ISO 14644-10:2022
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices. NOTE 1 For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the interaction between the contamination and the surface. NOTE 2 This document does not include the contamination generation process or any time-dependent influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 10: Évaluation de la propreté chimique des surfaces
Le présent document définit les procédés d’essai appropriés afin de déterminer la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Il s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé apparenté, telle que les murs, plafonds, sols, surfaces de travail, outils, équipements et dispositifs. NOTE 1 Il n’est tenu compte que des caractéristiques chimiques des particules aux fins du présent document. Leurs propriétés physiques sont ignorées et le présent document ne traite pas non plus les interactions entre la contamination et la surface. NOTE 2 Le présent document n’inclut pas la génération de contamination ni aucune influence dépendant du temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des procédés telle que le transport et la manipulation. Il ne comporte pas non plus de recommandations relatives aux techniques statistiques de maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-10
Second edition
2022-05
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 10:
Assessment of surface cleanliness for
chemical contamination
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10: Évaluation de la propreté chimique des surfaces
Reference number
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Published in Switzerland
ii
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Contents Page
Foreword .iv
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Testing and grading surface chemical levels . 2
4.1 Principles for testing the surface chemical contamination levels of clean surfaces
in cleanrooms and controlled environments . 2
4.2 ISO SCC descriptor format . 2
4.3 ISO-SCC grade level . 4
4.4 Converter for substances into surface atomic concentration . 4
5 Measuring the cleanliness of surfaces for chemical contamination and
demonstration of grade level compliance . 5
5.1 Criteria for good cleanliness assessment . 5
5.2 Documentation and reporting . 6
5.2.1 Principle . 6
5.2.2 Testing . 6
5.2.3 Test report . 6
Annex A (informative) Conversion between different unit expressions of surface
concentration for chemical substances . 8
Annex B (informative) Parameters influencing testing and interpretation of results .15
Annex C (informative) Essential considerations for a good cleanliness assessment.16
Annex D (informative) Methods for testing surface cleanliness for chemical concentration .17
Annex E (informative) Test record documentation .29
Bibliography .30
iii
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ISO 14644-10:2022(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and
expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to
the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see
www.iso.org/iso/foreword.html.
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments, in collaboration with the European Committee for Standardization (CEN) Technical
Committee CEN/TC 243, Cleanroom technology, in accordance with the Agreement on technical
cooperation between ISO and CEN (Vienna Agreement).
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 14644-10:2013), of which it constitutes a
minor revision. The changes are as follows:
— the term class (classification, classified) changed to grade or assessment where appropriate;
— ISO 14644-1 moved from Clause 2 to the Bibliography and ISO 14644-6 removed (document
withdrawn);
— minor editorial changes.
A list of all parts in the ISO 14644 series can be found on the ISO website.
Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A
complete listing of these bodies can be found at www.iso.org/members.html.
iv
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-10:2022(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10:
Assessment of surface cleanliness for chemical
contamination
1 Scope
This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in
cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions,
atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated
controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices.
NOTE 1 For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of
a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the
interaction between the contamination and the surface.
NOTE 2 This document does not include the contamination generation process or any time-dependent
influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and
handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
ISO and IEC maintain terminology databases for use in standardization at the following addresses:
— ISO Online browsing platform: available at https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: available at https:// www .electropedia .org/
3.1
air cleanliness by chemical concentration
ACC
level, expressed as an ISO grade level N, which represents the maximum allowable concentration of a
3
given chemical species or group of chemical species, expressed in grams per cubic metre (g/m )
Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be
particles.
3.2
contaminant category
common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited
on the surface of interest
3.3
chemical contamination
chemical (non-particulate) substances that can have a deleterious effect on the product, process or
equipment
1
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3.4
solid surface
boundary between the solid phase and a second phase
3.5
surface
boundary between two phases
Note 1 to entry: One of the phases is normally a solid phase and the other a gas, a liquid or another solid.
3.6
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of a surface with respect to its chemical concentration
3.7
surface cleanliness by chemical concentration
N
SCC
common logarithm (to the base of 10) of the chemical concentration on a surface in
2
grams per square metre (g/m )
4 Testing and grading surface chemical levels
4.1 Principles for testing the surface chemical contamination levels of clean surfaces in
cleanrooms and controlled environments
The testing and grading levels shall be determined by the use of a descriptor designated “ISO-SCC”. This
is used to indicate the amount of total chemical concentration measured on a surface for an individual
chemical substance or group of substances. The SCC level is based upon the concentration of chemicals
2
on a surface as calculated using Formula (1) (given in 4.2) and expressed in g/m . For this calculation
2
all other units shall be converted to g/m . In specific cases where low concentrations need to be
determined, the concentration level of chemical on a surface may be expressed in atoms per square
centimetre, ISO-SCC , using Formula (2) in 4.4.
_atomic
4.2 ISO SCC descriptor format
The SCC level shall be designated by a grading number N , where N is the common logarithm index
SCC SCC
2
of concentration C , expressed in g/m . The SCC grade level statement shall always be connected with
SCC
a chemical substance or group of substances to which it is related. Thirteen distinct grading levels are
used from 0 to −12, where level 0 is most contaminated. Intermediate concentrations may be specified,
with 0,1 being the smallest permitted increment of N . C is determined from Formula (1), in terms
SCC SCC
of N :
SCC
N
SCC
C =10 (1)
SCC
Therefore, NC=log .
SCCS10 CC
C , the concentration of the specified chemical substance or group of substances, is expressed in g/
SCC
2
m . The measured chemical concentration on a surface shall not exceed the level of SCC, C to satisfy
SCC
the predetermined SCC that is agreed between the customer and the supplier.
In all cases, N grade level numbers shall include the negative sign.
SCC
NOTE 1 An SCC grade level number is only valid in connection with a descriptor (see 4.3).
2
NOTE 2 For converting from gravimetric concentration (g/m ) to numeric concentration (number of atoms,
molecules or ions per unit area), see 4.4.
2
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Table 1 and Figure 1 further illustrate the ISO-SCC designation as a function of chemical concentration
on a surface.
Note also the parameters listed in Annex B that influence measured chemical levels.
Table 1 — ISO-SCC grading levels
ISO-SCC level Concentration Concentration Concentration
2 2 2
g/m μg/m ng/m
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
−1 10 10 10
−2 4 7
−2 10 10 10
−3 3 6
−3 10 10 10
−4 2 5
−4 10 10 10
−5 1 4
−5 10 10 10
−6 0 3
−6 10 10 10
−7 −1 2
−7 10 10 10
−8 −2 1
−8 10 10 10
−9 −3 0
−9 10 10 10
−10 −4 −1
−10 10 10 10
−11 −5 −2
−11 10 10 10
−12 −6 −3
−12 10 10 10
3
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ISO 14644-10:2022(E)
Key
2
X surface mass concentration (g/m )
1
2
X surface mass concentration (μg/m )
2
2
X surface mass concentration (ng/m )
3
Y ISO-SCC grade level
Figure 1 — ISO-SCC grade levels as a function of concentration
4.3 ISO-SCC grade level
An SCC grade level is only valid in connection with a descriptor that includes the chemical substance
or group of substances for which this level number is valid. The ISO-SCC descriptor is expressed in the
format ISO-SCC Level N (X), where X is a chemical substance or group of chemical substances.
EXAMPLE 1 With an N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP) sample, the measured value of chemical contamination
2 2
on a surface was 9,8E-7 g/m . This is within the grade level limit of 1E-6 g/m for Level −6. The designation
would be: “ISO-SCC Level −6 (NMP).”
2
EXAMPLE 2 With an organic compound sample, the measured value was 6E-5 g/m of total organic
2
compounds (TOC). This is within the grade level limit of 1E-4 g/m for Level −4. The designation would be: “ISO-
SCC Level −4 (TOC).”
4.4 Converter for substances into surface atomic concentration
Very low concentrations are usually measured in surface number concentrations in the units of number
2
of molecules, atoms or ions per surface area (1/m ). For grade level determination purposes, these
4
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ISO 14644-10:2022(E)
2
should be converted into surface mass concentrations in the unit mass per surface area (g/m ). This
conversion is made using Formula (2):
MC()
SCC_number
C = (2)
SCC
N
a
where
C is the surface number concentration = number of molecules, atoms or ions per surface
SCC_number
2
area (1/m );
2
C is the surface mass concentration (g/m );
SCC
23
N is Avogadro’s number (6,02 × 10 /mol);
a
M is the molar mass of atomic, molecular or ionic species (g/mol).
For information purposes, Figure A.4 in Annex A illustrates the relationship between chemical
2
concentration on a surface (expressed in g/m ) and the atomic concentration on a surface (expressed in
2
atoms/m ) for typical substances.
5 Measuring the cleanliness of surfaces for chemical contamination and
demonstration of grade level compliance
5.1 Criteria for good cleanliness assessment
Figure D.2 in Annex D illustrates how to measure different types of contamination, showing differing
sampling and measuring methods.
Tests performed to demonstrate compliance shall be conducted in a laboratory environment where
the airborne chemical contaminant and the airborne particle contaminant levels do not negatively
influence the grade determination. Suitable measurement methods and calibrated instruments shall
be used for all tests. The environment, measurement methods and instruments shall be agreed upon
between customer and supplier.
Additional test essentials are discussed in Annex C, while Annex D details measurement methods for
demonstrating compliance.
The list of typical measurement methods is not exhaustive. Alternative methods that produce results
with comparable accuracy may be specified by agreement between customer and supplier.
Measurement by different methods, even when those methods are correctly applied, may produce
different results of equal validity.
Repeated measurements are recommended as part of the statistical approach.
Specific problems, such as concentration spikes, may occur when measuring high levels of cleanliness.
Special quality-control techniques will then be required, as explained in Figure D.4 in Annex D.
Precautions should be taken to reduce electrostatic charge around the test zone, as electrostatic charge
enhances chemical deposition onto surfaces. If the surface is neither conductive nor grounded or
charge-neutralized, electrostatic charges can occur. Therefore, test results can vary.
For typical methods of measurement for testing surface cleanliness by chemical concentration, refer to
Annex D.
5
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5.2 Documentation and reporting
5.2.1 Principle
Compliance with surface cleanliness chemical concentration (SCC) grade level requirement, as
specified by the customer, is verified by performing measurements and by providing documentation of
the results and conditions of measurement. Details for demonstrating compliance shall be agreed upon
between customer and supplier in advance.
5.2.2 Testing
Tests performed to demonstrate compliance shall be conducted using suitable measurement methods
together with calibrated instruments whenever possible.
Measurement methods for demonstrating compliance are described in Annex D. The list of typical
methods described is not exhaustive. The testing environment shall be agreed between customer and
supplier. Alternative methods of comparable accuracy also may be specified by agreement between
customer and supplier.
Measurement by different methods, even when correctly applied, may produce different results of
equal validity.
Repeated measurements are recommended.
The testing environment should be agreed between customer and supplier.
5.2.3 Test report
The results from testing each surface shall be recorded and submitted as a comprehensive report,
together with a statement of compliance or non-compliance to the required SCC grade level. The test
report shall include as a minimum the following:
a) name and address of the testing organization;
b) name of the person performing the test;
c) measurement environment;
d) date, time and duration of sampling;
e) time of measurement;
f) a reference to this document, i.e. ISO 14644-10:2022;
g) clear identification of the location of the surface measured and specific designations for coordinates
of the surface, if applicable;
h) surface cleanliness by chemical concentration level with designation expressed as SCC grade level
N;
i) acceptance criteria for the clean surface if agreed between customer and supplier;
j) specified measurement method(s), equipment resolution and detection limits;
k) details of the test procedure used, with any available data describing deviations from the test
procedure (if agreed);
l) identification of the instrument(s) used and current calibration certificate(s);
m) number of measurements performed;
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n) test results, including chemical concentration(s) data for given substances, for all measurements
performed;
o) surface condition, i.e. after final cleaning, before or after packaging, with agreement on type and
quality of packaging required.
An example of how this test report may be constructed can be found in Annex E. Other variations of the
test report which are agreeable to both the customer and supplier may be used.
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Annex A
(informative)
Conversion between different unit expressions of surface
concentration for chemical substances
A.1 Principle
2
In addition to the unit of surface mass concentration of g/m , there exist several different units
to express surface number concentration of an organic compound or a group of organics such as
2 2
molecules/m , based on a number of organic molecules, and atoms C/m , based on a number of atoms of
carbon composing organic compound(s) under consideration for each contaminant category.
A.2 Examples
For information purposes, Tables A.1 to A.3 illustrate how the different units of surface number
2 2
concentrations (molecules/m or atoms C/m ) can be converted into surface mass concentrations in
2 2
terms of carbon (g C/m ) or whole compound (g/m ), respectively, using the examples of heptane,
hexadecane and di (2-ethylhexyl) phthalate.
2
Table A.1 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ] and
2 2
surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for heptane (C H ), CAS No. 142–
7 16
82–5
Symbol Unit M = 100,2, N = 7
c
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number mo-
2
C [molecules/m ] 1,00E+19 1,42E+18 7,16E+16 6,01E+16
molecule
lecular concentration
Surface number con-
2
centration in terms C [atoms C/m ] 7,00E+19 1,00E+19 5,00E+17 4,19E+17
carbon_number
of carbon
Surface mass concen-
2
tration in terms of C [g C/m ] 1,39E-3 1,98E-4 1,00E-4 8,39E-6
carbon_mass
carbon
Surface mass concen-
2
C [g/m ] 1,66E-3 2,36E-4 1,19E-4 1,00E-6
SCC
tration
8
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2
Table A.2 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ] and
2 2
surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for hexadecane (C H ), CAS No.
17 34
544–76–3
Symbol Unit M = 226,4, N = 17
c
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number mo-
2
C [molecules/m ] 1,00E+19 6,20E+18 3,12E+16 2,60E+16
molecule
lecular concentration
Surface number con-
2
centration in terms C [atoms C/m ] 1,59E+20 1,00E+19 5,00E+17 4,20E+17
carbon_atom
of carbon
Surface mass concen-
2
tration in terms of C [g C/m ] 3,19E-3 2,00E-4 1,00E-4 8,49E-6
carbon_mass
carbon
Surface mass concen-
2
C [g/m ] 3,77E-3 2,35E-4 1,17E-4 1,00E-4
SCC
tration
2
Table A.3 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ] and
2 2
surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for di (2-ethylhexyl) phthalate
(C H O ), CAS No. 117–817–7
24 38 4
Symbol Unit M = 390,6, N = 24
c
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number molecular
2
C [molecules/m ] 1,00E+19 4,20E+18 2,00E+16 1,50E+16
molecule
concentration
Surface number concentration C
carbon_ 2
[atoms C/m ] 2,39E+20 1,00E+19 4,89E+17 3,60E+17
in terms of carbon
atom
Surface mass concentration in C
carbon_ 2
[g C/m ] 4,89E-3 2,04E-4 1,00E-4 7,37E-6
terms of carbon
mass
2
Surface mass concentration C [g/m ] 6,62E-3 2,76E-4 1,35E-4 1,00E-4
SCC
Each surface number concentration can be converted to the original surface concentration from
Formulae (A.1) to (A.3):
M[]gm/ ol
22
CCgm//= moleculesm × (A.1)
SCCmolecule
N molecules//mol
[]
a
2
C atoms Cm/
carbon _ atom M gm/ ol
[]
2
C gm/ = × (A.2)
SCC
N [atoms Cm/ olecule]] N []moleculesm/ ol
c a
2
C [/g Cm ]
carbon _mass
M [g /mol]
2 c
C gm/ = ×M [g /mol] (A.3)
SCC
N [atoms C/molecule]
c
where
N is the number of carbon composing organic compound(s) under consideration;
c
M is the molar mass of carbon.
c
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Surface number concentration with different types of unit expression based on Langmuir–Blodgett (LB)
film for typical organics is also listed in Table A.4. The surface number concentration can be obtained
from Formula (A.4):
2 13//23
CMgm/(= /)Nd (A.4)
SCCL_ Ba
3
where d is the density of organic compound(s) in g/m .
Table A.4 — Monolayer concentration based on Langmuir–Blodgett film
Di (2-ethylhexyl)
Heptane (C H ), Hexadecane (C H ),
7 16 17 34
phthalate (C H O ),
24 38 4
CAS No. 142–82–5 CAS No. 544–76–3
CAS No. 117–817–7
Surface number molecular con-
2,55E+18 1,62E+18 1,34E+18
centration
Surface number concentration
1,79E+19 2,59E+19 3,21E+19
in terms of carbon
Surface mass concentration in
3,56E-4 5,18E-4 6,56E-4
terms of carbon
Surface mass concentration 4,24E-4 6,10E-4 8,88E-4
For information purposes, Figures A.1 to A.4 illustrate how the different units of surface number
2 2
concentrations (molecules/m or atoms C/m ) can be converted into surface mass concentrations in
2 2
terms of carbon (g C/m ) or whole compound (g/m ), respectively.
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Key
2 2
X surface molecular concentration (molecules/m ) [surface molecular concentration (molecules/cm )]
2 2
Y surface mass concentration (g/m ) [surface mass concentration (g/cm )]
surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4
2
Figure A.1 — The relationship between the units of surface mass concentration (g/m ) and
2
surface molecular concentration (molecules/m ) for typical organics
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Key
2
X surface atomic concentration in terms of mass of carbon (grams C/m ) [surface atomic concentration in
2
terms of mass of carbon (grams C/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4
2
Figure A.2 — The relationship between the units of surface concentration (g/m ) and surface
2
atomic concentrations, in terms of mass of carbon (grams C/m ) for typical organics
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Key
2
X surface atomic concentration in terms of numbers of carbon (atoms C/m ) [surface atomic concentration in
2
terms of numbers of carbon (atoms C/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4
2
Figure A.3 — The relationship between the units of surface concentration (g/m ) and surface
2
atomic concentration, in terms of numbers of carbon (atoms C/m ) for typical organics
13
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ISO 14644-10:2022(E)
Key
2
X surface atomic concentration in terms of numbers of atoms (atoms/m ) [surface atomic concentration in terms
2
of numbers of atoms (atoms/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
1 Li (M = 6,9) 8 Ti (M = 47,8) 15 Zn (M = 65,4)
2 B (M = 10,8) 9 Cr (M = 52,0) 16 As (M = 74,9)
3 Na (M = 23,0) 10 Mn (M = 54,9) 17 Sn (M = 118,7)
4 Mg (M = 24,3) 11 Fe (M = 55,9) 18 Ba (M = 137,33)
5 Al (M = 27,0) 12 Co (M = 58,9) 19 Pb (M = 207,2)
6 K (M = 39,1) 13 Ni (M = 58,7)
7 Ca (M = 40,1) 14 Cu (M = 63,4)
2
Figure A.4 — The relationship between the units of surface mass concentration (g/m ) and
2
surface atomic concentration in terms of numbers of atoms (atoms/m ) for typical substances
14
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ISO 14644-10:2022(E)
Annex B
(informative)
Parameters influencing testing and interpretation of results
B.1 Parameters
Parameters influencing testing and interpretation of results include the following:
a) skill level of personnel doing sampling or making the test;
b) reliability, repeatability and capability level of the testing laboratory;
c) cleanliness level of sample vessels, tools and test equipment;
d) cleanliness level of packaging used for shipping the samples;
e) use of an agreed sampling, blank and error management procedure for collecting and measuring
samples (see Figure D.3 in Annex D);
f) unauthorized opening of the sample;
g) opening the sample outside a controlled environment;
h) quality of chemical or water used to strip the chemical from its substrate;
i) loss of analyte during sampling, shipping or testing;
j) loss or change of analyte by desorption or thermal decomposition during test heating;
k) failure to continually recalibrate test equipment or to investigate unusual data excursions (test
spikes);
l)
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-10
Deuxième édition
2022-05
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Évaluation de la propreté chimique
des surfaces
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
Numéro de référence
ISO 14644-10:2022(F)
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Publié en Suisse
ii
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ISO 14644-10:2022(F)
Sommaire Page
Avant propos .iv
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions . 1
4 Évaluation des niveaux chimiques de surface . 2
4.1 Principes d’évaluation des niveaux de contamination chimique des surfaces dans
les salles propres et environnements maîtrisés . 2
4.2 Format de descripteur ISO-SCC . 2
4.3 Niveau ISO-SCC . 4
4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface . 4
5 Mesurer la propreté des surfaces par rapport à la contamination chimique et
démontrer la conformité aux exigences de niveau . 5
5.1 Critères d’évaluation de la propreté . 5
5.2 Documentation et rapport . 6
5.2.1 Principe. 6
5.2.2 Essais . 6
5.2.3 Rapport d’essai . 6
Annexe A (informative) Conversion entre différentes unités d’expression de la
concentration surfacique des substances chimiques . 8
Annexe B (informative) Paramètres influençant les essais et l’interprétation des résultats .15
Annexe C (informative) Considérations essentielles pour une évaluation correcte de la
propreté .16
Annexe D (informative) Méthodes de détermination de la propreté chimique de surface .18
Annexe E (informative) Documentation relative à l’enregistrement des essais .29
Bibliographie .30
iii
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ISO 14644-10:2022(F)
Avant propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a
été rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir
www.iso.org/directives).
L'attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l'élaboration du document sont indiqués dans l'Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l'ISO (voir www.iso.org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l'ISO liés à l'évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l'adhésion
de l'ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir www.iso.org/avant-propos.
Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés, en collaboration avec le comité technique CEN/TC 243, Technologie des salles
propres, du Comité européen de normalisation (CEN) conformément à l’Accord de coopération technique
entre l’ISO et le CEN (Accord de Vienne).
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO 14644-10:2013), dont elle constitue
une révision mineure. Les modifications sont les suivantes:
— le terme classe (classification, classé) a été modifié en niveau ou évaluation le cas échéant;
— l’ISO 14644-1 a été déplacée de l’Article 2 à la Bibliographie et l’ISO 14644-6 a été supprimée
(document abandonné);
— modifications éditoriales mineures.
Une liste de toutes les parties de la série ISO 14644 se trouve sur le site web de l’ISO.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www.iso.org/fr/members.html.
iv
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NORME INTERNATIONALE ISO 14644-10:2022(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Évaluation de la propreté chimique des surfaces
1 Domaine d’application
Le présent document définit les procédés d’essai appropriés afin de déterminer la propreté des surfaces
dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions,
atomes et particules). Il s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement
maîtrisé apparenté, telle que les murs, plafonds, sols, surfaces de travail, outils, équipements et
dispositifs.
NOTE 1 Il n’est tenu compte que des caractéristiques chimiques des particules aux fins du présent document.
Leurs propriétés physiques sont ignorées et le présent document ne traite pas non plus les interactions entre la
contamination et la surface.
NOTE 2 Le présent document n’inclut pas la génération de contamination ni aucune influence dépendant du
temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des procédés telle que le transport
et la manipulation. Il ne comporte pas non plus de recommandations relatives aux techniques statistiques de
maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: disponible à l’adresse https:// www .electropedia .org/
3.1
propreté de l’air selon la concentration en substances chimiques
ACC
niveau exprimé sous forme de niveau ISO N, qui représente la concentration maximale admissible d’une
espèce chimique ou d’un groupe d’espèces chimiques donné, exprimée en grammes par mètre cube (g/
3
m )
Note 1 à l'article: Cette définition n’inclut pas les macromolécules d’origine biologique, lesquelles sont assimilées
à des particules.
3.2
catégorie de contaminant
nom courant d’un groupe de composés aux effets néfastes similaires lorsqu’ils se trouvent sur la surface
d’intérêt
1
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ISO 14644-10:2022(F)
3.3
contamination chimique
substances chimiques (non particulaires) pouvant avoir un effet dommageable sur le produit, le procédé
ou l’équipement
3.4
surface solide
frontière entre la phase solide et une seconde phase
3.5
surface
frontière entre deux phases
Note 1 à l'article: Une des phases est normalement une phase solide et l’autre un gaz, un liquide ou un autre solide.
3.6
propreté de surface selon la concentration en substances chimiques
SCC
<état> état d’une surface en fonction de sa concentration en substances chimiques
3.7
propreté de surface selon la concentration en substances chimiques
N
SCC
logarithme décimal (de base 10) de la concentration en substances chimiques sur
2
une surface, en grammes par mètre carré (g/m )
4 Évaluation des niveaux chimiques de surface
4.1 Principes d’évaluation des niveaux de contamination chimique des surfaces dans
les salles propres et environnements maîtrisés
Les niveaux doivent être déterminés par l’utilisation d’un descripteur désigné par «ISO-SCC».
Ce descripteur est utilisé pour indiquer la concentration chimique totale mesurée sur une surface
pour une substance chimique individuelle ou un groupe de substances. Le niveau SCC repose sur la
concentration en substances chimiques sur une surface, calculée d’après l’Équation (1) (donnée en 4.2)
2 2
et exprimée en g/m . Pour ce calcul, toutes les autres unités doivent être converties en g/m . Dans
les cas particuliers où de faibles concentrations doivent être déterminées, le niveau de concentration
sur une surface peut être exprimé en atomes par centimètre carré, ISO-SCC , au moyen de
_atomique
l’Équation (2) en 4.4.
4.2 Format de descripteur ISO-SCC
Le niveau de SCC doit être représenté par un numéro de niveau, N , qui est le logarithme décimal
SCC
2
de la concentration, C exprimée en g/m . L’énoncé du niveau de SCC doit toujours mentionner une
SCC
substance chimique ou un groupe de substances chimiques à laquelle/auquel le niveau correspond.
Treize niveaux distincts sont utilisés de 0 à –12, où le niveau 0 est le plus contaminé. Des concentrations
intermédiaires peuvent être indiquées, avec 0,1 comme plus petit incrément autorisé de N . C est
SCC SCC
déterminée à partir de l’Équation (1) en fonction de N :
SCC
N
SCC
C =10 (1)
SCC
Par conséquent, N = log C .
SCC 10 SCC
C , la concentration pour la substance ou le groupe de substances chimiques spécifié est exprimée
SCC
2
en g/m . La concentration en substances chimiques mesurée sur une surface ne doit pas dépasser le
niveau de SCC, C , afin de satisfaire à la concentration prédéterminée SCC convenue entre le client et
SCC
le fournisseur.
2
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ISO 14644-10:2022(F)
Dans tous les cas, les numéros de niveau N doivent comporter un signe négatif.
SCC
NOTE 1 Un numéro de niveau de SCC n’est valable qu’associé à un descripteur (voir 4.3).
2
NOTE 2 Pour convertir les concentrations gravimétriques (g/m ) en concentrations numériques (nombre
d’atomes ou molécules ou ions par unité de surface), voir 4.4.
Le Tableau 1 et la Figure 1 illustrent la désignation ISO-SCC en fonction de la concentration sur une
surface en substances chimiques.
Les paramètres répertoriés dans l’Annexe B influent sur les concentrations chimiques mesurées et sont
également à noter.
Tableau 1 — Niveaux ISO-SCC
Niveau ISO-SCC Concentration Concentration Concentration
2 2 2
g/m μg/m ng/m
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
−1 10 10 10
−2 4 7
−2 10 10 10
−3 3 6
−3 10 10 10
−4 2 5
−4 10 10 10
−5 1 4
−5 10 10 10
−6 0 3
−6 10 10 10
−7 −1 2
−7 10 10 10
−8 −2 1
−8 10 10 10
−9 −3 0
−9 10 10 10
−10 −4 −1
−10 10 10 10
−11 −5 −2
−11 10 10 10
−12 −6 −3
−12 10 10 10
3
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ISO 14644-10:2022(F)
Légende
2
X concentration massique par unité de surface (g/m )
1
2
X concentration massique par unité de surface (μg/m )
2
2
X concentration massique par unité de surface (ng/m )
3
Y niveau ISO-SCC
Figure 1 — Niveaux ISO-SCC en fonction de la concentration
4.3 Niveau ISO-SCC
Un niveau de SCC n’est valable qu’associé à un descripteur comportant la substance chimique ou le
groupe de substances auquel ce numéro de niveau s’applique. Le descripteur ISO-SCC est exprimé sous
la forme niveau ISO-SCC N (X), où X est une substance chimique ou un groupe de substances chimiques.
EXEMPLE 1 Avec un échantillon de N-méthyl-2-pyrrolidone (NMP), il a été mesuré une contamination
2 2
chimique sur une surface de 9,8E-7 g/m . Ce chiffre est inférieur à la limite du niveau 1E-6 g/m pour le niveau −6.
La désignation serait donc: «Niveau ISO-SCC −6 (NMP)».
EXEMPLE 2 Dans un échantillon de composé organique, il a été mesuré une teneur totale en carbone organique
2 2
(TOC) de 6E-5 g/m . Ce chiffre est inférieur à la limite du niveau 1E-4 g/m pour le niveau −4. La désignation
serait donc: «Niveau ISO-SCC −4 (TOC)».
4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface
Les concentrations très faibles sont généralement mesurées en concentrations numériques par unité
2
de surface, c’est-à-dire en nombre de molécules, atomes ou ions par unité de surface (1/m ). Afin de
4
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ISO 14644-10:2022(F)
déterminer le niveau de SCC, il convient de convertir ces concentrations en concentrations massiques
2
par unité de surface (g/m ). Cette conversion se fait au moyen de l’Équation (2):
MC()
SCC_numéro
C = (2)
SCC
N
a
où
C est la concentration numérique par unité de surface = nombre de molécules, atomes ou
SCC_numéro
2
ions par unité de surface (1/m );
2
C est la concentration massique par unité de surface (g/m );
SCC
23
N est le nombre d’Avogadro (6,02 × 10 /mol);
a
M est la masse molaire de l’espèce atomique, moléculaire ou ionique (g/mol).
À titre informatif, la Figure A.4 de l’Annexe A illustre la relation entre la concentration chimique sur une
2 2
surface (exprimée en g/m ) et la concentration atomique sur cette surface (exprimée en atomes/m )
pour des substances types.
5 Mesurer la propreté des surfaces par rapport à la contamination chimique et
démontrer la conformité aux exigences de niveau
5.1 Critères d’évaluation de la propreté
La Figure D.2 de l’Annexe D montre comment mesurer différents types de contamination et présente
différentes méthodes de prélèvement et de mesurage.
Les essais pour démontrer la conformité doivent être réalisés dans un environnement de laboratoire
où les niveaux de contaminants chimiques et particulaires aéroportés n’influencent pas négativement
la détermination des niveaux de SCC. Tous ces essais doivent être effectués au moyen de méthodes
et instruments de mesurage adaptés et étalonnés. L’environnement, les méthodes et instruments de
mesurage doivent être convenus entre le client et le fournisseur.
D’autres facteurs à considérer pour l’évaluation de la propreté des surfaces sont traités dans l’Annexe C,
tandis que l’Annexe D détaille les méthodes de mesurage permettant de démontrer la conformité.
La liste des méthodes de mesurage types n’est pas exhaustive. D’autres méthodes produisant des
résultats d’une justesse comparable peuvent être acceptées sur accord entre le client et le fournisseur.
Des méthodes de mesurage différentes, même lorsqu’elles sont correctement appliquées, peuvent
produire des résultats différents d’égales validités.
L’approche statistique recommande des mesurages répétés.
Des problèmes particuliers tels que des pics de concentration peuvent survenir lors de mesurages de
hauts niveaux de propreté. Dans de tels cas, des techniques spéciales de maîtrise de la qualité sont alors
requises, comme l’explique la Figure D.4 de l’Annexe D.
Il convient de prendre des précautions pour réduire la charge électrostatique aux alentours de la
zone de mesure. La présence d’une charge électrostatique augmente en effet le dépôt de substances
chimiques sur les surfaces. Si la surface n’est ni conductrice ni mise à la terre ni neutralisée, des charges
électrostatiques peuvent s’accumuler, ce qui peut influencer les résultats des essais.
Des méthodes de mesurage types de détermination de la propreté chimique de surface sont décrites à
l’Annexe D.
5
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ISO 14644-10:2022(F)
5.2 Documentation et rapport
5.2.1 Principe
La conformité aux exigences de niveau de propreté chimique de surface (SCC) spécifiées par le client
est vérifiée par des mesurages et par la fourniture d’une documentation contenant les résultats et les
conditions de mesurage. Les détails de la démonstration de conformité sont à convenir par avance entre
le client et le fournisseur.
5.2.2 Essais
Chaque fois que possible, les essais réalisés pour démontrer la conformité doivent être effectués au
moyen de méthodes de mesurage appropriées et d’instruments étalonnés.
Les méthodes de mesurage permettant de démontrer la conformité sont décrites à l’Annexe D. La liste
des méthodes de mesurage types n’est pas exhaustive. L’environnement d’essai doit faire l’objet d’un
accord entre le client et le fournisseur. D’autres méthodes de justesse comparable peuvent également
être choisies, sur accord entre le client et le fournisseur.
Des méthodes de mesurage différentes, même lorsqu’elles sont correctement appliquées, peuvent
produire des résultats différents d’égales validités.
Il est recommandé de répéter les mesurages.
Il convient que l’environnement d’essai fasse l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.
5.2.3 Rapport d’essai
Les résultats des essais sur chaque surface doivent être consignés et soumis sous forme d’un rapport
détaillé, avec une déclaration de conformité ou non-conformité au niveau de SCC spécifié. Le rapport
doit inclure au minimum les éléments suivants:
a) le nom et l’adresse de l’organisme d’essai;
b) le nom de l’opérateur réalisant l’essai;
c) l’environnement de mesurage;
d) la date, l’heure et la durée de l’échantillonnage;
e) l’heure du mesurage;
f) une référence au présent document, c’est-à-dire l’ISO 14644-10:2022;
g) l’identification claire de l’endroit où se situe la surface dont la propreté est à mesurer et les
désignations spécifiques des coordonnées de la surface, le cas échéant;
h) le niveau de propreté chimique de surface avec son descripteur sous la forme niveau ISO-SCC N;
i) les critères d’acceptation de la surface propre convenus entre le client et le fournisseur;
j) les méthodes de mesurage, la résolution des équipements et les limites de détection spécifiées;
k) les détails des modes opératoires utilisés, avec toutes les données disponibles décrivant les écarts
convenus par rapport au mode opératoire;
l) l’identification des instruments utilisés et des certificats d’étalonnage en cours de validité;
m) le nombre de mesures effectuées;
n) les résultats des essais, y compris les concentrations pour des substances chimiques données, pour
toutes les mesures effectuées;
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o) l’état de la surface; c’est-à-dire après le nettoyage final, avant ou après l’emballage, avec l’accord sur
le type et la qualité de l’emballage requis.
Un exemple de la façon dont ce rapport d’essai peut être élaboré est donné à l’Annexe E. D’autres
variations du rapport d’essai en accord avec le client et le fournisseur peuvent être utilisées.
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Annexe A
(informative)
Conversion entre différentes unités d’expression de la
concentration surfacique des substances chimiques
A.1 Principe
Outre l’expression de la concentration d’un composé organique ou groupe de composés organiques
2
par une masse par unité de surface en g/m , il existe plusieurs unités alternatives qui permettent
d’exprimer cette même concentration par un nombre d’unités par unité de surface. Il est ainsi possible
2
d’obtenir un nombre de molécules organiques/m , d’après la masse molaire de la molécule en question,
2
puis un nombre d’atomes de carbone/m , d’après le nombre d’atomes de carbone dans le composé
organique en question pour chaque catégorie de contaminant.
A.2 Exemples
À titre informatif, les Tableaux A.1 et A.3 montrent comment les différentes unités de concentration
2 2
numérique par unité de surface (molécules/m ou atomes C/m ) peuvent être converties en masse de
2 2
carbone par unité de surface (g C/m ) ou masse de molécules par unité de surface (g/m ) au moyen des
exemples de l’heptane, de l’hexadécane et du di (2-éthylhexyl) phtalate.
2
Tableau A.1 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ]
2 2
et la concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface
o
pour l’heptane (C H ), n CAS 142-82-5
7 16
Symbole Unité M = 100,2, N = 7
c
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en
2
molécules par unité C [molécules/m ] 1,00E+19 1,42E+18 7,16E+16 6,01E+16
molécule
de surface
Concentration en
C
nombre_car- 2
atomes de carbone [atomes C/m ] 7,00E+19 1,00E+19 5,00E+17 4,19E+17
bone
par unité de surface
Concentration en
2
masse de carbone C [g C/m ] 1,39E-3 1,98E-4 1,00E-4 8,39E-6
masse_carbone
par unité de surface
Concentration en
2
C [g/m ] 1,66E-3 2,36E-4 1,19E-4 1,00E-6
SCC
masse par surface
8
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ISO 14644-10:2022(F)
2
Tableau A.2 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ]
2 2
et la concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface
o
pour l’hexadécane (C H ), n CAS 544-76-3
17 34
Symbole Unité M = 226,4, N = 17
c
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en
2
molécules par unité C [molécules/m ] 1,00E+19 6,20E+18 3,12E+16 2,60E+16
molécule
de surface
Concentration en
2
atomes de carbone C [atomes C/m ] 1,59E+20 1,00E+19 5,00E+17 4,20E+17
atome_carbone
par unité de surface
Concentration en
2
masse de carbone par C [g C/m ] 3,19E-3 2,00E-4 1,00E-4 8,49E-6
masse_carbone
unité de surface
Concentration en
2
C [g/m ] 3,77E-3 2,35E-4 1,17E-4 1,00E-4
SCC
masse par surface
2
Tableau A.3 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ]
2 2
et la concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface
o
pour le di (2-éthylhexyl) phtalate (C H O ), n CAS 117-817-7
24 38 4
Symbole Unité M = 390,6, N = 24
c
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en molécules
2
C [molécules/m ] 1,00E+19 4,20E+18 2,00E+16 1,50E+16
molécule
par unité de surface
Concentration en atomes
C
atome_car- 2
de carbone par unité de [atomes C/m ] 2,39E+20 1,00E+19 4,89E+17 3,60E+17
bone
surface
Concentration en masse
C
masse_car- 2
de carbone par unité de [g C/m ] 4,89E-3 2,04E-4 1,00E-4 7,37E-6
bone
surface
Concentration en masse
2
C [g/m ] 6,62E-3 2,76E-4 1,35E-4 1,00E-4
SCC
par surface
Chaque concentration numérique peut être convertie en sa concentration massique originelle grâce aux
Équations (A.1) à (A.3):
M[]gm/ ol
22
CCgm//= moléculesm × (A.1)
SCCmolécule
N molécules//mol
[]
a
2
C atomes C / m
atome_carbone M gm/ ol
[]
2
C gm/ = × (A.2)
SCC
N []atomes C / molécuule N []moléculesm/ ol
c a
2
C [/g Cm ]
masse_carbone
M [g /mol]
2 c
C gm/ = ×M [g /mol] (A.3)
SCC
N [atommes C/molécule]
c
où
N est le nombre d’atomes de carbone composant l’élément organique considéré;
c
M est la masse molaire du carbone.
c
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La concentration numérique exprimée en différentes unités, pour un film Langmuir-Blodgett (LB)
dans le cas des substances organiques types, est aussi donnée dans le Tableau A.4. La concentration
numérique peut être obtenue par l’Équation (A.4):
2 13//23
CMgm/(= /)Nd (A.4)
SCCL_ Ba
3
où d est la masse volumique du ou des composé(s) organique(s), en g/m .
Tableau A.4 — Concentration monocouche pour un film LB
Di (2-éthylhexyl)
Heptane (C H ), Hexadecane (C H ),
7 16 17 34
phtalate (C H O ),
o o 24 38 4
n CAS 142-82-5 n CAS 544-76-3
o
n CAS 117-817-7
Concentration en molécules par unité
2,55E+18 1,62E+18 1,34E+18
de surface
Concentration en atomes de carbone
1,79E+19 2,59E+19 3,21E+19
par unité de surface
Concentration en masse de carbone
3,56E-4 5,18E-4 6,56E-4
par unité de surface
Concentration en masse par surface 4,24E-4 6,10E-4 8,88E-4
À titre informatif, les Figures A.1 à A.4 montrent comment les différentes unités de concentration
2 2
numérique par unité de surface (molécules/m ou atomes C/m ) peuvent être converties en masse de
2 2
carbone par unité de surface (g C/m ) ou masse de molécules par unité de surface (g/m ).
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Légende
2
X concentration moléculaire par unité de surface (molécules/m ) [concentration moléculaire par unité de
2
surface (molécules/cm )]
2 2
Y concentration massique par unité de surface (g/m ) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]
concentration surfacique correspondant à une monocouche pour le modèle LB
o
1 heptane (C H ), n CAS 142-82-5
7 16
o
2 hexadecane (C H ), n CAS 544-76-3
17 34
o
3 di (2-éthylhexyl) phtalate (C H O ), n CAS 117-817-7
24 38 4
2
Figure A.1 — Relation entre les concentrations massiques par unité de surface (g/m ) et
2
en nombre de molécules par surface (molécules/m ) pour des substances organiques types
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Légende
2
X concentration atomique par surface exprimée en masse de carbone (grammes C/m ) [concentration atomique
2
par surface exprimée en masse de carbone (grammes C/cm )]
2 2
Y concentration massique par unité de surface (g/m ) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]
concentration surfacique correspondant à une monocouche pour le modèle LB
o
1 heptane (C H ), n CAS 142-82-5
7 16
o
2 hexadecane (C H ), n CAS 544-76-3
17 34
o
3 di (2-éthylhexyl) phtalate (C H O ), n CAS 117-817-7
24 38 4
2
Figure A.2 — Relation entre la concentration massique par unité de surface (g/m )
2
et la concentration atomique exprimée en masse de carbone par surface (g C/m )
pour des substances organiques types
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