ISO 13697:2006
(Main)Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test methods for specular reflectance and regular transmittance of optical laser components
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test methods for specular reflectance and regular transmittance of optical laser components
ISO 13697:2006 specifies measurement procedures for the precise determination of the specular reflectance and regular transmittance of optical laser components. The accuracy of the described test methods exceeds that of measurement procedures outlined in ISO 15368 by several orders of magnitude.
Optique et photonique — Lasers et équipements associés aux lasers — Méthodes d'essai du facteur de réflexion spéculaire et du facteur de transmission des composants optiques laser
L'ISO 13697:2006 spécifie des modes opératoires de mesure pour la détermination précise du facteur de réflexion spéculaire et du facteur de transmission de composants optiques laser. L'exactitude des méthodes d'essai décrites dépasse celle des modes opératoires de mesure mentionnés dans ISO 15368 de plusieurs ordres de grandeur.
General Information
Relations
Buy Standard
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 13697
First edition
2006-05-15
Optics and photonics — Lasers and
laser-related equipment — Test methods
for specular reflectance and regular
transmittance of optical laser
components
Optique et photonique — Lasers et équipements associés aux lasers —
Méthodes d'essai du facteur de réflexion spéculaire et du facteur de
transmission des composants optiques laser
Reference number
ISO 13697:2006(E)
©
ISO 2006
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
PDF disclaimer
This PDF file may contain embedded typefaces. In accordance with Adobe's licensing policy, this file may be printed or viewed but
shall not be edited unless the typefaces which are embedded are licensed to and installed on the computer performing the editing. In
downloading this file, parties accept therein the responsibility of not infringing Adobe's licensing policy. The ISO Central Secretariat
accepts no liability in this area.
Adobe is a trademark of Adobe Systems Incorporated.
Details of the software products used to create this PDF file can be found in the General Info relative to the file; the PDF-creation
parameters were optimized for printing. Every care has been taken to ensure that the file is suitable for use by ISO member bodies. In
the unlikely event that a problem relating to it is found, please inform the Central Secretariat at the address given below.
© ISO 2006
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized in any form or by any means,
electronic or mechanical, including photocopying and microfilm, without permission in writing from either ISO at the address below or
ISO's member body in the country of the requester.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2006 – All rights reserved
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Contents Page
Foreword. iv
Introduction . v
1 Scope .1
2 Normative references .1
3 Terms and definitions .1
4 Symbols used and units of measure .2
5 Test and calibration principles.2
5.1 General.2
5.2 Specular reflectance.2
5.3 Transmittance .3
5.4 Calibration .3
6 Preparation of test sample and measuring arrangement.7
6.1 General.7
6.2 Laser beam preparation .8
6.3 Chopper .8
6.4 Detector arrangement .8
7 Characteristic features of the laser beam .9
8 Test procedure.9
8.1 Calibration of the chopper mirror .9
8.2 Specular reflectance for near-normal incidence .10
8.3 Angular dependence of reflectance.11
8.4 Transmittance .12
9 Evaluation.13
9.1 Specular reflectance for near-normal incidence .13
9.2 Angular dependence of reflectance.13
9.3 Transmittance .13
10 Test report .14
Bibliography .16
© ISO 2006 – All rights reserved iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 13697 was prepared by Technical Committee ISO/TC 172, Optics and photonics, Subcommittee SC 9,
Electro-optical systems.
iv © ISO 2006 – All rights reserved
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Introduction
Laser-based optical systems require optical components with greatly enhanced reflectance and/or
transmission characteristics. It is necessary to be able to measure these characteristics precisely. The
measurement procedures in this International Standard have been optimized to allow the measurement of the
specular reflectance and transmittance of the optical components to a high degree of accuracy over a wide
range of values.
© ISO 2006 – All rights reserved v
---------------------- Page: 5 ----------------------
INTERNATIONAL STANDARD ISO 13697:2006(E)
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment —
Test methods for specular reflectance and regular
transmittance of optical laser components
1 Scope
This International Standard specifies measurement procedures for the precise determination of the specular
reflectance and regular transmittance of optical laser components. The accuracy of the described test
methods exceeds that of measurement procedures outlined in ISO 15368 by several orders of magnitude.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
ISO 31-6, Quantities and units — Part 6: Light and related electromagnetic radiations
ISO 11145, Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Vocabulary and symbols
ISO 14644-1, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness
3 Terms and definitions
For the purpose of this document, the terms and definitions given in ISO 11145 and ISO 31-6 apply.
© ISO 2006 – All rights reserved 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
4 Symbols used and units of measure
Table 1 — Symbols used and units of measure
Symbol Unit Term
ρ specular reflectance of sample
s
ρ , ρ specular reflectance of chopper, specular reflectance of deflecting mirror
ch m
τ regular transmittance of sample
s
λ m wavelength
P W average power
av
β rad angle of incidence
d m beam diameter on the test sample
f Hz chopper frequency
ch
f Hz frequency of laser power modulation
am
P W power of reference beam
r
P W power of probe beam
p
∆P W power difference between reference beam and probe beam
S signal at frequency of laser power modulation
m
S signal at frequency of laser power modulation, probe beam blocked
mo
∆S signal at frequency, which is the sum or the difference of chopper frequency and power
modulation frequency
∆S signal at frequency, which is the sum or the difference of chopper frequency and power
0
modulation frequency, probe beam blocked
C , C arbitrary constants
1 2
5 Test and calibration principles
5.1 General
Specular reflectance and regular transmittance are determined optically as the ratio of the regularly reflected
or regularly transmitted part of the reflected or transmitted power radiation to the incident power radiation.
The reflectance or the transmittance of the test sample are constant within the temperature fluctuations
experienced by the component during the test and are independent of the power density of the impinging
radiation.
5.2 Specular reflectance
The reflectance of optical components is determined optically by means of a measuring arrangement as
shown in Figures 1 and 2.
An optically flat and highly reflective chopper mirror divides the laser beam into a probe beam and a reference
beam. The probe beam is reflected by the chopper mirror and the sample, whereas the reference beam
transmits without being affected. Both beams, alternating temporally, impinge upon the same spot on the rear
target of the integrating sphere.
Figure 1 shows the measuring arrangement for near-normal incidence, whereas the angular dependence of
reflectance can be measured in a measuring arrangement according to Figure 2. Compared with the
arrangement in Figure 1, an additional mirror is used to create a double bounce permitting the measurement
of the reflectance of the sample at different angles of incidence.
2 © ISO 2006 – All rights reserved
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
The powers P for the probe beam and P for the reference beam are related by
p r
2
= ρ ρρ (1)
P P
prs
ch m
where
ρ is the specular reflectance of the additional deflecting mirror;
m
2
ρ is the double bounce on the sample;
s
ρ is the specular reflectance of the sample;
s
ρ is the specular reflectance of the chopper mirror.
ch
The specular reflectance ρ of the test sample can be expressed as
s
⎛⎞
1 ∆P
ρ = ×− 1 (2)
⎜⎟
s
ρρ
P
⎝⎠r
ch m
where ∆P = P − P
r p
5.3 Transmittance
The transmittance of optical components is determined by means of a measuring arrangement as shown in
Figure 3 using an additional mirror with known reflectance ρ .
m
For the powers P and P measured with a set-up according to Figure 3, the following relationship exists
p r
P = τρ ρ P (3)
p s ch m r
whereτ is the regular transmittance of the sample.
s
The regular transmittance τ of the test sample can be calculated from the following relationship:
s
1 ⎛⎞∆P
= ×− 1 (4)
τ
s ⎜⎟
ρρ
P
⎝⎠r
ch m
5.4 Calibration
The reflectance of the chopper mirror has to be known for evaluation. Figure 4 shows the measurement set-up
used for the calibration procedure. To determine the two unknown specular reflectances ρ of the additional
m
mirror and ρ of the chopper mirror, two sets of measurements have to be performed. One measurement is
ch
done in the set-up of the test procedure described in 8.2, while for the other measurement the integrating
sphere and an additional mirror have to be replaced according to Figure 4. The beam transforming optics and
the chopper mirror remain unchanged to ensure that the laser hits the chopper under identical conditions. For
the set-up according to Figure 4, the following relationship for the powers P and P exists
p r
Pp
P
r
= (5)
ρ ρ
mch
© ISO 2006 – All rights reserved 3
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
This set-up enables the computation of the quotient Q of the specular reflectance of the additional mirror and
the chopper mirror.
ρ
m
Q = (6)
ρ
ch
Their product P is determined according to Figure 1, where the sample is replaced by the additional mirror. In
this case:
P=×ρ ρ (7)
mch
The specular reflectance of the chopper ρ and the additional mirror ρ are given by
ch m
P
ρ = (8)
ch
Q
ρ=×PQ (9)
m
Key
1 laser 6 probe beam
2 telescope 7 reference beam
3 pinhole 8 integrating sphere
4 chopper 9 detector, mounted on top of the sphere
5 sample 10 rotating target
Figure 1 — Schematic measuring arrangement for specular reflectance measurement
(near-normal incidence angle on sample)
4 © ISO 2006 – All rights reserved
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Key
1 laser 7 reference beam
2 telescope 8 integrating sphere
3 pinhole 9 detector, mounted on top of the sphere
4 chopper 10 rotating target
5 sample 11 additional mirror
6 probe beam
Figure 2 — Schematic measuring arrangement for specular reflectance measurement
(arbitrarily chosen angle of incidence on sample)
© ISO 2006 – All rights reserved 5
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Key
1 laser 7 reference beam
2 telescope 8 integrating sphere
3 pinhole 9 detector, mounted on top of the sphere
4 chopper 10 rotating target
5 sample 11 additional mirror
6 probe beam
Figure 3 — Schematic measuring arrangement for measuring the transmittance
(arbitrarily chosen angle of incidence on sample)
6 © ISO 2006 – All rights reserved
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
Key
1 laser 6 probe beam
2 telescope 7 reference beam
3 pinhole 8 integrating sphere
4 chopper 9 detector, mounted on top of the sphere
5 additional mirror 10 rotating target
Figure 4 — Schematic measuring arrangement for calibrating the chopper mirror
6 Preparation of test sample and measuring arrangement
6.1 General
Storage, cleaning and the preparation of the test samples shall be carried out in accordance with the
manufacturer's instructions for normal use.
The environment of the testing place shall consist of dust-free filtered air with less than 60 % relative humidity.
The residual dust shall be reduced in accordance with the clean-room Class 7 as specified in ISO 14644-1.
A laser shall be used as the radiation source. The laser-beam propagation ratio shall be nearly unity and the
beam power stability shall be as high as possible.
Wavelength, angle of incidence and state of polarization of the laser irradiation used for the measurement
shall correspond to the values specified by the manufacturer for the use of the test sample. If ranges are
accepted for these three quantities, any combination of wavelength, angle of incidence and state of
polarization may be chosen out of these ranges.
© ISO 2006 – All rights reserved 7
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 13697:2006(E)
6.2 Laser beam preparation
All stray radiation and radiation scattered from optical components in the beam path has to be separated from
the laser beam in order to ensure that a well de
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 13697
Première édition
2006-05-15
Optique et photonique — Lasers et
équipements associés aux lasers —
Méthodes d'essai du facteur de réflexion
spéculaire et du facteur de transmission
des composants optiques laser
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test
methods for specular reflectance and regular transmittance of optical
laser components
Numéro de référence
ISO 13697:2006(F)
©
ISO 2006
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
PDF – Exonération de responsabilité
Le présent fichier PDF peut contenir des polices de caractères intégrées. Conformément aux conditions de licence d'Adobe, ce fichier
peut être imprimé ou visualisé, mais ne doit pas être modifié à moins que l'ordinateur employé à cet effet ne bénéficie d'une licence
autorisant l'utilisation de ces polices et que celles-ci y soient installées. Lors du téléchargement de ce fichier, les parties concernées
acceptent de fait la responsabilité de ne pas enfreindre les conditions de licence d'Adobe. Le Secrétariat central de l'ISO décline toute
responsabilité en la matière.
Adobe est une marque déposée d'Adobe Systems Incorporated.
Les détails relatifs aux produits logiciels utilisés pour la création du présent fichier PDF sont disponibles dans la rubrique General Info
du fichier; les paramètres de création PDF ont été optimisés pour l'impression. Toutes les mesures ont été prises pour garantir
l'exploitation de ce fichier par les comités membres de l'ISO. Dans le cas peu probable où surviendrait un problème d'utilisation,
veuillez en informer le Secrétariat central à l'adresse donnée ci-dessous.
© ISO 2006
Droits de reproduction réservés. Sauf prescription différente, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée sous
quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie et les microfilms, sans l'accord écrit
de l'ISO à l'adresse ci-après ou du comité membre de l'ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax. + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2006 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Sommaire Page
Avant-propos. iv
Introduction . v
1 Domaine d'application. 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions. 1
4 Symboles utilisés et unités de mesure. 2
5 Principe d'essai et principe d'étalonnage . 2
5.1 Généralités . 2
5.2 Facteur de réflexion spéculaire. 2
5.3 Facteur de transmission . 3
5.4 Étalonnage. 3
6 Préparation de l’échantillon et dispositif de mesure . 7
6.1 Généralités . 7
6.2 Préparation du faisceau laser. 8
6.3 Miroir diviseur . 8
6.4 Mise en place du détecteur. 8
7 Fonctions caractéristiques du faisceau laser.9
8 Mode opératoire d’essai. 9
8.1 Étalonnage du miroir diviseur du faisceau . 9
8.2 Facteur de réflexion spéculaire pour l'incidence quasi normale. 10
8.3 Dépendance angulaire du facteur de réflexion. 11
8.4 Facteur de transmission . 12
9 Évaluation. 13
9.1 Facteur de réflexion spéculaire pour l'incidence quasi normale. 13
9.2 Dépendance angulaire du facteur de réflexion. 13
9.3 Facteur de transmission . 14
10 Rapport d'essai . 14
Bibliographie . 16
© ISO 2006 – Tous droits réservés iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 13697 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 172, Optique et photonique, sous-comité SC 9,
Systèmes électro-optiques.
iv © ISO 2006 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Introduction
Les systèmes optiques laser utilisent des composants optiques qui ont des caractéristiques de réflexion et/ou
de transmission sensiblement améliorées. Il est nécessaire de pouvoir mesurer avec précision ces
caractéristiques. Les modes opératoires de mesure de la présente Norme internationale ont été optimisés afin
de permettre le mesurage du facteur de réflexion spéculaire et du facteur de transmission des composants
optiques avec un degré élevé d’exactitude sur une large gamme de valeurs.
© ISO 2006 – Tous droits réservés v
---------------------- Page: 5 ----------------------
NORME INTERNATIONALE ISO 13697:2006(F)
Optique et photonique — Lasers et équipements associés aux
lasers — Méthodes d'essai du facteur de réflexion spéculaire et
du facteur de transmission des composants optiques laser
1 Domaine d'application
La présente Norme internationale spécifie des modes opératoires de mesure pour la détermination précise du
facteur de réflexion spéculaire et du facteur de transmission de composants optiques laser. L’exactitude des
méthodes d'essai décrites dépasse celle des modes opératoires de mesure mentionnés dans ISO 15368 de
plusieurs ordres de grandeur.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l'application du présent document. Pour les
références datées, seule l'édition citée s'applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence (y compris les éventuels amendements) s'applique.
ISO 31-6, Grandeurs et unités — Partie 6: Lumière et rayonnements électromagnétiques connexes
ISO 11145, Optique et instruments d'optique — Lasers et équipements associés aux lasers —
Vocabulaire et symboles
ISO 14644-1, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 1: Classification de la propreté
de l'air
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 11145 et dans l’ISO 31-6
s'appliquent.
© ISO 2006 – Tous droits réservés 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
4 Symboles utilisés et unités de mesure
Tableau 1 — Symboles utilisés et unités de mesure
Symbole Unité Terme
ρ
facteur de réflexion spéculaire de l’échantillon
s
ρ , ρ
facteur de réflexion spéculaire du diviseur, facteur de réflexion spéculaire du miroir
ch m
déflecteur
τ
facteur de transmission régulière de l’échantillon
s
λ
m longueur d’onde
P
W puissance moyenne
av
β
rad angle d’incidence
d
m diamètre du faisceau sur l’échantillon
f
Hz fréquence du diviseur
ch
f
Hz fréquence de modulation de la puissance du laser
am
P
W puissance du faisceau de référence
r
P
W puissance du faisceau sonde
p
∆P
W différence de puissance entre le faisceau de référence et le faisceau sonde
S
signal à la fréquence de modulation de la puissance du laser
m
S
signal à la fréquence de modulation de la puissance du laser, faisceau sonde bloqué
mo
∆S
signal à la fréquence, qui est la somme ou la différence de la fréquence du diviseur et de la
fréquence de modulation de la puissance
∆S signal à la fréquence, qui est la somme ou la différence de la fréquence du diviseur et de la
0
fréquence de modulation de puissance, faisceau sonde bloqué
C , C
constantes arbitraires
1 2
5 Principe d'essai et principe d'étalonnage
5.1 Généralités
Le facteur de réflexion spéculaire et le facteur de transmission sont déterminés optiquement comme le rapport
de la puissance totale respectivement réfléchie et transmise par le composant, à la puissance totale incidente
sur le composant.
Le facteur de réflexion ou le facteur de transmission de l’échantillon sont constants dans les limites des
fluctuations de température auxquelles est exposé le composant durant l'essai et sont indépendants de la
densité de puissance du rayonnement incident.
5.2 Facteur de réflexion spéculaire
Le facteur de réflexion des composants optiques est déterminé optiquement à l'aide d'un dispositif de mesure
tel qu’illustré aux Figures 1 et 2.
Un miroir diviseur du faisceau optiquement plat et hautement réfléchissant divise le faisceau laser en un
faisceau sonde et en un faisceau de référence. Le faisceau sonde est réfléchi par le miroir diviseur et par
l'échantillon, tandis que le faisceau de référence transmet sans être affecté. Les deux faisceaux,
alternativement, envoient un rayonnement incident au même endroit sur la cible arrière de la sphère
intégrante.
2 © ISO 2006 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
La Figure 1 présente le dispositif de mesure pour l'incidence quasi normale, tandis que la dépendance
angulaire du facteur de réflexion peut être mesurée sur un dispositif de mesure conforme à la Figure 2. En
comparaison avec le dispositif de la Figure 1, un miroir supplémentaire est utilisé pour créer une double
réflexion, permettant de mesurer le facteur de réflexion de l’échantillon à différents angles d'incidence.
La puissance P pour le faisceau sonde et la puissance P pour le faisceau de référence sont reliées par
p r
2
= ρ ρρ (1)
P P
pr
s ch m
où
ρ est le facteur de réflexion spéculaire du miroir de déflexion supplémentaire;
m
2
ρ est la double réflexion sur l'échantillon;
s
ρ est le facteur de réflexion spéculaire de l’échantillon;
s
ρ est le facteur de réflexion spéculaire du miroir diviseur.
ch
Le facteur de réflexion spéculaire, ρ , de l’échantillon peut être exprimée par
s
⎛⎞
1 ∆P
ρ=× 1− (2)
⎜⎟
s
ρρ P
ch m⎝⎠r
avec ∆P = P – P
r p
5.3 Facteur de transmission
Le facteur de transmission des composants optiques est déterminé à l'aide d'un dispositif de mesure tel
qu’illustré à la Figure 3 en utilisant un miroir supplémentaire dont la réflexion, ρ , est connue.
m
Pour les puissances P et P mesurées avec un montage conforme à la Figure 3, il existe la relation suivante:
p r
P = τρ ρ P (3)
p s ch m r
où τ est le facteur de transmission régulière de l’échantillon.
s
Le facteur de transmission régulière, τ , de l’échantillon peut être calculé à partir de la relation suivante:
s
1 ⎛⎞∆P
τ=× 1− (4)
⎜⎟
s
ρρ P
ch m⎝⎠r
5.4 Étalonnage
Le facteur de réflexion du miroir diviseur doit être connu pour l’évaluation. La Figure 4 montre le réglage de
mesure utilisé pour le mode opératoire d’étalonnage. Pour déterminer les deux facteurs de réflexion inconnus,
ρ pour le miroir additionnel et ρ pour le miroir diviseur, deux ensembles de mesurage doivent être conduits.
m ch
Un mesurage est fait dans le réglage du mode opératoire d’essai décrit en 8.2, alors que pour l’autre
mesurage la sphère intégrante et le miroir additionnel doivent être remplacés comme indiqué à la Figure 4.
L’optique de transformation du faisceau et le miroir diviseur restent inchangés pour assurer que le laser atteint
le miroir diviseur dans des conditions identiques. Pour le réglage selon la Figure 4 les relations suivantes
existent entre les puissances P et P
p r
P
p P
r
= (5)
ρ ρ
mch
© ISO 2006 – Tous droits réservés 3
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Ce réglage permet le calcul du quotient, Q, entre le facteur de réflexion spéculaire du miroir additionnel et du
miroir diviseur.
ρ
m
Q = (6)
ρ
ch
Leur produit, P, est déterminé selon la Figure 1, où l’échantillon est remplacé par le miroir additionnel. Dans
ce cas
P=×ρ ρ (7)
mch
Les facteurs de réflexion spéculaire du miroir diviseur, ρ , et du miroir additionnel, ρ , sont donnés par
m ch
P
ρ = (8)
ch
Q
ρ=×PQ (9)
m
Légende
1 laser 6 faisceau sonde
2 télescope 7 faisceau de référence
3 trou source 8 sphère intégrante
4 diviseur de faisceau 9 détecteur, monté sur la sphère
5 échantillon 10 cible rotative
Figure 1 — Représentation schématique du dispositif de mesure du facteur de réflexion spéculaire
(angle d'incidence quasi normal sur l’échantillon)
4 © ISO 2006 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Légende
1 laser 7 faisceau de référence
2 télescope 8 sphère intégrante
3 trou source 9 détecteur, monté sur la sphère
4 diviseur de faisceau 10 cible rotative
5 échantillon 11 miroir supplémentaire
6 faisceau sonde
Figure 2 — Représentation schématique du dispositif de mesure du facteur de réflexion spéculaire
(angle d'incidence sur l’échantillon choisi arbitrairement)
© ISO 2006 – Tous droits réservés 5
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Légende
1 laser 7 faisceau de référence
2 télescope 8 sphère intégrante
3 trou source 9 détecteur, monté sur la sphère
4 diviseur de faisceau 10 cible rotative
5 échantillon 11 miroir supplémentaire
6 faisceau sonde
Figure 3 — Représentation schématique du dispositif de mesure du facteur de transmission
(angle d'incidence sur l’échantillon choisi arbitrairement)
6 © ISO 2006 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
Légende
1 laser 6 faisceau sonde
2 télescope 7 faisceau de référence
3 trou source 8 sphère intégrante
4 diviseur de faisceau 9 détecteur, monté sur la sphère
5 échantillon 10 cible rotative
Figure 4 — Représentation schématique du dispositif pour l’étalonnage du miroir diviseur
6 Préparation de l’échantillon et dispositif de mesure
6.1 Généralités
Les échantillons doivent être stockés, nettoyés et préparés conformément aux instructions du fabricant pour
l'utilisation normale.
L’environnement du milieu d'essai doit être constitué d’air filtré exempt de poussière avec moins de 60 %
d’humidité relative. La poussière résiduelle doit être réduite conformément à la salle propre de Classe 7 telle
que spécifiée dans l’ISO 14644-1.
Un laser doit être utilisé comme source de rayonnement. Le facteur de propagation du faisceau doit être
proche de l’unité et la stabilité de puissance du faisceau doit être aussi élevée que possible.
La longueur d’onde, l’angle d’incidence et l’état de polarisation du rayonnement laser utilisés pour le
mesurage doivent correspondre aux valeurs spécifiées par le fabricant pour l’utilisation de l’échantillon. Si des
tolérances (gammes) sont acceptées pour ces trois grandeurs, toute combinaison de longueur d’onde, d’angle
d’incidence et d’état de polarisation peut être choisie parmi ces gammes.
© ISO 2006 – Tous droits réservés 7
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 13697:2006(F)
6.2 Préparation du faisceau laser
Tout rayonnement parasite et tout rayonnement diffusé par les composants optiques dans le trajet du faisceau
doivent être séparés du faisceau laser afin de s’assurer qu’un faisceau bien défini pénètre dans la sphère de
mesure, soit après être passé par le miroir diviseur (faisceau de référence) ou après avoir été réfléchi à partir
du miroir diviseur (faisceau sonde). Cela est réalisé en focalisant et en collimatant à nouveau le faisceau à
l’a
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.