ISO 18117:2009
(Main)Surface chemical analysis — Handling of specimens prior to analysis
Surface chemical analysis — Handling of specimens prior to analysis
ISO 18117:2009 gives guidance on the handling of and the containers for specimens submitted for surface chemical analysis. It is intended for the user of surface analysis services as an aid in understanding the special sample handling requirements of surface chemical analysis techniques, particularly the following: Auger electron spectroscopy (AES), secondary-ion mass spectrometry (SIMS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS or ESCA). The protocols presented may also be applicable to other analytical techniques, such as TXRF, that are sensitive to surface composition. In particular instances, with particular specimens, further precautions may be necessary.
Analyse chimique des surfaces — Manipulation des échantillons avant analyse
L'ISO 18117:2009 fournit des lignes directrices relatives à la manipulation et aux récipients de stockage des échantillons avant l'analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à aider l'utilisateur des services d'analyse des surfaces à comprendre les exigences de manipulation spéciales des techniques d'analyse chimique des surfaces, en particulier les suivantes: la spectroscopie des électrons Auger (AES), la spectroscopie de masse des ions secondaires (SIMS) et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X (XPS ou ESCA). Les protocoles présentés peuvent également être appliquée à d'autres techniques d'analyse (TXRF, par exemple) sensibles à la composition des surfaces. Dans certains cas, pour des échantillons spécifiques, des précautions supplémentaires peuvent être requises.
General Information
Relations
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 18117
First edition
2009-03-15
Corrected version
2009-06-01
Surface chemical analysis — Handling
of specimens prior to analysis
Analyse chimique des surfaces — Manipulation des échantillons
avant analyse
Reference number
©
ISO 2009
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Published in Switzerland
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Contents Page
Foreword. iv
Introduction . v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions. 1
4 Symbols and abbreviated terms . 1
5 Explanation of the structure of this International Standard. 1
6 General requirements and classes of specimen . 2
7 Specimen influences . 4
7.1 Specimen information needed by analyst.4
7.2 History. 4
7.3 Specimens previously examined by other analytical techniques . 4
7.4 Identification of specimens . 5
7.5 Precautions . 5
8 Sources of specimen contamination in handling. 5
9 Specimen storage and transfer . 6
9.1 Storage. 6
9.1.1 Time. 6
9.1.2 Containers . 6
9.1.3 Temperature and humidity. 6
9.2 Descriptive list of containers. 7
10 Information on specimen history. 8
11 Education of specimen owner on appropriate specimen handling procedures. 8
Bibliography . 9
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 18117 was prepared by Technical Committee ISO/TC 201, Surface chemical analysis, Subcommittee
SC 2, General procedures.
This corrected version of ISO 18117:2009 incorporates the following corrections:
⎯ an additional paragraph has been inserted at the beginning of Clause 5;
⎯ subclause 6.6 has been divided into two subclauses, 6.6 and 6.7, and the subsequent subclause
numbering (and the cross-references elsewhere in the text to the subclauses concerned) corrected
accordingly;
⎯ it has been made clear in Table 1 and 9.2 that the PTFE tape used must be fresh;
⎯ a small number of minor editorial changes have been made.
iv © ISO 2009 – All rights reserved
Introduction
This International Standard instructs those who wish to submit specimens for surface chemical analysis in the
handling and delivery of the specimens to the analyst. Although primarily written for auger electron
spectroscopy (AES), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and secondary-ion mass spectrometry (SIMS),
these methods can also be applied to other surface-sensitive analytical measurements. AES, XPS and SIMS
are sensitive to surface layers that are typically a few nanometres (nm) thick. Such thin layers can be subject
[1, 2]
to severe perturbations from improper specimen handling . Proper handling and preparation of specimens
is particularly critical for analysis. Improper handling of specimens can result in alteration of the surface
composition and unreliable data.
This International Standard is intended for the specimen owner or the purchaser of surface analytical services
and for the surface analyst. The optimum handling procedures are dependent on the particular specimen and
the needed information, and this document provides illustrative examples for each specimen type that a
specimen owner and surface analyst will typically encounter. It is recommended that the specimen supplier
consult the surface analyst as soon as possible with regard to specimen history, the specific problem to be
solved or information needed, and any particular specimen preparation, handling or shipping procedures
required.
This International Standard is based on ASTM E 1829-02, Standard Guide for Handling Specimens Prior to
Surface Analysis, copyright ASTM, used with permission of ASTM.
[4]
This International Standard can be used independently of ISO 18116 , which gives guidance to the analyst
for specimen preparation and mounting for surface analysis.
INTERNATIONAL STANDARD ISO 18117:2009(E)
Surface chemical analysis — Handling of specimens prior
to analysis
1 Scope
This International Standard gives guidance on the handling of and the containers for specimens submitted for
surface chemical analysis. It is intended for the user of surface analysis services as an aid in understanding
the special sample handling requirements of surface chemical analysis techniques, particularly the following:
Auger electron spectroscopy (AES), secondary-ion mass spectrometry (SIMS) and X-ray photoelectron
spectroscopy (XPS or ESCA). The protocols presented may also be applicable to other analytical techniques,
such as TXRF, that are sensitive to surface composition. In particular instances, with particular specimens,
further precautions may be necessary.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 18115, Surface chemical analysis — Vocabulary
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 18115 apply.
4 Symbols and abbreviated terms
AES Auger electron spectroscopy
AFM atomic force microscopy
ESCA electron spectroscopy for chemical analysis
PTFE polytetrafluoroethylene
SEM scanning electron microscopy
SIMS secondary-ion mass spectrometry
TXRF total reflection X-ray fluorescence spectroscopy
XPS X-ray photoelectron spectroscopy
5 Explanation of the structure of this International Standard
Clause 6 provides the specimen owner with general guidance for minimizing specimen surface contamination
during specimen handling and transport. In addition, specimen types are grouped into categories according to
the depth (analysis location), relative to the specimen surface, from which the analytical information is being
sought. Thus increasing cleanliness in specimen handling and transport is required as the analysis location
approaches the top monolayer of the specimen surface. Table 1 then specifies, for each specimen category,
the handling procedures and specimen containers necessary to minimize contamination and give optimum
quality of analysis. Table 1 refers to more detailed descriptions found in subsequent clauses of this
International Standard.
Clause 7 discusses additional considerations, such as specimen history and previous analyses of the
specimen, that affect the composition of the surface. Documentation of these influences should accompany
the carefully handled and packaged specimen when submitted for analysis. Clause 8 provides specific
recommendations on specimen handling procedures necessary to minimize contamination of the specimen
surface. Moreover, Clause 8 gives a series of alternative specimen handling procedures based on maintaining
increasing degrees of specimen cleanliness during handling and transfer of the specimen to storage
containers. Clause 9 describes different specimen containers that may be used in different conditions.
Clause 9 also discusses specimen storage with respect to time, humidity, and temperature. Clause 10 and
Clause 11 emphasize that specimen handling has an effect on the information derived from surface analytical
measurements, and that specimen owners as well as analysts will benefit from improved analyses when
prescribed specimen handling protocols are followed.
6 General requirements and classes of specimen
6.1 The degree of cleanliness required by surface-sensitive analytical techniques is much greater than for
many other forms of analysis.
6.2 Specimens shall never be in contact with the bare hand. Contact of the surface area to be analysed
with handling tools or other equipment shall be eliminated or minimized whenever possible.
6.3 Specimens shall be transported to the analyst in a container that does not come into direct contact with
the surface of interest.
6.4 In many cases, the analysis will be performed on the “as received” specimen; surface contamination or
atmospheric adsorbates are not then usually removed because they are the item of interest. Care shall be
taken in the handling of these specimens to ensure that nothing, apart from air or clean inert gases, comes in
contact with the surface to be investigated. In particular, avoid contacting the specimen surface with solvents
or cleaning solutions, gases such as compressed air or solvent vapours, metals, tissue or other wrapping
materials, tape, cloth, tools, packing materials, or the walls of containers. In cases where these precautions
are not feasible due to the size of the specimen, some alternative specimen handling and transporting
methods are presented in 9.2 i), 9.2 j), and 9.2 k).
6.5 In some cases, it may be necessary to take a representative sample from the specimen. Selection of a
smaller sample from a larger specimen should be done after considering the information being sought
because inhomogeneities are often present. It is recommended that this choice be made in consultation with
an experienced analyst. Specific care should be taken to avoid contaminating the surface of interest during
the cutting procedure (see ISO 18116).
6.6 Special caution shall be exercised with specimens containing potential toxins or other hazardous
materials. Whenever possible, chemical hazard data sheets should be supplied with the specimen.
6.7 The severity of the requirement for careful handling varies dramatically with the condition of the surface,
the depth from the surface of the information being sought, and the detection level required for the material
being analysed. The following list arranges specimens by their decreasing sensitivity to handling. This list is
partly recreated in columns 1, 2 and 3 of Table 1.
a) Reactive specimens where the reactive surface is to be analysed.
b) Specimens with hydrocarbons, molecular films, or biomaterials on the surface that are the object of
analysis.
c) Specimens with a contamination layer that is the object of analysis.
2 © ISO 2009 – All rights reserved
d) Specimens that have been exposed to the atmosphere and that are to be analysed “as received”.
e) Specimens with atmospheric adsorbates that may interfere with analysis.
f) Specimens with a contamination layer (or other topmost layer) that is of no interest and that will be
removed just prior to insertion in the analytical chamber (e.g. treatment by solutions, abrasion, plasma,
exposure to radiation, etc.).
g) Specimens with a contamination layer (or other topmost layer) that is of no interest and that will be
removed in the analytical chamber.
h) Thin films that will be delaminated by the analyst prior to insertion into the analysis chamber.
i) Specimens that will be fractured or freshly prepared outside the analysis chamber, including materials
prepared in a controlled atmosphere.
j) Uniform thin films that are to be removed by ion etching or scraping in the analysis chamber to expose a
layer or interface of interest.
k) Samples that will be fractured in situ.
l) Bulk materials where the information sought is on bulk properties.
6.8 Information sought
6.8.1 Surface chemical analysis can be performed on a wide range of specimens and can be used to obtain
very different types of information about surfaces or interfaces. The degree of care that shall be taken
depends upon the type of analysis that is required and the nature of the problem. The information being
sought usually falls into three general categories, requiring different types of specimen:
⎯ type A: information requiring integrity of the outermost surface;
⎯ type B: information as a function of depth (depth profile) or at a buried interface; and
⎯ type C: information that will require subsequent specimen preparation by the analyst.
6.8.2 Type A specimens include those to be investigated for surface contamination, surface organic
coatings, biomaterials-except live organism (cells, bacteria, etc.), surface stains, semiconductors, adhesion
failures, etc. This category requires the most care in preparation and packaging. Nothing shall be allowed to
contact the surface of interest. If certain elements are to be analysed at low levels, ensure that, as far as
possible, those elements are not contained in any handling tools, gloves or container materials. Type A
specimens fall in the first two rows in Table 1.
6.8.3 Type B specimens include thos
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 18117
Première édition
2009-03-15
Version corrigée
2009-06-01
Analyse chimique des surfaces —
Manipulation des échantillons avant
analyse
Surface chemical analysis — Handling of specimens prior to analysis
Numéro de référence
©
ISO 2009
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Publié en Suisse
ii © ISO 2009 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos. iv
Introduction . v
1 Domaine d'application. 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions. 1
4 Symboles et abréviations . 1
5 Explication de la structure de la présente Norme internationale . 2
6 Exigences générales et classes d'échantillons. 2
7 Facteurs ayant une influence sur les échantillons . 5
7.1 Informations relatives à l'échantillon nécessaires à l'analyste . 5
7.2 Historique . 5
7.3 Échantillons précédemment examinés par d'autres techniques analytiques. 5
7.4 Identification des échantillons . 5
7.5 Précautions . 5
8 Sources de contamination des échantillons lors de la manipulation . 5
9 Stockage et transfert de l'échantillon. 7
9.1 Stockage . 7
9.1.1 Durée. 7
9.1.2 Récipients. 7
9.1.3 Température et humidité. 7
9.2 Liste descriptive des récipients . 7
10 Informations sur l'historique de l'échantillon. 8
11 Formation du propriétaire de l'échantillon sur les procédures adaptées pour manipuler
l'échantillon . 8
Bibliographie . 9
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 18117 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 201, Analyse chimique des surfaces, sous-comité
SC 2, Procédures générales.
La présente version corrigée de l'ISO 18117:2009 inclut les corrections suivantes:
⎯ un alinéa supplémentaire a été ajouté au début de l'Article 5;
⎯ le paragraphe 6.6 a été divisé en deux paragraphes, 6.6 et 6.7, et les paragraphes suivants ont été
renumérotés en conséquence (de même que les références croisées aux paragraphes concernés ailleurs
dans le texte);
⎯ il a été précisé dans le Tableau 1 et en 9.2 que la bande de PTFE utilisée doit être neuve;
⎯ un petit nombre de modifications rédactionnelles mineures ont été apportées.
iv © ISO 2009 – Tous droits réservés
Introduction
La présente Norme internationale fournit des instructions pour la manipulation et l’expédition à un analyste
d’échantillons destinés à être soumis ensuite à une analyse chimique de surface. Bien qu'initialement
conçues pour la spectroscopie des électrons Auger (AES), la spectroscopie de photoélectrons par rayons
(XPS) et la spectroscopie de masse des ions secondaires (SIMS), ces méthodes sont également applicables
à d'autres mesures analytiques sensibles aux surfaces. Les spectroscopies AES, XPS et SIMS sont sensibles
à des couches de surface qui ont généralement une épaisseur de quelques nanomètres (nm). Ces couches
minces peuvent être sujettes à de sévères perturbations dues à une mauvaise manipulation de
[1], [2]
l'échantillon . Une manipulation et une préparation correctes des échantillons sont particulièrement
critiques pour l'analyse, sous peine d'entraîner une altération de la composition de surface et des données
non fiables.
La présente Norme internationale s'adresse aussi bien au propriétaire de l'échantillon qu'à l'acheteur de
services d'analyse ou à l'analyste des surfaces. Les procédures de manipulation optimale dépendent de
l'échantillon en question et des informations requises, et le présent document donne des exemples
représentatifs de chaque type d'échantillon qu'un propriétaire et un analyste seront généralement amenés à
rencontrer. Il est recommandé au fournisseur d’échantillon de contacter l'analyste dès que possible afin de lui
communiquer les données historiques de l'échantillon, le problème spécifique à résoudre ou les informations
requises, ainsi que pour connaître les procédures éventuellement exigées pour la préparation, la manipulation
ou le transport de l'échantillon.
La présente Norme internationale est basée sur la norme ASTM E1829-02, Standard Guide for Handling
Specimens Prior to Surface Analysis, copyright ASTM, utilisée avec l'autorisation de l'ASTM.
[4]
La présente Norme internationale peut être utilisée indépendamment de l'ISO 18116 , qui fournit à l'analyste
des lignes directrices pour la préparation et le montage des échantillons destinés à l'analyse des surfaces.
NORME INTERNATIONALE ISO 18117:2009(F)
Analyse chimique des surfaces — Manipulation
des échantillons avant analyse
1 Domaine d'application
La présente Norme internationale fournit des lignes directrices relatives à la manipulation et aux récipients de
stockage des échantillons avant l'analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à aider l'utilisateur des
services d'analyse des surfaces à comprendre les exigences de manipulation spéciales des techniques
d'analyse chimique des surfaces, en particulier les suivantes: la spectroscopie des électrons Auger (AES), la
spectroscopie de masse des ions secondaires (SIMS) et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X
(XPS ou ESCA). Les protocoles présentés peuvent également être appliqués à d'autres techniques d'analyse
(TXRF, par exemple) sensibles à la composition des surfaces. Dans certains cas, pour des échantillons
spécifiques, des précautions supplémentaires peuvent être requises.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l'application du présent document. Pour les
références datées, seule l'édition citée s'applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s'applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 18115, Analyse chimique des surfaces — Vocabulaire
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l'ISO 18115 s'appliquent.
4 Symboles et abréviations
AES spectroscopie des électrons Auger
AFM microscopie à force atomique
ESCA spectroscopie d'électrons pour analyse chimique
PTFE polytétrafluoroéthylène
MEB microscopie électronique à balayage
SIMS spectrométrie de masse des ions secondaires
TXRF spectroscopie de fluorescence X à réflexion totale
XPS spectroscopie de photoélectrons par rayons X
5 Explication de la structure de la présente Norme internationale
L'Article 6 fournit au propriétaire de l'échantillon des lignes directrices générales visant à minimiser la
contamination de la surface de l'échantillon au cours de sa manipulation et de son transport. De plus, les
types d'échantillons sont regroupés par catégories en fonction de la profondeur (zone d'analyse), par rapport
à la surface de l'échantillon, à partir de laquelle les informations d'analyse sont demandées. Ainsi, une
propreté accrue dans la manipulation et le transport de l'échantillon est requise lorsque la zone d'analyse
approche la monocouche supérieure de la surface de l'échantillon. Le Tableau 1 spécifie ainsi, pour chaque
catégorie d'échantillon, les méthodes de manipulation ainsi que les récipients d'échantillon nécessaires pour
minimiser la contamination et pour fournir une qualité d'analyse optimale. Le Tableau 1 fait référence à des
descriptions plus détaillées qui se trouvent dans des paragraphes suivants de la présente Norme
internationale.
L'Article 7 expose les facteurs ayant un impact sur la composition de la surface, tels que l’historique et les
analyses antérieures de l'échantillon, et dont il faut également tenir compte. Il convient de joindre la
documentation relative à ces facteurs à l'échantillon soigneusement manipulé et emballé avant d'être soumis
à analyse. L'Article 8 fournit des recommandations spécifiques concernant les procédures de manipulation qui
permettent de minimiser la contamination de la surface de l'échantillon. Il fournit également une série de
procédures complémentaires fondés sur le maintien de niveaux de propreté croissants pendant la
manipulation et le transfert des échantillons dans les récipients de stockage. L'Article 9 décrit différents
récipients pour échantillon qui peuvent être utilisés dans différentes conditions, ainsi que les conditions de
stockage de l'échantillon en fonction du temps, de l'humidité et de la température. Les Articles 10 et 11
soulignent que la manipulation des échantillons a un impact sur les informations obtenues à partir des
mesures analytiques de surface, et que les propriétaires d’échantillons et les analystes auront tout intérêt à
améliorer les conditions d'analyse en appliquant les protocoles de manipulation prescrits.
6 Exigences générales et classes d'échantillons
6.1 Le degré de propreté exigé par les techniques analytiques sensibles à la surface est nettement plus
élevé que pour de nombreuses autres formes d'analyse.
6.2 Les échantillons ne doivent jamais entrer en contact avec la main nue. Tout contact entre la surface à
analyser et les outils de manipulation ou d’autres équipements doit être éliminé ou minimisé dans la mesure
du possible.
6.3 Les échantillons doivent être transportés jusqu'à l'analyste dans un récipient qui n'entre pas
directement en contact avec la surface à étudier.
6.4 L'analyse sera souvent réalisée sur l'échantillon tel quel; la contamination de surface ou les adsorbats
atmosphériques sont généralement laissés car ils constituent l'objet de l'étude. Des précautions doivent être
prises lors de la manipulation de ces échantillons afin de s'assurer qu'aucun élément, hormis l'air ou des gaz
inertes propres, ne vienne en contact avec la surface à examiner. Il faut en particulier éviter tout contact entre
la surface de l'échantillon et les solvants ou les solutions de nettoyage, les gaz (air comprimé ou vapeurs de
solvant, par exemple), les métaux, les tissus ou autres matériaux d'emballage, les bandes, les vêtements, les
outils, les matériaux de rembourrage ou les parois des récipients. Si ces précautions sont impossibles à
respecter en raison de la taille de l'échantillon, d’autres méthodes pour la manipulation et le transport des
échantillons sont exposées en 9.2 i), 9.2 j) et 9.2 k).
6.5 Il peut parfois être nécessaire de prélever un sous-échantillon représentatif de l'échantillon initial. Il
convient de procéder à la sélection d'un plus petit échantillon à partir d'un échantillon plus grand en prenant
en compte les informations recherchées car il existe souvent des inhomogénéités. Il est recommandé
d'effectuer ce choix en concertation avec un analyste expérimenté. Pendant la procédure de coupe, il
convient d'apporter un soin particulier afin d'éviter toute contamination de la surface à examiner
(voir l'ISO 18116).
6.6 Une attention toute particulière doit être accordée aux échantillons contenant des toxines potentielles
ou d'autres substances dangereuses. Dans la mesure du possible, il convient de joindre à l'échantillon des
fiches de données sur les risques chimiques encourus.
2 © ISO 2009 – Tous droits réservés
6.7 La sévérité de l'exigence d'une manipulation soigneuse varie considérablement en fonction de l'état de
la surface, de la profondeur à laquelle se trouve l'information à rechercher par rapport à la surface et du
niveau de détection exigé pour le matériau en cours d'analyse. La liste suivante classe les échantillons par
ordre décroissant de sensibilité à la manipulation. Cette liste est partiellement reproduite dans les colonnes 1,
2 et 3 du Tableau 1.
a) Échantillons réactifs à l'endroit où la surface réactive est à analyser.
b) Échantillons dont la surface contient des hydrocarbures, des films moléculaires ou des biomatériaux qui
font l'objet de l'analyse.
c) Échantillons avec une couche de contamination qui fait l'objet de l'analyse.
d) Échantillons ayant été exposés à l'atmosphère et à analyser tels quels.
e) Échantillons contenant des adsorbats atmosphériques susceptibles d'interférer avec l'analyse.
f) Échantillons avec une couche de contamination (ou autre couche la plus externe) sans intérêt et qui sera
éliminée juste avant l'introduction dans la chambre d'analyse (par exemple traitement par solutions,
abrasion, plasma, exposition à un rayonnement, etc.).
g) Échantillons avec une couche de contamination (ou autre couche la plus externe) sans intérêt et qui sera
éliminée dans la chambre d'analyse.
h) Films minces qui seront déstratifiés par l'analyste avant l'introduction dans la chambre d'analyse.
i) Échantillons qui seront fracturés ou préparés à l'extérieur de la chambre d'analyse, y compris les
matériaux préparés sous atmosphère contrôlée.
j) Films minces uniformes à éliminer par décapage ionique ou par grattage dans la chambre d'analyse afin
d'exposer une couche ou une interface présentant un intérêt.
k) Échantillons qui seront fracturés in situ.
l) Matériaux massifs dans lesquels l'information recherchée concerne des propriétés de volume.
6.8 Information recherchée
6.8.1 Une analyse chimique des surfaces peut être réalisée sur une large gamme d'échantillons et peut
servir à obtenir des types d'information très variés sur les surfaces ou les interfaces. Le niveau des
précautions qui doivent être prises dépend du type d'analyse exigé et de la nature du problème. L'information
recherchée peut habituellement être classée dans l'une des trois catégories générales suivantes nécessitant
différents types d'échantillons:
⎯ type A: information nécessitant l'intégrité de la surface la plus externe;
⎯ type B: information dépendant de la profondeur (profil en profondeur) ou relative à une interface enterrée;
et
⎯ type C: information nécessitant une préparation ultérieure de l'échantillon par l'analyste.
6.8.2 Les échantillons de type A comprennent les échantillons à examiner concernant la présence d'une
contamination de surface, de revêtements organiques de surface, de biomatériaux — sauf les organismes
vivants (cellules, bactéries, etc.), de taches de surface, de semi-conducteurs, de défauts d'adhérence, etc.
Cette catégorie exige le plus grand soin en termes de préparation et d'emballage. Aucun élément ne doit
entrer en contact avec la surface à analyser. Si certains éléments sont destinés à être analysés à des faibles
niveaux, il faut s'assurer, dans la mesure du possible, que ces éléments ne sont contenus dans aucun outil de
manipulation, gant ou matériau du récipient. Les échantillons de type A apparaissent sur les deux premières
lignes du Tableau 1.
6.8.3 Les échantillons de type B comprennent les échantillons dont l'examen porte sur des films minces et
épais, des couches individuelles ou multiples, des couches de contact métalliques sur des semi-conducteurs,
des revêtements, des profils de dopage, ainsi que sur des propriétés chimiques et physiques au niveau d'une
interface. Pour cette catégorie, les exigences relatives à l'emballage ne sont pas strictes, bien qu'il convienne
de veiller à
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