ISO 21360-4:2018

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps

This document, in conjunction with ISO 21360-1, specifies methods for the measurement of performance characteristics of turbomolecular vacuum pumps. It is applicable to all sizes and all types of turbomolecular vacuum pumps, including those — with mechanical or magnetic bearings; — with or without an additional drag stage(s) or other pumping stages on the shaft; — with one or more inlet ports. Since turbomolecular vacuum pumps are backed by primary pumps, their performance cannot be completely defined by the volume flow rate curve. Also, the driving device and the backing pressure of the turbomolecular vacuum pump is important to the performance. The following completes the performance characteristics: — information about throughputs and backing pressure of the turbomolecular vacuum pump; — the compression ratio curve (compression ratio vs backing pressure of turbomolecular vacuum pump).

Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide — Partie 4: Pompes à vide turbomoléculaires

Le présent document, conjointement avec l'ISO 21360‑1, spécifie des méthodes pour le mesurage des caractéristiques fonctionnelles des pompes à vide turbomoléculaires. Elle est applicable à toutes les dimensions et tous les types de pompes turbomoléculaires, y compris: — avec paliers mécaniques ou magnétiques; — avec ou sans étage(s) supplémentaire(s) à entraînement mécanique ou autres étages de pompage sur l'arbre; — avec un ou plusieurs orifices d'entrée. Étant donné que les pompes à vide turbomoléculaires sont accouplées à des pompes de refoulement, leurs performances ne peuvent pas être complètement définies par la courbe de débit-volume. De plus, la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire est importante pour la performance. Les informations suivantes complètent les caractéristiques de performance: — des informations sur les débit et la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire; — la courbe du taux de compression (taux de compression par rapport à la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire).

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 30-Jul-2018
• ICS: 23.160 - Vacuum technology
• Technical Committee: ISO/TC 112 - Vacuum technology
• Drafting Committee: ISO/TC 112/WG 1 - Vacuum pumps
• Current Stage: 9093 - International Standard confirmed
• Completion Date: 10-Jan-2024

Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 21360-4
First edition
2018-07
Vacuum technology — Standard
methods for measuring vacuum-pump
performance —
Part 4:
Turbomolecular vacuum pumps
Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer les
performances des pompes à vide —
Partie 4: Pompes à vide turbomoléculaires
Reference number
ISO 21360-4:2018(E)
©
ISO 2018

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Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Symbols and abbreviated terms . 3
5 Test methods . 4
5.1 Test gas . 4
5.2 Volume flow rate measurement (pumping speed) . 4
5.2.1 General. 4
5.2.2 Size of backing pump . 4
5.2.3 Volume flow rate (pumping speed) measurement by the throughput method . 4
5.2.4 Volume flow rate (pumping speed) measurement by the orifice method . 5
5.3 Maximum throughput measurement . 5
5.3.1 Measurement method . 5
5.3.2 Test procedure . 5
5.4 Critical backing pressure measurement . 5
5.5 Measurement of compression ratio . 5
5.6 Measurement of base pressure . 6
5.7 Vibration measurement . 6
5.7.1 General.
...

NORME ISO
INTERNATIONALE 21360-4
Première édition
2018-07
Technique du vide — Méthodes
normalisées pour mesurer les
performances des pompes à vide —
Partie 4:
Pompes à vide turbomoléculaires
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-
pump performance —
Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
Numéro de référence
ISO 21360-4:2018(F)
©
ISO 2018

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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Symboles et termes abrégés . 3
5 Méthodes d'essai . 4
5.1 Gaz d’essai . 4
5.2 Mesurage du débit-volume (vitesse de pompage) . 4
5.2.1 Généralités . 4
5.2.2 Dimension de la pompe de refoulement . 4
5.2.3 Mesurage du débit-volume (vitesse de pompage) avec la méthode du débit . 5
5.2.4 Mesurage du débit-volume (vitesse de pompage) avec la méthode du
diaphragme . . 5
5.3 Mesurage du débit maximal . 5
5.3.1 Méthode de mesure . 5
5.3.2 Mode opératoire d'essai . 5
5.4 Mesurage de la pression critique de refoulement . 5
5.5 Mesurage du taux de compression . 5
5.6 Mesurage de la pression de base . 6
5.7 Mesurage des vibrations .
...