ISO 14644-8:2013
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
ISO 14644-8:2013 establishes the classification of air chemical cleanliness (ACC) in cleanrooms and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical substances (individual, group or category) and provides a protocol to include test methods, analysis and time-weighted factors within the specification for classification. ISO 14644-8:2013 currently considers only concentrations of air chemical contaminants between 100 and 10−12 g/m3 under cleanroom operational conditions. ISO 14644-8:2013 is not relevant for application in those industries, processes or productions where the presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process. It is not the intention of ISO 14644-8:2013 to describe the nature of air chemical contaminants. ISO 14644-8:2013 does not give a classification of surface chemical contamination.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 8: Classification de la propreté chimique de l'air
L'ISO 14644-8:2013 établit la classification de la propreté chimique de l'air (ACC) dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de substances chimiques spécifiques (individu, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant d'intégrer les méthodes d'essai, l'analyse et les facteurs de pondération dans le temps dans la spécification destinée à la classification. L'ISO 14644-8:2013 ne porte actuellement que sur les concentrations de contaminants chimiques dans l'air comprises entre 100 et 10−12 g/m3 dans les conditions d'exploitation des salles propres. L'ISO 14644-8:2013 ne s'applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types de production où la présence de substances chimiques aéroportées n'est pas considérée comme un risque pour le produit ou le procédé. L'ISO 14644-8:2013 ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l'air. L'ISO 14644-8:2013 ne fournit pas de classification de la contamination chimique surfacique.
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-8
Second edition
2013-02-15
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 8:
Classification of air cleanliness by
chemical concentration (ACC)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
Reference number
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ISO 2013
© ISO 2013
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Published in Switzerland
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Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 General . 1
3.2 Contaminant categories . 2
4 Classification . 3
4.1 General . 3
4.2 ISO-ACC descriptor format . 3
5 Demonstration of compliance . 5
5.1 Principle . 5
5.2 Testing . 5
5.3 Test report . 6
Annex A (informative) Parameters for consideration . 7
Annex B (informative) Typical contaminants .11
Annex C (informative) Typical methods of measurement .15
Annex D (informative) Consideration of specific requirements for separative devices .19
Bibliography .21
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International
Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting.
Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies
casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 14644-8 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments.
ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and associated controlled
environments:
— Part 1: Classification of air cleanliness
— Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644‑1
— Part 3: Test methods
— Part 4: Design, construction and start‑up
— Part 5: Operations
— Part 6: Vocabulary
— Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators, mini‑environments)
— Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
— Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
— Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 14644-8:2006), which has been
technically revised.
iv © ISO 2013 – All rights reserved
Introduction
Cleanrooms and associated controlled environments provide for the control of airborne particulate
contamination to levels appropriate for accomplishing contamination-sensitive activities. Products and
processes that benefit from the control of airborne contamination include those in such industries as
aerospace, microelectronics, pharmaceuticals, medical devices, food, healthcare, optics, instrumentation,
vacuum technology, coatings, photovoltaics, displays, LEDs, coatings, automotive and surface analysis.
In some of these industries, the product or process can be sensitive to, or can be destroyed by, chemical
contamination resulting from chemicals that are present due to external, process, or otherwise
generated sources.
Within this part of ISO 14644, the presence of chemicals is expressed as air chemical contamination.
Chemical contamination is a three-step event. The first step is generation due to external sources such
as process leakage or construction material or personnel or material outgassing. The second step is
transport as airborne chemical contamination. The third step is sorption on the sensitive surface, which
can be quantified as a surface chemical contamination.
The generating materials and the surfaces where sorption takes place will have a large influence on
the steps of generation and sorption in addition to the actual air contamination. Thus, for these two
steps, not only the contaminants but also the involved bulk and surfaces need to be defined. In order to
make a standard generally applicable to any type of cleanroom or associated controlled environment,
air chemical cleanliness (ACC) has been chosen for the classification.
This part of ISO 14644 assigns ISO classification levels to be used to specify the level of ACC within a
cleanroom and associated controlled environment, where the product or process is deemed to be at risk
from air chemical contamination.
For classification purposes, this part of ISO 14644 is limited to a designated range of ACC and provides
standard protocols for specifying such levels with regard to chemical compounds, methods of test and
analysis, and time weighted factors.
Informative annexes are contained in this part of ISO 14644 covering:
— parameters for consideration: Annex A;
— typical contaminating chemicals and substances: Annex B;
— typical methods of measurement and analysis: Annex C;
— considerations of specific requirements for separative devices: Annex D.
This part of ISO 14644 is one of a series of standards concerned with cleanrooms and contamination
control. Many factors besides ACC need to be considered in the design, specification, operation and
control of cleanrooms and other controlled environments. These are covered in some detail in other
[4]
parts of the International Standards prepared by ISO/TC 209, including ISO 14698 (all parts). In some
circumstances, relevant regulatory agencies can impose supplementary policies or restrictions. In such
situations, appropriate adaptations of this part of ISO 14644 can be required.
INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-8:2013(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8:
Classification of air cleanliness by chemical
concentration (ACC)
1 Scope
This part of ISO 14644 establishes the classification of air chemical cleanliness (ACC) in cleanrooms
and associated controlled environments, in terms of airborne concentrations of specific chemical
substances (individual, group or category) and provides a protocol to include test methods, analysis and
time-weighted factors within the specification for classification.
This part of ISO 14644 currently considers only concentrations of air chemical contaminants between
0 −12 3
10 and 10 g/m under cleanroom operational conditions.
This part of ISO 14644 is not relevant for application in those industries, processes or productions where
the presence of airborne chemical substances is not considered a risk to the product or process.
It is not the intention of this part of ISO 14644 to describe the nature of air chemical contaminants.
This part of ISO 14644 does not give a classification of surface chemical contamination.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 14644-6 and the following apply.
3.1 General
3.1.1
chemical contamination
non-particulate substances that can have a deleterious effect on the product, process or equipment
3.1.2
air cleanliness by chemical concentration
ACC
level of air cleanliness by chemical concentration, expressed in terms of an ISO-ACC Class N, which
represents the maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of chemical
species, expressed in grams per cubic metre
Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be particles.
3.1.3
air chemical contamination
any substance in the air that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or equipment
3.1.4
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of the surface cleanliness with respect to its chemical concentration
3.1.5
surface chemical contamination
any substance on the surface that can, by its chemical nature, adversely affect the product, process or
equipment
3.1.6
contaminant category
common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited
on the surface of interest
3.1.7
outgassing
release of chemical substances in the gaseous or vapour state from a material
3.1.8
air cleanliness by chemical concentration (ACC) class
grading number stating the maximum allowable concentration of a given chemical species or a group of
chemical species in grams per cubic metre
Note 1 to entry: The maximum allowable concentrations are defined in Table 1 or determined by the equation
for N in 4.2.
Note 2 to entry: Classification in accordance with this part of ISO 14644 is limited to the range from 0 (the class
with the lowest allowable cleanliness) to –12 (the cleanest specified class).
Note 3 to entry: The ACC class number is only valid in connection with the ACC descriptor that specifies to which
chemical species or group of chemical species it is related.
Note 4 to entry: The negative sign of the air chemical cleanliness classes (–1 to –12) is an integral part of the ACC
class number N and must always be given. An air chemical cleanliness class without the negative sign (with the
exception of the class 0) is not allowed.
Note 5 to entry: Intermediate ISO classification numbers may be specified, with 0,1 being the smallest
permitted increment.
3.2 Contaminant categories
3.2.1
acid
substance whose chemical reaction characteristic is to establish new bonds by the acceptance of
electron pairs
3.2.2
base
substance whose chemical reaction characteristic is to establish new bonds by the donation of electron pairs
3.2.3
biotoxic
contaminant substan
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-8
Deuxième édition
2013-02-15
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Classification de la propreté
chimique de l’air
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
Numéro de référence
©
ISO 2013
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l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2013 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
3.1 Généralités . 1
3.2 Catégories de contaminants . 2
4 Classification . 3
4.1 Généralités . 3
4.2 Format du descripteur ISO-ACC . 3
5 Démonstration de la conformité . 5
5.1 Principe . 5
5.2 Essais . 5
5.3 Rapport d’essai . 6
Annexe A (informative) Paramètres à prendre en compte . 7
Annexe B (informative) Contaminants types .11
Annexe C (informative) Méthodes de mesure types .15
Annexe D (informative) Exigences spécifiques à prendre en compte pour les
dispositifs séparatifs .19
Bibliographie .21
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives
ISO/CEI, Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de
Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote.
Leur publication comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités
membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de
ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L’ISO 14644-8 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
L’ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté de l’air
— Partie 2: Spécifications pour les essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la conformité
avec l’ISO 14644-1
— Partie 3: Méthodes d’essai
— Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
— Partie 5: Exploitation
— Partie 6: Vocabulaire
— Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements)
— Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
— Partie 9: Classification de la propreté des surfaces par la concentration de particules
— Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (14644-8:2006), qui a fait l’objet d’une
révision technique.
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés
Introduction
Les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés permettent de maîtriser la contamination
particulaire aéroportée à des niveaux appropriés à la conduite d’activités sensibles à la contamination.
Parmi les produits et les procédés qui bénéficient de cette maîtrise de la contamination aéroportée
figurent, entre autres, ceux que l’on trouve dans des secteurs industriels tels que l’aérospatiale, la
microélectronique, la pharmacie, les dispositifs médicaux, l’agro-alimentaire, la santé, l’optique,
l’instrumentation, la technologie sous vide, les revêtements, les systèmes photovoltaïques, les écrans,
les DEL, l’automobile et l’analyse des surfaces.
Dans certains de ces secteurs industriels, le produit ou le procédé peut être sensible à la contamination
chimique résultant des produits chimiques présents du fait de sources extérieures, des procédés ou
d’autres sources d’émissions, ou il peut même être détruit par elle.
Dans la présente partie de l’ISO 14644, la présence de produits chimiques est exprimée sous forme de
contamination chimique de l’air. Cette contamination chimique se produit en trois phases. La première
phase est la génération due à des sources extérieures telles que la fuite d’un procédé, un matériau de
construction, un dégazage de matériaux ou une émanation humaine. La deuxième phase est le transport
dans l’air sous forme de contamination chimique aéroportée. La troisième phase est la sorption sur la surface
sensible, laquelle est susceptible d’être quantifiée sous forme de contamination chimique surfacique.
Outre la nature de la contamination de l’air, les matériaux générateurs et les surfaces sur lesquelles
intervient la sorption auront une grande influence sur les phases de génération et de sorption. Pour ces
deux phases, il est donc nécessaire de définir non seulement les contaminants, mais également le volume
et les surfaces des matériaux concernés. Dans l’objectif d’élaborer une norme pouvant s’appliquer d’une
manière générale à tous les types de salles propres ou d’environnements maîtrisés apparentés, la
propreté chimique de l’air (ACC) a été choisie pour l’établissement de la classification.
La présente partie de l’ISO 14644 attribue des niveaux de classification ISO à utiliser pour spécifier le
niveau d’ACC dans une salle propre et dans un environnement maîtrisé apparenté, lorsque le produit ou
le procédé est considéré comme menacé par la contamination chimique de l’air.
Pour les besoins de la classification, la présente partie de l’ISO 14644 se limite à une plage particulière
d’ACC et prévoit des protocoles normalisés pour spécifier ces niveaux en termes de composés chimiques,
de méthodes d’essai et d’analyse et de facteurs de pondération dans le temps.
Les annexes informatives de la présente partie de l’ISO 14644 couvrent:
— les paramètres à prendre en compte: Annexe A;
— les produits chimiques et substances contaminants types: Annexe B;
— les méthodes types de mesure et d’analyse: Annexe C;
— les exigences spécifiques à prendre en compte pour les dispositifs séparatifs: Annexe D.
La présente partie de l’ISO 14644 fait partie d’une série de normes concernant les salles propres et la
maîtrise de la contamination. Outre l’ACC, il est nécessaire de prendre en considération bien d’autres
facteurs lors de la conception, de la spécification, de l’exploitation et de la maîtrise des salles propres
et autres environnements maîtrisés. Ces aspects sont traités plus en détail dans d’autres Normes
[4]
internationales élaborées par l’ISO/TC 209, y compris l’ISO 14698 (toutes les parties). Dans certains
cas, des organismes réglementaires peuvent imposer des politiques ou restrictions supplémentaires.
Des adaptations appropriées de la présente partie de l’ISO 14644 peuvent alors se révéler nécessaires.
NORME INTERNATIONALE ISO 14644-8:2013(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 8:
Classification de la propreté chimique de l’air
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 14644 établit la classification de la propreté chimique de l’air (ACC) dans les
salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, en termes de concentrations aéroportées de
substances chimiques spécifiques (individu, groupe ou catégorie), et fournit un protocole permettant
d’intégrer les méthodes d’essai, l’analyse et les facteurs de pondération dans le temps dans la spécification
destinée à la classification.
La présente partie de l’ISO 14644 ne porte actuellement que sur les concentrations de contaminants
0 −12 3
chimiques dans l’air comprises entre 10 et 10 g/m dans les conditions d’exploitation des salles propres.
La présente partie de l’ISO 14644 ne s’applique pas aux secteurs industriels, aux procédés ou aux types
de production où la présence de substances chimiques aéroportées n’est pas considérée comme un
risque pour le produit ou le procédé.
La présente partie de l’ISO 14644 ne vise pas à décrire la nature des contaminants chimiques dans l’air.
La présente partie de l’ISO 14644 ne fournit pas de classification de la contamination chimique surfacique.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l’application du présent document. Pour
les références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition
du document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 14644-6, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 6: Vocabulaire
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 14644-6 ainsi que les
suivants s’appliquent.
3.1 Généralités
3.1.1
contamination chimique
substances non particulaires susceptibles d’avoir un effet dommageable sur le produit, le procédé
ou l’équipement
3.1.2
propreté chimique de l’air
ACC
niveau de propreté chimique de l’air, exprimé en termes de classe ISO-ACC N, laquelle représente la
concentration maximale admissible d’une espèce chimique donnée ou d’un groupe d’espèces chimiques
donné, exprimée en grammes par mètre cube
Note 1 à l’article: Cette définition n’inclut pas les macromolécules d’origine biologique, qui sont considérées
comme des particules.
3.1.3
contamination chimique de l’air
toute substance dans l’air qui peut, de par sa nature chimique, avoir un effet négatif sur le produit, le
procédé ou l’équipement
3.1.4
propreté chimique surfacique
SCC
état de propreté chimique d’une surface par rapport à sa concentration chimique
3.1.5
contamination chimique surfacique
toute substance sur la surface qui peut, de par sa nature chimique, avoir un effet négatif sur le produit,
le procédé ou l’équipement
3.1.6
catégorie de contaminants
nom courant d’un groupe de composés ayant un effet dommageable spécifique et analogue une fois
déposés sur la surface considérée
3.1.7
dégazage
libération par un matériau de
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.