ISO 20146:2019

Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges. This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards.

Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications, étalonnage et incertitudes de mesure des manomètres capacitifs à membrane

Le présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de ces manomètres. Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à membrane et leur utilisation comme étalons de référence.

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 30-Jan-2019
• ICS: 23.160 - Vacuum technology
• Technical Committee: ISO/TC 112 - Vacuum technology
• Drafting Committee: ISO/TC 112 - Vacuum technology
• Current Stage: 9093 - International Standard confirmed
• Start Date: 10-Jun-2024
• Completion Date: 13-Dec-2025

Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 20146
First edition
2019-01
Vacuum technology — Vacuum
gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for
capacitance diaphragm gauges
Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des manomètres capacitifs à membrane
Reference number
©
ISO 2019
© ISO 2019
All rights reserved. Unless otherwise specified, or required in the context of its implementation, no part of this publication may
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Published in Switzerland
ii © ISO 2019 – All rights reserved

Contents Page
Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Components . 1
3.2 Physical parameters . 2
3.3 Other parameters. 4
4 Symbols and abbreviated terms . 6
5 Capacitance diaphragm gauge . 6
5.1 Principle . 6
6 Specifications for capacitance diaphragm gauge . 7
6.1 Type of capacitance diaphragm gauge . 7
6.2 Temperature control of gauge head . 7
6.3 Display and measurement signal output unit . 7
6.4 Measurement range of capacitance diaphragm gauge . 7
6.5 Expected measurement uncertainty . 7
6.6 Temperature coefficients of zero readings and span . 7
6.7 Resolution . 7
6.8 Response time of the gauge head . 7
6.9 Warm-up period . 8
6.10 Admissible pressure (maximum load pressure). 8
6.11 Disruption pressure (burst pressure) . 8
6.12 Materials exposed to gas . 8
6.13 Mounting orientation of the gauge head . 8
6.14 Fitting to chamber . 8
6.15 Internal volume . 8
6.16 Interface and pin connections . 8
6.17 Compatibility between a gauge head and a control unit . 8
6.18 Dimension and weight of the gauge head and control unit . 8
6.19 Nominal operating (environmental) conditions . 8
6.20 Storage and transportation condition . . 9
6.21 Input power and its requirements . 9
7 Additional (optional) specifications for capacitance diaphragm gauge .9
7.1 Reproducibility (long-term instability) . 9
7.2 Tilting effect on zero readings . 9
7.3 Repeatability of zero . 9
7.4 Durability of zero after the pressure of full scale . 9
7.5 Durability of span after the pressure of full scale . 9
7.6 Durability of zero after the admissible pressure . 9
7.7 Durability of span after the admissible pressure .10
7.8 Update interval .10
7.9 Inner diameter of connecting tube .10
7.10 Cable length .10
7.11 Set point of pressure .10
7.12 Photographs .10
7.13 Inspection record and calibration certificate .10
8 Calibration .10
8.1 Calibration procedure .10
8.2 Calibration uncertainty .11
8.3 Calibration certificate .11
9 Measurement uncertainty at use .11
Annex A (informative) Compensation of thermal transpiration effect .13
Bibliography .16
iv © ISO 2019 – All rights reserved

Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and
expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the
World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT) see www .iso
.org/iso/foreword .html.
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology.
Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A
complete listing of these bodies can be found at www .iso .org/members .html.
Introduction
ISO 3567, Calibration by direct comparison with a reference gauge, and ISO 27893, Evaluation of the
uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge, were published in
2011 and in 2009, respectively. Detailed guidance for a specific gauge is intended to be given in separate
international standards or technical specifications for the calibration of special types of gauges.
This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when characterizing, calibrating or using
capacitance diaphragm gauges (CDGs) as reference gauges.
CDGs are widely used to measure pressures in the medium vacuum up to atmospheric pressure. For
the dissemination of the pressure scale and measurement of low and medium vacuum pressures by
this gauge, the relevant parameters, calibration guidelines and uncertainties are described in this
document.
vi © ISO 2019 – All rights reserved

INTERNATIONAL STANDARD ISO 20146:2019(E)
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications,
calibration and measurement uncertainties for
capacitance diaphragm gauges
1 Scope
This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which
parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which
measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges.
This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as
reference standards.
2 Normative references
The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content
constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For
undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
ISO 3529-1, Vacuum technology — Vocabulary — Part 1: General terms
ISO 3529-3, Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
ISO 3567, Vacuum technology — Vacuum gauges — Calibration by direct comparison with a reference gauge
ISO 27893, Vacuum technology — Vacuum gauges — Evaluation of the uncertainties of results of
calibrations by direct comparison with a reference gauge
ISO/IEC Guide 98-3, Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of uncertainty in
measurement (GUM: 1995)
ISO/IEC Guide 99, International vocabulary of metrology — Basic and general concepts and associated
terms (VIM)
3 Terms and definitions
For the purposes of this document the terms and definitions given in ISO 3529-1, ISO 3529-3, ISO 3567,
ISO 27893, ISO/IEC Guide 98-3, ISO/IEC Guide 99 and the following apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
— ISO Online browsing platform: available at https: //www .iso .org/obp
— IEC Electropedia: available at http: //www .electropedia .org/
3.1 Components
3.1.1
diaphragm
membrane
elastic element which deforms under differential pressure applied to it
3.1.2
measurement side
side of diaphragm on a CDG to which the pressure to be measured is applied
Note 1 to entry: Sometimes the measurement side is called the test side.
3.1.3
reference side
side of diaphragm on a CDG opposite the measurement side
3.1.4
absolute-type CDG
CDG where the reference side is permanently evacuated
3.1.5
differential-type CDG
CDG where the reference side is accessible from outside
3.1.6
measurement port
port connecting to the measurement side of a CDG
3.1.7
reference port
port connecting to the reference side of a CDG
Note 1 to entry: In absolute-type CDG, this port does not exist.
3.1.8
integrated type CDG
gauge in which the head and controller form one piece of equipment
3.2 Physical parameters
3.2.1
reproducibility
long-term instability
δ
t
relative quantity characterizing the typical change of measurement error near full scale (90% to 100%
of full scale) of the CDG (nitrogen) after a specified period
Note 1 to entry: Reproducibility can be determined in two ways:
a)  as the relative standard deviation of measurement error Δp obtained from at least three calibrations each
i
being separated by the specified period
n
 
Δp  
1 Δp
i
 
δ = − (1)
 
t ∑
n−1  p p 
 
i
i=1
 
where
n is the number of calibrations, i;

n
Δp 1 Δp
 
i
=
∑
 
pn p
 
i
i=1
.
2 © ISO 2019 – All rights reserved

b)  as the mean of absolute (non-negative) changes of measurement error Δp between recalibrations separated
i
by the specified period
Δp
n−1 Δp
i+1 i
−
∑
i=1
p p
i+1 i
δ = (2)
t
n−1
and n as described above. Formula (1) is recommended when the measurement error does not show a significant
drift but random variations, Formula (2) when the measurement error shows a systematic and monotonic drift.
In both cases, δ shall be accompanied with the specified time period, for example δ per year or δ per two years.
t t t
Note 2 to entry: If the output signal of the gauge is not pressure (but e.g. voltage or current), this signal shall be
converted to pressure according to specification, before the measurement error is calculated.
Note 3 to entry: Reproducibility can be determined by recalibrations with a more accurate gauge or a primary
standard. This often requires a transport which itself can lead to an instability of the calibrated value. For this
reason, it is not reasonable to assume a linear relationship of instability with time (e.g. δ for a period of two years
t
is not two times δ for a period of one year).
t
Note 4 to entry: If not specified otherwise, it is recommended that δ is determined over a period of one year.
t
This is usually a reasonable compromise between costs and influence of transport on the one hand and a possible
drift and lowest possible measurement uncertainty on the other hand.
Note 5 to entry: Measurement error is defined in 3.3.3.
3.2.2
warm-up period
duration between the instant after which the power supply is energized and the instant when the
measuring instrument is used to the expected measurement uncertainty as specified
Note 1 to entry: For a CDG with controlled temperature type gauge head, the time to achieve and stabilize the
temperature of the gauge head shall be considered. For a gauge head without temperature control, the time to
stabilize the temperature due to the heat generated from the electrical circuit equipped in the gauge head shall
be considered.
Note 2 to entry: Warm-up period depends on, for example, the environment of the measurement or the equipment.
3.2.3
response time
time from a sudden change of an applied pressure until the corresponding change of an indication of
the CDG has reached a specified fraction of its final value
Note 1 to entry: The amount of the change is specified. There are three variations of the corresponding change of
the indication: 0 % to 90 %; 0 % to 63,2 %; 10 % to 90 %.
3.2.4
update interval
time interval at which an output of a CDG is updated
3.2.5
admissible pressure
maximum load pressure
maximum differential pressure that can be applied to the CDG while operating within its stated
specifications
Note 1 to entry: When pressure above the admissible pressure is applied to a gauge head, the gauge head is
required for recalibration.
3.2.6
disruption pressure
burst pressure
pressure applied to the gauge head above which a gauge head can fail
3.2.7
internal volume
volume of measurement (and reference side, if applicable) side in the gauge head up to the sealing plane
of the measurement (and reference) port
3.3 Other parameters
3.3.1
measurement uncertainty
non-negative parameter characterizing the dispersion of the quantity values being attributed to a
measurand, based on the information used
Note 1 to entry: Measurement uncertainty includes components arising from systematic effects, such as
components associated with corrections and the assigned quantity values of measurement standards, as well
as the definitional uncertainty. Sometimes small estimated systematic effects are not corrected for but, instead,
associated measurement uncertainty components are incorporated.
Note 2 to entry: The parameter can be, for example, a standard deviation called standard measurement
uncertainty (or a specified multiple of it), or the half-width of an interval, with a stated coverage probability.
Note 3 to entry: Measurement uncertainty comprises, in general, many components. Some of these can be
evaluated by Type A evaluation of measurement uncertainty from the statistical distribution of the quantity
values from a series of measurements and can be characterized by standard deviations. The other components,
which can be evaluated by Type B evaluation of measurement uncertainty, can also be characterized by standard
deviations, evaluated from probability density funct
...

NORME ISO
INTERNATIONALE 20146
Première édition
2019-01
Technique du vide — Manomètres
à vide — Spécifications, étalonnage
et incertitudes de mesure des
manomètres capacitifs à membrane
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration
and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
Numéro de référence
©
ISO 2019
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Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette
publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut
être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Genève
Tél.: [phone]
Fax: [phone]
E-mail: [e-mail]
Web: www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2019 – Tous droits réservés

Sommaire Page
Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Composants . 2
3.2 Paramètres physiques. 2
3.3 Autres paramètres . 4
4 Symboles et abréviations . 6
5 Manomètre capacitif à membrane . 6
5.1 Principe . 6
6 Spécifications du manomètre capacitif à membrane . 7
6.1 Type de manomètre capacitif à membrane . 7
6.2 Contrôle de la température du capteur . 7
6.3 Unité d'affichage et sortie du signal de mesure . 7
6.4 Étendue de mesure du CDG . 8
6.5 Incertitude de mesure prévue . 8
6.6 Coefficients de température des relevés à zéro et étendue . 8
6.7 Résolution . 8
6.8 Temps de réponse du capteur . 8
6.9 Période de préchauffage . 8
6.10 Pression admissible (pression de charge maximale) . 8
6.11 Pression de perturbation (pression d'éclatement) . 8
6.12 Matériaux exposés au gaz . 8
6.13 Sens de montage du capteur . 9
6.14 Raccord donnant sur l'enceinte . 9
6.15 Volume intérieur . 9
6.16 Interface et connexions à broches . 9
6.17 Compatibilité entre un capteur et une unité de contrôle . 9
6.18 Dimensions et poids du capteur et de l'unité de contrôle . 9
6.19 Conditions assignées de fonctionnement (conditions environnementales) . 9
6.20 Conditions de stockage et de transport . 9
6.21 Alimentation d'entrée et exigences associées . 9
7 Spécifications supplémentaires (facultatives) du manomètre capacitif à membrane .10
7.1 Reproductibilité (instabilité à long terme) .10
7.2 Effet de basculement sur les relevés à zéro .10
7.3 Répétabilité de zéro .10
7.4 Durabilité du zéro après la pression de la pleine échelle .10
7.5 Durabilité de l'étendue après la pression de la pleine échelle .10
7.6 Durabilité du zéro après la pression admissible .10
7.7 Durabilité de l'étendue après la pression admissible.10
7.8 Intervalle de mise à jour .11
7.9 Diamètre intérieur du tube de raccordement .11
7.10 Longueur de câble .11
7.11 Point de consigne de la pression .11
7.12 Photographies .11
7.13 Registre d'inspection et certificat d'étalonnage .11
8 Étalonnage .11
8.1 Procédure d'étalonnage .11
8.2 Incertitude d'étalonnage .12
8.3 Certificat d'étalonnage .12
9 Incertitude de mesure en utilisation .12
Annexe A (informative) Compensation de l'effet d'effusion thermique .14
Bibliographie .17
iv © ISO 2019 – Tous droits réservés

Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/directives).
L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l'élaboration du document sont indiqués dans l'Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l'ISO (voir www .iso .org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l'ISO liés à l'évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l'adhésion
de l'ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir www .iso .org/avant -propos.
Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 112, Technique du vide.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www .iso .org/fr/members .html.
Introduction
L'ISO 3567 «Étalonnage par comparaison directe avec un manomètre de référence» et l'ISO 27893
«Évaluation de l'incertitude des résultats des étalonnages par comparaison directe avec un manomètre
de référence» ont été publiées en 2011 et en 2009, respectivement. Il est convenu de fournir des
recommandations détaillées relatives à un manomètre spécifique dans la Spécification technique
future pour l'étalonnage de types particuliers de manomètres.
Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour la caractérisation, l'étalonnage ou
l'utilisation de manomètres capacitifs à membrane comme manomètres de référence.
Les manomètres capacitifs à membrane (CDG) sont couramment utilisés pour mesurer les pressions
du vide moyen jusqu'à la pression atmosphérique. Pour la dissémination de l'échelle de pression et la
mesure des pressions de vide basse et moyenne à l'aide de ce manomètre, les paramètres pertinents,
les lignes directrices relatives à l'étalonnage et les incertitudes de mesure sont décrits dans le présent
document.
vi © ISO 2019 – Tous droits réservés

NORME INTERNATIONALE ISO 20146:2019(F)
Technique du vide — Manomètres à vide — Spécifications,
étalonnage et incertitudes de mesure des manomètres
capacitifs à membrane
1 Domaine d'application
Le présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie
quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure
d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de
ces manomètres.
Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à
membrane et leur utilisation comme étalons de référence.
2 Références normatives
Les documents suivants sont cités dans le texte de sorte qu’ils constituent, pour tout ou partie de leur
contenu, des exigences du présent document. Pour les références datées, seule l’édition citée s’applique.
Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s'applique (y compris les
éventuels amendements).
ISO 3529-1, Technique du vide — Vocabulaire — Partie 1: Termes généraux
ISO 3529-3, Technique du vide — Vocabulaire — Partie 3: Manomètres de pression totale et analyseurs de
pressions partielles
ISO 3567, Manomètres — Étalonnage par comparaison directe avec un manomètre de référence
ISO 27893, Technique du vide — Manomètres à vide — Évaluation de l'incertitude des résultats des
étalonnages par comparaison directe avec un manomètre de référence
Guide ISO/IEC 98-3, Incertitude de mesure — Partie 3: Guide pour l’expression de l’incertitude de mesure
(GUM: 1995)
Guide ISO/IEC 99, Vocabulaire international de métrologie — Concepts fondamentaux et généraux et
termes associés (VIM)
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions de l'ISO 3529-1, l'ISO 3529-3, l'ISO 3567,
l'ISO 27893, le Guide ISO/IEC 98-3, le Guide ISO/IEC 99, ainsi que les suivants, s'appliquent.
L'ISO et l'IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l'adresse http: //www .iso .org/obp
— IEC Electropedia: disponible à l'adresse http: //www .electropedia .org/
3.1 Composants
3.1.1
diaphragme
membrane
élément élastique qui se déforme sous l'effet de la pression différentielle qui lui est appliquée
3.1.2
côté mesure
coté de la membrane d'un manomètre capacitif à membrane (CDG) sur lequel la pression à mesurer est
appliquée
Note 1 à l'article: Le côté mesure est parfois appelé côté d'essai.
3.1.3
côté de référence
côté du diaphragme sur un CDG situé à l'opposé du côté mesure
3.1.4
CDG absolu
CDG où le côté de référence est évacué en continu
3.1.5
CDG différentiel
CDG où le côté de référence est accessible depuis l'extérieur
3.1.6
port de mesure
port reliant au côté mesure d'un CDG
3.1.7
port de référence
port reliant au côté de référence d'un CDG
Note 1 à l'article: Sur un CDG absolu, ce port n'existe pas.
3.1.8
CDG type intégré
manomètre sur lequel le capteur et le régulateur forment une seule et même pièce
3.2 Paramètres physiques
3.2.1
reproductibilité
instabilité à long terme
δ
t
quantité relative caractérisant la variation type de l'erreur de mesure près de la pleine échelle (90 % à
100 % de la pleine échelle) du CDG (azote) après une période spécifiée
Note 1 à l'article: La reproductibilité à long terme peut être déterminée de deux façons:
a) en tant qu'écart-type relatif de l'erreur de mesure Δpi obtenu à partir d'au moins trois étalonnages tous
séparés par la période spécifiée
n
 
 
1 p p
i
     (1)
t   
 
n1 p p
i1  
i
 
où
n    est le nombre d'étalonnages i,
2 © ISO 2019 – Tous droits réservés

n
p 1 p
i

  
pn p
i1
  i
b) en tant que moyenne des variations absolues (non négatives) de l'erreur de mesure Δpi entre des
réétalonnages séparés par la période spécifiée
n1 p p
i+1 i


i1
p p
i+1 i
  (2)
t
n1
avec n tel que décrit ci-dessus. La Formule (1) est recommandée lorsque l'erreur de mesure ne présente pas une
dérive significative mais des variations aléatoires, la Formule (2) lorsque l'erreur de mesure présente une dérive
systématique et monotonique. Dans les deux cas, δ doit être accompagnée par la période de temps spécifiée: δ
t t
par année ou δ pour 2 ans
t
Note 2 à l'article: Si le signal de sortie du manomètre n'est pas la pression (mais, par exemple, la tension ou le
courant), ce signal doit être converti en pression conformément à la spécification, avant le calcul de l'erreur
de mesure.
Note 3 à l'article: La reproductibilité à long terme peut être déterminée par des réétalonnages à l'aide d'un
manomètre plus précis ou d'un étalon primaire. Cela nécessite souvent un transport, qui en lui-même peut
entraîner une instabilité de la valeur étalonnée. Pour cette raison, il n'est pas raisonnable de présumer d'une
relation linéaire entre l'instabilité et le temps (par exemple: δ pour une période de 2 ans n'équivaut pas à 2 fois δ
t t
pour une période de 1 an).
Note 4 à l'article: Sauf mention contraire, il est recommandé de déterminer δ pour une période de 1 an. Cela
t
représente généralement un compromis raisonnable entre les coûts et l'influence du transport d'une part, et une
dérive éventuelle et une incertitude de mesure la plus faible possible d'autre part.
Note 5 à l'article: L'erreur de mesure est définie en 3.3.3.
3.2.2
période de préchauffage
période de temps entre le moment qui suit la mise sous tension de l'alimentation et le moment où
l'appareil de mesure est utilisé avec l'incertitude de mesure prévue spécifiée
Note 1 à l'article: Pour un manomètre capacitif à membrane à capteur à température contrôlée, le temps
nécessaire pour atteindre et stabiliser la température du capteur doivent être pris en compte. Si le capteur n'est
pas équipé d'un régulateur de la température, le temps nécessaire à la stabilisation de la température due à la
chaleur dégagée par le circuit électrique installé dans le capteur doit être pris en compte.
Note 2 à l'article: La période de préchauffage dépend, par exemple, de l'environnement de mesure, ou l'équipement.
3.2.3
temps de réponse
temps s'écoulant entre une variation subite d'une pression appliquée et la variation correspondante
d'une indication du CDG signalant qu'il a atteint une fraction spécifiée de sa valeur finale
Note 1 à l'article: La grandeur de la variation est spécifiée.Il existe trois variantes de la variation correspondante
de l'indication; 0 % à 90 %; 0 % à 63,2 %; 10 % à 90 %.
3.2.4
intervalle de mise à jour
intervalle de temps sur la base duquel la sortie d'un CDG est mise à jour
3.2.5
pression admissible
pression de charge maximale
pression différentielle maximale pouvant être appliquée au CDG lors d'un fonctionnement dans les
limites de ses spécifications déclarées
Note 1 à l'article: Lorsqu'une pression supérieure à la pression admissible est appliquée à un capteur, un
réétalonnage du capteur est exigé.
3.2.6
pression de perturbation
pression d'éclatement
pression appliquée à un capteur, au-delà de laquelle le capteur peut tomber en panne
3.2.7
volume intérieur
volume du côté mesure (et du côté de référence, le cas échéant) dans le capteur jusqu'au plan d'étanchéité
du port de mesure (et de référence)
3.3 Autres paramètres
3.3.1
incertitude de mesure
paramètre non négatif qui caractérise la dispersion des valeurs attribuées à un mesurande, à partir des
informations utilisées
Note 1 à l'article: L'incertitude de mesure comprend des composantes provenant d'effets systématiques, telles
que les composantes associées aux corrections et aux valeurs assignées des étalons, ainsi que l'incertitude
définitionnelle. Parfois, on ne corrige pas de petits effets systématiques estimés, mais on insère plutôt des
composantes associées de l'incertitude.
Note 2 à l'article: Le paramètre peut être, par exemple, un écart-type appelé incertitude-type (ou un de ses
multiples) ou la demi-étendue d'un intervalle ayant une probabilité de couverture déterminée.
Note 3 à l'article: L'incertitude de mesure comprend en général de nombreuses composantes. Certaines peuvent
être évaluées par une évaluation de type A de l'incertitude à partir de la distribution statistique des valeurs
provenant de séries de mesurages et peuvent être caractérisées par des écarts-types. Les autres composantes,
qui peuvent être évaluées par une évaluation de type B de l'incertitude, peuvent aussi être caractérisées par
des écarts-types, évalués à partir de fonctions de densité de probabilité fondées sur l'expérience ou d'autres
informations.
Note 4 à l'article: En général, pour des informations données, on sous-entend que l'incertitude de mesure est
associée à une valeur déterminée attribuée au mesurande. Une modification de cette valeur entraîne une
modification de l'incertitude associée.
[SOURCE: Guide ISO/IEC 99:2007, 2.26].
3.3.2
exactitude de mesure
étroitesse de l'accord entre une valeur mesurée et une valeur vraie d'un mesurande
Note 1 à l'article: L'exactitude de mesure n'est pas une grandeur et ne s'exprime pas n
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