Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate measuring systems (CMS) — Part 8: CMMs with optical distance sensors

ISO 10360-8:2013 specifies the acceptance tests for verifying the performance of a CMM (coordinate measuring machine) when measuring lengths as stated by the manufacturer. It also specifies the reverification tests that enable the user to periodically reverify the performance of the CMM. The acceptance and reverification tests are applicable only to Cartesian CMMs with optical distance sensors. While it does not explicitly apply to non-Cartesian CMMs, the parties may apply ISO 10360-8:2013 to non-Cartesian CMMs by mutual agreement. It is not intended to be applicable to CMMs whose measuring volume is significantly smaller than the size of the test sphere. However, the principle, artefacts and procedure of the test described are useful for the acceptance and reverification tests of those CMMs ? either as it is or with modifying the parameters such as the size of the test artefacts and the number of measurements. ISO 10360-8:2013 specifies performance requirements that can be assigned by the manufacturer or the user of the CMM, the manner of execution of the acceptance and reverification tests to demonstrate the stated requirements, rules for verifying conformance, and applications for which the acceptance and reverification tests can be used.

Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification périodique des systèmes de mesure tridimensionnels (SMT) — Partie 8: MMT avec détecteurs optiques sans contact

L'ISO 10360-8:2013 spécifie les essais de réception pour vérifier que les performances d'une MMT utilisée pour mesurer des longueurs sont telles que spécifiées par le fabricant. Elle spécifie également les essais de vérification périodique permettant à l'utilisateur de vérifier périodiquement les performances de la MMT. Les essais de réception et de vérification périodique décrits dans l'ISO 10360-8:2013 s'appliquent uniquement aux MMT cartésiennes avec détecteurs optiques sans contact. L'ISO 10360-8:2013 ne s'applique pas explicitement aux MMT non cartésiennes, cependant, les parties concernées peuvent mutuellement convenir d'appliquer l'ISO 10360-8:2013 aux MMT non cartésiennes. L'ISO 10360-8:2013 spécifie les exigences de performance qui peuvent être fixées par le fabricant ou l'utilisateur d'une MMT, l'exécution des essais de réception et de vérification périodique pour démontrer les exigences spécifiées, les règles pour vérifier la conformité, et les applications pour lesquelles les essais de réception et de vérification périodique peuvent être utilisés.

General Information

Status
Published
Publication Date
20-Nov-2013
Current Stage
9093 - International Standard confirmed
Start Date
18-Oct-2024
Completion Date
13-Dec-2025
Ref Project
Standard
ISO 10360-8:2013 - Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate measuring systems (CMS) — Part 8: CMMs with optical distance sensors Released:11/21/2013
English language
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Standard
ISO 10360-8:2013 - Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification périodique des systèmes de mesure tridimensionnels (SMT) — Partie 8: MMT avec détecteurs optiques sans contact Released:11/21/2013
French language
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Standards Content (Sample)


INTERNATIONAL ISO
STANDARD 10360-8
First edition
2013-12-01
Geometrical product specifications
(GPS) — Acceptance and reverification
tests for coordinate measuring
systems (CMS) —
Part 8:
CMMs with optical distance sensors
Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de
réception et de vérification périodique des systèmes de mesure
tridimensionnels (SMT) —
Partie 8: MMT avec détecteurs optiques sans contact
Reference number
©
ISO 2013
© ISO 2013
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E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2013 – All rights reserved

Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 2
4 Symbols . 9
5 Requirements for metrological characteristics .10
5.1 Environmental conditions .10
5.2 Operating conditions .10
5.3 Probing form error .11
5.4 Probing dispersion value .11
5.5 Probing size error .11
5.6 Probing size error All .11
5.7 Length measurement error .12
5.8 Flat form measurement error .12
5.9 Workpiece loading effects .12
6 Acceptance tests and reverification tests .13
6.1 General .13
6.2 Probing characteristics .13
6.3 Length measurement error .20
6.4 Flat form measurement error .23
7 Compliance with specifications .26
7.1 Acceptance test .26
7.2 Reverification test .27
8 Applications .28
8.1 Acceptance test .28
8.2 Reverification test .28
8.3 Interim check .28
9 Indication in product documentation and data sheets .28
Annex A (informative) Structural resolution test .29
Annex B (normative) Artefacts that represent a calibrated test length.34
Annex C (informative) Alignment of artefacts .44
Annex D (normative) Articulated location value of CMMs with articulating probing system for
optical distance sensors.46
Annex E (informative) Relation to the GPS matrix model.49
Bibliography .51
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2. www.iso.org/directives
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any
patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on
the ISO list of patent declarations received. www.iso.org/patents
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation on the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity
assessment, as well as information about ISO’s adherence to the WTO principles in the Technical
Barriers to Trade (TBT) see the following URL: Foreword - Supplementary information
The committee responsible for this document is ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification.
ISO 10360 consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications
(GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate measuring machines (CMM):
— Part 1: Vocabulary
— Part 2: CMMs used for measuring linear dimensions
— Part 3: CMMs with the axis of a rotary table as the fourth axis
— Part 4: CMMs used in scanning measuring mode
— Part 5: CMMs using single and multiple stylus contacting probing systems
— Part 6: Estimation of errors in computing of Gaussian associated features
— Part 7: CMMs equipped with imaging probing systems
ISO 10360 also consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications
(GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate measuring systems (CMS):
— Part 8: CMMs with optical distance sensors
— Part 9: CMMs with multiple probing systems
— Part 10: Laser trackers for measuring point-to-point distances
The following parts are under preparation:
— Part 12: Articulated-arm CMMs
Computed tomography is to form the subject of a future part 11.
iv © ISO 2013 – All rights reserved

Introduction
This part of ISO 10360 is a geometrical product specification (GPS) standard and is to be regarded
as a general GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences link 5 of the chains of standards on size,
distance, radius, angle, form, orientation, location, run-out and datums. For more detailed information
of the relation of this part of ISO 10360 to other standards and the GPS matrix model, see Annex E.
The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this
document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and
the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this
document, unless otherwise indicated.
The tests of this part of ISO 10360 have two technical objectives:
a) to test the error of indication of a calibrated test length using an optical distance sensor and
b) to test the errors of the optical distance sensor.
Optical distance sensors treated in this standard are classified into two types,
— point measuring sensors, and
— area measuring sensors (e.g. laser point scan, laser line scan, fringe projection)
The benefits of these tests are that the measured result has a direct traceability to the unit length, the
metre, and that it gives information on how the CMM (coordinate measuring machine) will perform on
similar length measurements.
This part of ISO 10360 parallels that of ISO 10360-2 and ISO 10360-5, which is for CMMs equipped with
contact probing systems. The testing methodology between these three parts of ISO 10360 is designed
to be intentionally similar. The differences that exist may be eliminated in future revisions of this part
or in ISO 10360-2.
INTERNATIONAL STANDARD ISO 10360-8:2013(E)
Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance
and reverification tests for coordinate measuring
systems (CMS) —
Part 8:
CMMs with optical distance sensors
1 Scope
This part of ISO 10360 specifies the acceptance tests for verifying the performance of a CMM (coordinate
measuring machine) when measuring lengths as stated by the manufacturer. It also specifies the
reverification tests that enable the user to periodically reverify the performance of the CMM. The
acceptance and reverification tests given in this part of ISO 10360 are applicable only to Cartesian CMMs
with optical distance sensors. This standard does not explicitly apply to non-Cartesian CMMs, however,
the parties may apply this part of 10360 to non-Cartesian CMMs by mutual agreement.
NOTE This part of ISO 10360 is not intended to apply for CMMs whose measuring volume is significantly
smaller than the size of the test sphere, however, the principle, artefacts, and procedure of the test described in
this part of ISO 10360 are useful for the acceptance and reverification tests of those CMMs either as it is or with
modifying the parameters such as the size of the test artefacts and the number of the measurements.
This part of ISO 10360 specifies:
— performance requirements that can be assigned by the manufacturer or the user of the CMM,
— the manner of execution of the acceptance and reverification tests to demonstrate the stated
requirements,
— rules for verifying conformance, and
— applications for which the acceptance and reverification tests can be used.
2 Normative references
The following documents, in whole or in part, are normatively referenced in this document and are
indispensable for its application. For dated references, only the edition cited applies. For undated
references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
ISO 10360-1:2000, Geometrical Product Specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for
coordinate measuring machines (CMM) — Part 1: Vocabulary
ISO 10360-2:2009, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for
coordinate measuring machines (CMM) — Part 2: CMMs used for measuring linear dimensions
ISO 10360-5:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate
measuring machines (CMM) — Part 5: CMMs using single and multiple stylus contacting probing systems
ISO 14253-1, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement of workpieces and
measuring equipment — Part 1: Decision rules for proving conformity or nonconformity with specifications
ISO/TS 23165:2006, Geometrical product specifications (GPS) — Guidelines for the evaluation of coordinate
measuring machine (CMM) test uncertainty
ISO/IEC Guide 99, International vocabulary of metrology — Basic and general concepts and associated
terms (VIM)
3 Terms and definitions
For the purposes of this part of ISO 10360, the terms and definitions given in ISO 10360-1, ISO 14253-1
and ISO/IEC Guide 99 and the following apply.
3.1
optical distance sensor
non-contacting probing system which determines a corrected measured point by means of optical
distance measurement principle
Note 1 to entry: Typical measurement principles are triangulation and coaxial distance measurement. The
former includes structured line projection, Moiré, slit light projection, point scanning, etc., and the latter includes
interferometry and confocal systems.
3.2
local test flat
flat form standard used for evaluating the probing form error when testing the probing performance
Note 1 to entry: A local test flat is used in addition to the test sphere which is used for evaluating both the probing
form and probing size errors.
Note 2 to entry: A local test flat is useful for testing probing performance when a calibrated test sphere with
larger size suitable for an optical distance sensor with larger sensor area is practically difficult to obtain. Figure 5
shows a flow chart for material standard selection.
3.3
global test flat
flat form standard used when testing the flat form measurement error
Note 1 to entry: Global test flat is intended and encouraged to test form measuring performance of a CMM equipped
with an optical distance sensor when the system is used for measuring a larger area than the sensor area.
3.4
sensor area
area illuminated by the optical distance sensor when a two-dimensional image-projection-type
sensor is used
Note 1 to entry: The sensor area is determined not only by the length of the projection line of the sensor but also
by the length of the sensor movement realized by the CMM when line scan or point scan sensors are used.
See Figure 1.
2 © ISO 2013 – All rights reserved

a) Example of line scan or point scan sensor b) Example of two dimensional image projec-
tion sensor
Key
L length of the projection line
S
L length of the sensor movement
D
a line scan or point scan sensor
b two dimensional image projection sensor
c sensor axis
d sensor area
e sensor motion
Figure 1 — Definition of the sensor area
3.5
probing form error
P
Form.Sph.1×25:j:ODS
error of indication within which the range of either the radial distances that can be determined by a
least-squares fit (Gaussian associated feature) of points measured on a spherical material standard of
size or those supplemented with the normal distances that can be determined by a least-squares fit of
points measured on a local test flat
Note 1 to entry: The symbol “P” in P indicates that the error is associated with the probing system
Form.Sph.1×25:j:ODS
performance, the qualifier “Form.Sph” indicates that it is associated with the probing form error and the qualifier
“ODS” indicates that it is associated with the optical distance sensor. The qualifier “j” identifies the measuring
conditions of the CMM. P is the optical probing form error translatory, which is given when the
Form.Sph.1×25:Tr:ODS
sensor is moved by the CMM and measurements are taken at several positions. P is the optical
Form.Sph.1×25:Art:ODS
probing form error articulating, which is given when the alignment of the sensor is additionally modified by
means of an articulating system. P is the optical probing form error stationary, which is given
Form.Sph.1×25:St:ODS
when the sensor is not moved by the CMM during measurements (see Figure 3).
Note 2 to entry: The probing form error is determined by the errors of the sensors (such as noise, digitizing errors,
image distortion, optical interaction with the surface of the material standard, calibration errors of the sensor,
faulty algorithms in measured data processing) and those of the CMM.
See Figure 2.
D
P
D
P D
Key
D calibrated diameter of test sphere GS Gaussian associated sphere
cal
D measured diameter of test sphere MP measured point
meas
Figure 2 — Illustration of P and P
Form.Sph.1×25:j:ODS Size.Sph.1×25:j:ODS
a) Translatory b) Articulating c) Stationary
Key
ods optical distance sensor x_art articulation
s test sphere x_tr translation
Figure 3 — Illustration of Tr, Art and St
4 © ISO 2013 – All rights reserved
D
D
3.6
probing dispersion value
P
Form.Sph.D95%:j:ODS
smallest width of a spherical shell or smallest separation of two parallel planes that encompasses 95 %
of all the data points
Note 1 to entry: The symbol “P” in P indicates that the error is associated with the probing
Form.Sph.D95%:j:ODS
system performance, the qualifier “Form.Sph” indicates that it is associated with the probing form error, the
qualifier “D95%” indicates that it is associated with the dispersion of the probing points with 95 % population and
the qualifier “ODS” indicates that it is associated with the optical distance sensor. The qualifier “j” identifies the
measuring conditions of the CMM. P is the probing dispersion value translatory, which is given
Form.Sph.D95%:Tr:ODS
when the sensor is moved by the CMM and measurements are taken at several positions. P is
Form.Sph.D95%:Art:ODS
the probing dispersion value articulating, which is given when the alignment of the sensor is additionally modified
by means of an articulating system. P is the probing dispersion value stationary, which is given
Form.Sph.D95%:St:ODS
when the sensor is not moved by the CMM during measurements (see Figure 3).
Note 2 to entry: The dispersion of the probing system is also called the range or thickness of the probing (point) cloud.
Note 3 to entry: 5 % of the measured points are eliminated to determine P . Outlier data points
Form.Sph.D95%:j:ODS
that might be present in the measurement data may also be eliminated by this operation.
Note 4 to entry: For this particular definition, the plane is thought of as a sphere of infinite radius.
3.7
probing size error
P
Size.Sph.1×25:j:ODS
error of indication of the difference between the diameter of a least-squares fit of 25 representative
points on a test sphere and its calibrated diameter
Note 1 to entry: The symbol “P” in P indicates that the error is associated with the probing system
Size.Sph.1×25:j:ODS
performance, the qualifier “Size.Sph” indicates that it is associated with the probing size error and the qualifier
“ODS” indicates that it is associated with the optical distance sensor. The qualifier “j” identifies the measuring
conditions of the CMM. P is the optical probing size error translatory, which is given when the
Size.Sph.1×25:Tr:ODS
sensor is moved by the CMM and measurements are taken at several positions. P is the optical
Size.Sph.1×25:Art:ODS
probing size error articulating, which is given when the alignment of the sensor is additionally modified by means
of an articulating system. P is the optical probing size error stationary, which is given when the
Size.Sph.1×25:St:ODS
sensor is not moved by the CMM during measurements (see Figure 3).
Note 2 to entry: Probing size error is determined by the errors of the sensors (such as noise, digitizing errors,
image distortion, optical interaction with the surface of the material standard, calibration errors of the sensor,
faulty algorithms in measured data processing) and those of the CMM.
See Figure 2.
3.8
probing size error All
P
Size.Sph.All:j:ODS
error of indication of the difference between the diameter of a least-squares fit of all points measured on
a test sphere and its calibrated diameter
Note 1 to entry: The symbol “P” in P indicates that the error is associated with the probing system
Size.Sph.All:j:ODS
performance, the qualifier “Size.Sph” indicates that it is associated with the probing size error, the qualifier
“All” indicates that all measuring points are used for the calculation and the qualifier “ODS” indicates that it is
associated with the optical distance sensor. The qualifier “j” identifies the measuring conditions of the CMM. P
Size.
is the optical probing size error translatory, which is given when the sensor is moved by the CMM and
Sph.All:Tr:ODS
measurements are taken at several positions. P is the optical probing size error articulating,
Size.Sph.All:Art:ODS
which is given when the alignment of the sensor is additionally modified by means of an articulating system. P
Size.
is the optical probing size error stationary, which is given when the sensor is not moved by the CMM
Sph.All:St:ODS
during measurements (see Figure 3).
Note 2 to entry: Probing size error All is determined by the errors of the sensors (such as noise, digitizing errors,
image distortion, optical interaction with the surface of the material standard, calibration errors of the sensor,
faulty algorithms in measured data processing) and those of the CMM.
3.9
length measurement error
E
Bi:j:ODS
E
Uni:j:ODS
error of indication when measuring a calibrated test length
Note 1 to entry: The symbol “E” in E or E indicates that the error is associated with the measurement
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
error, the qualifier “Bi” or “Uni” indicates that it is associated with the bidirectional or unidirectional length
measurement error and the qualifier “ODS” indicates that it is associated with the optical distance sensor. The
qualifier “j” identifies the measuring conditions of the CMM. E or E is the length measurement
Bi:Tr:ODS Uni:Tr:ODS
error using optical probe translatory, which is given when the sensor is moved by the CMM and measurements
are taken at several positions. E or E is the length measurement error using optical probe
Bi:Art:ODS Uni:Art:ODS
articulating, which is given when the alignment of the sensor is additionally modified by means of an articulating
system. E or E is the length measurement error using optical probe stationary, which is given
Bi:St:ODS Uni:St:ODS
when the sensor is not moved by the CMM during measurements.
Note 2 to entry: A calibrated test length may be either bidirectionally calibrated or unidirectionally calibrated.
See Annex B for detail.
3.10
flat form measurement error
E
Form.Pla.D95%:j:ODS
smallest distance between two parallel planes that envelope 95 % of the points measured on a global test flat
Note 1 to entry: The symbol “E” in E indicates that the error is associated with the measurement
Form.Pla.D95%:j:ODS
error, the qualifier “Form.Pla” indicates that it is associated with the flat form measurement error, the qualifier
“D95%” indicates that it is associated with the dispersion of the measuring points with 95 % population and
the qualifier “ODS” indicates that it is associated with the optical distance sensor. The qualifier “j” identifies
the measuring conditions of the CMM. E is the optical probing flat form measurement error
Form.Pla.D95%:Tr:ODS
translatory, which is given when the sensor is moved by the CMM and measurements are taken at several positions.
E is the optical probing flat form measurement error articulating, which is given when the
Form.Pla.D95%:Art:ODS
alignment of the sensor is additionally modified by means of an articulating system.
3.11
maximum permissible probing form error
P
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
extreme value of P permitted by specifications as maximum permissible error
Form.Sph.1×25:j:ODS
Note 1 to entry: The maximum permissible error of the probing form error P may be
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
expressed in one of three forms:
a) P = minimum of (A+L /K) and B, or
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE P
b) P = (A+L /K), or
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE P
c) P = B
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the distance in 3D between the centres of the reference sphere and the test sphere (or flat),
P
in millimetres;
B is the maximum permissible error P , in micrometres, as stated by the
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
manufacturer.
6 © ISO 2013 – All rights reserved

3.12
maximum permissible limit of probing dispersion
P
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL
extreme value of P permitted by specifications as maximum permissible limit
Form.Sph.D95%:j:ODS
Note 1 to entry: The maximum permissible limit of the probing dispersion value P may be expressed
Form, 95%, X, MPL
in one of three forms:
a) P = minimum of (A+L /K) and B, or
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL P
b) P = (A+L /K), or
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL P
c) P = B
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the distance in 3D between the centres of the reference sphere and the test sphere (or flat),
P
in millimetres;
B is the maximum permissible limit P , in micrometres, as stated by the
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL
manufacturer.
3.13
maximum permissible probing size error
P
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
extreme value of P permitted by specifications as maximum permissible error
Size.Sph.1×25:j:ODS
Note 1 to entry: The maximum permissible probing size error P may be expressed in one
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
of three forms:
a) P = minimum of (A+L /K) and B, or
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE P
b) P = (A+L /K), or
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE P
c) P = B
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the distance in 3D between the centres of the reference sphere and the test sphere (or flat),
P
in millimetres;
B is the maximum permissible error P , in micrometres, as stated by the
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
manufacturer.
3.14
maximum permissible probing size error All
P
Size.Sph.All:j:ODS,MPE
extreme value of P permitted by specifications as maximum permissible error
Size.Sph.All:j:ODS
Note 1 to entry: The maximum permissible probing size error All P may be expressed in one
Size.Sph.All:j:ODS,MPE
of three forms:
a) P = minimum of (A+L /K) and B, or
Size.Sph.All:j:ODS,MPE P
b) P = (A+L /K), or
Size.Sph.All:j:ODS,MPE P
c) P = B
Size.Sph.All:j:ODS,MPE
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the distance in 3D between the centres of the reference sphere and the test sphere (or flat),
P
in millimetres;
B is the maximum permissible error P , in micrometres, as stated by the
Size.Sph.All:j:ODS,MPE
manufacturer.
3.15
maximum permissible length measurement error
E
Bi:j:ODS,MPE
E
Uni:j:ODS,MPE
extreme value of E or E permitted by specifications as maximum permissible error
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
3.16
maximum permissible flat form measurement error
E
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
extreme value of E permitted by specifications as maximum permissible error
Form.Pla.D95%:j:ODS
Note 1 to entry: The maximum permissible flat form measurement error E may be expressed
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
in one of three forms:
a) E = minimum of (A+L /K) and B, or
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE F
b) E = (A+L /K), or
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE F
c) E = B
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the largest side length of the evaluated plane in millimetres;
P
B is the maximum permissible error E , in micrometres, as stated by the
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
manufacturer.
3.17
articulated location value
L
Dia.5×25:Art:ODS
diameter of the minimum circumscribed sphere of the centres of all five spheres
Note 1 to entry: Where the location of a test sphere can be determined by a least-squares fit of points, the
measurements being taken with five different articulating angles on the one test sphere located anywhere in the
measuring volume.
8 © ISO 2013 – All rights reserved

Note 2 to entry: The symbol “L” in L indicates that it is a location value, the qualifier “Art” identifies
Dia.5 × 25:Art:ODS
the measuring conditions of the CMM and the qualifier “ODS” indicates that it is associated with the optical
distance sensor.
Note 3 to entry: All the symbols used in this annex are listed in Table D.1.
Note 4 to entry: All values are absolute.
3.18
maximum permissible limit of the articulated location value
L
Dia.5×25:Art:ODS,MPL
extreme value of the articulated location value (3.17), L , permitted by specifications,
Dia.5×25:Art:ODS
regulations, etc. for the CMM
Note 1 to entry: The maximum permissible limit of the articulated location value, L , can be
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL
expressed in one of three forms:
a) L = minimum of (A + L /K) and B; or
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL P
b) L = (A + L /K); or
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL P
c) L = B
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL
where
A is a positive constant, expressed in micrometres and supplied by the manufacturer;
K is a dimensionless positive constant supplied by the manufacturer;
L is the distance in 3D between the centres of the reference sphere and the test sphere, in mil-
P
limetres;
B is the maximum permissible limit L , in micrometres, as stated by the
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL
manufacturer.
Note 2 to entry: A maximum permissible limit (MPL) as opposed to a maximum permissible error (MPE)
specification is used when the test measurements are not errors; hence, testing an MPL specification does not
require the use of artefacts with a relevant calibration.
4 Symbols
For the purpose of this International Standard, the symbols of Table 1 apply.
Table 1 — Symbols
Symbol Meaning
P probing form error
Form.Sph.1×25:j:ODS
P probing dispersion value
Form.Sph.D95%:j:ODS
P probing size error
Size.Sph.1×25:j:ODS
P probing size error All
Size.Sph.All:j:ODS
E bidirectional length measurement error
Bi:j:ODS
E unidirectional length measurement error
Uni:j:ODS
E flat form measurement error
Form.Pla.D95%:j:ODS
P maximum permissible probing form error
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
P
Form.Sph.
maximum permissible limit of probing dispersion value
D95%:j:ODS,MPL
Table 1 (continued)
Symbol Meaning
P maximum permissible probing size error
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
P maximum permissible probing size error All
Size.Sph.All:j:ODS,MPE
E maximum permissible bidirectional length measurement error
Bi:j:ODS,MPE
E maximum permissible unidirectional length measurement error
Uni:j:ODS,MPE
E
Form.Pla.
maximum permissible flat form measurement error
D95%:j:ODS,MPE
L articulated location value
Dia.5 × 25:Art:ODS
L maximum permissible limit of the articulated location value
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL
The following qualifiers are used in place of j in the definitions above.
translatory; when the sensor is moved by the CMM and measurements are taken at
Tr
several positions
articulating; when the alignment of the sensor is additionally modified by means of an
Art
articulating system
St stationary; when the sensor is not moved by the CMM during measurements
5 Requirements for metrological characteristics
5.1 Environmental conditions
Limits for permissible environmental conditions (such as temperature conditions, air humidity, vibration
and ambient lighting at the site of installation that influences the measurements) shall be specified by:
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
In both cases, the user is free to choose the environmental conditions under which the testing will be
performed within the manufacturer’s specified limits given in the CMM data sheet.
The user is responsible for providing the environment enclosing the CMM as specified by the manufacturer
in the data sheet. If the environment does not meet the specifications, then the maximum permissible
errors cannot be required to be verified.
5.2 Operating conditions
The CMM shall be operated using the procedures given in the manufacturer’s operating manual when
conducting the tests given in Clause 6.
Specific areas in the manufacturer’s manual to be adhered include
a) machine start-up/warm-up cycles,
b) probing system qualification,
c) thermal stability of the probing system before calibration,
d) location, type, number of thermal sensors, and
e) software filter.
NOTE Probing system qualification can include a probe coordinate system setting, a light intensity setting, a
filter configuration setting, and so on.
10 © ISO 2013 – All rights reserved

5.3 Probing form error
The probing form error, P , shall not exceed the maximum permissible probing form
Form.Sph.1×25:j:ODS
error, P , as stated by:
Form.Sph.1×25:j:ODS,MPE
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
The probing form error, P , and the maximum permissible probing form error, P
Form.Sph.1×25:j:ODS Form.
, are expressed in micrometres.
Sph.1×25:j:ODS,MPE
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of P
Form.
for special operating conditions.
Sph.1×25:j:ODS,MPE
5.4 Probing dispersion value
The probing dispersion value, P , shall not exceed the maximum permissible limit of
Form.Sph.D95%:j:ODS
probing dispersion value,
P , as stated by:
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
Probing dispersion value, P , and the maximum permissible limit of probing dispersion
Form.Sph.D95%:j:ODS
value, P , are expressed in micrometres.
Form.Sph.D95%:j:ODS,MPL
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of P
Form.Sph.
for special operating conditions.
D95%:j:ODS,MPL
5.5 Probing size error
The probing size error, P , shall not exceed the maximum permissible probing size error,
Size.Sph.1×25:j:ODS
P , as stated by:
Size.Sph.1×25:j:ODS,MPE
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
Probing size error, P , and the maximum permissible probing size error, P
Size.Sph.1×25:j:ODS Size.
, are expressed in micrometres.
Sph.1×25:j:ODS,MPE
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of P
Size.
for special operating conditions.
Sph.1×25:j:ODS,MPE
5.6 Probing size error All
Probing size error, P , shall not exceed the maximum permissible probing size error, P
Size.Sph.All:j:ODS Size.
, as stated by:
Sph.All:j:ODS,MPE
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
Probing size error, P , and the maximum permissible probing size error, P
Size.Sph.All:j:ODS Size.Sph.
, are expressed in micrometres.
All:j:ODS,MPE
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of P
Size.Sph.
for special operating conditions.
All:j:ODS,MPE
5.7 Length measurement error
Length measurement error, E or E , shall not exceed the maximum permissible length
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
measurement error,
E or E , as stated by:
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
Length measurement error, E or E , and the maximum permissible length measurement
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
error, E or E , are expressed in micrometres.
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of E or
Bi:j:ODS,MPE
E for special operating conditions.
Uni:j:ODS,MPE
5.8 Flat form measurement error
Flat form measurement error, E , shall not exceed the maximum permissible flat form
Form.Pla.D95%:j:ODS
measurement error,
E , as stated by:
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
— the manufacturer, in the case of acceptance tests;
— the user, in the case of reverification tests.
Flat form measurement error, E , and the maximum permissible flat form measurement
Form.Pla.D95%:j:ODS
error, E , are expressed in micrometres.
Form.Pla.D95%:j:ODS,MPE
Manufacturers may, at their discretion, specify optionally additional specifications of E
Form.Pla.
for special operating conditions.
D95%:j:ODS,MPE
5.9 Workpiece loading effects
The length measurement error, E or E , shall not exceed the maximum permissible error,
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
E or E , as stated by the manufacturer when the CMM is loaded with up to the
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
maximum workpiece mass for which the CMM performance is rated. Testing of the length measurement
error, E or E , may be conducted under any workpiece load (from zero up to the rated
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
maximum workpiece load), selected by the user subject to the following conditions:
— the physical volume of the load supplied for testing shall lie within the measuring volume of the
CMM and the load shall be free-standing;
— the manufacturer may specify a limit on the maximum load per unit area (kg/m ) on the CMM
support (i.e. table) surface and/or on individual point loads (kg/cm ); for point loads, the load at any
specific contact point shall be no greater than twice the load of any other contact point;
— unless otherwise specified by the manufacturer, the load shall be located approximately centrally
and approximately symmetrically at the centre of the CMM table.
The user and manufacturer should arrange for the availability of the load.
The user and the manufacturer should discuss the loading of the CMM table since access to measurement
positions may be impaired by the load.
12 © ISO 2013 – All rights reserved

6 Acceptance tests and reverification tests
6.1 General
In the following:
— acceptance tests are executed according to the manufacturer’s specifications and procedures;
— reverification tests are executed according to the user’s specifications and the manufacturer’s
procedures.
6.2 Probing characteristics
6.2.1 Principle
The principle of the assessment method for the probing errors and limit is to establish whether the CMM
with optical distance sensors is capable of measuring within the stated maximum permissible probing
errors and limit. The four characteristics, i.e. P , P , P ,
Form.Sph.1×25:j:ODS Form.Sph.D95%:j:ODS Size.Sph.1×25:j:ODS
and P are evaluated, but P and P do not apply for CMMs
Size.Sph.All:j:ODS Form.Sph.D95%:j:ODS Size.Sph.All:j:ODS
with point measuring optical distance sensors.
If the CMM under test is equipped with an articulating probing system, the test defined in Annex D shall
be performed additionally.
6.2.2 Measuring equipment
Material standards of ceramics or steel are used to determine the probing error and value. Other
appropriate materials are permitted. The material used shall be stated as different materials have
different optical characteristics such as reflectivity, optical penetration depth (volume scattering),
colour, scattering characteristics, etc., which means that values of the probing errors and values to be
verified may vary. The roughness of the material standards to be probed should be negligibly small with
respect to the corresponding MPEs or MPL. Where the manufacturer fails to specify the material and
surface of the material standard, these can be chosen arbitrarily by the user.
The size of the test sphere shall be 10 mm to 51 mm in diameter (which is called “Sphere Normal
Diameter” hereafter in this part of ISO 10360) as a default. If the size of the test sphere is considerably
smaller than to the sensor area (see Figure 4), the number of the captured points may not be sufficient
and the distortion of the sensor may not be evaluated. When the measuring area on the test sphere
is smaller than 66 % of the sensor area, a local test flat shall be measured as well. A sphere having a
diameter of larger than 51 mm (which is called “Sphere Large Diameter”) may be used instead of the
local test flat if the manufactu
...


NORME ISO
INTERNATIONALE 10360-8
Première édition
2013-12-01
Spécification géométrique des produits
(GPS) — Essais de réception et de
vérification périodique des systèmes
de mesure tridimensionnels (SMT) —
Partie 8:
MMT avec détecteurs optiques sans
contact
Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and
reverification tests for coordinate measuring systems (CMS) —
Part 8: CMMs with optical distance sensors
Numéro de référence
©
ISO 2013
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2013
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sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
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ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2013 – Tous droits réservés

Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d’application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions . 2
4 Symboles .10
5 Exigences relatives aux caractéristiques métrologiques .11
5.1 Conditions d’environnement .11
5.2 Conditions de fonctionnement .12
5.3 Erreur de forme du système de palpage .12
5.4 Valeur de dispersion du système de palpage .12
5.5 Erreur de taille du système de palpage .12
5.6 Erreur de taille totale du système de palpage .13
5.7 Erreur de mesure de longueur .13
5.8 Erreur de mesure de forme de plan .13
5.9 Effets du chargement de la pièce .13
6 Essais de réception et essais de vérification périodique .14
6.1 Généralités .14
6.2 Caractéristiques du système de palpage.14
6.3 Erreur de mesure de longueur .21
6.4 Erreur de mesure de forme de plan .26
7 Conformité avec les spécifications .29
7.1 Essai de réception .29
7.2 Essai de vérification périodique .31
8 Applications .31
8.1 Essai de réception .31
8.2 Essai de vérification périodique .31
8.3 Contrôle intermédiaire .31
9 Indication dans la documentation du produit et les fiches techniques .31
Annexe A (informative) Essai de résolution de structure .33
Annexe B (normative) Étalons représentant une longueur d’essai étalonnée .38
Annexe C (informative) Alignement d’étalons .48
Annexe D (normative) Valeur de position articulée de MMT ayant un système de palpage articulé
pour détecteurs optiques sans contact .50
Annexe E (informative) Relation avec la matrice GPS .53
Bibliographie .55
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2, www.iso.
org/directives.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant les
références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de l’élaboration
du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de brevets reçues,
www.iso.org/patents.
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 213, Spécifications et vérification
dimensionnelles et géométriques des produits.
L’ISO 10360 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Spécification géométrique
des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification périodique des machines à mesurer
tridimensionnelles (MMT):
— Partie 1: Vocabulaire
— Partie 2: MMT utilisées pour les mesures de dimensions linéaires
— Partie 3: MMT ayant l’axe de rotation d’un plateau tournant comme quatrième axe
— Partie 4: MMT utilisées en mode de mesure par scanning
— Partie 5: MMT utilisant des systèmes de palpage à stylet simple ou à stylets multiples
— Partie 6: Estimation des erreurs dans le calcul des éléments associés gaussiens
— Partie 7: MMT équipées de systèmes de palpage imageurs
— Partie 8: MMT avec détecteurs optiques sans contact
— Partie 9: MMT avec systèmes de palpage multiples
— Partie 10: Suiveurs à laser pour mesurer les distances de point à point
Les parties suivantes sont en préparation:
— Partie 12: MMT à bras articulés
La tomographie informatisée fera l’objet d’une future partie 11.
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés

Introduction
La présente partie de l’ISO 10360 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits
(GPS) et doit être considérée comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le
maillon 5 des chaînes de normes sur la taille, la distance, le rayon, l’angle, la forme, l’orientation, la
position, le battement et les références. Pour de plus amples informations sur la relation de la présente
partie de l’ISO 10360 avec les autres normes et la matrice GPS, voir l’Annexe E.
Le schéma directeur ISO/GPS donné dans l’ISO/TR 14638 présente une vue générale du système ISO/GPS
auquel le présent document appartient. Les principes fondamentaux du système ISO/GPS donnés dans
l’ISO 8015 s’appliquent au présent document, et, sauf spécification contraire, les règles de décision par défaut
données dans l’ISO 14253-1 s’appliquent aux spécifications réalisées conformément au présent document.
Les essais décrits dans la présente partie de l’ISO 10360 ont deux objectifs techniques:
a) vérifier par essai l’erreur d’indication d’une longueur d’essai étalonnée mesurée au moyen d’un
détecteur optique sans contact et
b) vérifier par essai les erreurs dans le détecteur optique sans contact.
Les détecteurs optiques sans contact traités dans la présente norme sont classés en deux types:
— les détecteurs de mesure de point, et
— les détecteurs de mesure de surface (par exemple, balayage laser de points, balayage laser de lignes,
projection de franges).
L’avantage de ces essais est que le résultat mesuré a une traçabilité directe avec l’unité de longueur, le
mètre, et qu’il permet de connaître la façon dont la MMT fonctionnera lors de mesures similaires par
rapport à l’unité de longueur.
La présente partie de l’ISO 10360 s’apparente à l’ISO 10360-2 et à l’ISO 10360-5, qui concerne des MMT
équipées de systèmes de palpage à contact. La méthodologie d’essai appliquée à ces trois parties de
l’ISO 10360 est volontairement similaire. Les différences qui existent pourront être supprimées lors des
révisions ultérieures de la présente partie ou de l’ISO 10360-2.
NORME INTERNATIONALE ISO 10360-8:2013(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de
réception et de vérification périodique des systèmes de
mesure tridimensionnels (SMT) —
Partie 8:
MMT avec détecteurs optiques sans contact
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 10360 spécifie les essais de réception pour vérifier que les performances
d’une MMT utilisée pour mesurer des longueurs sont telles que spécifiées par le fabricant. Elle spécifie
également les essais de vérification périodique permettant à l’utilisateur de vérifier périodiquement les
performances de la MMT. Les essais de réception et de vérification périodique décrits dans la présente
partie de l’ISO 10360 s’appliquent uniquement aux MMT cartésiennes avec détecteurs optiques sans
contact. La présente partie de l’ISO 10360 ne s’applique pas explicitement aux MMT non cartésiennes,
cependant, les parties concernées peuvent mutuellement convenir d’appliquer la présente partie de
l’ISO 10360 aux MMT non cartésiennes.
NOTE La présente partie de l’ISO 10360 n’est pas destinée à s’appliquer aux MMT dont le volume de mesure
est nettement inférieur à la taille de la sphère d’essai; toutefois, le principe, les étalons et le mode opératoire
de l’essai décrit dans la présente partie de l’ISO 10360 sont utiles pour les essais de réception et de vérification
périodique de ces MMT, soit tels quels, soit avec une modification des paramètres tels que la taille des étalons
d’essai et le nombre de mesurages.
La présente partie de l’ISO 10360 spécifie
— les exigences de performance qui peuvent être fixées par le fabricant ou l’utilisateur d’une MMT,
— les modalités d’exécution des essais de réception et de vérification périodique pour démontrer les
exigences spécifiées,
— les règles pour vérifier la conformité, et
— les applications pour lesquelles les essais de réception et de vérification périodique peuvent être utilisés.
2 Références normatives
Les documents suivants, en totalité ou en partie, sont référencés de manière normative dans le présent
document et sont indispensables pour son application. Pour les références datées, seule l’édition citée
s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s’applique (y
compris les éventuels amendements).
ISO 10360-1:2000, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 1: Vocabulaire
ISO 10360-2:2009, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 2: MMT utilisées pour les mesures
de dimensions linéaires
ISO 10360-5:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 5: MMT utilisant des systèmes de
palpage à stylet simple ou à stylets multiples
ISO 14253-1, Spécification géométrique des produits (GPS) — Vérification par la mesure des pièces et des
équipements de mesure — Partie 1: Règles de décision pour prouver la conformité ou la non-conformité à la
spécification
ISO/TS 23165:2006, Spécification géométrique des produits (GPS) — Lignes directrices pour l’estimation de
l’incertitude d’essai des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT)
Guide ISO/CEI 99, Vocabulaire international de métrologie — Concepts fondamentaux et généraux et termes
associés (VIM)
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 10360-1, l’ISO 14253-1
et le Guide ISO/CEI 99 ainsi que les suivants s’appliquent.
3.1
détecteur optique sans contact
système de palpage sans contact qui détermine un point mesuré et corrigé en appliquant un principe de
mesure optique sans contact
Note 1 à l’article: Les principes de mesure types sont la mesure par triangulation et la mesure de distance coaxiale.
Le premier comprend la projection de lumière structurée, le moiré, la projection de lumière à fente, le balayage de
lumière ponctuelle, etc., et le second comprend l’interférométrie et les systèmes confocaux.
3.2
plan d’essai local
étalon de forme de plan utilisé pour évaluer l’erreur de forme du système de palpage lors de l’essai des
performances du système de palpage
Note 1 à l’article: Un plan d’essai local est utilisé en complément de la sphère d’essai utilisée pour évaluer à la fois
la forme du système de palpage et les erreurs de taille du système de palpage.
Note 2 à l’article: Un plan d’essai local est utile pour évaluer les performances d’un système de palpage lorsqu’une
sphère d’essai étalonnée de plus grande taille, adaptée à un détecteur optique sans contact ayant une plus grande
surface de détecteur, est difficile à obtenir dans la pratique. La Figure 5 montre un diagramme de flux pour la
sélection des étalons matérialisés.
3.3
plan d’essai global
étalon de forme de plan utilisé pour évaluer l’erreur de mesure de forme de plan
Note 1 à l’article: Le plan d’essai global est destiné à, et recommandé pour, évaluer les performances de mesurage
de forme d’une MMT équipée d’un détecteur optique sans contact lorsque le système est utilisé pour mesurer une
surface plus grande que la surface du détecteur.
3.4
surface du détecteur
surface éclairée par le détecteur optique sans contact dans le cas où un détecteur à projection
bidimensionnelle d’image est utilisé
Note 1 à l’article: La surface du détecteur est déterminée non seulement par la longueur de la ligne de projection
du détecteur, mais aussi par la longueur du déplacement du détecteur réalisé par la MMT en cas de détecteurs à
balayage de lignes ou à balayage de points.
Voir Figure 1.
2 © ISO 2013 – Tous droits réservés

a)  Exemple de détecteur à balayage de lignes   b)  Exemple de détecteur à projection bidi-
ou à balayage de points mensionnelle d’image
Légende
L longueur de la ligne de projection
S
L longueur du déplacement du détecteur
D
a
Détecteur à balayage de lignes ou à balayage de points.
b
Détecteur à projection bidimensionnelle d’image.
c
Axe du détecteur.
d
Surface du détecteur.
e
Mouvement du détecteur.
Figure 1 — Définition de la surface du détecteur
3.5
erreur de forme du système de palpage
P
Forme.Sph.1×25:j:ODS
erreur d’indication à l’intérieur de laquelle l’étendue des distances radiales peut être déterminée par une
association des moindres carrés (élément associé gaussien) des points mesurés sur un étalon matérialisé
de taille sphérique ou l’étendue des distances radiales complétées par les distances normales peut être
déterminée par une association des moindres carrés des points mesurés sur un plan d’essai local
Note 1 à l’article: Le symbole «P» dans P indique que l’erreur est associée aux performances
Forme.Sph.1×25:j:ODS
du système de palpage, le qualificateur Forme indique qu’elle est associée à l’erreur de forme du système de
palpage et le qualificateur «ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le qualificateur
«j» identifie les conditions de mesure de la MMT. P est l’erreur de forme du système de palpage
Forme.Sph.1×25:Tr:ODS
optique de translation, indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont réalisées à
plusieurs positions. P est l’erreur de forme du système de palpage optique articulé, indiquée
Forme.Sph.1×25:Art:ODS
lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen d’un système articulé. P est
Forme.Sph.1×25:St:ODS
l’erreur de forme du système de palpage optique stationnaire, indiquée lorsque le détecteur n’est pas déplacé par
la MMT pendant les mesures (voir Figure 3).
Note 2 à l’article: L’erreur de forme du système de palpage est déterminée par les erreurs des détecteurs (telles que
bruit, erreurs de numérisation, distorsion d’image, interaction optique avec la surface de l’étalon matérialisé, erreurs
d’étalonnage du détecteur, algorithmes défaillants dans le traitement des données mesurées) et celles de la MMT.
Voir Figure 2.
D
étal
GS
MP
D P
P = D −
Forme.Sph.1×25:j:ODS
Taille.Sph.1×25:j:ODS mes étal
Légende
D diamètre étalonné de la sphère d’essai GS sphère associée gaussienne
cal
D diamètre mesuré de la sphère d’essai MP point mesuré
mes
Figure 2 — Illustration de P et P
Forme.Sph.1 × 25:j:ODS Taille.Sph.1 × 25:j:ODS
a) Translation b) Articulation c) Stationnaire
Légende
ods détecteur optique sans contact x_art articulation
s sphère d’essai x_tr translation
Figure 3 — Illustration de Tr, Art et St
4 © ISO 2013 – Tous droits réservés
D
étal
D
mes
3.6
valeur de dispersion du système de palpage
P
Forme.Sph.D95 %:j:ODS
plus petite largeur d’une enveloppe sphérique ou plus petite séparation de deux plans parallèles qui
comprend 95 % de tous les points de données
Note 1 à l’article: Le symbole «P» dans P indique que l’erreur est associée aux performances
Forme.Sph.D95%:j:ODS
du système de palpage, le qualificateur Forme.Sph indique qu’elle est associée à l’erreur de forme du système
de palpage, le qualificateur «D95%» indique qu’elle est associée à la dispersion des points de palpage avec une
population de 95 % et le qualificateur «ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le
qualificateur «j» identifie les conditions de mesure de la MMT. P est la valeur de dispersion du
Forme.Sph.D95%:Tr:ODS
système de palpage de translation, indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont
réalisées à plusieurs positions. P est la valeur de dispersion du système de palpage articulé,
Forme.Sph.D95%:Art:ODS
indiquée lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen d’un système articulé. P
Forme.Sph.
est la valeur de dispersion du système de palpage stationnaire, indiquée lorsque le détecteur n’est pas
D95%:St:ODS
déplacé par la MMT pendant les mesures (voir Figure 3).
Note 2 à l’article: La dispersion du système de palpage est également appelée étendue ou épaisseur du nuage (de
points) de palpage.
Note 3 à l’article: 5 % des points mesurés sont éliminés pour déterminer P . Les points de
Forme.Sph.D95%:j:ODS
données aberrants qui peuvent être présents dans les résultats de mesure peuvent également être éliminés par
cette opération.
Note 4 à l’article: Pour cette définition en particulier, le plan est imaginé comme une sphère à rayon infini.
3.7
erreur de taille du système de palpage
P
Taille.Sph.1×25:j:ODS
erreur d’indication de la différence entre le diamètre d’une association des moindres carrés de 25 points
représentatifs sur une sphère d’essai et son diamètre étalonné
Note 1 à l’article: Le symbole «P» dans P indique que l’erreur est associée aux performances
Taille.Sph.1×25:j:ODS
du système de palpage, le qualificateur Taille.Sph indique qu’elle est associée à l’erreur de taille du système de
palpage et le qualificateur «ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le qualificateur
«j» identifie les conditions de mesure de la MMT. P est l’erreur de taille du système de palpage
Taille.Sph.1×25:Tr:ODS
optique de translation, indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont réalisées à
plusieurs positions. P est l’erreur de taille du système de palpage optique articulé, indiquée
Taille.Sph.1×25:Art:ODS
lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen d’un système articulé. P est
Taille.Sph.1×25:St:ODS
l’erreur de taille du système de palpage optique stationnaire, indiquée lorsque le détecteur n’est pas déplacé par la
MMT pendant les mesures (voir Figure 3).
Note 2 à l’article: L’erreur de taille du système de palpage est déterminée par les erreurs des détecteurs (telles que
bruit, erreurs de numérisation, distorsion d’image, interaction optique avec la surface de l’étalon matérialisé, erreurs
d’étalonnage du détecteur, algorithmes défaillants dans le traitement des données mesurées) et celles de la MMT.
Voir Figure 2.
3.8
erreur de taille totale du système de palpage
P
Taille.Sph.Totale:j:ODS
erreur d’indication de la différence entre le diamètre d’une association des moindres carrés de tous les
points mesurés sur une sphère d’essai et son diamètre étalonné
Note 1 à l’article: Le symbole «P» dans P indique que l’erreur est associée aux performances
Taille.Sph.Totale:j:ODS
du système de palpage, le qualificateur Taille.Sph indique qu’elle est associée à l’erreur de taille du système de
palpage, le qualificateur Totale indique que tous les points de mesure sont utilisés pour le calcul et le qualificateur
«ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le qualificateur «j» identifie les conditions
de mesure de la MMT. P est l’erreur de taille du système de palpage optique de translation,
Taille.Sph.Totale:Tr:ODS
indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont réalisées à plusieurs positions.
P est l’erreur de taille du système de palpage optique articulé, indiquée lorsque l’alignement
Taille.Sph.Totale:Art:ODS
du détecteur est également modifié au moyen d’un système articulé. P est l’erreur de taille du
Taille.Sph.Totale:St:ODS
système de palpage optique stationnaire, indiquée lorsque le détecteur n’est pas déplacé par la MMT pendant les
mesures (voir Figure 3).
Note 2 à l’article: L’erreur de taille totale du système de palpage est déterminée par les erreurs des détecteurs
(telles que bruit, erreurs de numérisation, distorsion d’image, interaction optique avec la surface de l’étalon
matérialisé, erreurs d’étalonnage du détecteur, algorithmes défaillants dans le traitement des données mesurées)
et celles de la MMT.
3.9
erreur de mesure de longueur
E
Bi:j:ODS
E
Uni:j:ODS
erreur d’indication lors de la mesure d’une longueur d’essai étalonnée
Note 1 à l’article: Le symbole «E» dans E ou E indique que l’erreur est associée à l’erreur de mesure,
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
le qualificateur «Bi» ou «Uni» indique qu’elle est associée à l’erreur de mesure de longueur bidirectionnelle ou
unidirectionnelle et le qualificateur «ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le
qualificateur «j» identifie les conditions de mesure de la MMT. E ou E est l’erreur de mesure de
Bi:Tr:ODS Uni:Tr:ODS
longueur utilisant une sonde optique de translation, indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que
les mesures sont réalisées à plusieurs positions. E ou E est l’erreur de mesure de longueur
Bi:Art:ODS Uni:Art:ODS
utilisant une sonde optique articulée, indiquée lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen
d’un système articulé. E ou E est l’erreur de mesure de longueur utilisant une sonde optique
Bi:St:ODS Uni:St:ODS
stationnaire, indiquée lorsque le détecteur n’est pas déplacé par la MMT pendant les mesures.
Note 2 à l’article: Une longueur d’essai étalonnée peut être étalonnée de façon bidirectionnelle ou unidirectionnelle.
Pour de plus amples détails, voir l’Annexe B.
3.10
erreur de mesure de forme de plan
E
Forme.Pla.D95%:j:ODS
plus petite distance entre deux plans parallèles qui enveloppent 95 % des points mesurés sur un plan
d’essai global
Note 1 à l’article: Le symbole «E» dans E indique que l’erreur est associée à l’erreur de mesure, le
Forme.Pla.D95 %:j:ODS
qualificateur Forme.Pla indique qu’elle est associée à l’erreur de mesure de forme de plan, le qualificateur «D95%»
indique qu’elle est associée à la dispersion des points de mesure avec une population de 95 % et le qualificateur
«ODS» indique qu’elle est associée au détecteur optique sans contact. Le qualificateur «j» identifie les conditions
de mesure de la MMT. E est l’erreur de mesure de forme de plan du système de palpage optique
Forme.Pla.D95%:Tr:ODS
de translation, indiquée lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont réalisées à plusieurs
positions. E est l’erreur de mesure de forme de plan du système de palpage optique articulé,
Forme.Pla.D95%:Art:ODS
indiquée lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen d’un système articulé.
3.11
erreur maximale tolérée de forme du système de palpage
P
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
valeur extrême de P autorisée par les spécifications comme erreur maximale tolérée
Forme.Sph.1×25:j:ODS
Note 1 à l’article: L’erreur maximale tolérée de forme du système de palpage P peut être
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
exprimée sous l’une des trois formes suivantes:
6 © ISO 2013 – Tous droits réservés

a) P minimum de (A + L /K) et B, ou
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE = P
b) P  (A + L /K), ou
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE = P
c) P B
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE =

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres de la sphère de référence et de la sphère (ou du plan)
P
d’essai, en millimètres;
B est l’erreur maximale tolérée P , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
cant.
3.12
limite maximale tolérée de la dispersion du système de palpage
P
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL
valeur extrême de P autorisée par les spécifications comme limite maximale tolérée
Forme.Sph.D95%:j:ODS
Note 1 à l’article: La limite maximale tolérée de la valeur de dispersion du système de palpage P peut
D, 95 %, X, MPL
être exprimée sous l’une des trois formes suivantes:
a) P minimum de (A + L /K) et B, ou
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL = P
b) P  (A + L /K), ou
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL = P
c) P  B
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL =

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres de la sphère de référence et de la sphère (ou du plan)
P
d’essai, en millimètres;
B est l’erreur maximale tolérée P , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL
cant.
3.13
erreur maximale tolérée de taille du système de palpage
P
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE
valeur extrême de P autorisée par les spécifications comme erreur maximale tolérée
Taille.Sph.1×25:j:ODS
Note 1 à l’article: L’erreur maximale tolérée de taille du système de palpage P peut être
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE
exprimée sous l’une des trois formes suivantes:
a) P  minimum de (A + L /K) et B, ou
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE = P
b) P  (A + L /K), ou
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE = P
c) P  B
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE =

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres de la sphère de référence et de la sphère (ou du plan)
P
d’essai, en millimètres;
B est l’erreur maximale tolérée P , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE
cant.
3.14
erreur maximale tolérée de taille totale du système de palpage
P
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
valeur extrême de P autorisée par les spécifications comme erreur maximale tolérée
Taille.Sph.Totale:j:ODS
Note 1 à l’article: L’erreur maximale tolérée de taille totale du système de palpage P peut
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
être exprimée sous l’une des trois formes suivantes:
a) P  minimum de (A + L /K) et B, ou
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE = P
b) P  (A + L /K), ou
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE = P
c) P  B
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE =

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres de la sphère de référence et de la sphère (ou du plan)
P
d’essai, en millimètres;
B est l’erreur maximale tolérée P , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
cant.
3.15
erreur maximale tolérée de mesure de longueur
E
Bi:j:ODS,MPE
E
Uni:j:ODS,MPE
valeur extrême de E ou E autorisée par les spécifications comme erreur
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
maximale tolérée
3.16
erreur maximale tolérée de mesure de forme de plan
E
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE
valeur extrême de E autorisée par les spécifications comme erreur maximale tolérée
Forme.Pla.D95%:j:ODS
Note 1 à l’article: L’erreur maximale tolérée de mesure de forme de plan E peut être
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE
exprimée sous l’une des trois formes suivantes:
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a) E  minimum de (A + L /K) et B, ou
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE = P
b) E  (A + L /K), ou
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE = P
c) E  B
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE =

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres de la sphère de référence et de la sphère (ou du plan)
P
d’essai, en millimètres;
B est l’erreur maximale tolérée E , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE
cant.
3.17
valeur de position articulée
L
Dia.5×25:Art:ODS
diamètre de la sphère minimale circonscrite des centres des cinq sphères
Note 1 à l’article: quand la position de la sphère d’essai peut être déterminée par une association des moindres
carrées des points, les mesurages étant effectués avec cinq angles d’articulation différents sur une seule sphère
d’essai placé en un point quelconque du volume mesuré.
Note 2 à l’article: Le symbole «L» dans L indique qu’il s’agit d’une valeur de position, le qualificateur
Dia.5×25:Art:ODS
«Art» indique les conditions de mesurage de la MMT et le qualificateur «ODS» indique qu’il est associé avec le
détecteur optique sans contact.
Note 3 à l’article: Tous les symboles utilisés dans la présente annexe sont donnés dans le Tableau D.1.
Note 4 à l’article: Toutes les valeurs sont absolues.
3.18
limite maximale tolérée de la valeur de position articulée
L
Dia.5×25:Art:ODS,MPL
valeur extrême de la valeur de position articulée (3.17), L , autorisée par les spécifications,
Dia.5×25:Art:ODS
réglementations, etc. pour les MMT
Note 1 à l’article: la limite maximale tolérée de la valeur de position articulée, L , peut être
Dia.5×25:Art:ODS,MPL
exprimée selon l’une des trois formes:
a) L = minimum de (A + L /K) et B; ou
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL P
b) L = (A + L /K); ou
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL P
c) L = B
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL

A est une constante positive, exprimée en micromètres et fournie par le fabricant;
K est une constante positive sans dimension fournie par le fabricant;
L est la distance en 3D entre les centres des sphères de référence et de la sphère d’essai, en milli-
P
mètres;
B est la limite maximale tolérées L , en micromètres, spécifiée par le fabri-
Dia.5 × 25:Art:ODS,MPL
cant.
Note 2 à l’article: Une limite maximale tolérée (MPL), contrairement à une spécification d’erreur maximale tolérée
(MPE), est utilisée quand les mesures d’essai ne sont pas des erreurs ; ainsi il n’est pas nécessaire d’utiliser des
étalons correctement étalonnés pour effectuer l’essai de spécification de MPL.
4 Symboles
Pour les besoins du présent document, les symboles du Tableau 1 s’appliquent.
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Tableau 1 — Symboles
Symbole Signification
P erreur de forme du système de palpage
Forme.Sph.1×25:j:ODS
P valeur de dispersion du système de palpage
Forme.Sph.D95%:j:ODS
P erreur de taille du système de palpage
Taille.Sph.1×25:j:ODS
P erreur de taille totale du système de palpage
Taille.Sph.Totale:j:ODS
E erreur de mesure de longueur bidirectionnelle
Bi:j:ODS
E erreur de mesure de longueur unidirectionnelle
Uni:j:ODS
E erreur de mesure de forme de plan
Forme.Pla.D95%:j:ODS
P erreur maximale tolérée de forme du système de palpage
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
P
Forme.Sph.
limite maximale tolérée de la valeur de dispersion du système de palpage
D95%:j:ODS,MPL
P erreur maximale tolérée de taille du système de palpage
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE
P
Taille.Sph.
erreur maximale tolérée de taille totale du système de palpage
Totale:j:ODS,MPE
E erreur maximale tolérée de mesure de longueur bidirectionnelle
Bi:j:ODS,MPE
E erreur maximale tolérée de mesure de longueur unidirectionnelle
Uni:j:ODS,MPE
E
Forme.Pla.
erreur maximale tolérée de mesure de forme de plan
D95%:j:ODS,MPE
L valeur de position articulée
Dia.5×25:Art:ODS
L limite maximale tolérée de la valeur de position articulée
Dia.5×25%:Art:ODS,MPL
Les qualificateurs suivants sont utilisés à la place de j dans les définitions ci-dessus.
Translation; lorsque le détecteur est déplacé par la MMT et que les mesures sont réali-
Tr
sées à plusieurs positions
Articulé; lorsque l’alignement du détecteur est également modifié au moyen d’un sys-
Art
tème articulé
St Stationnaire; lorsque le détecteur n’est pas déplacé par la MMT pendant les mesures
5 Exigences relatives aux caractéristiques métrologiques
5.1 Conditions d’environnement
Les limites à respecter pour les conditions d’environnement tolérées (telles que les conditions de
température, d’humidité de l’air, de vibrations et d’éclairage ambiant sur le lieu d’installation, qui
influencent les mesures) doivent être spécifiées par:
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
Dans les deux cas, l’utilisateur est libre de choisir les conditions d’environnement dans lesquelles seront
effectués les essais, dans les limites spécifiées par le fabricant dans la fiche technique de la MMT.
L’utilisateur a la responsabilité de fournir à la MMT un environnement tel que spécifié par le fabricant
dans la fiche technique. Si l’environnement ne satisfait pas aux spécifications, il ne peut être exigé de
vérifier les erreurs maximales tolérées.
5.2 Conditions de fonctionnement
Pour les essais spécifiés à l’Article 6, la MMT doit fonctionner en utilisant les procédures du manuel
d’utilisation du fabricant.
Les parties du manuel du fabricant à respecter comprennent
a) les cycles de démarrage/préchauffage de la machine,
b) la qualification du système de palpage,
c) la stabilité thermique du système de palpage avant étalonnage,
d) la position, le type, le nombre de sondes thermiques, et
e) le filtre de logiciel.
NOTE La qualification du système de palpage peut comprendre le paramétrage du système de coordonnées
de palpage, le niveau d’intensité lumineuse, le paramétrage de configuration de filtre, etc.
5.3 Erreur de forme du système de palpage
L’erreur de forme du système de palpage, P , ne doit pas dépasser l’erreur maximale
Forme.Sph.1×25:j:ODS
tolérée de forme du système de palpage, P , spécifiée par:
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
L’erreur de forme du système de palpage, P , et l’erreur maximale tolérée de forme du
Forme.Sph.1×25:j:ODS
système de palpage, P , sont exprimées en micromètres.
Forme.Sph.1×25:j:ODS,MPE
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de P
Forme.Sph.1 × 25:j:ODS,MPE
pour des conditions de fonctionnement spéciales.
5.4 Valeur de dispersion du système de palpage
La valeur de dispersion du système de palpage, P , ne doit pas dépasser la limite
Forme.Sph.D95%:j:ODS
maximale tolérée de la valeur de dispersion du système de palpage,
P , spécifiée par:
Forme.Sph.D95%:j:ODS,MPL
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
La valeur de dispersion du système de palpage, P , et la limite maximale tolérée de la
Forme.Sph.D95 %:j:ODS
valeur de dispersion du système de palpage, P , sont exprimées en micromètres.
Forme.Sph.D95 %:j:ODS,MPL
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de P
Forme.Sph.D95 %:j:ODS,MPL
pour des conditions de fonctionnement spéciales.
5.5 Erreur de taille du système de palpage
L’erreur de taille du système de palpage, P , ne doit pas dépasser l’erreur maximale
Taille.Sph.1×25:j:ODS
tolérée de taille du système de palpage, P , spécifiée par:
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPE
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
12 © ISO 2013 – Tous droits réservés

L’erreur de taille du système de palpage, P , et l’erreur maximale tolérée de taille du
Taille.Sph.1 × 25:j:ODS
système de palpage, P , sont exprimées en micromètres.
Taille.Sph.1 × 25:j:ODS,MPE
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de P
Taille.Sph.1×25:j:ODS,MPEE
pour des conditions de fonctionnement spéciales.
5.6 Erreur de taille totale du système de palpage
L’erreur de taille totale du système de palpage, P , ne doit pas dépasser l’erreur
Taille.Sph.Totale:j:ODS
maximale tolérée de taille totale du système de palpage, P , spécifiée par:
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
L’erreur de taille totale du système de palpage, P , et l’erreur maximale tolérée de taille
Taille.Sph.Totale:j:ODS
totale du système de palpage, P , sont exprimées en micromètres.
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de P
Taille.Sph.Totale:j:ODS,MPE
pour des conditions de fonctionnement spéciales.
5.7 Erreur de mesure de longueur
L’erreur de mesure de longueur, E ou E , ne doit pas dépasser l’erreur maximale tolérée de
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
mesure de longueur,
E ou E , spécifiée par:
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
L’erreur de mesure de longueur, E ou E , et l’erreur maximale tolérée de mesure de longueur,
Bi:j:ODS Uni:j:ODS
E ou E , sont exprimées en micromètres.
Bi:j:ODS,MPE Uni:j:ODS,MPE
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de E ou
Bi:j:ODS,MPE
E pour des conditions de fonctionnement spéciales.
Uni:j:ODS,MPE
5.8 Erreur de mesure de forme de plan
L’erreur de mesure de forme de plan, E , ne doit pas dépasser l’erreur maximale tolérée
Forme.Pla.D95 %:j:ODS
de mesure de forme de plan,
E , spécifiée par:
Forme.Pla.D95 %:j:ODS,MPE
— le fabricant, pour les essais de réception;
— l’utilisateur, pour les essais de vérification périodique.
L’erreur de mesure de forme de plan, E , et l’erreur maximale tolérée de mesure de
Forme.Pla.D95%:j:ODS
forme de plan, E , sont exprimées en micromètres.
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE
Les fabricants peuvent à leur gré, spécifier en option d’autres spécifications de E
Forme.Pla.D95%:j:ODS,MPE
pour des
...

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