ISO 14644-1:1999
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 1: Classification de la propreté de l'air
La présente partie de l'ISO 14644 comprend la classification de la propreté de l'air des salles propres et environnements maîtrisés apparentés exclusivement en termes de concentration des particules en suspension dans l'air. Pour l'application de cette classification, on ne considère que les populations de particules présentant une distribution cumulée dont le seuil inférieur de sensibilité se situe dans l'étendue granulométrique de 0,1 µm à 5 µm. La présente partie de l'ISO 14644 ne donne pas la classification des populations de particules sortant de l'étendue granulométrique de référence de 0,1 µm à 5 µm. Les concentrations de particules ultrafines (plus petites que 0,1 µm) et de macroparticules (plus grandes que 5 µm) peuvent être utilisées pour quantifier ces populations en terme de descripteurs U et M. La présente partie de l'ISO 14644 n'est pas applicable pour caractériser la nature physique, chimique, radiologique ou viable des particules en suspension dans l'air. NOTE La distribution granulométrique réelle de particules par taille à l'intérieur de l'étendue de référence n'est pas habituellement prévisible et est typiquement variable avec le temps.
General Information
Relations
Buy Standard
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-1
First edition
1999-05-01
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 1:
Classification of air cleanliness
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 1: Classification de la propreté de l'air
A
Reference number
ISO 14644-1:1999(E)
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
Contents
Page
Foreword . iii
Introduction . iv
1 Scope . 1
2 Definitions . 1
3 Classification . 3
4 Demonstration of compliance . 4
Annexes
Annex A (informative) Graphical illustration of the classes of Table 1 . 5
Annex B (normative) Determination of particulate cleanliness classification
using a discrete-particle-counting, light-scattering instrument. 6
Annex C (normative) Statistical treatment of particle concentration data . 9
Annex D (informative) Worked examples of classification calculations . 10
Annex E (informative) Considerations for the counting and sizing of particles
outside the size range applicable for classification . 13
Annex F (informative) Sequential sampling procedure . 15
Bibliography . 18
Figures
Figure A.1 Graphical representation of ISO-class concentration limits
for selected ISO classes . 5
Figure F.1 Boundaries for pass or fail by the sequential sampling
procedure . 15
Tables
Table 1 Selected airborne particulate cleanliness classes for
cleanrooms and clean zones . 3
Table C.1 Student’s t distribution for the 95% upper confidence limit . 9
Table F.1 Upper and lower limits for time at which C observed counts
should arrive . 16
© ISO 1999
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized in any form or by any means, electronic
or mechanical, including photocopying and microfilm, without permission in writing from the publisher.
International Organization for Standardization
Case Postale 56 CH-1211 Genève 20 Switzerland
Internet iso@iso.ch
Printed in Switzerland
ii
---------------------- Page: 2 ----------------------
© ISO ISO 14644-1:1999(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of
national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International
Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body
interested in a subject for which a technical committee has been established has the right
to be represented on that committee. International organizations, governmental and
nongovernmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely
with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical
standardization.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to the
member bodies for voting. Publication as an International Standard requires approval by
at least 75% of the member bodies casting a vote.
International Standard ISO 14644-1 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209,
Cleanrooms and associated controlled environments.
ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and
associated controlled environments:
— Part 1: Classification of air cleanliness
— Part 2:Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance
with ISO 14644-1
— Part 3: Metrology and test methods
— Part 4: Design, construction and start-up
— Part 5: Operations
— Part 6: Terms and definitions
— Part 7: Enhanced clean devices
Users should note that the titles listed for parts 2 to 7 are working titles at the time of the
release of part 1. In the event that one or more of these parts are deleted from the work
programme, the remaining parts may be renumbered.
Annexes B and C form an integral part of this part of ISO 14644. Annexes A, D, E, and F
are for information only.
iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
Introduction
Cleanrooms and associated controlled environments provide for the control of airborne
particulate contamination to levels appropriate for accomplishing contamination-sensitive
activities. Products and processes that benefit from the control of airborne contamination
include those in such industries as aerospace, microelectronics, pharmaceuticals, medical
devices, food, and healthcare.
This part of ISO 14644 assigns ISO classification levels to be used for the specification of
air cleanliness in cleanrooms and associated controlled environments. It also prescribes the
standard method of testing as well as the procedure for determining the concentration of
airborne particles.
For classification purposes, this part of ISO 14644 is limited to a designated range of
considered particle sizes for determination of particle concentration limits. This part of ISO
14644 also provides standard protocols for the determination and designation of cleanli-
ness levels that are based on airborne concentrations of particles smaller or larger than the
size range designated for classification.
This part of ISO 14644 is one of a series of standards concerned with cleanrooms and
contamination control. Many factors besides airborne particulate cleanliness must be
considered in the design, specification, operation, and control of cleanrooms and other
controlled environments. These are covered in some detail in other parts of the International
Standards prepared by ISO/TC 209.
In some circumstances, relevant regulatory agencies may impose supplementary policies
or restrictions. In such situations, appropriate adaptations of the standard testing proce-
dures may be required.
iv
---------------------- Page: 4 ----------------------
INTERNATIONAL STANDARD © ISO ISO 14644-1:1999(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 1:
Classification of air cleanliness
cles inside the room, and in which other relevant parameters,
1 Scope
e.g. temperature, humidity, and pressure, are controlled as
This part of ISO 14644 covers the classification of air cleanli-
necessary
ness in cleanrooms and associated controlled environments
2.1.2
exclusively in terms of concentration of airborne particles.
Only particle populations having cumulative distributions based
clean zone
on threshold (lower limit) sizes ranging from 0,1 µm to 5 µm are
dedicated space in which the concentration of airborne parti-
considered for classification purposes.
cles is controlled, and which is constructed and used in a
manner to minimize the introduction, generation, and retention
This part of ISO 14644 does not provide for classification of
of particles inside the zone, and in which other relevant
particle populations that are outside of the specified particle
parameters, e.g. temperature, humidity, and pressure, are
size range, 0,1 µm to 5 µm. Concentrations of ultrafine particles
controlled as necessary
(particles smaller than 0,1 µm) and macroparticles (particles
larger than 5 µm) may be used to quantify these populations in
NOTE This zone may be open or enclosed and may or may not be
terms of U descriptors and M descriptors, respectively.
located within a cleanroom.
This part of ISO 14644 cannot be used to characterize the
2.1.3
physical, chemical, radiological, or viable nature of airborne
installation
particles.
cleanroom or one or more clean zones, together with all
NOTE The actual distribution of particle concentrations within incre-
associated structures, air-treatment systems, services, and
mental size ranges normally is not predictable and typically is variable
utilities
over time.
2.1.4
classification
level (or the process of specifying or determining the level) of
2 Definitions
airborne particulate cleanliness applicable to a cleanroom or
For the purposes of this part of ISO 14644, the following clean zone, expressed in terms of an ISO Class N, which
definitions apply.
represents maximum allowable concentrations (in particles
per cubic metre of air) for considered sizes of particles
NOTE 1 The concentrations are determined by using equation (1)
2.1 General
in 3.2.
2.1.1
NOTE 2 Classification in accordance with this International Stan-
cleanroom
dard is limited to the range extending from ISO Class 1 through ISO
room in which the concentration of airborne particles is con-
Class 9.
trolled, and which is constructed and used in a manner to
NOTE 3 The considered particle sizes (lower threshold values)
minimize the introduction, generation, and retention of parti-
applicable for classification in accordance with this International
1
---------------------- Page: 5 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
Standard are limited to the range from 0,1 µm through 5 µm. Air
2.3 Descriptors
cleanliness may be described and specified (but not classified) in
2.3.1
terms of U descriptors or M descriptors (see 2.3.1 or 2.3.2) for
considered threshold particle sizes that are outside of the range
U descriptor
covered by classification.
measured or specified concentration, of particles per cubic
metre of air, including the ultrafine particles
NOTE 4 Intermediate ISO classification numbers may be speci-
fied, with 0,1 the smallest permitted increment; i.e., the range of
NOTE The U descriptor may be regarded as an upper limit for the
intermediate ISO classes extends from ISO Class 1,1 through ISO
averages at sampling locations (or as an upper confidence limit,
Class 8,9.
depending upon the number of sampling locations used to character-
ize the cleanroom or clean zone). U descriptors cannot be used to
NOTE 5 Classification may be specified or accomplished in any of
define airborne particulate cleanliness classes, but they may be
three occupancy states (see 2.4).
quoted independently or in conjunction with airborne particulate
cleanliness classes.
2.2 Airborne particles
2.3.2
2.2.1
M descriptor
particle
measured or specified concentration of macroparticles per
solid or liquid object which, for purposes of classification of air
cubic metre of air, expressed in terms of the equivalent
cleanliness, falls within a cumulative distribution that is based
diameter that is characteristic of the measurement method
upon a threshold (lower limit) size in the range from 0,1 µm to
used
5 µm
NOTE The M descriptor may be regarded as an upper limit for the
2.2.2 averages at sampling locations (or as an upper confidence limit,
depending upon the number of sampling locations used to character-
particle size
ize the cleanroom or clean zone). M descriptors cannot be used to
diameter of a sphere that produces a response, by a given
define airborne particulate cleanliness classes, but they may be
particle-sizing instrument, that is equivalent to the response
quoted independently or in conjunction with airborne particulate
produced by the particle being measured
cleanliness classes.
NOTE For discrete-particle-counting, light-scattering instruments,
the equivalent optical diameter is used.
2.4 Occupancy states
2.2.3
2.4.1
particle concentration
as-built
number of individual particles per unit volume of air
condition where the installation is complete with all services
connected and functioning but with no production equipment,
2.2.4
materials, or personnel present
particle size distribution
cumulative distribution of particle concentration as a function of
2.4.2
particle size
at-rest
condition where the installation is complete with equipment
2.2.5
installed and operating in a manner agreed upon by the
ultrafine particle
customer and supplier, but with no personnel present
particle with an equivalent diameter less than 0,1 µm
2.4.3
2.2.6
operational
macroparticle
condition where the installation is functioning in the specified
particle with an equivalent diameter greater than 5 µm
manner, with the specified number of personnel present and
working in the manner agreed upon
2.2.7
fibre
particle having an aspect (length-to-width) ratio of 10 or more
2
---------------------- Page: 6 ----------------------
© ISO ISO 14644-1:1999(E)
Table 1 — Selected airborne particulate cleanliness classes for cleanrooms and clean zones
3
Maximum concentration limits (particles/m of air) for particles equal to and larger
ISO
than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in
classification
accordance with equation (1) in 3.2)
number (N)
0,1 µm20, µm30, µm50, µm1 µm5 µm
I0SO Class 1 12
I0SO Class 2 140 2014
I0SO Class 3 1700 223 150 38
I0SO Class 4100 00 2037 1202 335 8
I0SO Class 51000 00203 70100 20 3252 893 2
I0SO Class 610000 002037 001002 00305 20 8332 29
I0SO Class 7 3052 00803 20 2 93
I0SO Class 8 30520 008032 00 29 30
I0SO Class 9 305 200 0080320 00 293 00
NOTE Uncertainties related to the measurement process require that concentration data with no more
than three significant figures be used in determining the classification level
2.5 Roles 3.2 Classification number
Airborne particulate cleanliness shall be designated by a
2.5.1
classification number, N. The maximum permitted concentra-
customer
tion of particles, C , for each considered particle size, D, is
n
organization, or the agent thereof, responsible for specifying
determined from the equation:
the requirements of a cleanroom or clean zone
20, 8
01,
N ⎛ ⎞
2.5.2
C=×10
⎜ ⎟
n (1)
D
⎝ ⎠
supplier
organization engaged to satisfy the specified requirements of
where
a cleanroom or clean zone
C is the maximum permitted concentration (in parti-
n
cles per cubic metre of air) of airborne particles that
are equal to or larger than the considered particle
size. C is rounded to the nearest whole number,
n
3 Classification
using no more than three significant figures.
N is the ISO classification number, which shall not
3.1 Occupancy state(s)
exceed a value of 9. Intermediate ISO classification
numbers may be specified, with 0,1 the smallest
The particulate cleanliness of air in a cleanroom or clean zone
permitted increment of N.
shall be defined in one or more of three occupancy states, viz.
“as-built”, “at-rest”, or “operational” (see 2.4).
D is the considered particle size, in micrometres.
NOTE It should be recognized that the “as-built” state is applicable
0,1 is a constant, with a dimension of micrometres.
to newly completed or newly modified cleanrooms or clean zones.
Table 1 presents selected airborne particulate cleanliness
Once testing in the “as-built” state is completed, further testing for
classes and the corresponding particle concentrations for
compliance will be performed in the “at-rest” or the “operational” state,
particles equal to and larger than the considered sizes shown.
or both.
Figure A.1 (see annex A) provides a representation of the
3
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
selected classes in graphical form. In case of dispute, the (when applicable) shall be calculated using equations shown
concentration C as derived from equation (1) shall serve as in annex C.
n
the standard value.
Average particle concentration(s), calculated in accordance
with equation (C.1), shall not exceed the concentration
limit(s) determined by use of equation (1) in 3.2, as specified
3.3 Designation
[3.3 c)] for the considered size(s).
The designation of airborne particulate cleanliness for clean-
In addition, for situations in which the number of sampling
rooms and clean zones shall include:
locations involved is at least two but not more than nine, the
a) the classification number, expressed as “ISO Class N ”;
calculation of 95% upper confidence limits in accordance with
b) the occupancy state to which the classification applies;
C.3 shall not exceed the concentration limits established
c) the considered particle size(s), and the related concen- above.
tration(s), as determined by the classification equation (1)
NOTE Worked examples of classification calculations are provided
where each considered threshold particle size is in the range
in annex D.
from 0,1 µm through 5 µm.
Particle concentrations used for determination of conformance
Example designation:
to classification limits shall be measured by the same method
ISO Class 4; operational state; considered sizes:
for all considered particle sizes.
3 3
0,2 µm (2 370 particles/m ), 1 µm (83 particles/m )
4.4 Test report
The considered particle size(s) for which the concentra-
tion(s) will be measured shall be agreed upon by the custom-
The results from testing each cleanroom or clean zone shall
er and the supplier.
be recorded and submitted as a comprehensive report, along
with a statement of compliance or noncompliance with the
If measurements are to be made at more than one considered
specified designation of airborne particulate cleanliness clas-
particle size, each larger particle diameter (e.g., D ) shall be at
2
sification.
least 1,5 times the next smaller particle diameter (e.g., D ).
1
The test report shall include the following:
e.g.: D ≥ 1,5 x D
2 1
a) the name and address of the testing organization, and the
date on which the test was performed;
b) the number and year of publication of this part of ISO
4 Demonstration of compliance
14644, i.e., ISO 14644-1: date of current issue;
c) a clear identification of the physical location of the clean-
room or clean zone tested (including reference to adjacent
4.1 Principle
areas if necessary), and specific designations for coordinates
Compliance with air cleanliness (ISO class) requirements
of all sampling locations;
specified by the customer is verified by performing specified
d) the specified designation criteria for the cleanroom or clean
testing procedures and by providing specified documentation
zone, including the ISO classification, the relevant occupancy
of the results and conditions of testing, as agreed upon by the
state(s), and the considered particle size(s);
customer and the supplier.
e) details of the test method used, with any special conditions
relating to the test or departures from the test method, and
4.2 Testing
identification of the test instrument and its current calibration
The reference test method for demonstrating compliance is
certificate;
given in annex B. An alternative method having comparable
f) the test results, including particle concentration data for all
accuracy may be specified, although if no method is specified
sampling location coordinates.
or agreed upon, the reference method shall be used.
NOTE If concentrations of ultrafine particles or macroparticles are
Tests performed to demonstrate compliance shall be con-
quantified, as described in annex E, the pertinent information should
ducted using calibrated instruments.
be included with the test report.
4.3 Airborne particle concentration
limits
Upon completion of testing in accordance with 4.2, average
particle concentrations and the 95% upper confidence limit
4
---------------------- Page: 8 ----------------------
©
ISO ISO 14664-1:1999(E)
Annex A
(informative)
Graphical illustration of the classes of Table 1
Figure A.1 depicts the air cleanliness classes of Table 1 in The classification lines shown on the graph may not be
graphical form, for illustration purposes only. The ISO classes extrapolated beyond the solid circle symbols, which
of Table 1 are shown as lines representing the class indicate the minimum and maximum particle size limits
concentration limits for the considered threshold particle sizes. acceptable for each of the ISO classes shown.
They are based on calculations using equation (1) of 3.2 As
the lines only approximate the class limits, they are not to be The classification lines do not represent actual particle size
distributions found in cleanrooms and clean zones.
used to define the limits. Such determinations are made in
accordance with equation (1).
Figure A.1 — Graphical representation of ISO-class concentration limits for selected
ISO classes
NOTE 1 C represents the maximum permitted concentration (in particles per cubic metre of air) of
n
airborne particles equal to and larger than the considered particle size.
NOTE 2 N represents the specified ISO class number.
5
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
Annex B
(normative)
Determination of particulate cleanliness classification using a
discrete-particle-counting, light-scattering instrument
B.1 Principle B.4 Sampling
A discrete-particle-counting, light-scattering instrument is used
B.4.1 Establishment of sampling
to determine the concentration of airborne particles, equal to
locations
and larger than the specified sizes, at designated sampling
locations.
B.4.1.1
Derive the minimum number of sampling point locations from
equation (B.1):
B.2 Apparatus requirements
(B.1)
N = A
L
B.2.1 Particle-counting instrument
where
Discrete-particle counter (DPC), a light-scattering device hav-
N is the minimum number of sampling locations
ing a means of displaying or recording the count and size of
L
(rounded up to a whole number).
discrete particles in air with a size discrimination capability to
detect the total particle concentration in the appropriate par-
A is the area of the cleanroom or clean zone in square
ticle size ranges for the class under consideration, and a
metres.
suitable sampling system.
NOTE In the case of unidirectional horizontal airflow, the area A may
be considered as the cross section of the moving air perpendicular to
B.2.2 Instrument calibration
the direction of the airflow.
The instrument shall have a valid calibration certificate; the
frequency and method of calibration should be based on
B.4.1.2
current accepted practice.
Ensure that the sampling locations are evenly distributed
throughout the area of the cleanroom or clean zone and
positioned at the height of the work activity.
B.3 Pretest conditions
If the customer specifies additional sampling locations, their
number and positions shall also be specified.
B.3.1 Preparation for testing
Prior to testing, verify that all aspects of the cleanroom or clean
NOTE Such additional locations may be those considered critical,
zone that contribute to its operational integrity are complete
based on a risk analysis.
and functioning in accordance with its performance specifica-
tion.
B.4.2 Establishment of single sample
volume per location
Such pretesting may include, for example:
a) airflow volume or velocity tests; B.4.2.1
At each sampling location, sample a sufficient volume of air
b) air pressure difference test;
that a minimum of 20 particles would be detected if the particle
c) containment leakage test;
concentration for the largest considered particle size were at
d) installed filter leakage test.
the class limit for the designated ISO class.
The single sample volume V per location is determined by
B.3.2 Pretest equipment setup
s
using equation (B.2):
Perform equipment setup and pretest calibration of the instru-
ment in accordance with the manufacturer’s instructions.
20
V=× 1 000
s
(B.2)
C
nm,
6
---------------------- Page: 10 ----------------------
© ISO ISO 14644-1:1999(E)
where
B.5.1.2
When only one sampling location is used, calculate and record
V is the minimum single sample volume per location,
s
the average value of the sample data (B.4.3.4) for each
expressed in litres (except see B.4.2.2).
considered particle size.
C is the class limit (number of particles per cubic
n,m
metre) for the largest considered particle size spec-
B.5.1.3
ified for the relevant class.
When two or more single sample volumes are taken at a
location, compute the average particle concentration for each
20 is the defined number of particles that could be
considered particle size from the individual sample particle
counted if the particle concentration were at the
concentrations (B.5.1.1), according to the procedure given in
class limit.
C.2, and record the results.
NOTE When V is very large, the time required for sampling can be
s
substantial. By using the sequential sampling procedure (see annex
B.5.2 Requirement for computing the
F), both the required sample volume and the time required to obtain
95% upper confidence limit (UCL)
samples may be reduced.
B.5.2.1
B.4.2.2
When the number of locations sampled is more than one and
The volume sampled at each location shall be at least 2 litres,
less than ten, compute the overall mean of the averages,
with a minimum sampling time at each location of 1 min.
standard deviation, and 95% upper confidence limit from the
average particle concentrations for all locations (B.5.1) follow-
B.4.3 Sampling procedure
ing the procedure described in C.3.
B.4.3.1
B.5.2.2
Set up the particle counter (B.2.1) in accordance with the
When only a single location is sampled, or when more than
manufacturer’s instructions and in compliance with the instru-
nine are sampled, computing the 95% upper confidence limit
ment calibration certificate.
is not applicable.
B.4.3.2
The sampling probe shall be positioned pointing into the
B.6 Interpretation of results
airflow. If the direction of the airflow being sampled is not
controlled or predictable (e.g., nonunidirectional airflow), the
B.6.1 Classification requirements
inlet of the sampling probe shall be directed vertically upward.
The cleanroom or clean zone is deemed to have met the
specified air cleanliness classification if the averages of the
B.4.3.3
particle concentrations measured at each of the locations and,
Sample the volume of air determined in B.4.2, as a minimum,
when applicable, the 95% upper confidence limit calculated
at each sampling location.
according to B.5.2, do not exceed the concentration limits
determined in accordance with equation (1) of 3.2.
B.4.3.4
Where only one sampling location is required (B.4.1), take a
If the results of testing fail to meet the specified air cleanliness
minimum of three single sample volumes (B.4.2) at that loca-
classification, testing may be performed at additional, evenly
tion.
distributed sampling locations. The results of recalculation,
including data from the added locations, shall be definitive.
B.5 Recording of results
B.6.2 Treatment of outliers
The result of the 95% UCL calculation may fail to meet the
B.5.1 Average concentration of
specified ISO class designation. If the noncompliance is
particles at each sampling location
caused by a single, nonrandom “outlier” value resulting from an
B.5.1.1
erroneous measurement (due to procedural error or equip-
Record the result of each sample measurement as the concen-
ment malfunction) or from an unusually low particle concentra-
tration of each of the considered particle size(s) (3.3) appropri- tion (due to exceptionally clean air), the outlier may be ex-
ate to the relevant classification of air cleanliness.
cluded from the calculation, provided that:
NOTE Consideration should be given to the requirements of B.6.1
a) the calculation is repeated, including all remaining sam-
before proceeding with the calculation of the 95% upper confidence
pling locations;
limit.
b) at least three measurement values remain in the calcula-
tion;
7
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 14644-1:1999(E) © ISO
c) no more than one measurement value is excluded from the
calculation;
d) the suspected cause of the erroneous measurement or low
particle concentration is documented and accepted by both the
customer and supplier.
NOTE Widely divergent values for particle concentrations among
the locations sampled may be reasonable and even intentional,
depending on the nature of the application of the clean installation
under test.
8
---------------------- Page: 12 ----------------------
© ISO ISO 14644-1:1999(E)
Annex C
(normative)
Statistical treatment of particle concentration data
m is the number of individual location averages.
C.1 Rationale
This statistical analysis considers only random errors (lack of
All individual location averages are equally weighted, regard-
precision), not errors of a nonrandom nature (e.g. bias associ-
less of the number of samples taken at any given location.
ated with erroneous calibration).
C.3.3 Standard deviation of the
location averages (s)
C.2 Algorithm for computation of
Using equation (C.3), determine the standard deviation of the
average particle concentration at a
location averages.
–––––
location (x )
i
When multiple samples are taken at a location, equation (C.1) 2 22
xx––+x x ++K. x–x
(ii,,1 ) ( 2 ) (i,m )
shall be used to determine the average particle concentration
(C.3)
s =
at the location. Calculation of the average particle concentra- m – 1
( )
tion shall be performed for each sampling location at which two
where
or more samples have been taken.
s is the standard deviation of the location averages.
x
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-1
Première édition
1999-05-01
Salles propres et environnements maîtrisés
apparentés —
Partie 1:
Classification de la propreté de l'air
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 1: Classification of air cleanliness
A
Numéro de référence
ISO 14644-1:1999(F)
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 14644-1:1999(F)
Page
Sommaire
1 Domaine d'application.1
2 Termes et définitions.1
3 Classification.3
4 Démonstration de conformité.5
Annexe A (informative) Illustration graphique des classes du Tableau 1 .7
Annexe B (normative) Détermination de la classification de la propreté particulaire à l'aide d'un compteur
de particules utilisant la diffusion de la lumière.8
Annexe C (normative) Traitement statistique des données de concentration particulaire.12
Annexe D (informative) Exemples élaborés de calcul de la classification .14
Annexe E (informative) Indications sur le comptage et le mesurage des tailles particulaires situées à
l'extérieur de l'étendue granulométrique fixée par la classification.20
Annexe F (informative) Procédure d'échantillonnage séquentiel .22
Bibliographie.26
© ISO 1999
Droits de reproduction réservés. Sauf prescription différente, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque
forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie et les microfilms, sans l'accord écrit de l'éditeur.
Organisation internationale de normalisation
Case postale 56 • CH-1211 Genève 20 • Suisse
Internet iso@iso.ch
Imprimé en Suisse
ii
---------------------- Page: 2 ----------------------
©
ISO ISO 14644-1:1999(F)
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée aux
comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en
liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec la Commission
électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI, Partie 3.
Les projets de Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour
vote. Leur publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités
membres votants.
La Norme internationale ISO 14644-1 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et
environnements contrôlés apparentés.
L'ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté de l’air
— Partie 2: Spécifications pour les essais et le contrôle afin de prouver la conformité continue avec l'ISO 14644-1
— Partie 3: Méthodes d’évaluation et de mesurage
— Partie 4: Conception, construction et mise en route
— Partie 5: Fonctionnement
— Partie 6: Termes et définitions
— Partie 7: Mini-environnements et isolateurs — Isolateurs
L’attention de l’utilisateur est attirée sur le fait que les titres figurant dans la liste ci-dessus pour les parties 2 à 7
sont des titres de travail valables au moment de l’édition de la partie 1. Au cas où l’une ou plusieurs de ces parties
en préparation serait retirée du programme de travail, les parties restantes pourraient s’en trouver renumérotées.
Les annexes B et C constituent des éléments normatifs de la présente Norme internationale.
Les annexes A, D, E et F sont données uniquement à titre d'information.
iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
Introduction
Les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés fournissent des moyens pour maîtriser la
contamination particulaire de l'air, à des niveaux appropriés pour les activités sensibles à la contamination. Les
produits et les procédés qui tirent parti de la maîtrise de la contamination aérienne sont, entre autres, le spatial, la
micro-électronique, la pharmacie, les dispositifs médicaux et de soins, l’agro-alimentaire.
La présente Norme internationale fixe les niveaux d'une classification ISO à utiliser pour caractériser la propreté de
l'air des salles propres et des environnements maîtrisés apparentés. Elle préconise également une méthode
normalisée d'essai ainsi qu'une procédure pour déterminer la concentration des particules en suspension dans l'air.
Lorsqu'on l'applique pour définir une classification, la présente Norme internationale est limitée précisément à
l'étendue granulométrique des tailles particulaires qui sont prises en compte pour la définition des concentrations
limites. Elle donne également des protocoles de référence pour la détermination et la désignation des niveaux de
propreté que l'on construit sur des concentrations en particules dont les tailles sortent de l'étendue granulométrique
fixée pour la classification.
La présente Norme internationale appartient à une série de normes qui traite de salles propres et de maîtrise de la
contamination. De nombreux facteurs, en plus de la propreté particulaire, doivent être pris en compte dans la
conception, le cahier des charges, l'exploitation et la maîtrise des salles propres et autres environnements
maîtrisés. Ils sont étudiés plus en détail dans d'autres Normes internationales de cette série.
Dans le cas d’imposition de politiques ou de contraintes supplémentaires de la part des instances réglementaires, il
peut être nécessaire de procéder à une adaptation appropriée des méthodes d’essais normalisées.
iv
---------------------- Page: 4 ----------------------
©
NORME INTERNATIONALE ISO ISO 14644-1:1999(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 1:
Classification de la propreté de l'air
1 Domaine d'application
La présente partie de l’ISO 14644 comprend la classification de la propreté de l'air des salles propres et
environnements maîtrisés apparentés exclusivement en termes de concentration des particules en suspension
dans l'air. Pour l'application de cette classification, on ne considère que les populations de particules présentant
une distribution cumulée dont le seuil inférieur de sensibilité se situe dans l’étendue granulométrique de 0,1 mm à
5 mm.
La présente partie de l’ISO 14644 ne donne pas la classification des populations de particules sortant de l’étendue
granulométrique de référence de 0,1 mm à 5 mm. Les concentrations de particules ultrafines (plus petites que
0,1 mm) et de macroparticules (plus grandes que 5 mm) peuvent être utilisées pour quantifier ces populations en
terme de descripteurs U et M.
La présente partie de l’ISO 14644 n’est pas applicable pour caractériser la nature physique, chimique, radiologique
ou viable des particules en suspension dans l’air.
NOTE La distribution granulométrique réelle de particules par taille à l’intérieur de l’étendue de référence n'est pas
habituellement prévisible et est typiquement variable avec le temps.
2 Termes et définitions
Pour les besoins de la présente partie de l’ISO 14644, les termes et définitions suivants s'appliquent.
2.1 Généralités
2.1.1
salle propre
salle dans laquelle la concentration des particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construite et
utilisée de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention des particules à l'intérieur de la pièce, et
dans laquelle d'autres paramètres pertinents, tels que la température, l'humidité et la pression sont maîtrisés
comme il convient
2.1.2
zone propre
espace dédié dans lequel la concentration des particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construit
et utilisé de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention de particules à l’intérieur de la pièce, et
dans laquelle d'autres paramètres pertinents, tels que la température, l'humidité et la pression sont maîtrisés
comme il convient
NOTE Cet espace peut être clos ou ouvert, et peut ou non être situé à l'intérieur d'une salle propre.
1
---------------------- Page: 5 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
2.1.3
installation
salle propre ou une ou plusieurs zones propres avec toutes les structures associées, les systèmes de traitement
d'air, les services et servitudes
2.1.4
classification
niveau (ou procédé consistant à spécifier ou à déterminer le niveau) de propreté particulaire de l'air applicable à
une salle ou une zone propre; il est exprimé en termes de classe ISO N, laquelle représente, pour chaque taille
particulaire considérée, la concentration maximale admissible (en particules par mètre cube d'air)
NOTE 1 Les concentrations en cause sont obtenues à l’aide de l’équation (1) donnée en 3.2.
NOTE 2 La classification selon la présente Norme internationale est limitée à l’étendue allant de la classe ISO 1 à la classe
ISO 9.
NOTE 3 Les tailles de particule (limite basse de la distribution granulométrique) prises en considération pour les besoins de
la classification selon la présente Norme internationale sont limitées à une étendue granulométrique de 0,1 mm à 5 mm. La
propreté de l’air peut être décrite et spécifiée (mais non classée) en termes de descripteurs U ou M (voir 2.3.1 ou 2.3.2) pour
des tailles de particules prises en considération en dehors de l’étendue granulométrique applicable à la classification.
NOTE 4 On peut spécifier des numéros de classification ISO intermédiaires, pour lesquels l’incrément le plus petit
admissible sera de 0,1. Ainsi, la gamme des classes ISO intermédiaires s’étend de la classe ISO 1,1 à la classe ISO 8,9.
NOTE 5 La classification peut s’effectuer dans l’un quelconque des trois états d’occupation (voir 2.4).
2.2 Particules en suspension dans l'air
2.2.1
particule
objet solide ou liquide, dans le cadre de la classification de la propreté de l'air, appartenant à une distribution
cumulée qui est fondée sur une taille de limite inférieure se situant dans l’étendue allant de 0,1 μm à 5 μm
2.2.2
taille de particule
diamètre d'une sphère qui, dans un instrument donné de mesurage des tailles de particules, donne une réponse qui
est équivalente à la réponse de la particule à mesurer
NOTE Pour les compteurs de particules qui utilisent la diffusion de la lumière, le terme diamètre optique est employé.
2.2.3
concentration de particules
nombre de particules individuelles par unité de volume d’air
2.2.4
distribution granulométrique
distribution cumulée des concentrations de particules en fonction de leur taille
2.2.5
particule ultrafine
particule dont le diamètre équivalent est inférieur à 0,1 mm
2.2.6
macroparticule
particule dont le diamètre équivalent est supérieur à 5 mm
2.2.7
fibre
particule dont le rapport de la plus petite à la plus grande dimension est égal ou supérieur à 10
2
---------------------- Page: 6 ----------------------
©
ISO ISO 14644-1:1999(F)
2.3 Descripteurs
2.3.1
descripteur U
concentration, mesurée ou spécifiée, exprimée en particules par mètre cube d'air et comprenant les particules
ultrafines
NOTE Le descripteur U peut être considéré comme une limite supérieure des moyennes obtenues aux points d'échantil-
lonnage ou une limite supérieure de confiance, en fonction du nombre de ces points utilisés pour caractériser la salle ou la
zone propre. Un descripteur U ne peut servir à caractériser une classe de propreté particulaire de l’air, mais peut être utilisé
indépendamment ou conjointement à une classe de propreté particulaire de l'air.
2.3.2
descripteur M
concentration, mesurée ou spécifiée, des macroparticules par mètre cube d'air, exprimée en termes de diamètre
équivalent auquel accède la méthode de mesurage mise en œuvre
NOTE Le descripteur M peut être considéré comme une limite supérieure des moyennes obtenues aux points d'échantil-
lonnage ou une limite supérieure de confiance, en fonction du nombre de ces points utilisés pour caractériser la salle ou la
zone propre. Un descripteur M ne peut servir à caractériser une classe de propreté particulaire de l’air, mais peut être utilisé
indépendamment ou conjointement à une classe de propreté particulaire de l'air.
2.4 États d'occupation
2.4.1
installation après construction
installation complète avec toutes les servitudes connectées et en fonctionnement, mais sans équipement ni
matières de production et sans personnel présent
2.4.2
installation au repos
installation complète, avec l'équipement de production installé et fonctionnant comme convenu entre le client et le
fournisseur, mais sans personnel présent
2.4.3
installation en activité
installation fonctionnant selon le mode prescrit, avec l'effectif spécifié travaillant dans les conditions convenues
2.5 Intervenants
2.5.1
client
organisme ou agent responsable de la rédaction du cahier des charges d’une salle propre ou d’une zone propre
2.5.2
fournisseur
organisme chargé de satisfaire les exigences du cahier des charges d’une salle propre ou d’une zone propre
3 Classification
3.1 État d'occupation
La propreté particulaire de l'air d'une salle propre ou d'une zone propre doit être définie pour l'un ou plusieurs des
trois états d'occupation définis en 2.4, c'est-à-dire «après construction», «au repos» ou «en activité».
NOTE Noter que l'état «après construction» est applicable aux salles propres et aux zones propres récemment achevées
ou modifiées. Une fois que l'examen sur l'état «après construction» est terminé, les essais suivants concerneront les états
«au repos» ou «en activité» ou les deux.
3
---------------------- Page: 7 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
3.2 Numéro de classification
La propreté particulaire de l'air doit être désignée par un numéro de classification N. La concentration maximale
admissible C , pour chaque particule de taille D prise en compte, est donnée par l’équation:
n
20, 8
01
,
N æ ö
C=´10 ç ÷ (1)
n
è ø
D
où
C est la concentration maximale admissible (en particules par mètre cube d'air) des particules en suspension
n
dont le diamètre est égal ou supérieur à la taille D. C est arrondi au chiffre entier le plus proche, en se
n
limitant à 3 chiffres significatifs;
N est le numéro de classification ISO; il doit être inférieur ou égal à 9; des numéros de classification ISO
intermédiaires peuvent être utilisés, le plus petit incrément autorisé étant 0,1;
D est la taille considérée en micromètres;
0,1 est une constante exprimée en micromètres.
Le Tableau 1 présente des classes types de propreté particulaire et les concentrations correspondantes des
particules de tailles égales ou supérieures aux valeurs considérées. La Figure A.1 (voir annexe A) donne une
représentation graphique des classes retenues. En cas de contestation, la concentration C est calculée par
n
l’équation (1) ci-dessus et sert de valeur de référence.
Tableau 1 — Classes types de propreté particulaire de l'air des salles propres et zones propres
3
Numéro de
Concentrations maximales admissibles (particules/m d'air) en particules
classification
de taille égale ou supérieure à celle donnée ci-dessous
ISO (N) 0,1 μm 0,2 μm 0,3 μm 0,5 μm 1 μm 5 μm
Classe ISO 1 10 2
Classe ISO 2 100 24 10 4
1 000 237 102 35 8
Classe ISO 3
Classe ISO 4 10 000 2 370 1 020 352 83
Classe ISO 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
Classe ISO 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
Classe ISO 7 352 000 83 200 2 930
Classe ISO 8 3 520 000 832 000 29 300
Classe ISO 9 35 200 000 8 320 000 293 000
NOTE À cause des incertitudes dues au mesurage, les concentrations sont données avec, au plus, 3 chiffres significatifs.
4
---------------------- Page: 8 ----------------------
©
ISO ISO 14644-1:1999(F)
3.3 Désignation
La désignation de la propreté particulaire de l'air d'une salle ou d'une zone propre doit comprendre:
a) le numéro de classification sous la forme «classe ISO N»;
b) l'état d'occupation des lieux dont on veut classer l'air;
c) la ou les tailles particulaires prises en compte et les concentrations correspondantes, obtenues par l'application
de la formule (1), les tailles étant situées entre 0,1 mm et 5 mm.
EXEMPLE DE DÉSIGNATION
3 3
Classe ISO 4; installation en activité; tailles considérées: 0,2 mm (2 370 particules/m ), 1 mm (83 particules/m ).
La (ou les) taille(s) de particules considérées à mesurer doivent faire l’objet d’un accord entre le client et le
fournisseur.
Si les mesurages sont à faire pour plus d'une taille, chaque taille particulaire plus grande (par exemple, D ) doit être
2
égale à au moins 1,5 fois celle qui la précède (par exemple, D ), c'est-à-dire:
1
D > 1,5 ´ D
2 1
4 Démonstration de conformité
4.1 Principe
La conformité avec les conditions de propreté de l'air (classe ISO) demandées par le client est vérifiée en mettant
en œuvre des procédures d'essais définies, et en remettant un rapport donnant les conditions d'essai et ses
résultats, le tout ayant fait l'objet d'un accord préalable entre le client et son fournisseur.
4.2 Essais
La méthode d'essai de référence servant à démontrer la conformité est donnée à l'annexe B. Toute autre méthode
d'exactitude comparable peut être spécifiée, bien que, si aucune méthode n'a été choisie ou n'a fait l'objet d'un
accord entre les parties, on doive utiliser la méthode de référence. Les essais mis en œuvre pour établir la
conformité doivent utiliser des instruments étalonnés.
4.3 Limites de concentration des particules en suspension dans l'air
À la fin des essais effectués conformément à 4.2, les concentrations particulaires moyennes et la limite supérieure
de confiance à 95 % (si nécessaire) doivent être calculées selon les équations données à l'annexe C.
La ou les concentrations moyennes particulaires, calculées selon l’équation (C.1), ne doivent pas dépasser la ou les
concentrations limites déterminées selon l’équation (1) en 3.2, comme spécifié en 3.3 c) pour la ou les tailles
considérées.
De plus, lorsque le nombre de points de prélèvement est au moins égal à 2 sans dépasser 9, le calcul suivant C.3
des limites supérieures de confiance à 95 % doit donner des valeurs qui ne dépassent pas les limites de
concentration données ci-dessus.
NOTE Des exemples élaborés de calcul de la classification sont donnés à l'annexe D.
Les concentrations particulaires qui servent à établir la conformité à la classification doivent être mesurées en
utilisant la même méthode pour toutes les tailles considérées.
5
---------------------- Page: 9 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
4.4 Rapport d’essai
Les résultats des essais, pour chaque salle propre ou zone propre, doivent être consignés par écrit et présentés
dans un rapport contenant une affirmation de conformité ou de non-conformité avec la désignation prévue de la
classification.
Le rapport doit mentionner les points suivants:
a) le nom et l'adresse de l'organisme responsable des essais et la date d'exécution de ceux-ci;
b) le numéro et l’année de publication de la présente partie de l’ISO 14644, c'est-à-dire ISO 14644-1:199X (année
de publication de l'édition la plus récente);
c) une identification claire de l'emplacement de la salle propre ou de la zone propre examinée (avec référence
des locaux adjacents si nécessaire), et les coordonnées précises de tous les points d'échantillonnage;
d) les critères de désignation de la salle propre ou de la zone propre considérée, comprenant la classification ISO,
l'état d'occupation pertinent et les tailles particulaires prises en compte;
e) la description détaillée de la méthode d'essai en y incluant les conditions particulières d'essai ou les écarts par
rapport à la méthode d'essai et l’identification des appareils de mesure et leur certificat d'étalonnage en cours
de validité;
f) les résultats des essais avec les données de concentration particulaire pour tous les points échantillonnés.
NOTE Si les concentrations des particules ultrafines ou des macroparticules sont quantifiées, comme décrit à l'annexe E, il
convient de mentionner l’information appropriée dans le rapport d’essai.
6
---------------------- Page: 10 ----------------------
©
ISO ISO 14644-1:1999(F)
Annexe A
(informative)
Illustration graphique des classes du Tableau 1
À titre d'exemple, la Figure A.1 traduit sous forme graphique les classes de propreté de l’air du Tableau 1. Les
classes ISO du Tableau 1 sont représentées par les droites indiquant les limites de concentration des classes pour
les tailles limites inférieures de particules données. Elles sont basées sur des calculs effectués selon l’équation (1)
de 3.2. Étant donné que les droites donnent une approximation des limites de classes, elles ne doivent pas être
utilisées pour définir les limites. De telles déterminations sont faites selon l’équation (1).
Les droites de la représentation graphique ne doivent pas être extrapolées au-delà des cercles pleins qui les
limitent et qui indiquent, pour chaque classe ISO référencée, les limites inférieure et supérieure des tailles
particulaires à considérer.
Les droites indiquant les limites de classes ne représentent pas les distributions granulométriques que l'on peut
réellement trouver dans les salles propres et zones propres.
NOTE 1 C représente la concentration maximale admissible (en particules par mètre cube d’air) des particules de taille
n
égale ou supérieure à la taille considérée.
NOTE 2 N représente le numéro de classification ISO.
Figure A.1 — Représentation graphique des limites de concentration de la classification ISO
pour des classes types ISO
7
---------------------- Page: 11 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
Annexe B
(normative)
Détermination de la classification de la propreté particulaire
à l'aide d'un compteur de particules utilisant la diffusion de la lumière
B.1 Principe
À chaque emplacement d'échantillonnage prévu, un compteur de particules à diffusion de la lumière est utilisé, de
façon à obtenir la concentration des particules en suspension dans l'air qui ont une taille égale ou supérieure aux
tailles spécifiées.
B.2 Exigences liées à l'appareil
B.2.1 Compteur de particules
Compteur de particules utilisant la diffusion de la lumière, disposant d'un moyen d'affichage ou d'enregistrement du
nombre et de la taille des particules en suspension dans l'air, possédant une capacité de tri des tailles permettant
de donner la concentration particulaire pour les niveaux granulométriques retenus pour la classe de propreté prise
en considération et possédant un dispositif d'échantillonnage approprié.
B.2.2 Étalonnage de l'appareil
L’appareil doit être accompagné d'un certificat d'étalonnage en cours de validité; la méthode d'étalonnage et la
fréquence des contrôles doivent tenir compte de la pratique courante admise.
B.3 Conditions préliminaires d'essai
B.3.1 Préparation de l’essai
Avant les essais, vérifier, dans la salle propre ou zone propre, que tout ce qui contribue à l'intégrité opérationnelle
est en place et fonctionne conformément au cahier des charges.
Cette vérification préliminaire comporte normalement:
a) un examen des débits et des vitesses d'air;
b) un examen des pressions différentielles;
c) un examen des fuites de confinement;
d) un essai de fuite sur le montage des filtres.
B.3.2 Essai de réglage préliminaire
Mettre l’appareil en place et procéder à la vérification préliminaire de celui-ci conformément aux instructions des
constructeurs.
8
---------------------- Page: 12 ----------------------
©
ISO ISO 14644-1:1999(F)
B.4 Échantillonnage
B.4.1 Définition des points d'échantillonnage
B.4.1.1 Déduire le nombre minimal de points d'échantillonnage de l’équation (B.1) suivante:
NA= (B.1)
L
où
N est le nombre minimal des points d'échantillonnage (arrondi au nombre entier supérieur);
L
A est l'aire de la salle propre ou de la zone propre à contrôler, en mètres carrés.
NOTE Dans le cas d'un écoulement d'air unidirectionnel horizontal, l'aire A est celle d'une section perpendiculaire à la
direction de l'écoulement.
B.4.1.2 Vérifier que les points de prélèvement sont uniformément répartis à travers l'aire de la salle propre ou de la
zone propre et situés à la hauteur où s'effectue l'activité.
Si le client demande des points de prélèvement supplémentaires, leur nombre et leurs emplacements doivent être
précisés.
NOTE De tels points de prélèvement supplémentaires peuvent être ceux considérés comme critiques à partir d'une
analyse des risques.
B.4.2 Définition du volume élémentaire de l'échantillon par point de prélèvement
B.4.2.1 Prélever, en chaque point de prélèvement, un volume d'air suffisant pour que, à la limite de la classe ISO
spécifiée, 20 particules au moins soient détectées de la taille de particules la plus grande considérée.
Le volume élémentaire V par point de prélèvement est donné par l’équation (B.2):
s
20
V=´ 1000 (B.2)
s
C
nm,
où
V est le volume élémentaire minimal, en litres, prélevé en chaque point (sous réserve d'observer B.4.2.2);
s
C est la limite de classe (en nombre de particules par mètre cube) pour la plus grande taille particulaire
n,m
prise en compte dans la classification visée;
20 est le nombre de particules qui pourrait être compté si la concentration particulaire était celle de la limite
de classe.
NOTE Lorsque V est très grand, le temps de prélèvement devient important. En utilisant la procédure d'échantillonnage
s
séquentiel (voir annexe F), on peut réduire à la fois le volume de l'échantillon et le temps nécessaire pour l'obtenir.
B.4.2.2 Le volume prélevé en chaque point doit être au moins de 2 litres et le temps de prélèvement doit être au
moins de 1 min.
B.4.3 Procédure d'échantillonnage
B.4.3.1 Préparer le compteur de particules (voir B.2.1) suivant les instructions du constructeur et conformément au
certificat d'étalonnage de l'instrument.
9
---------------------- Page: 13 ----------------------
©
ISO 14644-1:1999(F) ISO
B.4.3.2 La tête de prélèvement doit être disposée face à l'écoulement. Si la direction de l'écoulement à
échantillonner n'est pas maîtrisée ou prévisible (par exemple, un écoulement non unidirectionnel), l'entrée de la tête
de prélèvement doit être dirigée vers le haut.
B.4.3.3 Prélever au moins le volume d'air calculé suivant B.4.2 en chaque point de prélèvement.
B.4.3.4 Lorsqu'un seul point d'échantillonnage est demandé (voir B.4.1), prélever un minimum de trois volumes
élémentaires (voir B.4.2) en ce point.
B.5 Enregistrement des résultats
B.5.1 Concentration particulaire en chaque point d'enregistrement
B.5.1.1 Noter le résultat de mesurage de chaque échantillon sous forme de concentration particulaire (voir 3.3)
pour chaque taille visée par la classification appropriée de propreté de l'air.
NOTE Prendre en considération les exigences de B.6.1 avant de faire les calculs de la limite supérieure de confiance à
95 %.
B.5.1.2 Si un seul point de prélèvement a été utilisé, calculer et noter la moyenne des résultats obtenus
(voir B.4.3.4) pour chaque taille de particule considérée.
B.5.1.3 Lorsque deux ou plus de volumes élémentaires sont prélevés en un point de prélèvement, calculer la
concentration particulaire moyenne pour chaque taille de particule considérée à partir des concentrations de
chaque prélèvement individuel (B.5.1.1), en suivant la procédure décrite en C.2 et noter les résultats.
B.5.2 Exigence pour le calcul de la limite supérieure de confiance à 95 % (LSC)
B.5.2.1 Lorsque le nombre de points de prélèvement est supérieur à 1 et inférieur à 10, calculer la moyenne
générale, l'écart-type et la limite supérieure de confiance à 95 % des moyennes de concentrations particulaires (voir
B.5.1) en suivant la procédure donnée en C.3.
B.5.2.2 Quand il y a seulement un point de prélèvement ou plus de neuf, le calcul de la limite supérieure de
confiance à 95 % n'est pas à faire.
B.6 Interprétation des résultats
B.6.1 Exigences de la classification
La salle propre ou la zone propre est estimée conforme à la classification de propreté de l'air spécifié si les
moyennes de concentration particulaires en chaque point de prélèvement et, lorsque cela est applicable, la limite
supérieure de confiance à 95 % calculée suivant B.5.2, ne sont pas supérieures aux limites de concentration
déterminées par la formule (1) de 3.2.
Si les résultats d'essais ne satisfont pas la classification de propreté de l'air spécifiée, des essais peuvent être
effectués en des points de prélèvement supplémentaires, uniformément répartis. Les résultats du nouveau calcul,
qui prend en compte les données des points de prélèvement supplémentaires, doivent être considérés comme
définitifs.
B.6.2 Traitement des valeurs aberrantes
Il arrive que le résultat de calcul de la limite supérieure de confiance à 95 % ne satisfait pas la class
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.