ISO 14644-13:2017

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

ISO 14644-13:2017 gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom. Under consideration are all surfaces (external or internal) that are of interest. It provides guidance on the assessment of cleaning methods for achieving the required surface cleanliness by particle concentration (SCP) and surface cleanliness by chemical concentration (SCC) classes and which techniques should be considered to achieve these specified levels. The appropriateness of cleaning techniques will make reference to the cleanliness classes and associated test methods found in ISO 14644‑9 and ISO 14644‑10. The following matters of general guidance will be provided: - expected surface cleanliness levels; - suitability of cleaning methods; - compatibility of surfaces with the cleaning technique; - assessment of cleaning appropriateness. The following will be excluded from this document: - classification of cleaning methods; - product produced within a cleanroom; - specific surface-related cleaning methods; - detailed description of cleaning mechanisms, methods and procedures of various cleaning methods; - detailed material characteristics; - description of damage mechanisms by cleaning processes and time-dependent effects; - references to interactive bonding forces between contaminants and surfaces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent; - other characteristics of particles such as electrostatic charge, ionic charges, etc.; - chemical reactions between molecular contaminants and surfaces; - microbiological aspects of surface cleanliness; - radioactive aspects of contamination; - health and safety considerations; - environmental aspects such as waste disposal, emissions, etc.; - selection and use of statistical methods.

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d'obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particulaire et chimique

ISO 14644-13:2017 donne des lignes directrices concernant le nettoyage, jusqu'à atteindre un degré de nettoyage spécifié, des surfaces d'une salle propre ainsi que des surfaces des équipements et des matériaux contenus dans une salle propre. Toutes les surfaces d'intérêt (internes ou externes) sont concernées par le présent document. Il fournit des préconisations concernant l'évaluation des méthodes de nettoyage en vue d'obtenir les classes exigées de propreté particulaire des surfaces (SCP) et de propreté chimique des surfaces (SCC) ainsi que les techniques qu'il convient d'utiliser pour atteindre ces niveaux spécifiés. L'adéquation des techniques de nettoyage fera référence aux classes de propreté et aux méthodes d'essai associées disponibles dans l'ISO 14644‑9 et l'ISO 14644‑10. Les préconisations générales porteront sur les questions suivantes: - niveaux de propreté des surfaces souhaités; - pertinence des méthodes de nettoyage; - compatibilité des surfaces avec la technique de nettoyage; - évaluation de l'adéquation du nettoyage. Les points suivants ne seront pas traités dans le présent document: - classification des méthodes de nettoyage; - produits fabriqués dans une salle propre; - méthodes de nettoyage spécifiques en lien avec une surface; - description détaillée des mécanismes de nettoyage, méthodes et modes opératoires de diverses méthodes de nettoyage; - caractéristiques détaillées des matériaux; - description des mécanismes de détérioration dus aux procédés de nettoyage et effets dans le temps; - références aux forces de liaison entre les contaminants et les surfaces, ou aux processus de génération qui dépendent généralement du temps et du procédé; - autres caractéristiques des particules, telles que la charge électrostatique, les charges ioniques, etc.; - réactions chimiques entre les contaminants moléculaires et les surfaces; - aspects microbiologiques de la propreté des surfaces; - aspects radioactifs de la contamination; - considérations relatives à la santé et la sécurité; - aspects environnementaux tels que l'élimination des déchets, les émissions, etc.; - sélection et utilisation de méthodes statistiques.

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 10-Jul-2017
• ICS: 13.040.35 - Cleanrooms and associated controlled environments
• Technical Committee: ISO/TC 209 - Cleanrooms and associated controlled environments
• Drafting Committee: ISO/TC 209 - Cleanrooms and associated controlled environments
• Current Stage: 9092 - International Standard to be revised
• Due Date: 13-Mar-2025
• Completion Date: 13-Mar-2025

Relations

• Consolidates: ISO 22006:2009 - Quality management systems — Guidelines for the application of ISO 9001:2008 to crop production
• Effective Date: 06-Jun-2022

Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-13
First edition
2017-06
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 13:
Cleaning of surfaces to achieve defined
levels of cleanliness in terms of
particle and chemical classifications
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d’obtenir des niveaux de
propreté par rapport aux classifications particulaire et chimique
Reference number
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ISO 2017
© ISO 2017, Published in Switzerland
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Contents Page
Foreword .v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 2
3 Terms and definitions . 2
4 General methodology . 3
4.1 Overview . 3
4.2 Methodology . 4
5 Object description . 6
6 Cleanliness specifications . 7
7 Determination of initial contamination level . 7
7.1 General . 7
7.2 Determination of initial contamination level with respect to particle concentration . 7
7.3 Determination of initial contamination level with respect to chemical concentration. 7
8 Other requirements . 8
9 Selection of a cleaning methodology . 8
9.1 Selection procedure . 8
9.2 Cleaning methodologies . 8
9.2.1 Cleaning method . 8
9.2.2 Categories of cleaning techniques . 8
9.3 Cleaning process . 9
10 Material compatibility check . 9
11 Cleaning validation .10
11.1 General .10
11.2 Cleaning efficiency .11
11.2.1 Evaluation .11
11.2.2 Cleaning efficiency with respect to particle concentration .11
11.2.3 Cleaning efficiency with respect to chemical contamination .12
11.3 Cleaning appropriateness .13
11.3.1 Assessment .13
11.3.2 Cleaning appropriateness with respect to particle concentration .13
11.3.3 Cleaning appropriateness with respect to chemical concentration .14
12 Measurement methods .15
12.1 General .15
12.2 Direct measurement methods .15
12.2.1 General.15
12.2.2 Direct measurement methods with respect to SCP .16
12.2.3 Direct measurement methods with respect to SCC .16
12.3 Indirect measurement methods .16
12.3.1 General.16
12.3.2 Indirect measurement methods with respect to SCP .16
12.3.3 Indirect measurement methods with respect to SCC .17
13 Documentation .17
Annex A (informative) Aspects of cleaning .18
Annex B (informative) Cleaning methods .19
Annex C (informative) Material compatibility with cleaning agents .27
Annex D (informative) Cleanliness measurement .29
Bibliography .34
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Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/ directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/ patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation on the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and
expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO’s adherence to the
World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT) see the following
URL: w w w . i s o .org/ iso/ foreword .html.
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments.
A list of all parts in the ISO 14644 series can be found on the ISO website.
Introduction
The term surface refers to the interface between two phases. For the purpose of this document, the
surface is a solid. A “clean surface” is where one or more of the contamination categories (particles,
chemical) are under control due to cleaning/decontamination. The degree of cleanliness is specified
in the corresponding surface cleanliness classifications (see ISO 14644-9 and ISO 14644-10). Different
cleaning methods are necessary depending on the degree of cleanliness (cleanliness class) required.
This document gives guidance on the selection of cleaning methods to achieve specified cleanliness
levels. For the selection procedure, the aspects of surface description, cleanliness specifications, types
of contamination, cleaning techniques, material compatibility, and assessment methodology are taken
into consideration. Most of the methods are suitable for removal of more than one contamination
category at the same time; therefore, a common standard for the selection of a cleaning method for both
particles, as well as chemical contamination, is needed.
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-13:2017(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 13:
Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness
in terms of particle and chemical classifications
1 Scope
This document gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of
equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom. Under consideration are all surfaces
(external or internal) that are of interest. It provides guidance on the assessment of cleaning methods
for achieving the required surface cleanliness by particle concentration (SCP) and surface cleanliness
by chemical concentration (SCC) classes and which techniques should be considered to achieve these
specified levels.
The appropriateness of cleaning techniques will make reference to the cleanliness classes and
associated test methods found in ISO 14644-9 and ISO 14644-10.
The following matters of general guidance will be provided:
— expected surface cleanliness levels;
— suitability of cleaning methods;
— compatibility of surfaces with the cleaning technique;
— assessment of cleaning appropriateness.
The following will be excluded from this document:
— classification of cleaning methods;
— product produced within
...

NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-13
Première édition
2017-06
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 13:
Nettoyage des surfaces afin d’obtenir
des niveaux de propreté par rapport
aux classifications particulaire et
chimique
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in
terms of particle and chemical classifications
Numéro de référence
©
ISO 2017
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Sommaire Page
Avant-propos .v
Introduction .vi
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 2
3 Termes et définitions . 2
4 Méthodologie générale . 3
4.1 Présentation . 3
4.2 Méthodologie . 4
5 Description de l’objet . 5
6 Spécifications relatives à la propreté . 7
7 Détermination du niveau de contamination initial . 7
7.1 Généralités . 7
7.2 Détermination du niveau de contamination initial en termes de
concentration particulaire . 7
7.3 Détermination du niveau de contamination initial en termes de concentration en
produits chimiques . 7
8 Autres exigences . 8
9 Choix d’une méthodologie de nettoyage . 8
9.1 Procédure de sélection . 8
9.2 Méthodologies de nettoyage . 8
9.2.1 Méthode de nettoyage . 8
9.2.2 Catégories de techniques de nettoyage . 8
9.3 Procédé de nettoyage . 9
10 Vérification de la compatibilité des matériaux. 9
11 Validation du nettoyage.10
11.1 Généralités .10
11.2 Efficience de nettoyage .11
11.2.1 Évaluation .11
11.2.2 Efficience de nettoyage en termes de concentration particulaire .11
11.2.3 Efficience de nettoyage en termes de contamination chimique .13
11.3 Adéquation du nettoyage .13
11.3.1 Évaluation .13
11.3.2 Adéquation de nettoyage en termes de concentration particulaire .14
11.3.3 Adéquation de nettoyage en termes de concentration chimique .15
12 Méthodes de mesurage .16
12.1 Généralités .16
12.2 Méthodes de mesurage direct .16
12.2.1 Généralités .16
12.2.2 Méthodes de mesurage direct de la SCP .16
12.2.3 Méthodes de mesurage direct de la SCC .16
12.3 Méthodes de mesurage indirect .17
12.3.1 Généralités .17
12.3.2 Méthodes de mesurage indirect de la SCP .17
12.3.3 Méthodes de mesurage indirect de la SCC .17
13 Documentation .17
Annexe A (informative) Aspects relatifs au nettoyage .19
Annexe B (informative) Méthodes de nettoyage .20
Annexe C (informative) Compatibilité des matériaux avec les agents de nettoyage.28
Annexe D (informative) Mesurage de la propreté .30
Bibliographie .36
iv © ISO 2017 – Tous droits réservés

Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/ directives).
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l’ISO (voir www .iso .org/ brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion
de l’ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC) voir le lien suivantwww .iso .org/ iso/ fr/ avant -propos .html.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
La liste de toutes les parties de la série de normes ISO 14644 est disponible sur le site Web de l’ISO.
Introduction
Le terme surface fait référence à l’interface située entre deux phases. Pour les besoins du présent
document, les surfaces sont des éléments solides. «Surface propre» s’applique lorsqu’une ou plusieurs
catégories de contamination (particulaire, chimique) sont maîtrisées suite à un nettoyage ou une
décontamination. Le degré de propreté est spécifié dans les classifications de propreté des surfaces
correspondantes (voir l’ISO 14644-9 et l’ISO 14644-10). Différentes méthodes de nettoyage sont
nécessaires en fonction du degré de propreté (classe de propreté) requis. La présente norme fournit
des préconisations concernant le choix des méthodes de nettoyage en vue d’obtenir des niveaux de
propreté spécifiés. La procédure permettant d’effectuer ce choix prend en considération la description
des surfaces, les spécifications de propreté, les types de contamination, les techniques de nettoyage, la
compatibilité des matériaux et la méthodologie de l’évaluation. La plupart des méthodes sont adaptées
à l’élimination simultanée de plusieurs catégories de contamination, il est donc nécessaire d’utiliser une
norme commune permettant de choisir une méthode de nettoyage applicable à la fois à la contamination
particulaire et à la contamination chimique.
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NORME INTERNATIONALE ISO 14644-13:2017(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 13:
Nettoyage des surfaces afin d’obtenir des niveaux de
propreté par rapport aux classifications particulaire et
chimique
1 Domaine d’application
Le présent document donne des lignes directrices concernant le nettoyage, jusqu’à atteindre un degré
de nettoyage spécifié, des surfaces d’une salle propre ainsi que des surfaces des équipe
...