ISO 14644-8:2013
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
ISO 14644-8:2013 establishes the classification of air chemical cleanliness (ACC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical substances (individual, group or category) and provides a protocol to include test methods, analysis and time-weighted factors within the specification for classification. ISO 14644-8:2013 currently considers only concentrations of air chemical contaminants between 100 and 10−12 g/m3 under cleanroom operational conditions. ISO 14644-8:2013 is not relevant for application in those industries, processes or productions where the presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process. It is not the intention of ISO 14644-8:2013 to describe the nature of air chemical contaminants. ISO 14644-8:2013 does not give a classification of surface chemical contamination.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 8: Classification de la propreté chimique de l'air
L'ISO 14644-8:2013 établit la classification de la propreté chimique de l'air (ACC) dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de substances chimiques spécifiques (individu, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant d'intégrer les méthodes d'essai, l'analyse et les facteurs de pondération dans le temps dans la spécification destinée à la classification. L'ISO 14644-8:2013 ne porte actuellement que sur les concentrations de contaminants chimiques dans l'air comprises entre 100 et 10−12 g/m3 dans les conditions d'exploitation des salles propres. L'ISO 14644-8:2013 ne s'applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types de production où la présence de substances chimiques aéroportées n'est pas considérée comme un risque pour le produit ou le procédé. L'ISO 14644-8:2013 ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l'air. L'ISO 14644-8:2013 ne fournit pas de classification de la contamination chimique surfacique.
General Information
Relations
Buy Standard
Related Packages
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-8
Second edition
2013-02-15
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 8:
Classification of air cleanliness by
chemical concentration (ACC)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
Reference number
ISO 14644-8:2013(E)
©
ISO 2013
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2013
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form
or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior
written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
the requester.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General . 1
3.2 Contaminant categories . 2
4 Classification . 3
4.1 General . 3
4.2 ISO-ACC descriptor format . 3
5 Demonstration of compliance . 5
5.1 Principle . 5
5.2 Testing . 5
5.3 Test report . 6
Annex A (informative) Parameters for consideration . 7
Annex B (informative) Typical contaminants .11
Annex C (informative) Typical methods of measurement .15
Annex D (informative) Consideration of specific requirements for separative devices .19
Bibliography .21
© ISO 2013 – All rights reserved iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International
Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting.
Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies
casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 14644-8 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments.
ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and associated controlled
environments:
— Part 1: Classification of air cleanliness
— Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644‑1
— Part 3: Test methods
— Part 4: Design, construction and start‑up
— Part 5: Operations
— Part 6: Vocabulary
— Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators, mini‑environments)
— Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
— Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
— Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 14644-8:2006), which has been
technically revised.
iv © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Introduction
Cleanrooms and associated controlled environments provide for the control of airborne particulate
contamination to levels appropriate for accomplishing contamination-sensitive activities. Products and
processes that benefit from the control of airborne contamination include those in such industries as
aerospace, microelectronics, pharmaceuticals, medical devices, food, healthcare, optics, instrumentation,
vacuum technology, coatings, photovoltaics, displays, LEDs, coatings, automotive and surface analysis.
In some of these industries, the product or process can be sensitive to, or can be destroyed by, chemical
contamination resulting from chemicals that are present due to external, process, or otherwise
generated sources.
Within this part of ISO 14644, the presence of chemicals is expressed as air chemical contamination.
Chemical contamination is a three-step event. The first step is generation due to external sources such
as process leakage or construction material or personnel or material outgassing. The second step is
transport as airborne chemical contamination. The third step is sorption on the sensitive surface, which
can be quantified as a surface chemical contamination.
The generating materials and the surfaces where sorption takes place will have a large influence on
the steps of generation and sorption in addition to the actual air contamination. Thus, for these two
steps, not only the contaminants but also the involved bulk and surfaces need to be defined. In order to
make a standard generally applicable to any type of cleanroom or associated controlled environment,
air chemical cleanliness (ACC) has been chosen for the classification.
This part of ISO 14644 assigns ISO classification levels to be used to specify the level of ACC within a
cleanroom and associated controlled environment, where the product or process is deemed to be at risk
from air chemical contamination.
For classification purposes, this part of ISO 14644 is limited to a designated range of ACC and provides
standard protocols for specifying such levels with regard to chemical compounds, methods of test and
analysis, and time weighted factors.
Informative annexes are contained in this part of ISO 14644 covering:
— parameters for consideration: Annex A;
— typical contaminating chemicals and substances: Annex B;
— typical methods of measurement and analysis: Annex C;
— considerations of specific requirements for separative devices: Annex D.
This part of ISO 14644 is one of a series of standards concerned with cleanrooms and contamination
control. Many factors besides ACC need to be considered in the design, specification, operation and
control of cleanrooms and other controlled environments. These are covered in some detail in other
[4]
parts of the International Standards prepared by ISO/TC 209, including ISO 14698 (all parts). In some
circumstances, relevant regulatory agencies can impose supplementary policies or restrictions. In such
situations, appropriate adaptations of this part of ISO 14644 can be required.
© ISO 2013 – All rights reserved v
---------------------- Page: 5 ----------------------
INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-8:2013(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8:
Classification of air cleanliness by chemical
concentration (ACC)
1 Scope
This part of ISO 14644 establishes the classification of air chemical cleanliness (ACC) in cleanrooms
and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical
substances (individual, group or category) and provides a protocol to include test methods, analysis and
time-weighted factors within the specification for classification.
This part of ISO 14644 currently considers only concentrations of air chemical contaminants between
0 −12 3
10 and 10 g/m under cleanroom operational conditions.
This part of ISO 14644 is not relevant for application in those industries, processes or productions where
the presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process.
It is not the intention of this part of ISO 14644 to describe the nature of air chemical contaminants.
This part of ISO 14644 does not give a classification of surface chemical contamination.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 14644-6 and the following apply.
3.1 General
3.1.1
chemical contamination
non-particulate substances that can have a deleterious effect on the product, process or equipment
3.1.2
air cleanliness by chemical concentration
ACC
level of air cleanliness by chemical concentration, expressed in terms of an ISO-ACC Class N, which
represents the maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of chemical
species, expressed in grams per cubic metre
Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be particles.
3.1.3
air chemical contamination
any substance in the air that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or equipment
© ISO 2013 – All rights reserved 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
3.1.4
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of the surface cleanliness with respect to its chemical concentration
3.1.5
surface chemical contamination
any substance on the surface that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or
equipment
3.1.6
contaminant category
common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited
on the surface of interest
3.1.7
outgassing
release of chemical substances in the gaseous or vapour state from a material
3.1.8
air cleanliness by chemical concentration (ACC) class
grading number stating the maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of
chemical species in grams per cubic metre
Note 1 to entry: The maximum allowable concentrations are defined in Table 1 or determined by the equation
for N in 4.2.
Note 2 to entry: Classification in accordance with this part of ISO 14644 is limited to the range from 0 (the class
with the lowest allowable cleanliness) to –12 (the cleanest specified class).
Note 3 to entry: The ACC class number is only valid in connection with the ACC descriptor that specifies to which
chemical species or group of chemical species it is related.
Note 4 to entry: The negative sign of the air chemical cleanliness classes (–1 to –12) is an integral part of the ACC
class number N and must always be given. An air chemical cleanliness class without the negative sign (with the
exception of the class 0) is not allowed.
Note 5 to entry: Intermediate ISO classification numbers may be specified, with 0,1 being the smallest
permitted increment.
3.2 Contaminant categories
3.2.1
acid
substance whose chemical reaction characteristic is to establish new bonds by the acceptance of
electron pairs
3.2.2
base
substance whose chemical reaction characteristic is to establish new bonds by the donation of electron pairs
3.2.3
biotoxic
contaminant substance that is obnoxious to the development and preservation of the life of organisms,
microorganisms, tissues or individual cells
3.2.4
condensable
substance capable of depositing on a surface by condensation under cleanroom operating conditions
2 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
3.2.5
corrosive
substance that causes destructive chemical change of a surface
3.2.6
dopant
substance that, after sorption and/or diffusion, is incorporated in the bulk of a product and is capable of
changing the properties of materials, even in trace amounts
3.2.7
organic
species based on carbon-containing compounds
Note 1 to entry: Inorganic carbon-containing compounds are excluded.
3.2.8
oxidant
substance that, upon deposition onto a surface or product of interest, results in the formation of an oxide
or participates in a redox reaction
4 Classification
4.1 General
Classification shall be specified by use of a classification descriptor as described in 4.2. This descriptor
is designated “ISO-ACC” and specifies the maximum total chemical concentration permitted for a
contaminant category, an individual substance or a group of substances.
4.2 ISO-ACC descriptor format
An ACC class number is only valid in connection with the ACC descriptor that specifies the chemical
substance or group of substances for which this class number is valid. The ISO–ACC descriptor is
expressed in the format:
ISO-ACC Class N (X)
where:
X is a chemical substance or a group of chemical substances which includes, but is not limited to:
acid (ac),
base (ba),
biotoxic (bt),
condensable (cd),
corrosive (cr),
dopant (dp),
organic, total (or),
oxidant (ox),
or a group of substances or an individual substance;
N is the ISO-ACC class, which is the logarithmic index of concentration, c , expressed in grams
x
per cubic metre, and falls within a limiting range of 0 to −12. Intermediate concentrations may be
specified, with 0,1 being the smallest permitted increment of N;
© ISO 2013 – All rights reserved 3
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
N = log [c ].
10 x
EXAMPLE 1 With an N-Methyl Pyrrolidone (NMP) sample, the measured value of air contamination was
3 3
8E-7 g/m ; N = -6,097. This is within the class limit of 1E-6 g/m for Class −6. The designation would be:
“ISO-ACC Class −6 (NMP)”.
3
EXAMPLE 2 With an organic compound sample, the measured value was 6E-5 g/m of total organic compounds
3
(TOC). This is within the class limit of 1E-4 g/m for Class −4. The designation would be: “ISO-ACC Class −4 (TOC).”
Table 1 and Figure 1 further illustrate the ISO-ACC classification as a function of contaminant
concentration.
Table 1 — ISO-ACC classes
Concentration Concentration Concentration
ISO-ACC class
3 3 3
g/m µg/m ng/m
0 6 9
0 10 10 (1 000 000) 10 (1 000 000 000)
−1 5 8
−1 10 10 (100 000) 10 (100 000 000)
−2 4 7
−2 10 10 (10 000) 10 (10 000 000)
−3 3 6
−3 10 10 (1 000) 10 (1 000 000)
−4 2 5
−4 10 10 (100) 10 (100 000)
−5 1 4
−5 10 10 (10) 10 (10 000)
−6 0 3
−6 10 10 (1) 10 (1 000)
−7 −1 2
−7 10 10 (0,1) 10 (100)
−8 −2 1
−8 10 10 (0,01) 10 (10)
−9 −3 0
−9 10 10 (0,001) 10 (1)
−10 −4 −1
−10 10 10 (0,000 1) 10 (0,1)
−11 −5 −2
−11 10 10 (0,000 01) 10 (0,01)
−12 −6 −3
−12 10 10 (0,000 001) 10 (0,001)
4 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Y
X
1
X
2
X
3
Key
3
X airborne concentration (g/m )
1
3
X airborne concentration (µg/m )
2
3
X airborne concentration (ng/m )
3
Y ISO-ACC class
Figure 1 — ISO-ACC classes as a function of concentration
5 Demonstration of compliance
5.1 Principle
Compliance with classification (ISO-ACC class) requirements specified by the customer is verified by
performing specified testing procedures agreed between the customer and supplier and by providing
specified documentation of the results and conditions of testing.
5.2 Testing
Example test methods are given in Annex C. The list of typical methods described is not exhaustive.
Alternative methods of comparable accuracy may be specified by agreement.
NOTE 1 Analysis by different methods, even when correctly applied, can produce different results of equal validity.
Tests performed to demonstrate compliance shall be conducted using suitable test methods and
calibrated instruments.
© ISO 2013 – All rights reserved 5
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Sampling locations shall be determined by agreement between the customer and supplier.
It is recommended to carry out replicate sampling at the locations agreed.
NOTE 2 In analytical measurement, the contribution of particulate contamination cannot always be excluded.
NOTE 3 For trace analysis using grab sampling, the incorporation of a shipping blank sample, prepared and
analysed in the same batch as the actual sample, is required to assess contamination from the overall process,
except the air sampling.
The elapsed time period shall be agreed between the customer and supplier. See A.4.3.
5.3 Test report
The results from testing each cleanroom or associated controlled environment shall be recorded and
submitted as a comprehensive report, along with a statement of compliance or non-compliance with the
specified ISO-ACC class(es).
The test report shall include the following:
a) name of the test operator, the name and address of the testing organization, and the date, time and
duration of sampling;
b) number and year of publication of this part of ISO 14644, i.e. ISO 14644-8:2013;
c) clear identification of the physical location of the cleanroom or controlled environment tested
(including reference to adjacent areas if necessary) and specific designations for coordinates of all
sampling locations;
d) specified designation criteria for the cleanroom or controlled environment, including the occupancy
state, the ISO-ACC class or classes, the specified test method(s) and, where applicable, the substances,
substance group or category(ies), the elapsed time period and the designated particulate class;
e) details of the test procedure used, with any available data describing the test circumstances
or departures from the test method, and identification of the test instrument(s) and its current
calibration certificate(s);
f) test results, including air chemical concentration(s) data, for all sampling locations.
6 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
Annex A
(informative)
Parameters for consideration
A.1 Principles
This annex is intended to give guidance to consideration of parameters affecting or contributing to ACC
within a cleanroom or associated controlled environment. It is important to consider the development
of such parameters at the initial stages of design and control requirements, along with any special
considerations for operation of the facility.
A.2 Concepts for establishing parameters
The following principles permit the establishment of the parameters which influence the ACC or which
contribute to it and which should be taken into account.
a) First, establish if the product or process is affected by chemical contamination, as in many industries
consideration of chemical contamination is not a governing factor.
b) Establish the contaminant categories that affect the product or process and if any particular
substances or substance groups require special consideration.
c) Establish the maximum concentrations of contaminant categories and/or substances or substance
groups permitted for the product or process and designate the associated ISO-ACC descriptor in
accordance with 4.2.
d) Establish sources of chemical contamination and concentration levels that can occur from
1) outdoor air (providing fresh air to the facility);
2) construction materials in the facility, especially those in contact with recirculating and make-
up air streams;
3) cross-contamination that can occur within the facility;
4) operation and maintenance of the facility;
5) personnel, cleanroom apparel and auxiliary materials;
6) process media and tooling.
Further guidance on these occurrences is given in A.3 to A.8.
e) Establish the design requirements to avoid or reduce chemical contamination generated as per
A.2 d) to achieve the ISO-ACC class for the product or process.
A.3 Outdoor air
A.3.1 Where outdoor air is provided as fresh air to the facility to which the product or process is exposed,
the outdoor air quality and any seasonal variation should be established with regard to the concentration
of compounds or substances affecting the product or process. In addition, the construction materials of
heating, ventilation or air conditioning equipment, including cabling, should be taken into account.
© ISO 2013 – All rights reserved 7
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
A.3.2 The analysis of the concentration should be conducted over a period of time sufficient to evaluate
its variability, along with consideration of any future developments that can affect the outdoor air quality.
A.3.3 In some cases, due to prevailing winds, proximity of contaminating sources, etc., chemical contamination
concentrations can be minimized by selective positioning of the fresh-air intake(s) to the facility.
A.3.4 Outdoor air contamination levels entering the incoming air to a building can include variable
contamination levels from the same building exhaust, exhaust from neighbouring buildings, or other
contamination sources including farms, sewer plants, dumps, highways, airports, train yards, local
industry, and other sources. These levels can vary dramatically with wind direction, wind velocity, time
of day, precipitation, temperature, sunlight or other factors. Thus it is important to use continuous
monitoring where possible for the most important parameters, or to do periodic sampling on different
dates and with sampling for many hours or days, so that atypical average or highest level can be assessed,
rather than just a single data point.
Long-term average data is useful for predicting chemical filter lifetimes, and real-time data is valuable
to assess the highest levels encountered to assess if they will affect the most sensitive products.
A.4 Construction materials
A.4.1 Construction materials serving the facility can be sources of chemical contamination because
of outgassing.
[1]
Examples of suitable cleanroom construction materials are given in Annex E of ISO 14644-4:2001.
A.4.2 The degree of material outgassing can be dependent upon the temperature, relative humidity and
pressure of the cleanroom or controlled environment, and these effects should be established specific to
the design of the facility.
A.4.3 Outgassing from materials of construction can, in many cases, decay exponentially and
asymptotically over a period of time. Thinner materials (e.g. coatings) and more volatile compounds (e.g.
solvents) tend to decay more rapidly, but thicker materials (floor tiles, insulation, ULPA filter potting
compounds) and higher boiling compounds (plasticisers, antioxidants, organophosphorus fire retardants,
larger silicones) can decay much more slowly, and possibly outgas at significant levels for many years.
A.4.4 All materials forming the construction of a facility where air chemical contamination is of concern
should be assessed with regard to their combined chemical characteristics and selected accordingly for
their use. This analysis can be constructed as a table.
A.5 Cross-contamination
A.5.1 Chemical contamination can occur by migration between services, partial pressure change
transfer systems and/or processes within the facility.
A.5.2 The degree of such contamination should be assessed and evaluated as part of the initial
design concept.
A.5.3 In some cases, cross-contamination can be minimized or avoided by isolation, enclosure or barrier
technology to contain the service or process or to provide protection to the product or process. Examples
[1] [3]
of such concepts are given in Annex A of ISO 14644-4:2001 and in ISO 14644-7.
A.5.4 A significant source of cross-contamination can include the facility’s exhaust or external
operations. Maintaining emissions, for example below regulatory limits, may not be adequate to protect
incoming air, especially on calm days, for those processes that are sensitive to air chemical contamination
8 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 13 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
at levels much lower than regulatory limits. Similarly, some compounds that are not regulated can still be
very detrimental to sensitive processes.
A.6 Operation and maintenance
Chemical contamination sources from facility operation and maintenance can be prevented or minimized
[2]
by scheduling disciplines, over and above those stated within ISO 14644-5, typically as below:
— facemasks or ventilated/filtered helmets worn during working process;
— qualified chemical analysis of garments, gloves and packaging materials thereof;
— qualified chemical analysis of cleaning liquids and other cleaning materials;
— qualified chemical analysis of any product packaging materials, taking into consideration operations
such as outgassing during heat-sealing of bags;
— operational disciplines to minimize chemical contamination from the use of any portable equipment
or temporary materials;
— temporary isolation barriers for use during maintenance or repair of machinery or services;
— operative protocols instated to minimize chemical contamination.
For the areas most sensitive to air chemical contamination effects, positive pressurization or carefully
controlled air flow is required. This includes ensuring all exhaust lines are under negative pressure relative
to the room to prevent air chemical contamination from more contaminated areas — which can include
plenums, trenches, vents, hollow walls, tunnels and conduit — from intruding into the critical areas.
A.7 Personnel
Chemical contamination sources from personnel can be prevented or minimized by rules to control
the following:
— use of cosmetics, deodorants, hand lotions, soaps perfumes and hair products;
— practice of smoking;
— use of medication;
— consumption of certain foods and drugs;
— entry and exit procedures;
— personal use of cleaning and disinfectant materials.
This list is not exhaustive.
NOTE The degree of control needed depends on the process concerned. Attention is drawn to relevant clauses
[2]
of ISO 14644-5.
A.8 Other sources
These can include
— consumables;
— equipment;
— chemicals;
© ISO 2013 – All rights reserved 9
---------------------- Page: 14 ----------------------
ISO 14644-8:2013(E)
— reaction by-products, especially from etching or chemical vapour deposition (CVD);
— heaters, insulation, computers, displays, printers, electronics;
— leaks of chemicals,
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-8
Deuxième édition
2013-02-15
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Classification de la propreté
chimique de l’air
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Numéro de référence
ISO 14644-8:2013(F)
©
ISO 2013
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2013
Droits de reproduction réservés. Sauf indication contraire, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée
sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Généralités . 1
3.2 Catégories de contaminants . 2
4 Classification . 3
4.1 Généralités . 3
4.2 Format du descripteur ISO-ACC . 3
5 Démonstration de la conformité . 5
5.1 Principe . 5
5.2 Essais . 5
5.3 Rapport d’essai . 6
Annexe A (informative) Paramètres à prendre en compte . 7
Annexe B (informative) Contaminants types .11
Annexe C (informative) Méthodes de mesure types .15
Annexe D (informative) Exigences spécifiques à prendre en compte pour les
dispositifs séparatifs .19
Bibliographie .21
© ISO 2013 – Tous droits réservés iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives
ISO/CEI, Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de
Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote.
Leur publication comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités
membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de
ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L’ISO 14644-8 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
L’ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté de l’air
— Partie 2: Spécifications pour les essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la conformité
avec l’ISO 14644-1
— Partie 3: Méthodes d’essai
— Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
— Partie 5: Exploitation
— Partie 6: Vocabulaire
— Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements)
— Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
— Partie 9: Classification de la propreté des surfaces par la concentration de particules
— Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (14644-8:2006), qui a fait l’objet d’une
révision technique.
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Introduction
Les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés permettent de maîtriser la contamination
particulaire aéroportée à des niveaux appropriés à la conduite d’activités sensibles à la contamination.
Parmi les produits et les procédés qui bénéficient de cette maîtrise de la contamination aéroportée
figurent, entre autres, ceux que l’on trouve dans des secteurs industriels tels que l’aérospatiale, la
microélectronique, la pharmacie, les dispositifs médicaux, l’agro-alimentaire, la santé, l’optique,
l’instrumentation, la technologie sous vide, les revêtements, les systèmes photovoltaïques, les écrans,
les DEL, l’automobile et l’analyse des surfaces.
Dans certains de ces secteurs industriels, le produit ou le procédé peut être sensible à la contamination
chimique résultant des produits chimiques présents du fait de sources extérieures, des procédés ou
d’autres sources d’émissions, ou il peut même être détruit par elle.
Dans la présente partie de l’ISO 14644, la présence de produits chimiques est exprimée sous forme de
contamination chimique de l’air. Cette contamination chimique se produit en trois phases. La première
phase est la génération due à des sources extérieures telles que la fuite d’un procédé, un matériau de
construction, un dégazage de matériaux ou une émanation humaine. La deuxième phase est le transport
dans l’air sous forme de contamination chimique aéroportée. La troisième phase est la sorption sur la surface
sensible, laquelle est susceptible d’être quantifiée sous forme de contamination chimique surfacique.
Outre la nature de la contamination de l’air, les matériaux générateurs et les surfaces sur lesquelles
intervient la sorption auront une grande influence sur les phases de génération et de sorption. Pour ces
deux phases, il est donc nécessaire de définir non seulement les contaminants, mais également le volume
et les surfaces des matériaux concernés. Dans l’objectif d’élaborer une norme pouvant s’appliquer d’une
manière générale à tous les types de salles propres ou d’environnements maîtrisés apparentés, la
propreté chimique de l’air (ACC) a été choisie pour l’établissement de la classification.
La présente partie de l’ISO 14644 attribue des niveaux de classification ISO à utiliser pour spécifier le
niveau d’ACC dans une salle propre et dans un environnement maîtrisé apparenté, lorsque le produit ou
le procédé est considéré comme menacé par la contamination chimique de l’air.
Pour les besoins de la classification, la présente partie de l’ISO 14644 se limite à une plage particulière
d’ACC et prévoit des protocoles normalisés pour spécifier ces niveaux en termes de composés chimiques,
de méthodes d’essai et d’analyse et de facteurs de pondération dans le temps.
Les annexes informatives de la présente partie de l’ISO 14644 couvrent:
— les paramètres à prendre en compte: Annexe A;
— les produits chimiques et substances contaminants types: Annexe B;
— les méthodes types de mesure et d’analyse: Annexe C;
— les exigences spécifiques à prendre en compte pour les dispositifs séparatifs: Annexe D.
La présente partie de l’ISO 14644 fait partie d’une série de normes concernant les salles propres et la
maîtrise de la contamination. Outre l’ACC, il est nécessaire de prendre en considération bien d’autres
facteurs lors de la conception, de la spécification, de l’exploitation et de la maîtrise des salles propres
et autres environnements maîtrisés. Ces aspects sont traités plus en détail dans d’autres Normes
[4]
internationales élaborées par l’ISO/TC 209, y compris l’ISO 14698 (toutes les parties). Dans certains
cas, des organismes réglementaires peuvent imposer des politiques ou restrictions supplémentaires.
Des adaptations appropriées de la présente partie de l’ISO 14644 peuvent alors se révéler nécessaires.
© ISO 2013 – Tous droits réservés v
---------------------- Page: 5 ----------------------
NORME INTERNATIONALE ISO 14644-8:2013(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Classification de la propreté chimique de l’air
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 14644 établit la classification de la propreté chimique de l’air (ACC) dans les
salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de
substances chimiques spécifiques (individu, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant
d’intégrer les méthodes d’essai, l’analyse et les facteurs de pondération dans le temps dans la spécification
destinée à la classification.
La présente partie de l’ISO 14644 ne porte actuellement que sur les concentrations de contaminants
0 −12 3
chimiques dans l’air comprises entre 10 et 10 g/m dans les conditions d’exploitation des salles propres.
La présente partie de l’ISO 14644 ne s’applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types
de production où la présence de substances chimiques aéroportées n’est pas considérée comme un
risque pour le produit ou le procédé.
La présente partie de l’ISO 14644 ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l’air.
La présente partie de l’ISO 14644 ne fournit pas de classification de la contamination chimique surfacique.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l’application du présent document. Pour
les références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition
du document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 14644-6, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 6: Vocabulaire
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 14644-6 ainsi que les
suivants s’appliquent.
3.1 Généralités
3.1.1
contamination chimique
substances non particulaires susceptibles d’avoir un effet dommageable sur le produit, le procédé
ou l’équipement
3.1.2
propreté chimique de l’air
ACC
niveau de propreté chimique de l’air, exprimé en termes de classe ISO-ACC N, laquelle représente la
concentration maximale admissible d’une espèce chimique donnée ou d’un groupe d’espèces chimiques
donné, exprimée en grammes par mètre cube
Note 1 à l’article: Cette définition n’inclut pas les macromolécules d’origine biologique, qui sont considérées
comme des particules.
© ISO 2013 – Tous droits réservés 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
3.1.3
contamination chimique de l’air
toute substance dans l’air qui peut, de par sa nature chimique, avoir un effet négatif sur le produit, le
procédé ou l’équipement
3.1.4
propreté chimique surfacique
SCC
état de propreté chimique d’une surface par rapport à sa concentration chimique
3.1.5
contamination chimique surfacique
toute substance sur la surface qui peut, de par sa nature chimique, avoir un effet négatif sur le produit,
le procédé ou l’équipement
3.1.6
catégorie de contaminants
nom courant d’un groupe de composés ayant un effet dommageable spécifique et analogue une fois
déposés sur la surface considérée
3.1.7
dégazage
libération par un matériau de substances chimiques à l’état de gaz ou de vapeur
3.1.8
classe de propreté chimique de l’air
classe ACC
numéro de classification indiquant la concentration maximale admissible d’une espèce chimique donnée
ou d’un groupe d’espèces chimiques donné, en grammes par mètre cube
Note 1 à l’article: Les concentrations maximales admissibles sont définies dans le Tableau 1 ou déterminées au
moyen de l’équation de N en 4.2.
Note 2 à l’article: La classification conformément à la présente partie de l’ISO 14644 se limite à la plage allant de 0
(classe présentant la propreté admissible la plus faible) à –12 (classe correspondant à la propreté maximale spécifiée).
Note 3 à l’article: Le numéro de classe ACC n’est valable qu’en relation avec le descripteur ACC qui spécifie l’espèce
chimique ou le groupe d’espèces chimiques concerné.
Note 4 à l’article: Le signe négatif associé aux classes de propreté chimique de l’air (–1 à –12) fait partie intégrante
du numéro N de classe ACC et doit toujours être indiqué. Une classe de propreté chimique de l’air sans signe
négatif (à l’exception de la classe 0) n’est pas admise.
Note 5 à l’article: Des numéros de classification ISO intermédiaires peuvent être spécifiés, 0,1 étant le plus petit
incrément autorisé.
3.2 Catégories de contaminants
3.2.1
acide
qualifie toute substance qui a pour caractéristique, en matière de réaction chimique, d’établir de
nouvelles liaisons par acceptation de paires d’électrons
3.2.2
basique
qualifie toute substance qui a pour caractéristique, en matière de réaction chimique, d’établir de
nouvelles liaisons par la fourniture de paires d’électrons
2 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
3.2.3
biotoxique
qualifie toute substance contaminante qui nuit au développement et à la conservation d’organismes, de
micro-organismes, de tissus ou de cellules individuelles
3.2.4
condensable
qualifie toute substance capable de se déposer sur une surface par condensation, dans les conditions
d’exploitation d’une salle propre
3.2.5
corrosif
qualifie toute substance provoquant une modification chimique destructrice d’une surface
3.2.6
dopant
qualifie toute substance qui, après sorption et/ou diffusion, est incorporée au volume d’un produit et
peut modifier les propriétés des matériaux, même à l’état de traces
3.2.7
organique
qualifie toute espèce à base de composés contenant du carbone
Note 1 à l’article: Les composés inorganiques contenant du carbone sont exclus.
3.2.8
oxydant
qualifie toute substance qui, une fois déposée sur la surface ou le produit concernés, entraîne la formation
d’un oxyde ou participe à une réaction d’oxydoréduction
4 Classification
4.1 Généralités
La classification doit être spécifiée par l’utilisation d’un descripteur de classification tel que décrit en
4.2. Ce descripteur est désigné par «ISO-ACC» et spécifie la concentration chimique maximale totale
permise pour une catégorie de contaminants, une substance individuelle ou un groupe de substances.
4.2 Format du descripteur ISO-ACC
Le numéro de classe ACC n’est valable qu’en relation avec le descripteur ACC qui spécifie la substance
chimique ou le groupe de substances pour lesquels ce numéro de classe est valable. Le descripteur ISO-
ACC est exprimé selon le format suivant:
Classe ISO-ACC N (X)
où
X est une substance chimique ou un groupe de substances chimiques qui comprend ce qui suit,
sans toutefois s’y limiter:
acide (ac);
basique (ba);
biotoxique (bt);
condensable (cd);
© ISO 2013 – Tous droits réservés 3
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
corrosif (cr);
dopant (dp);
organique total (or);
oxydant (ox);
ou un groupe de substances ou une substance individuelle.
N est la classe ISO-ACC, qui est l’indice logarithmique de la concentration, c , exprimée en
x
grammes par mètre cube, dans une plage limite allant de 0 à –12. Des concentrations intermé-
diaires peuvent être spécifiées, 0,1 étant le plus petit incrément de variation de N autorisé;
N = log [c ];
10 x
EXEMPLE 1 Avec un échantillon de N-méthylpyrrolidone (NMP), la valeur mesurée pour la contamination de
3 3
l’air était de 8E-7 g/m : N = –6,097. Cette valeur est comprise dans la limite de classe 1E-6 g/m de la Classe –6. La
désignation est donc: «Classe ISO-ACC –6 (NMP)».
3
EXEMPLE 2 Avec un échantillon de composé organique, la valeur mesurée était de 6E-5 g/m de composés
3
organiques totaux (COT). Cette valeur est comprise dans la limite de Classe 1E-4 g/m de la Classe –4. La
désignation est donc: «Classe ISO-ACC –4 (COT)».
Le Tableau 1 et la Figure 1 fournissent une autre illustration de la classification ISO-ACC en fonction de
la concentration en contaminant.
Tableau 1 — Classes ISO-ACC
Concentration Concentration Concentration
Classe ISO-ACC
3 3 3
g/m µg/m ng/m
0 6 9
0 10 10 (1 000 000) 10 (1 000 000 000)
−1 5 8
−1 10 10 (100 000) 10 (100 000 000)
−2 4 7
−2 10 10 (10 000) 10 (10 000 000)
−3 3 6
−3 10 10 (1 000) 10 (1 000 000)
−4 2 5
−4 10 10 (100) 10 (100 000)
−5 1 4
−5 10 10 (10) 10 (10 000)
−6 0 3
−6 10 10 (1) 10 (1 000)
−7 −1 2
−7 10 10 (0,1) 10 (100)
−8 −2 1
−8 10 10 (0,01) 10 (10)
−9 −3 0
−9 10 10 (0,001) 10 (1)
−10 −4 −1
−10 10 10 (0,000 1) 10 (0,1)
−11 −5 −2
−11 10 10 (0,000 01) 10 (0,01)
−12 −6 −3
−12 10 10 (0,000 001) 10 (0,001)
4 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Y
X
1
X
2
X
3
Légende
3
X concentration aéroportée (g/m )
1
3
X concentration aéroportée (µg/m )
2
3
X concentration aéroportée (ng/m )
3
Y classe ISO-ACC
Figure 1 — Classes ISO-ACC en fonction de la concentration
5 Démonstration de la conformité
5.1 Principe
La conformité aux exigences de la classification (classe ISO-ACC) spécifiées par le client est vérifiée
en procédant à des essais définis et convenus entre le client et le fournisseur et en fournissant la
documentation spécifiée relative aux résultats et aux conditions d’essai.
5.2 Essais
L’Annexe C donne des exemples de méthodes d’essai. La liste des méthodes types décrites n’est pas
exhaustive. D’autres méthodes ayant une exactitude comparable peuvent être spécifiées en faisant
l’objet d’un accord.
NOTE 1 Une analyse effectuée selon des méthodes différentes, même correctement appliquées, peut donner
des résultats différents de validité équivalente.
© ISO 2013 – Tous droits réservés 5
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Les essais réalisés pour démontrer la conformité doivent être menés en utilisant des méthodes d’essai
appropriées et des instruments étalonnés.
Les sites de prélèvement doivent faire l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.
Il est recommandé de procéder à un double prélèvement sur les sites convenus.
NOTE 2 Lors d’un essai analytique, la contribution de la contamination particulaire ne peut pas toujours être
exclue.
NOTE 3 Pour l’analyse de traces par échantillonnage par sorption, l’incorporation d’un échantillon
supplémentaire, préparé et analysé dans le même lot que l’échantillon de test, est requise pour évaluer la
contamination de l’ensemble du procédé et fournir un blanc lié au transport, excepté pour l’échantillonnage de l’air.
Le temps écoulé doit faire l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur. Voir A.4.3.
5.3 Rapport d’essai
Les résultats des essais effectués dans chaque salle propre ou dans chaque environnement maîtrisé
apparenté doivent être enregistrés et remis sous forme de rapport détaillé avec une déclaration de
conformité ou de non-conformité à la ou aux classes ISO-ACC spécifiées.
Le rapport d’essai doit comporter les éléments suivants:
a) le nom de l’opérateur, le nom et l’adresse de l’organisme d’essai ainsi que la date, l’heure et la durée
du prélèvement;
b) une référence datée à la présente partie de l’ISO 14644, c’est-à-dire l’ISO 14644-8:2013;
c) une identification claire de l’emplacement physique de la salle propre ou de l’environnement maîtrisé
soumis à essai (y compris une référence aux zones voisines, si nécessaire) et les désignations
spécifiques des coordonnées de tous les sites de prélèvement;
d) les critères spécifiés de désignation de la salle propre ou de l’environnement maîtrisé, y compris
l’état d’occupation, la ou les classes ISO-ACC, la ou les méthodes d’essai spécifiées et, s’il y a lieu,
les substances, le groupe de substances ou encore la ou les catégories, le temps écoulé et la classe
particulaire désignée;
e) les détails du mode opératoire d’essai mis en œuvre, en mentionnant toutes les données disponibles
décrivant les circonstances de l’essai ou les écarts par rapport à la méthode d’essai, ainsi que
l’identification des instruments d’essai et leurs certificats d’étalonnage en cours de validité;
f) les résultats des essais, y compris les données relatives aux concentrations chimiques dans l’air,
pour tous les sites de prélèvement.
6 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
Annexe A
(informative)
Paramètres à prendre en compte
A.1 Principes
La présente annexe est destinée à donner des conseils relatifs à la prise en compte de paramètres qui
affectent l’ACC ou qui y contribuent, dans une salle propre ou un environnement maîtrisé apparenté. Il
est important de prendre en compte ces paramètres dans les phases initiales d’élaboration des exigences
de conception et de maîtrise, en les associant à des considérations particulières relatives à l’exploitation
de l’installation.
A.2 Principes d’établissement des paramètres
Les principes suivants permettent d’établir les paramètres affectant l’ACC ou y contribuant qu’il convient
de prendre en compte.
a) Déterminer tout d’abord si le produit ou le procédé est affecté par la contamination chimique, car la prise
en compte de cette contamination n’est pas un élément majeur dans de nombreux secteurs industriels.
b) Déterminer les catégories de contaminants qui affecteront le produit ou le procédé et si une
substance ou un groupe de substances déterminé nécessite une attention particulière.
c) Déterminer les concentrations maximales des catégories de contaminants et/ou des substances
ou groupes de substances admis pour le produit ou le procédé et désigner le descripteur ISO-ACC
associé, conformément à 4.2.
d) Déterminer les sources de contamination chimique et les niveaux de concentration susceptibles de
provenir:
1) de l’air extérieur (arrivée d’air neuf dans l’installation);
2) des matériaux de construction de l’installation, notamment ceux en contact avec les flux d’air de
recirculation et d’appoint;
3) de la contamination croisée susceptible de se produire dans l’installation;
4) de l’exploitation et de la maintenance de l’installation;
5) du personnel, de l’enveloppe de la salle propre et des équipements auxiliaires;
6) des fluides et des outillages utilisés pour le procédé.
D’autres indications relatives à ces phénomènes sont données de A.3 à A.8.
e) Déterminer les exigences de conception permettant d’éviter ou de réduire la contamination chimique
générée selon A.2 d), afin d’obtenir la classe ISO-ACC pour le produit ou le procédé.
A.3 Air extérieur
A.3.1 Lorsque l’air extérieur est amené dans l’installation sous forme d’air neuf auquel le produit ou
le procédé est exposé, il convient de déterminer la qualité de l’air extérieur ainsi que toute variation
saisonnière pour ce qui est de la concentration des composés ou des substances affectant le produit ou le
© ISO 2013 – Tous droits réservés 7
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 14644-8:2013(F)
procédé. En outre, il convient de tenir compte des matériaux de construction des systèmes de chauffage,
de ventilation ou de climatisation, y compris le câblage.
A.3.2 Il convient de procéder à l’analyse de la concentration pendant un temps suffisant pour évaluer
sa variabilité, tout en prenant en considération toute évolution ultérieure susceptible d’affecter la qualité
de l’air extérieur.
A.3.3 Dans certains cas et du fait des vents prédominants, de la proximité de sources de contamination,
etc., les concentrations de la contamination chimique peuvent être réduites en procédant à un
positionnement sélectif de l’entrée ou des entrées d’air neuf de l’installation.
A.3.4 Les niveaux de contamination de l’air extérieur présent dans l’air entrant du bâtiment peuvent
être variables, en provenance de l’évacuation du même bâtiment ou des bâtiments voisins ou d’autres
sources de contamination, telles que les fermes, les stations d’épuration, les décharges, les autoroutes,
les aéroports, les gares ferroviaires, l’industrie locale ou d’autres sources. Ces niveaux peuvent varier
considérablement en fonction de la direction du vent, de la vitesse du vent, du moment de la journée, des
précipitations, de la température, de l’ensoleillement ou d’autres facteurs. Il est donc important d’utiliser
une surveillance en continu lorsque cela est possible pour les paramètres les plus importants ou de
réaliser un échantillonnage périodique à des dates différentes et durant plusieurs heures ou plusieurs
jours, de manière à pouvoir évaluer une moyenne inhabituelle ou le niveau le plus élevé plutôt qu’un seul
point de donnée.
Les données moyennes à long terme permettent de prévoir les durées de vie des filtres chimiques et
les données en temps réel servent à évaluer les niveaux les plus élevés rencontrés pour estimer s’ils
affecteront les produits les plus sensibles.
A.4 Matériaux de construction
A.4.1 Les matériaux de construction de l’installation peuvent être sources de contamination chimique
par dégazage.
Des exemples de matériaux appropriés pour la construction des salles propres sont donnés dans
[1]
l’Annexe E de l’ISO 14644-4:2001.
A.4.2 Le degré de dégazage des matériaux peut dépendre de la température, de l’humidité relative et
de la pression dans la salle propre ou l’environnement maîtrisé et il convient de déterminer ces effets en
fonction de la conception de l’installation.
A.4.3 Dans de nombreux cas, le dégazage des matériaux de construction va décroître de manière
exponentielle et asymptotique pendant un intervalle de temps. Les matériaux les plus fins (par exemple
les revêtements) et les composés les plus volatils (par exemple les solvants) ont tendance à décroître plus
rapidement, tandis que les matériaux plus épais (dalles de plancher, matériaux d’isolation, composés
constitutifs des filtres ULPA) et les composés à point d’ébullition plus élevé (plastifiants, antioxydants,
retardateurs de flammes organophosphorés, silicones de poids moléculaire élevé) peuvent décroître
beaucoup plus lentement et parfois dégazer à des niveaux significatifs pendant de nombreuses années.
A.4.4 Lorsque la contamination chimique de l’air est un élément important, il convient d’évaluer les
caractéristiques chimiques combinées de tous les matériaux utili
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.