure vacuum gauges
Manometres de Pression totale
3.4.1 Vacuum gauges based on mechanical phenomena
Manometres a vide bases sur des phenomenes
mecaniques
3.4.1.1 liquid level manometer : An absolute differential manometre G liquide (m) : Manometre differentiel absolu,
manometer, commonly a U-tube, in which the sensitive ele-
habituellement un tube en U, dans lequel l’element sensible est
ment is a movable separating liquid (for example mercury). The un liquide (par exemple du mercure) utilise comme element
pressure differente is obtained by measuring the differente in
separateur mobile. La differente de Pression est determinee par
the liquid levels. Ie mesurage des niveaux du liquide.
3.4.1.2 elastic element gauge : A differential gauge in manometre a deformation : Manometre differentiel dont
which the flexible partition is an elastic element. The pressure I’element separateur est un element elastique. On determine Ia
differente tan be determined by measuring either the displace- differente de Pression soit par mesurage du deplacement de
ment of the elastic element (direct method) or the forte re- I’element elastique (methode directe), soit par mesurage de Ia
quired to compensate its displacement (Zero method). Ex- forte necessaire pour compenser ce deplacement (methode du
amples : diaphragm gauge, Bourdon gauge, etc. Zero). Exemples : manometre a membrane, tube de Bourdon,
etc.
3.4.1.3 compression gauge : A vacuum gauge in which a manometre a compression tm) : Manometre a vide dans
known volume of the gas at the pressure to be measured is lequel on preleve un volume connu de gaz a Ia Pression que I’on
compressed (for example by the movement of a column of
doit mesurer et on Ie comprime dans un rapport connu, par
liquid - exemple par Ie deplacement d’une colonne de liquide (habituel-
normally mercury) in a known ratio and the resulting
higher pressure then measured. If the higher pressure is lement du mercure). La Pression plus elevee ainsi obtenue est
alors mesuree. Si cette Pression finale est mesuree par un
measured by a liquid level manometer, such a gauge is absolute
for a gas which satisfies the relation p V - T. A weil known ex- manometre a liquide, Ie manometre a compression est absolu
ample is the McLeod gauge. pour un gaz qui satisfait a Ia relation p V - T. Le manometre de
McLeod est un exemple bien connu.
3.4.1.4 pressure balance : An absolute vacuum gauge in manometre 5 Piston (m) : Manometre absolu dans lequel Ia
which the pressure to be measured is suitably applied to an ac- Pression a mesurer est appliquee a un ensemble Piston-cylindre
curately matched Piston-cylinder assembly of known cross- a tres faible jeu, de section droite connue. La forte agissant
sectional area, the resulting forte being compared with the ainsi sur Ie Piston est mesuree par pesee.
gravitational forte acting on a group of known masses.
3.4.2 Vacuum Manometres 5 vide
gauges on transport phenomena bases sur les phenomenes de
in gases transport dans les g az
3.4.2.1 viscosity gauge : A vacuum gauge in which the manometre 6 viscosite : Manometre a vide dans lequel Ia
pressure is determined in relation to the viscous forces acting Pression est determinee en fonction des forces visqueuses
on a surface. This gauge is based on the viscosity of a gas s’exercant sur une surface. Ce manometre fonctionne sur Ie
being pressure dependent. Examples : decrement gauge,
Principe que Ia viscosite d’un gaz depend de Ia Pression. Exem-
molecuiar drag gauge. ples : manometre a amortissement, manometre a entraine-
ment.
3.4.2.2 thermal conductivity gauge : A vacuum gauge in manometre a conduction thermique : Manometre a vide
which the pressure is determined in relation to the transfer of dans lequel Ia Pression est determinee en fonction du transfert
thermal energy between the surfaces of two fixed elements d’energie thermique entre les surfaces de deux elements fixes
maintained at different temperatures. This gauge is based on maintenus a des temperatures differentes. Ce manometre fonc-
the thermal conductivity of a gas being pressure dependent. tionne sur Ie Principe que Ia conductivite thermique d’un gaz
Examples : Pirani gauge, thermocouple gauge, thermistor depend de Ia Pression. Exemples : manometre de Pirani, mano-
gauge, bimetal gauge. metre a t hermocouple, manometre 21 thermistance, manometre
bilame.
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MC0 3529/3-1981 (AWP)
HMFI PeHTreHOBCKOrO l43nyqeHMFi) COOTBeTCTByeT TaKOe >Ke llOKa3aHMe
BaKyyMMeTpa, KaK I-lpM OCTaTOL(HOM TOKe, Bbl3BaHHOM @OTO3JleKTpO-
HaMM, Vl3nyclaeMblMM, rnaBHblM o6pasoM, KOnneKTOpOM MOHOB.
Totaldruckvakuummeßgeräte
3.4 BaKyYMMeTpbl nOflHOr0 AaBneHHFI
Vakuummeßgeräte die auf mechanischen
3.4.1 MeXaHWleCKVle BaKyyMMeTpbl
Phänomenen basieren
Flüssigkeitsvakuummeter (n)
3.4.1.1 Xltl~KOCTHblih MaHOMeTp: A6COnK)THbiti ~Vl@@epeH~l4anbHblii
MaHOMeTp, 06blllHO U-o6pasHaR Tpy6Ka, B KOTOPOM ‘4yBCTBMTenbHblM
3neMeHTOM FIBnFleTCFI rlOABWKHaF1 pa3~enWOllJa5I WlfiKOCTb (HallpW
Mep, PTyTb). Pa3HOCTb AaBneHldl nOnyqaeTC57 M3 M3MepeHMti pa3HOCTM
ypOBHeh >KMfiKOCTM.
3.4.1.2 MZiHOMeTp C yl=lpyWlM 3JleMeHTOM: ,@@@epeH~l4anbHbl@l Ma- federelastisches Vakuummeter in)
HOMeTp, B KOTOPOM IlOfiBWKHOh ClaCTbtO ABnFleTCFI ynpyrld 3neMeHT.
Pa3HOCTb gaBneHi4W MOxeT 6blTb 0npeAeneHa l43MepeHMeM nM6o
nepeMeqeHw ynpyroro 3neMeHTa (npfiMoh MeTOA), nM6o CMnbl, tieo6-
xoAi4~oM Anfi er0 ygep>6KeHw (HyneBoM
MeTOA). flpMMepbl: #4a@parMeHHblfi MaHOMeTp, MaHOMeTp 6ypflOHa
kl AP.
Kompressionsvakuummeter (n)
3.4.1.3 KOMflpeCCHOHHblti MaHOMeTp: BaKyyMMeTp, B KOTOPOM
M3BeCTHblh npl4 M3MepFleMOM AaBneHIlM o6beM ra3a, C>KVIMaeTCFI
(HanpMhnep, 3a CqeT nepeMeu(eHMti cTon6a WAKOCTM - 06blWiO
PT~TIA), npweM cTeneHb cwaTw4 i43BecTHa M nonyqatoqeecfi 6onee
BblcoKoe AasneHme MsMepfleTc9. EcnM 6onee BblcoKoe IqaBneHLie
Vl3MepFleTCFI >KMAKOCTHbIM MaHOMeTpOM, TaKOfi npM6op 5IBnfieTCFI
a6COntOTHblM ,qnfi ra3a, y,qOBneTBOpwOujerO COOTHOUJeHMtO pv - T.
XOpOLiJO Ll3BeCTHblM nptiMepOM 5IBnfleTCFl MaHOMeTp MaK fleOAa.
3.4.1.4 nOpl.lJHeBOiii MaHOMeTp: A6contoTHblti BaKyyMMeTp, B KOTO- Druckwaage (f)
pohn u3MepfieMoe AasneHMe cooTBeTcTBytoujvrM o6pa3oM nepeAaeTcfi
Ha XOPOUJO nOflOrHaHHyt0 llapy IlOpUJeHb - 4WlHH,4p C M3BeCTHblM
nonepe9HblM ceqeHtieM, pesynbTMpytou(aR wna cpaBHMsaeTcfi c
ClAnOh TSI>KeCTM, JJetiCTBytOlL(eh Ha rpynny M3BeCTHblX MaCC.
. Vakuummeßgeräte, die auf Transport-
3 4.2 BaKyyMMeTpbl, OCHOBaHH ble Ha Xll epeHoca
phänomenen in Gasen basieren
B ra3ax.
Reibungsvakuummeter In)
3.4.2.1 BF13KOCTHblh MaHOMeTp: BaKyyMMeTp, B KOTOPOM AaBneHuie
onpefiesweTc54 nyTeM i43MepeHw BFI~KVIX wn, AehcTBytoqMx Ha no-
BepXHOCTflX AByX 3neMeHTOB, llepBblti M3 KOTOpbIX HenOABWKeH, BTO-
pO# - ABWKeTCF1 OTHOCMTenbHO riepBOr0. 06a 3neMeHTa MMetOT OAM-
HaKOByto TeMnepaTypy. flpVIHIqln JJetiCTBt49 npw6opa OCHOBaH Ha
3aBMCMMOCTM BFI3KOCTM ra3a OT AaBneHWl. npMMepbl: AeKpeMeHTHblti
MaHOMeTp, MOneKynFipHblti MaHOMeTp.
3.4.2.2 TepMO3JlE?KTpWleCKltliii MaHOMeTp: BaKyyMMeTp, B KOTOPOM Wärmeleitungsvakuummeter (n)
AasneHMe onpeAen54eTcfi i43MepeHweM TennonepeAaw Meqqy no-
BepXHOCTSlMM AByX HenO~BWKHblX 3neMeHTOB, MMetO~MX pa3HytO TeM-
nepa-rypy. flpMHQ4n AetiCTBMFI npw6opa OCHOBaH Ha 3aBMCMMOCTM
TerlnO~pOBO~HOCTM ra3a OT AaBneHVIFI. flp@lMepbl: MaHOMeTp t%paHVl,
TepMO3neKTpWeCKl4ti MaHOMeTp, TepMMCTOpHblti MaHOMeTp, 6me-
TannwiecKMfi MaHOMeTp.
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
t’l CO 3529134 981 (AIWP)
manometre thermomoleculaire : Manometre a vide dans
3.4.2.3 thermo-mofecullar gauge : A vacuum gauge in
lequel Ia Pression est determinee par Ie mesurage du bilan
which the pressure is determined by measuring the net rate of
transfer of momentum by gas molecules striking fixed surfaces d’echange de quantite de mouvement par les molecules du gaz
maintained at different temperatures. The dimensions must be provenant de surfaces fixes maintenues a des temperatures dif-
very small compared to the mean free path of the gas ferentes. Les dimensions doivent etre tres petites par rapport
Knudsen gauge, diamagnetic Ievitation
molecules. Examples : au libre Parcours moyen des molecules du gaz. Exemples :
thermo-molecular gauge. manometre de Knudsen, manometre thermomoleculaire a Ievi-
tation diamagnetique.
3.4.3 Vac uum gauges on ion ization phen 0 Manometres a vide bases sur les p heno m6nes
in gases d’ionisation da ns les gaz
manometre a ionisation : Manometre a vide dans lequel Ia
3.4.3.0 ionization vacuum gauge : A vacuum gauge in
which the molecular density is determined by measuring the ion densite moleculaire est determinee par mesurage du courant
d’ions produit par I’ionisation du gaz dans des conditions con-
current produced in the gas by ionization under controlled con-
ditions. Pressure is directly related to gas density. trolees. La Pression est fonction directe de Ia masse volumique
du gaz.
3.4.3.1 radioactive ionization gauge : An ionization manometre a Source radioactive (m) : Manometre a ionisa-
vacuum gauge in which ions are produced by radiations from a tion dans lequel les ions sont produits par Ie rayonnement d’une
radioactive Source. Source radioactive.
3.4.3.2 cold cathode ionization gauge : An ionization manometre a cathode froide (m) : Manometre a ionisation
vacuum gauge in which the ions are produced by a cold dans lequel les ions sont produits par une decharge a cathode
cathode discharge, usually in the presence of a magnetic field froide, habituellement en presence d’un champ magnetique qui
used to lengthen the electron path and so to increase the allonge Ie Parcours des electrons et qui augmente ainsi Ie nom-
number of ions produced. Other means tan be provided, either bre d’ions produits. D’autres moyens peuvent etre employes a
I’interieur ou a I’exterieur du capteur, pour maintenir Ia
within the gauge head or externally, to maintain the discharge
decharge ou pour I’amorcer.
or to Start it.
3.4.3.2.1 Penning gauge : A cold cathode ionization gauge manometre de Penning (m) : Manometre a cathode froide
utilisant un aimant et dont les electrodes ont une geometrie
with a magnet and which has a particular electrode geometry.
One of the electrodes consists of two linked parallel discs. The particuliere. L’une des electrodes consiste en deux disques
other electrode (normally the anode) is usually annular and paralleles, relies entre eux. L’autre electrode (normalement
Prise comme anode) est habituellement annulaire et elle est pla-
placed between the discs, parallel to them. The magnetic field
is perpendicular to the discs. cee entre les disques, parallelement a ceux-ci. Le champ
magnetique est perpendiculaire aux disques.
manometre magnetron 6 cathode froide 0 : Manometre
3.4.3.2.2 cold cathode magnetron gauge : A cold cathode
a cathode froide dont les electrodes sont des cylindres
ionization gauge having electrodes arranged as coaxial
cylinders, the cathode being the inner one, and an axial coaxiaux, I’electrode centrale etant Ia cathode, et dans lequel
un champ magnetique axial est perpendiculaire au champ elec-
magnetic field perpendicular to the electric field. If the inner
electrode is the anode, then the gauge is called an “inverted trique. Lorsque I’electrode centrale est Prise comme anode, Ie
magnetron gauge”. manometre s’appelle «magnetron invers&.
tube temoin (m) : Tube transparent dans lequel Ia couleur et Ia
3.4.3.2.3 discharge tube indicator : A transparent tube in
which the colour and form of a cold cathode discharge give an forme d’une decharge a cathode froide donnent une indication
indication of the nature and pressure of the gas. de Ia nature et de Ia Pression du gaz.
manometre a cathode chaude (rn) : Manometre a ionisation
3.4.3.3 hot cathode ionization gauge : An ionization
vacuum gauge in which the gas is ionized by electrons emitted dans lequel Ie gaz est ionise par les electrons emis par une
from a heated cathode. cathode chauffee.
triode gauge : A hot cathode ionization gauge with manometre triode (rn) : Manometre a cathode chaude dote
3.4.3.3.1
d’une structure triode classique, a filament axial, Ia grille (ser-
a conventional triode structure, the filament being axially
vant d’anode) et Ia Plaque (servant de collecteur d’ions) lui
located with the grid as anode, and the plate as ion collector
concentric to it. etant coaxiales.
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
M CO 3529134 981 (AWP)
3.4.2.3 T6?pMOMOJleKyJl~pHbl~ MaHOMeTp: BaKyyMMeTp, 6 KOTOpOM Molekularvakuummeter (n)
haBneHMe Oflpe,4eflSIeTC54 nyTeM M3MepeHWl CyMMapHOM MHTeHCMB-
HOCTM nepejqaw MoMeHTa MoneKynaMM ra3a, coy~ap5wotqMw~ c
AByMFI 3aKpenfleHHbiMVl flOBepXHOCTflMM, KOTOpble VIMeKIT pa3HytO
TeMflepaTypy VI CeJ-leKTMBHO 803,LJetiCTBylOT Ha rlOABM>KHblfi 3JleMeHT.
Pa3Mepbl qOfl>KHbl 6blTb OCleHb Maflbl l-l0 CpaBHeHWO C ,4nPlHOti CBO-
60,qHoro npo6era M0neKyJ-l ra3a. flpVlMepbl: MaHOMeTp Ktiy,qceHa,
TepMOMOfleKyJWpHbl~ MaHOMeTp C AMaMarHMTHblM nOAbeMOM.
3.4.3 BaKyyMMeTpbl, llpltlHl#‘lfl @iCTBWl KOTOPblX OCHOBaH Vakuummeßgeräte, die auf lonisations-
Phänomenen in Gasen basieren
Ha 5lBJleHWlX HOHM3alplltl ra30B.
3.4.3.0 HOHH3a~HOHHbl~ BaKyyMMeTp: BaKyyMMeTp, B KOTOpOM Ionisationsvakuummeter (n)
,qaBßeHile onpe,qens4eTCfi M3MepeHueM MOHHOrO TOKa, 06pa30BaHHOrO
B ra3e C rlOMOU(bK) LnOHV13a~Wl B KOHTpOnMpyeMblX yCnOBMRX.
3.4.3.1 Pa#‘lOH30TOflHblh HOHH3Zll+lOHHblh MaHOMeTp: uOHM3a- Ionisationsvakuummeter (rd mit radioaktiver
4PlOHHblti BaKyyMMeTp, B KOTOpOM PlOHbl o6pa3ytOTcfi 3a CYeT l43nyqe- Strahlungsquelle
HMSl paAMOaKTVlBHOr0 MCTOqHMKa.
3.4.3.2 HOHH3aljHOHHbl6i MaHOMeTp C XOJlOAHbIM KaTOflOM: L/1OHM- Kaltkathodenionisationsvakuummeter (n)
3auMOHHblti BaKyyMMeTp, B KOTOpOM MOHbl o6pa3yto-m 3a CLleT pa3-
pF#a npVl XOnO,qHOti 3MMCCMM, 06blllHO B rlpMCyTCTBMM MarHMTHOrO
nonq wnonb3yeMoro ,qnR yBenweHw npo6era 3neKTpoHa c qenbto
yBenweHwi wcna 06pa30BaHHblx 140~0~. J$w nogAep>KaHw, nH6o
,qnfi Bo36y>IWeHvw pa3pfiAa B Kopnyce npM6opa, nM6o ,qononHmTenbHo
K HeMy MOryT MCtlOnb30BaTbC5l P,pyrlAe npHcnoco6neHw
3.4.3.2.1 MaHOMeTp i%?wiwira: ~OHM3a~MOHHblti BaKyyMMeTp C XO- Penningvakuummeter (n)
nOGHblM KaTOJjOM M MarHMTOM, PlMeKIqMti XapaKTepHytO reOMeTpMt0
3neKTpO~OB. OJJMH M3 3neKTpOAOB COCTOVlT M3 AByX COe~VlHeHHblX
napannenbHblx AMCKOB. ApyroM 3neKTpoA (06blqHO aHo&, KaK npa-
BW-l0 MMetOlJJMti KOnbqeBytO @OpMy, llOMellJaeTC54 Me>KP,Y AMCKaMVl
napannenbH0 MM. MartimTHoe none nepneHgtiKynsipH0 AucKaM.
3.4.3.2.2 MarHeTPOHHblih MaHOMeTp C XOJlOAHblM KaTOAOM: MOHM- Magnetronvakuummeter (n) mit kalter Kathode;
3aqMOHHblti BaKyyMMeTp C XOnOAHblM KaTOAOM, 3neKTp0,iJbl KOTOpOrO invertiertes Magnetronvakuummeter (n)
VIMetOT BMA COOCHblX L/WWlHfipOB, IlpWeM BHyTpeHHMti 4MnMH,4p FIBnFI-
eTcfi KaToAoM, a MarHMTHoe none nepneHAMKynfipH0 3neKTpwec-
KOMy. EcnM BHyTpeHHMM =ineKTpOp, fiBnFleTCA aHOAOM, TO npM6op
Ha3blBaeTW (QlHBepCHO-MarHeTpOHHblM MaHOMeTpOM».
3.4.3.2.3 HH,ywaTop c pa3pnAHoiA TPYGKOH: flpo3parHafi Tpy6Ka, Hochfrequenzvakuumprüfer (m)
B KOTOpOti qBeT VI @opMa paqqqa Ha XOnOfiHOM KaTO,qe (06blwO RF)
4ato-r npi46ni43MTenbHoe npeflcTaBneHi4e 0 npuipofle M AaBneHw4 ra3a.
Glühkathodenionisationsvakuummeter (n)
3.4.3.3 HOHM3EN+lOHHbllii MaHOMeTp C l=OPWWlM KZITOAOM: l/lOHM3a-
4MOHHblti BaKyyMMeTp, B KOTOpOM ra3 MOHM3MpyeTCR 3neKTpOHaMVl,
3MMTMpyeMblMM HarpeTblM KaTOAOM.
3.4.3.3.1 TpVlOAHblih MaHOMeTp: ~OHM3a4MOHHblti BaKyyMMeTp C Glühkathodenionisationsvakuummeter konven-
ropwdM KaTojqoM, MMetoLquti ~0Hc~pyK4~0 06bl+iOrO TpMoAa, npwieM tioneller Bauart (n)
HMTb HaKana pacnono>KeHa COOCHO ceTKe, wpat0qeM ponb aHoAa,
a aHoAHblW 3neKTpopl, wpatoLq4M ponb KonneKTopa MOHOB, oKpy>rtaeT
CeTKy.
ISO 3529/3-1981 (E/F/R)
MC0 3529134 981 (AWP)
3.4.3.3.2 high pressure ionization gauge : A hot cathode manometre a ionisation pour vide moyen (m) : Manometre
ionization gauge designed in such a way that its pressure range a cathode chaude concu de maniere a ce que son etendue de
is shifted towards the medium vacuum range, compared with
mesurage soit deplacee vers Ie domaine du vide moyen, par
the pressure range of a conventional triode gauge.
rapport a I’etendue de mesurage d’un manometre triode classi-
que.
3.4.3.3.3 Bayard-Alpert gauge : A hot cathode ionization manometre Bayard-Alpert (m) : Manometre a cathode
gauge in which the X-ray limit is reduced by the use of a thin chaude dans lequel on abaisse Ia limite due aux rayons X par
ion-collector wire arranged axially in a cylindrical grid with the I’emploi d’un fil mince comme collecteur d’ions. Ce fil est place
selon I’axe de Ia grille qui est cylindrique. Le filament est exte-
cathode mounted outside the grid.
rieur a Ia grille.
3.4.3.3.4 modulator gauge : A hot cathode ionization manometre a modulateur (m) : Manometre a cathode
gauge of the Bayard-Alpert type fitted with a modulator elec- chaude du type Bayard-Alpert comportant une electrode de
trode in which the effect of residual currents (including any modulation qui permet d’estimer Ia Valeur des courants resi-
X-ray currents) may be estimated by measuring the effect on duels parasites (y compris Ia limite due aux rayons X) en mesu-
the ion collector current when the potential applied to the rant Ia Variation du courant d’ions qui correspond a une varia-
modulator is varied. tion de potentiel du modulateur.
3.4.3.3.5 suppressor gauge : A hot cathode ionization manometre a suppresseur (m) : Manometre a cathode
chaude dans lequel on abaisse Ia limite due aux rayons X par
gauge in which the X-ray limit is reduced by mounting a sup-
pressor electrode in the vicinity of the ion collector so that any I’emploi d’une electrode auxiliaire placee au voisinage du collec-
secondary electrons emitted at the ion collector are teur d’ions de teile facon que les electrons secondaires emis par
returned to it. ce dernier y retournent.
3.4.3.3.6 extractor gauge : A hot cathode ionization gauge manometre a extracteur (m) : Manometre 6 cathode chaude
in which the X-ray limit is reduced by using a short thin wire as dans lequel on abaisse Ia limite due aux rayons X par I’emploi
ion collector, axially located outside the cylindrical grid within a d’un collecteur d’ions constitue par un mince fil tourt, situe sui-
vant I’axe de Ia grille cylindrique, mais a I’exterieur de celle-ci, et
shield, thus extracting ions from the ionization region.
entoure d’un ecran qui extrait ainsi les ions de I’espace d’ionisa-
tion.
3.4.3.3.7 orbitron gauge : A hot cathode ionization gauge in manometre orbitron (m) : Manometre a cathode chaude
dans lequel les electrons sont astreints a parcourir des trajectoi-
which electrons are injected so that they are made to Orbit in
long paths, so increasing the number of ions produced per elec- res tres longues, ce qui augmente Ie nombre d’ions produits par
electron. A cet effet, les electrons sont injectes dans Ie champ
tron. Injection takes place in a electrostatic field between a
cylindrical ion collector and a coaxial thin wire. Low electron electrostatique produit par un collecteur d’ions cylindrique et
currents reduce the effects of X-rays and desorbed ions. un fil mince coaxial. Les faibles courants d’electrons utilises
permettent de reduire Ia limite due aux rayons X et les effets de
desorption.
3.4.3.3.8 twin-wire oscillator gauge : An ionization gauge manometre a electrons oscillants Im) : Manometre a ionisa-
tion dans lequel les electrons emis effectuent un grand nombre
in which emitted electrons follow a long oscillatory path, so in-
creasing the number of ions produced, between two positively d’oscillations entre deux fils charges positivement, situes a
charged parallel wires enclosed in a coaxial cylindrical ion col- I’interieur d’un cylindre parallelement a son axe, ce qui aug-
Iector. mente Ie nombre d’ions produits. Le cylindre sert de collecteur
d’ions.
manometre magnetron a cathode chaude (m) : Manome-
3.4.3.3.9 hot cathode magnetron gauge : A hot cathode
ionization gauge, resembling a simple cylindrical magnetron tre a cathode chaude, qui ressemble a un simple magnetron
cylin
...