ISO 3529-3:2014
(Main)Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
ISO 3529-3:2014 gives definitions of total and partial pressure vacuum gauges. lt is a continuation of ISO 3529‑1, which defines general terms used in vacuum technology, and of ISO 3529‑2, which gives definitions of vacuum pumps and related terms.
Technique du vide — Vocabulaire — Partie 3: Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions partielles
l'ISO 3529-3:2014 donne les définitions des manomètres de pression totale et des analyseurs de pressions partielles. Elle fait suite à l'ISO 3529‑1, qui définit les termes généraux utilisés en technique du vide, et à l'ISO 3529‑2, qui donne les définitions des pompes à vide et les termes associés.
General Information
Relations
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Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 3529-3
Second edition
2014-04-15
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3:
Total and partial pressure vacuum
gauges
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3: Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions
partielles
Reference number
©
ISO 2014
© ISO 2014
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written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
the requester.
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ii © ISO 2014 – All rights reserved
Contents Page
Foreword .iv
1 Scope . 1
2 Terms and definitions . 1
2.1 General terms . 1
2.2 General categories of vacuum gauges . 2
2.3 Characteristics of vacuum gauges . 2
2.4 Total pressure vacuum gauges . 3
2.5 Partial pressure vacuum gauges . 7
Annex A (informative) Tree diagram of total pressure vacuum gauges. 9
Bibliography .10
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation on the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity
assessment, as well as information about ISO’s adherence to the WTO principles in the Technical Barriers
to Trade (TBT) see the following URL: Foreword - Supplementary information
The committee responsible for this document is ISO/TC 112, Vacuum technology.
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 3529-3:1981), which has been technically
revised in order to include terms of now common vacuum gauges and to adapt terms to new developments
and general use of terms in publications.
ISO 3529 consists of the following parts, under the general title Vacuum technology — Vocabulary:
— Part 1: General terms
— Part 2: Vacuum pumps and related terms
— Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
iv © ISO 2014 – All rights reserved
INTERNATIONAL STANDARD ISO 3529-3:2014(E)
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3:
Total and partial pressure vacuum gauges
1 Scope
This part of ISO 3529 gives definitions of total and partial pressure vacuum gauges. lt is a continuation
of ISO 3529-1, which defines general terms used in vacuum technology, and of ISO 3529-2, which gives
definitions of vacuum pumps and related terms.
The terms for those gauges are defined, which had been either very important in the past or are important
today and normally commercially available or which physical principle is important still today.
2 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
NOTE A tree diagram of total pressure vacuum gauges is illustrated in Figure A.1.
2.1 General terms
2.1.1
pressure gauge
instrument for measuring gas or vapour pressures, greater, equal to or less than the prevailing
atmospheric pressure
2.1.2
vacuum gauge
instrument for measuring gas or vapour pressures less than the prevailing atmospheric pressure
Note 1 to entry: A vacuum gauge is a subset of a pressure gauge.
Note 2 to entry: Some types of vacuum gauges commonly in use do not actually measure a pressure (as expressed
in terms of a force acting on a surface), but some other physical quantity related to pressure, under specific
conditions.
2.1.2.1
gauge head
part of the gauge which contains the pressure-sensitive element and which
is directly connected to the vacuum system
2.1.2.1.1
nude gauge
gauge head without an envelope
Note 1 to entry: In this case, the sensitive element is inserted directly into the vacuum system.
2.1.2.2
control unit
controller
part of the gauge containing the power supply and all electrical circuitry
necessary for the operation of the gauge
2.1.2.2.1
indicator
indicating unit
part of the gauge which indicates the output signal, usually scaled in units
of pressure
2.2 General categories of vacuum gauges
2.2.1
differential vacuum gauge
vacuum gauge which measures the difference of pressures existing simultaneously on either side of a
sensitive partition element, for example a flexible diaphragm or a movable separating liquid
2.2.2
absolute vacuum gauge
vacuum gauge by means of which pressure may be determined in terms of measured physical quantities
alone
2.2.3
total pressure vacuum gauge
vacuum gauge for measuring the total pressure of a gas or a gaseous mixture
2.2.4
partial pressure vacuum gauge
partial pressure analyser
vacuum gauge for measuring currents derived from the ionized constituents of a gaseous mixture
Note 1 to entry: These currents represent partial pressures with different proportionality constants for different
components.
Note 2 to entry: Sometimes this gauge is denoted as a “residual gas analyser”. Since this term characterizes only
one of several possible applications of partial pressure analysers, it should be avoided.
2.3 Characteristics of vacuum gauges
2.3.1
measurement range
range between minimum and maximum pressure where the reading of the gauge
is within the specified measurement uncertainty limits
Note 1 to entry: For certain types of gauge, this range depends on the nature of the gas. In such a case, the pressure
range for nitrogen shall always be specified.
2.3.2
sensitivity
sensitivity coefficient
change in the signal indicated by the vacuum gauge, divided by the corresponding
change in pressure and, where appropriate, divided by parameters not depending on pressure
Note 1 to entry: For certain types of gauge, the sensitivity depends on the nature of the gas. In such a case, the
sensitivity for nitrogen shall always be specified.
2.3.3
relative sensitivity factor
sensitivity of the gauge for that gas divided by the sensitivity of
the gauge for nitrogen, at the same pressure and under the same operating conditions
2.3.4
ionization sensitivity
change of ion current divided by the corresponding change in pressure
2 © ISO 2014 – All rights reserved
2.3.5
equivalent nitrogen pressure
that pressure of nitrogen which would produce the same gauge
reading
2.3.6
X-ray limit
that pressure of pure nitrogen which would give the same gauge reading,
without a X-ray effect, as is produced by the residual current caused by photo-electrons mainly emitted
at the ion collector
Note 1 to entry: For ionization gauges with a discharge by crossed electromagnetic fields, the X-ray limit is
normally not significant.
2.4 Total pressure vacuum gauges
2.4.1 Vacuum gauges based on mechanical phenomena
2.4.1.1
liquid level manometer
absolute differential manometer, commonly a U-tube, in which the sensitive element is a movable
separating liquid (for example mercury)
Note 1 to entry: The pressure difference is obtained by measuring the difference in the liquid levels.
2.4.1.2
elastic element gauge
differential vacuum gauge in which the flexible partition is an elastic element
EXAMPLE Bourdon gauge, diaphragm gauge, capacitance diaphragm gauge, etc.
Note 1 to entry: The pressure difference can be determined by measuring either the displacement of the elastic
element (direct method) or the force required to compensate its displacement (zero method).
2.4.1.2.1
Bourdon gauge
elastic element gauge where the elastic element is a tube formed into a spiral or a helix.
2.4.1.2.2
diaphragm gauge
membrane gauge
elastic element gauge where the elastic element is a membrane that changes the shape under a pressure
difference across it
EXAMPLE An example is a piezoresistive gauge where the force onto the membrane is measured by a piezo
element. Another example is the capacitance diaphragm gauge (2.4.1.2.3) and the resonant silicon gauge.
2.4.1.2.3
capacitance diaphragm gauge
diaphragm gauge where the membrane is part of a capacitor
Note 1 to entry: A capacitance diaphragm gauge is sometimes also termed a “capacitance manometer”.
2.4.1.3
compression gauge
McLeod gauge
vacuum gauge in which a known volume of the gas at the pressure to be measured is compressed (for
example by the movement of a column of liquid – e.g. mercury) in a known ratio and the resulting higher
pressure then measured
Note 1 to entry: If the higher pressure is measured by a liquid level manometer, such a gauge is absolute for a gas
which satisfies the ideal gas law.
2.4.1.4
pressure balance
piston gauge
absolute vacuum gauge in which the pressure to be measured is suitably applied to an accurately
matched piston-cylinder assembly of known cross-sectional area, the resulting force being compared
with the gravitational force acting on a group of known masses or being measured by a force meter
Note 1 to entry: A piston gauge where the piston and surrounding cylinder rotate against each other is called a
“rotating piston gauge” or “rotating pressure balance”.
2.4.2 Vacuum gauges based on transport phenomena in gases
2.4.2.1
viscosity gauge
vacuum gauge in which the pressure is determined in relation to the viscous forces acting on a surface
EXAMPLE Quartz friction gauges, tuning fork gauges, decrement gauge, molecular drag gauge.
Note 1 to entry: This gauge is based on the viscosity of a gas being pressure dependent.
2.4.2.1.1
spinning rotor gauge
viscosity gauge in which the surface is a spinning rotor magnetically suspended in a vacuum thimble
and the relative deceleration rate of the rotor is measured
Note 1 to entry: The deceleration of the rotor is caused by momentum transfer from the rotor to the gas molecules
in high vacuum and additionally by gas friction (viscous forces) at higher pressures.
2.4.2.1.2
quartz friction vacuum gauge
viscosity gauge in which resonant frequency of the quartz tuning fork depends on the pressure
2.4.2.2
thermal conductivity gauge
vacuum gauge in which the pressure is determined in relation to the transfer of thermal energy between
the surfaces of two fixed elements maintained at different temperatures
EXAMPLE Pirani gauge, thermocouple gauge, thermistor gauge, bimetal gauge.
Note 1 to entry: This gauge is based on the thermal conductivity of a gas being pressure dependent.
2.4.2.2.1
thermocouple gauge
thermal conductivity gauge in which the temperature of the heated element is measured by a
thermocouple attached to it
4 © ISO 2014 – All rights reserved
2.4.2.2.2
Pirani gauge
thermal conductivity gauge in which the heated element is part of a Wheatstone bridge that supplies the
energy to the element and by which the electrical resistance or the dissipated power of the element is
being measured
Note 1 to entry: The heated element, often a wire, may be maintained at a constant temperature and the required
heating power in dependence of pressure is measured. This is the most accur
...
DRAFT INTERNATIONAL STANDARD ISO/DIS 3529-3
ISO/TC 112 Secretariat: DIN
Voting begins on Voting terminates on
2013-03-17 2013-06-17
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATION • МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ • ORGANISATION INTERNATIONALE DE NORMALISATION
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3:
Vacuum gauges
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3: Manomètres à vide
[Revision of first edition (ISO 3529-3:1981)]
ICS 01.040.23; 23.160
To expedite distribution, this document is circulated as received from the committee
secretariat. ISO Central Secretariat work of editing and text composition will be undertaken at
publication stage.
Pour accélérer la distribution, le présent document est distribué tel qu'il est parvenu du
secrétariat du comité. Le travail de rédaction et de composition de texte sera effectué au
Secrétariat central de l'ISO au stade de publication.
THIS DOCUMENT IS A DRAFT CIRCULATED FOR COMMENT AND APPROVAL. IT IS THEREFORE SUBJECT TO CHANGE AND MAY NOT BE
REFERRED TO AS AN INTERNATIONAL STANDARD UNTIL PUBLISHED AS SUCH.
IN ADDITION TO THEIR EVALUATION AS BEING ACCEPTABLE FOR INDUSTRIAL, TECHNOLOGICAL, COMMERCIAL AND USER PURPOSES, DRAFT
INTERNATIONAL STANDARDS MAY ON OCCASION HAVE TO BE CONSIDERED IN THE LIGHT OF THEIR POTENTIAL TO BECOME STANDARDS TO
WHICH REFERENCE MAY BE MADE IN NATIONAL REGULATIONS.
RECIPIENTS OF THIS DRAFT ARE INVITED TO SUBMIT, WITH THEIR COMMENTS, NOTIFICATION OF ANY RELEVANT PATENT RIGHTS OF WHICH
THEY ARE AWARE AND TO PROVIDE SUPPORTING DOCUMENTATION.
© International Organization for Standardization, 2013
ISO/DIS 3529-3
Copyright notice
This ISO document is a Draft International Standard and is copyright-protected by ISO. Except as permitted
under the applicable laws of the user’s country, neither this ISO draft nor any extract from it may be
reproduced, stored in a retrieval system or transmitted in any form or by any means, electronic,
photocopying, recording or otherwise, without prior written permission being secured.
Requests for permission to reproduce should be addressed to either ISO at the address below or ISO’s
member body in the country of the requester.
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Violators may be prosecuted.
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ISO/DIS 3529-3
Contents Page
Foreword . iv
Introduction . v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General terms . 1
3.2 General categories of vacuum gauges . 2
3.3 Characteristics of vacuum gauges . 2
3.4 Total pressure vacuum gauges . 3
3.5 Partial pressure vacuum gauges . 6
Bibliography . 8
ISO/DIS 3529-3
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 3529-3 was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology, Subcommittee SC , .
This second/third/. edition cancels and replaces the first/second/. edition (3529 3:1981), [clause(s) /
subclause(s) / table(s) / figure(s) / annex(es)] of which [has / have] been technically revised.
ISO 3529 consists of the following parts, under the general title Vacuum technology — Vocabulary:
Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
Part [1]: General terms used in vacuum technology
Part [2]: Definitions of vacuum pumps and related terms
iv © ISO 2013 – All rights reserved
ISO/DIS 3529-3
Introduction
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national Standards
institutes (ISO member bedies). The work of developing International Standards is carried out through ISO
technical committees. Every member body interested in a subject for which a technical committee has been
set up has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-
governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
Draft International Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for
approval before their acceptance as International Standards by the ISO Council.
International Standard ISO 3529/3 was developed by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology,
and was circulated to the member bodies in May 1978. lt has been approved by the member bodies of the
following countries :
Australia India
Belgium Italy
Chile Japan
Czechoslovakia Mexico
France Netherlands
Germany, F. R. Poland
Romania
South Africa, Rep. of
Spain
United Kingdom
USA
Yugoslavia
No member body expressed disapproval of the document.
In 2012 the standard was revised Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology, in order to include
terms of now common vacuum gauges and to adapt terms to new developments and general use of terms in
publications.
DRAFT INTERNATIONAL STANDARD ISO/DIS 3529-3
Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Total and partial
pressure vacuum gauges
1 Scope
This part of ISO 3529 gives definitions of total and partial pressure vacuum gauges. lt is a continuation of ISO
3529/1, which defines general terms used in vacuum technology, and of ISO 3529/2, which gives definitions of
vacuum Pumps and related terms.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
3.1 General terms
3.1.1
pressure gauge
instrument for measuring gas or vapour pressures, greater, equal to or less than the prevailing atmospheric
pressure.
3.1.2
vacuum gauge
instrument for measuring gas or vapour pressures less than the prevailing atmospheric pressure.
Note 1 to entry: Vacuum gauge is a subset of pressure gauge.
Note 2 to entry: Some types of vacuum gauges commonly in use do not actually measure a pressure (as expressed in
terms of a forte acting on a surface), but some other physical quantity related to pressure, under specific conditions.
3.1.2.1
gauge head
of certain types of gauge, the part of the gauge which contains the pressure-sensitive element and which is
directly connected to the vacuum system.
3.1.2.1.1
nude gauge
a gauge head without envelope. In this case, the sensitive element is inserted directly into the vacuum
system.
3.1.2.2
gauge control unit
of certain types of gauge, the part of the gauge containing the power supply and all electrical circuitry
necessary for the operation of the gauge.
ISO/DIS 3529-3
3.1.2.2.1
gauge indicating unit
of certain types of gauge, the part of the gauge which indicates the output signal, usually scaled in units of
pressure.
3.2 General categories of vacuum gauges
3.2.1
differential vacuum gauge
vacuum gauge which measures the difference of pressures existing simultaneously on either side of a
sensitive partition element, for example a flexible diaphragm or a movable separating liquid.
3.2.2
absolute vacuum gauge
vacuum gauge by means of which pressure may be determined in terms of measured physical quantities
alone.
3.2.3
total pressure vacuum gauge
vacuum gauge for measuring the total pressure of a gas or a gaseous mixture.
3.2.4
partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyzer
vacuum gauge for measuring currents derived from the ionized constituents of a gaseous mixture. These
currents represent partial pressures with different proportionality constants for different components.
3.3 Characteristics of vacuum gauges
3.3.1
measurement range of a vacuum gauge
range between minimum and maximum pressure where the reading of the gauge is within the specified
measurement uncertainty limits
Note 1 to entry: For certain types of gauge, this range depends on the nature of the gas. In such a case, the pressure
range for nitrogen must always be specified.
3.3.2
sensitivity; sensitivity coefficient
for a given pressure, the change in the signal indicated by the vacuum gauge, divided by the corresponding
change in pressure and where appropriate divided by parameters not depending on pressure.
Note 1 to entry: For certain types of gauge, the sensitivity depends on the nature of the gas. In such a case, the
sensitivity for nitrogen must always be specified.
3.3.3
relative sensitivity factor
of a vacuum gauge for a specified gas, the sensitivity of the gauge for that gas divided by the sensitivity of the
gauge for nitrogen, at the same pressure and under the same operating conditions.
3.3.4
ionization sensitivity
for a given gas, the change of ion current divided by the corresponding change in pressure.
3.3.5
equivalent nitrogen pressure
of a gas acting on a vacuum gauge, that pressure of nitrogen which would produce the same gauge reading.
ISO/DIS 3529-3
3.3.6
X-ray limit
of an ionization gauge, that pressure of pure nitrogen which would give the same gauge reading, without a X-
ray effect, as is produced by the residual current caused by photo-electrons mainly emitted at the ion collector.
Note 1 to entry: For ionization gauges with a discharge by crossed electromagnetic fields, the X-ray limit is normally
not significant.
3.4 Total pressure vacuum gauges
3.4.1
Vacuum gauges based on mechanical phenomena
3.4.1.1
liquid level manometer
absolute differential manometer, commonly a U-tube, in which the sensitive element is a movable separating
liquid (for example mercury). The pressure difference is obtained by measuring the difference in the liquid
levels.
3.4.1.2
elastic element gauges
differential vacuum gauge in which the flexible partition is an elastic element. The pressure difference can be
determined by measuring either the displacement of the elastic element (direct method) or the force required
to compensate its displacement (zero method). Examples: Bourdon gauge, diaphragm gauge, capacitance
diaphragm gauge, etc.
3.4.1.2.1
Bourdon gauge
elastic element gauge where the elastic element is a tube formed into a spiral or a helix.
3.4.1.2.2
diaphragm gauge; membrane gauge
elastic element gauge where the elastic element is a membrane that changes the shape under a pressure
difference across it.
Note 1 to entry: An example is a piezoresistive gauge where the force onto the membrane is measured by a piezo
element. Another example is the capacitance diaphragm gauge which is defined in 3.4.1.2.3 and the resonant silicon
gauge
3.4.1.2.3
capacitance diaphragm gauge
diaphragm gauge where the membrane is part of a capacitor.
Note 1 to entry: capacitance diaphragm gauge is sometimes also termed capacitance manometer.
3.4.1.3
compression gauges
vacuum gauge in which a known volume of the gas at the pressure to be measured is compressed (for
example by the movement of a column of liquid – e.g. mercury) in a known ratio and the resulting higher
pressure then measured. If the higher pressure is measured by a liquid level manometer, such a gauge is
absolute for a gas which satisfies the ideal gas law. An example is the McLeod gauge.
3.4.1.
pressure balance; piston gauge
absolute vacuum gauge in which the pressure to be measured is suitably applied to an accurately matched
piston-cylinder assembly of known cross-sectional area, the resulting force being compared with the
gravitational force acting on a group of known masses or being measured by a force meter.
ISO/DIS 3529-3
Note 1 to entry: A piston gauge where the piston and surrounding
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 3529-3
Deuxième édition
2014-04-15
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3:
Manomètres de pression totale et
analyseurs de pressions partielles
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
Numéro de référence
©
ISO 2014
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sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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Publié en Suisse
ii © ISO 2014 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos .iv
1 Domaine d’application . 1
2 Termes et définitions . 1
2.1 Termes généraux . 1
2.2 Catégories générales de manomètres à vide . 2
2.3 Caractéristique des manomètres à vide . 2
2.4 Manomètres de pression totale . 3
2.5 Analyseurs de pressions partielles . 7
Annexe A (informative) Diagramme arborescent des manomètres de pression totale .9
Bibliographie .10
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2, www.iso.
org/directives.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant les
références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de l’élaboration
du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de brevets reçues,
www.iso.org/patents.
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de
la conformité, aussi bien que pour des informations au-sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes de l’OMC
concernant les obstacles techniques au commerce (OTC) voir le lien suivant: Foreword – Supplementary
information.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 112, Technique du vide.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO 3529-3:1981), qui a fait l’objet d’une
révision technique afin d’intégrer les termes actuels communs des manomètres à vide et de s’adapter
aux termes des nouveaux développements et aux termes généralement utilisés dans les publications.
L’ISO 3529 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Technique du vide —
Vocabulaire:
— Partie 1: Termes généraux
— Partie 2: Pompes à vide et des termes associés
— Partie 3: Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions partielles
iv © ISO 2014 – Tous droits réservés
NORME INTERNATIONALE ISO 3529-3:2014(F)
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3:
Manomètres de pression totale et analyseurs de pressions
partielles
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 3529 donne les définitions des manomètres de pression totale et des
analyseurs de pressions partielles. Elle fait suite à l’ISO 3529-1, qui définit les termes généraux utilisés
en technique du vide, et à l’ISO 3529-2, qui donne les définitions des pompes à vide et les termes associés.
La présente partie définit les termes relatifs aux manomètres dont l’utilité s’est autrefois révélée ou se
révèle actuellement être essentielle, aux manomètres généralement disponibles dans le commerce ou
(aux manomètres) dont le principe physique revêt encore aujourd’hui un caractère important.
2 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
NOTE Un diagramme arborescent des manomètres de pression totale est illustré en Figure A.1.
2.1 Termes généraux
2.1.1
manomètre
instrument de mesure d’une pression de gaz ou de vapeur, qu’elle soit supérieure, égale ou inférieure à
la pression de l’atmosphère ambiante
2.1.2
manomètre à vide
instrument destiné à mesurer des pressions de gaz ou de vapeurs inférieures à la pression de l’atmosphère
ambiante
Note 1 à l’article: Un manomètre à vide forme un sous-ensemble d’un manomètre.
Note 2 à l’article: Certains types de manomètres à vide habituellement utilisés ne mesurent pas véritablement une
pression (au sens d’une force s’exerçant sur une surface) mais une autre grandeur physique qui, dans certaines
conditions particulières, dépend de la pression.
2.1.2.1
capteur
partie de l’appareil qui est raccordée directement à l’enceinte à
vide et qui contient l’élément sensible à la pression
2.1.2.1.1
capteur inséré
capteur sans une enveloppe propre
Note 1 à l’article: Dans ce cas, l’élément sensible est inséré directement dans l’enceinte à vide.
2.1.2.2
unité de contrôle
régulateur
partie de l’appareil comprenant l’alimentation et les circuits
électriques qui permettent le fonctionnement du manomètre
2.1.2.2.1
indicateur
unité d’affichage
partie de l’appareil comprenant le dispositif de lecture,
habituellement gradué en unités de pression
2.2 Catégories générales de manomètres à vide
2.2.1
manomètre différentiel
manomètre à vide mesurant la différence des pressions qui s’exercent simultanément des deux côtés
d’un élément sensible séparateur, par exemple une membrane élastique (diaphragme) ou un liquide
mobile
2.2.2
manomètre absolu
manomètre à vide grâce auquel la pression peut être déterminée uniquement à l’aide des résultats de
mesurage de grandeurs physiques
2.2.3
manomètre de pression totale
manomètre à vide mesurant la pression totale d’un gaz ou d’un mélange gazeux
2.2.4
manomètre de pressions partielles
analyseur de pressions partielles
manomètre à vide mesurant les courants dérivés des constituants ionisés d’un mélange gazeux
Note 1 à l’article: Ces courants représentent des pressions partielles dont les constantes de proportionnalité
diffèrent d’un constituant à l’autre.
Note 2 à l’article: Quelque fois, ce manomètre est, parfois désigné «analyseur de gaz résiduel». Comme ce terme
caractérise une seule des diverses applications des analyseurs des de pressions partielles, il est recommandé de
ne pas l’utiliser.
2.3 Caractéristique des manomètres à vide
2.3.1
étendue de mesurage
étendue entre une pression minimale et une pression maximale dans laquelle
l’indication du manomètre se situe dans les limites d’incertitude de mesure spécifiées
Note 1 à l’article: Pour certains types de manomètres, cette étendue dépend de la nature du gaz. Dans ce cas,
l’étendue de mesurage pour l’azote doit toujours être spécifiée.
2.3.2
Sensibilité
coefficient de sensibilité
quotient de la variation du signal du manomètre à vide par la
variation correspondante de la pression et, le cas échéant, par des paramètres ne dépendant pas de la
pression
Note 1 à l’article: Pour certains types de manomètres, la sensibilité dépend de la nature du gaz. Dans ce cas, la
sensibilité pour l’azote doit toujours être spécifiée.
2 © ISO 2014 – Tous droits réservés
2.3.3
facteur de sensibilité relative
rapport de la sensibilité du manomètre pour ce gaz à la
sensibilité pour l’azote, pour une même pression et dans les mêmes conditions de fonctionnement
2.3.4
sensibilité à l’ionisation
quotient de la variation du courant d’ions par la variation correspondante de la
pression
2.3.5
pression équivalente d’azote
pression d’azote qui donnerait le même résultat de
mesurage
2.3.6
limite due aux rayons X
pression d’azote pur qui donnerait, en l’absence de rayons X, le
même résultat de mesurage que le courant résiduel dû aux photo-électrons émis principalement par le
collecteur d’ions
Note 1 à l’article: Pour les manomètres à ionisation avec décharge par champs électrique et magnétique croisés, la
limite due aux rayons X est généralement négligeable.
2.4 Manomètres de pression totale
2.4.1 Manomètres à vide basés sur des phénomènes mécaniques
2.4.1.1
manomètre à liquide
manomètre différentiel absolu, habituellement un tube en U, dans lequel l’élément sensible est un liquide
(par exemple, du mercure) utilisé comme élément séparateur mobile
Note 1 à l’article: La différence de pression est déterminée par le mesurage des niveaux de liquide
2.4.1.2
manomètre à déformation
manomètre à vide différentiel dont l’élément séparateur est un élément élastique
EXEMPLE Manomètre de Bourdon, manomètre à membrane, manomètre capacitif à membrane, etc.
Note 1 à l’article: On peut déterminer la différence de pression soit par mesurage du déplacement de l’élément
élastique (méthode directe), soit par mesurage de la force nécessaire pour compenser ce déplacement (méthode
du zéro).
2.4.1.2.1
manomètre de Bourdon
manomètre à déformation dont l’élément élastique est un tube en forme de spirale ou d’hélice
2.4.1.2.2
manomètre à diaphragme
manomètre à membrane
manomètre à déformation dont l’élément élastique est une membrane qui change de forme lorsqu’elle
est soumise à une différence de pression
EXEMPLE Un exemple est un manomètre piézorésistif dans lequel la force exercée sur la membrane est
mesurée par un élément piézoélectrique. Un autre exemple est le manomètre capacitif à membrane (2.4.1.2.3) et le
manomètre à silicium résonant.
2.4.1.2.3
manomètre capacitif à membrane
manomètre à membrane dans lequel la membrane fait partie d’un condensateur
Note 1 à l’article: Un manomètre capacitif à membrane est aussi parfois appelé un « manomètre capacitif ».
2.4.1.3
manomètre à compression
manomètre de McLeod
manomètre à vide dans lequel on prélève un volume connu de gaz à la pression que I’on doit mesurer
et on Ie comprime dans un rapport connu, par exemple par Ie déplacement d’une colonne de liquide
(habituellement du mercure). La pression plus élevée ainsi obtenue est alors mesurée
Note 1 à l’article: Si cette pression finale est mesurée par un manomètre à liquide, le manomètre à compression
est absolu pour un gaz qui satisfait à la loi des gaz parfaits.
2.4.1.4
balance de pression
manomètre à piston
manomètre absolu dans lequel la pression à mesurer est appliquée à un ensemble piston-cylindre à très
faible jeu, de section droite connue. La force ainsi générée est comparée à la force de gravitation agissant
sur un groupe de masses connues, ou mesurée par un capteur de force
Note 1 à l’article: Un manomètre à piston dans lequel le piston et le cylindre périphérique sont en rotation l’un par
rapport à l’autre est appelé un «manomètre à piston rotatif» ou «balance de pression rotative».
2.4.2 Manomètres à vide basés sur les phénomènes de transport dans les gaz
2.4.2.1
manomètre à viscosité
manomètre à vide dans lequel la pression est déterminée en fonction des forces visqueuses s’exerçant
sur une surface
EXEMPLE Manomètres à frottement à quartz, manomètres à diapason, manomètre décroissant, manomètre
moléculaire.
Note 1 à l’article: Ce manomètre fonctionne sur le principe que la viscosité d’un gaz dépend de la pression.
2.4.2.1.1
manomètre à rotor
manomètre à viscosité dont la surface est constituée d’un rotor, qui est suspendu magnétiquement dan
...
PROJET DE NORME INTERNATIONALE ISO/DIS 3529-3
ISO/TC 112 Secrétariat: DIN
Début de vote Vote clos le
2013-03-17 2013-06-17
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATION • МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ • ORGANISATION INTERNATIONALE DE NORMALISATION
Technique du vide — Vocabulaire —
Partie 3:
Manomètres à vide
Vacuum technology — Vocabulary —
Part 3: Vacuum gauges
[Révision de la première édition (ISO 3529-3:1981)]
ICS 01.040.23; 23.160
Pour accélérer la distribution, le présent document est distribué tel qu'il est parvenu du
secrétariat du comité. Le travail de rédaction et de composition de texte sera effectué au
Secrétariat central de l'ISO au stade de publication.
To expedite distribution, this document is circulated as received from the committee
secretariat. ISO Central Secretariat work of editing and text composition will be undertaken at
publication stage.
CE DOCUMENT EST UN PROJET DIFFUSÉ POUR OBSERVATIONS ET APPROBATION. IL EST DONC SUSCEPTIBLE DE MODIFICATION ET NE PEUT
ÊTRE CITÉ COMME NORME INTERNATIONALE AVANT SA PUBLICATION EN TANT QUE TELLE.
OUTRE LE FAIT D'ÊTRE EXAMINÉS POUR ÉTABLIR S'ILS SONT ACCEPTABLES À DES FINS INDUSTRIELLES, TECHNOLOGIQUES ET
COMMERCIALES, AINSI QUE DU POINT DE VUE DES UTILISATEURS, LES PROJETS DE NORMES INTERNATIONALES DOIVENT PARFOIS ÊTRE
CONSIDÉRÉS DU POINT DE VUE DE LEUR POSSIBILITÉ DE DEVENIR DES NORMES POUVANT SERVIR DE RÉFÉRENCE DANS LA
RÉGLEMENTATION NATIONALE.
LES DESTINATAIRES DU PRÉSENT PROJET SONT INVITÉS À PRÉSENTER, AVEC LEURS OBSERVATIONS, NOTIFICATION DES DROITS DE PRO-
PRIÉTÉ DONT ILS AURAIENT ÉVENTUELLEMENT CONNAISSANCE ET À FOURNIR UNE DOCUMENTATION EXPLICATIVE.
© Organisation Internationale de Normalisation, 2013
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ii © ISO 2013 – Tous droits réservés
ISO/DIS 3529-3
Sommaire Page
Avant-propos . iv
Introduction . v
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Termes généraux . 1
3.2 Catégories générales de manomètres à vide . 2
3.3 Caractéristique des manomètres à vide . 2
3.4 Manomètres de pression totale . 3
3.5 Analyseurs de pressions partielles . 6
Bibliographie . 9
ISO/DIS 3529-3
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 3529-3 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 112, Technique du vide, sous-comité SC , .
Cette deuxième/troisième/. édition annule et remplace la première/deuxième/. édition (), dont [l' (les)
article(s) / le(s) paragraphe(s) / le (les) tableau(x) / la (les) figure(s) / l' (les) annexe(s) a/ont] fait l'objet d'une
révision technique.
L'ISO 3529 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Technique du vide —
Vocabulaire:
Partie 1 : Termes généraux utilisés en technique du vide
Partie 2 : Pompes à vide et des termes associés
Partie 3: Manomètres à vide
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés
ISO/DIS 3529-3
Introduction
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est confiée aux comités
techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en
liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
Les projets de Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres
pour approbation, avant leur acceptation comme Normes internationales par le Conseil de l'ISO.
La Norme internationale ISO 3529-3 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 112, Technique du vide,
et a été soumise aux comités membres en mai 1978. Les comités membres des pays suivants l'ont
approuvée :
Afrique du Sud, Rép. d' France Pologne
Allemagne, R. F. Inde Roumanie
Australie Italie Royaume-Uni
Belgique Japon Tchécoslovaquie
Chili Mexique USA
Espagne Pays-Bas Yougoslavie
Aucun comité membre ne l'a désapprouvé.
En 2012, la norme a fait l'objet d'une révision de la part du comité technique ISO/TC 112, Technique du vide,
afin d'y inclure des termes correspondant à des manomètres à vide maintenant répandus, et d'adapter
certains termes aux développements récents et à l'usage général dans les publications.
PROJET DE NORME INTERNATIONALE ISO/DIS 3529-3
Technique du vide — Vocabulaire — Partie 3: Manomètres à
vide
1 Domaine d'application
La présente partie de l'ISO 3529 donne les définitions des manomètres de pression totale et des analyseurs
de pressions partielles. Elle fait suite à l'ISO 3529-1, qui définit les termes généraux utilisés en technique du
vide, et à l'ISO 3529-2, qui donne les définitions des pompes à vide et des termes associés.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables à l'application du présent document. Pour les
références datées, seule l'édition citée s'applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s'applique (y compris les éventuels amendements).
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s'appliquent.
3.1 Termes généraux
3.1.1
manomètre
instrument de mesure d'une pression de gaz ou de vapeur, qu'elle soit supérieure, égale ou inférieure à la
pression de l'atmosphère ambiante
3.1.2
manomètre à vide
instrument destiné à mesurer des pressions de gaz ou de vapeurs inférieures à la pression de l'atmosphère
ambiante
Note 1 à l'article : Les manomètres à vide forment un sous-ensemble de manomètres.
Note 2 à l'article : Certains types de manomètres à vide habituellement utilisés ne mesurent pas véritablement une
pression (au sens d'une force s'exerçant sur une surface) mais une autre grandeur physique qui, dans certaines
conditions particulières, dépend de la pression.
3.1.2.1
capteur
pour certains types de manomètres, partie de l'appareil qui est raccordée directement à l'enceinte à vide et
qui contient l'élément sensible à la pression
3.1.2.1.1
capteur inséré
capteur sans enveloppe propre. Dans ce cas, l'élément sensible est inséré directement dans l'enceinte à vide
3.1.2.2
coffret d'alimentation et de mesure
pour certains types de manomètres, partie de l'appareil comprenant l'alimentation et les circuits électriques
qui permettent le fonctionnement du manomètre
ISO/DIS 3529-3
3.1.2.2.1
dispositif indicateur
pour certains types de manomètres, partie de l'appareil comprenant le dispositif de lecture, habituellement
gradué en unités de pression
3.2 Catégories générales de manomètres à vide
3.2.1
manomètre différentiel
manomètre à vide mesurant la différence des pressions qui s'exercent simultanément des deux côtés d'un
élément sensible séparateur, par exemple une membrane élastique (diaphragme) ou un liquide mobile
3.2.2
manomètre absolu
manomètre à vide grâce auquel la pression peut être déterminée uniquement à l'aide des résultats de
mesurage de grandeurs physiques
3.2.3
manomètre de pression totale
manomètre à vide mesurant la pression totale d'un gaz ou d'un mélange gazeux
3.2.4
Manomètre de pressions partielles ; analyseur de pressions partielles
manomètre à vide mesurant les courants dérivés des constituants ionisés d'un mélange gazeux. Ces courants
représentent des pressions partielles dont les constantes de proportionnalité diffèrent d'un constituant à l'autre
3.3 Caractéristique des manomètres à vide
3.3.1
étendue de mesurage d'un manomètre à vide
étendue entre une pression minimale et une pression maximale dans laquelle l'indication du manomètre se
situe dans les limites d'incertitude de mesure spécifiées
Note 1 à l'article : Pour certains types de manomètres, cette étendue dépend de la nature du gaz. Dans ce cas,
l'étendue de mesurage pour l'azote doit toujours être spécifiée.
3.3.2
sensibilité ; coefficient de sensibilité
pour une valeur donnée de la pression, quotient de la variation du signal du manomètre à vide par la variation
correspondante de la pression et, le cas échéant, par des paramètres ne dépendant pas de la pression
Note 1 à l'article : Pour certains types de manomètres, la sensibilité dépend de la nature du gaz. Dans ce cas, la
sensibilité pour l'azote doit toujours être spécifiée.
3.3.3
facteur de sensibilité relative
pour un manomètre à vide pour un gaz donné, rapport de la sensibilité du manomètre pour ce gaz à la
sensibilité pour l'azote, pour une même pression et dans les mêmes conditions de fonctionnement
3.3.4
sensibilité à l'ionisation
pour un gaz donné, quotient de la variation du courant d'ions par la variation correspondante de la pression
3.3.5
pression équivalente d'azote
pour un gaz agissant sur un manomètre à vide, pression d'azote qui donnerait le même résultat de mesurage
ISO/DIS 3529-3
3.3.6
limite due aux rayons X
pour un manomètre à ionisation, pression d'azote pur qui donnerait, en l'absence de rayons X, le même
résultat de mesurage que le courant résiduel dû aux photo-électrons émis principalement par le collecteur
d'ions
Note 1 à l'article : Pour les manomètres à ionisation avec décharge par champs électrique et magnétique croisés, la
limite due aux rayons X est généralement négligeable.
3.4 Manomètres de pression totale
3.4.1
manomètres à vide basés sur des phénomènes mécaniques
3.4.1.1
manomètre à liquide
manomètre différentiel absolu, habituellement un tube en U, dans lequel l'élément sensible est un liquide (par
exemple, du mercure) utilisé comme élément séparateur mobile. La différence de pression est déterminée par
le mesurage des niveaux de liquide
3.4.1.2
manomètre à déformation
manomètre à vide différentiel dont l'élément séparateur est un élément élastique. On peut déterminer la
différence de pression soit par mesurage du déplacement de l'élément élastique (méthode directe), soit par
mesurage de la force nécessaire pour compenser ce déplacement (méthode du zéro). Exemples : manomètre
de Bourdon, manomètre à membrane, manomètre capacitif à membrane, etc.
3.4.1.2.1
manomètre de Bourdon
manomètre à déformation dont l'élément élastique est un tube en forme de spirale ou d'hélice
3.4.1.2.2
manomètre à membrane
manomètre à déformation dont l'élément élastique est une membrane qui change de forme lorsqu'elle est
soumise à une différence de pression
Note 1 à l'article : Exemple : un manomètre piézorésistif dans lequel la force exercée sur la membrane est mesurée par
un élément piézoélectrique. Autres exemples : le manomètre capacitif à membrane défini en 3.4.1.2.3, et le manomètre à
silicium résonant.
3.4.1.2.3
manomètre capacitif à membrane
manomètre à membrane dans lequel la membrane fait partie d'un condensateur
Note 1 à l'article : Le manomètre capacitif à membrane est aussi parfois appelé manomètre capacitif.
3.4.1.3
manomètre à compression
manomètre à vide dans lequel on prélève un volume connu de gaz à la pression que I'on doit mesurer et on Ie
comprime dans un rapport connu, pa
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.