Cleanrooms and associated controlled environments

ISO 14644-10:2012 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). It is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices.

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés

L'ISO 14644-10:2013 définit le systčme de classification de la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Elle s'applique ŕ toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé, telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.

General Information

Status
Published
Publication Date
28-Feb-2013
Current Stage
6060 - International Standard published
Start Date
14-Jan-2013
Completion Date
01-Mar-2013
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ISO 14644-10:2013 - Cleanrooms and associated controlled environments
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ISO 14644-10:2013 - Salles propres et environnements maîtrisés apparentés
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Standards Content (sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-10
First edition
2013-03-01
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 10:
Classification of surface cleanliness by
chemical concentration
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
Reference number
ISO 14644-10:2013(E)
ISO 2013
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 14644-10:2013(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2013

All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form

or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior

written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of

the requester.
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Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)
Contents Page

Foreword ........................................................................................................................................................................................................................................iv

1 Scope ................................................................................................................................................................................................................................. 1

2 Normative references ...................................................................................................................................................................................... 1

3 Terms and definitions ..................................................................................................................................................................................... 1

4 Classification ............................................................................................................................................................................................................ 2

4.1 Principles for establishing classification of clean surfaces in cleanrooms and

controlled environments ................................................................................................................................................................ 2

4.2 Classification for surface cleanliness by chemical concentration ............................................................... 2

4.3 ISO-SCC designation ........................................................................................................................................................................... 4

4.4 Converter for substances into surface atomic concentration ......................................................................... 4

5 Measuring and monitoring the cleanliness of surfaces for chemical contamination and

demonstration of compliance ................................................................................................................................................................. 5

5.1 Criteria for good cleanliness assessment ......................................................................................................................... 5

5.2 Documentation and reporting ................................................................................................................................................... 6

Annex A (informative) Conversion between different unit expressions of surface concentration for

chemical substances ......................................................................................................................................................................................... 8

Annex B (informative) Parameters influencing testing and interpretation of results ..................................15

Annex C (informative) Essential considerations for a good cleanliness assessment ......................................16

Annex D (informative) Methods for testing surface cleanliness by chemical concentration .................17

Annex E (informative) Test record documentation ............................................................................................................................28

Bibliography .............................................................................................................................................................................................................................29

© ISO 2013 – All rights reserved iii
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ISO 14644-10:2013(E)
Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards

bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out

through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical

committee has been established has the right to be represented on that committee. International

organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.

ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of

electrotechnical standardization.

International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.

The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International

Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting.

Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies

casting a vote.

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of

patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.

ISO 14644-10 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled

environments.

ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and associated controlled

environments:
— Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration

— Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

— Part 3: Test methods
— Part 4: Design, construction and start-up
— Part 5: Operations
— Part 6: Vocabulary

— Part 7: Separative devices (clean air hoods, glove boxes, isolators, mini-environments)

— Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
— Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
— Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
The following part is under preparation:
— Part 12: Classification of air cleanliness by nanoscale particle concentration

Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

will form the subject of a future Part 13.
iv © ISO 2013 – All rights reserved
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-10:2013(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10:
Classification of surface cleanliness by chemical
concentration
1 Scope

This part of ISO 14644 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with

regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and

particles). This part of ISO 14644 is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled

environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices.

NOTE 1 For the purpose of this part of ISO 14644, consideration is only given to the chemical characteristics of

a particle. The physical properties of the particle are not considered and this part of ISO 14644 does not cover the

interaction between the contamination and the surface.

NOTE 2 This part of ISO 14644 does not include the contamination generation process and any time-dependent

influences (deposition, sedimentation, ageing, etc.) or process-dependent activities such as transportation and

handling. Neither does it include guidance on statistical quality control techniques to ensure compliance.

2 Normative references

The following referenced documents are recommended for the application of this document. For dated

references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced

document (including any amendments) applies.

ISO 14644-1:— , Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air

cleanliness by particle concentration

ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary

3 Terms and definitions

For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 14644-6 and the following apply.

3.1
air cleanliness by chemical concentration
ACC

level, expressed as an ISO Class N, which represents the maximum allowable concentration of a given

chemical species or group of chemical species, expressed in grams per cubic metre (g/m )

Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be particles.

3.2
contaminant category

common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited

on the surface of interest
1) To be published. (Revision of ISO 14644-1:1999.)
© ISO 2013 – All rights reserved 1
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ISO 14644-10:2013(E)
3.3
chemical contamination

chemical (non-particulate) substances that can have a deleterious effect on the product, process or equipment

3.4
solid surface
boundary between the solid phase and a second phase
3.5
surface
boundary between two phases

Note 1 to entry: One of the phases is normally a solid phase and the other a gas, a liquid or another solid.

3.6
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of a surface with respect to its chemical concentration
3.7
surface cleanliness by chemical concentration class
SCC

common logarithm (to the base of 10) of the chemical concentration on a surface in grams per square

metre (g/m )
4 Classification

4.1 Principles for establishing classification of clean surfaces in cleanrooms and con-

trolled environments

Classification shall be specified by use of a classification descriptor. This descriptor is designated

“ISO-SCC” and specifies the maximum total chemical concentration permitted on a surface for an

individual chemical substance or group of substances. The classification of SCC is based upon the

concentration of chemicals on a surface as calculated using Formula (1) (given in 4.2) and expressed in

2 2

g/m . For calculation of the class, all other units shall be converted to g/m . In specific cases where low

concentrations need to be specified, the maximum allowable concentration of chemicals on a surface

may be expressed in atoms per square centimetre, ISO-SCC , using Formula (2) in 4.4.

_atomic
4.2 Classification for surface cleanliness by chemical concentration

The SCC class shall be designated by a classification number, N , where N is the common logarithm

SCC SCC

index of concentration C , expressed in g/m . The SCC class statement shall always be connected with

SCC

a chemical substance or group of substances to which it is related. Intermediate concentrations may be

specified, with 0,1 being the smallest permitted increment of N . C is determined from Formula (1),

SCC SCC
in terms of N :
SCC
SCC
C =10
SCC
(1)
NC=log
SCCS10 CC
Therefore, .

C , the maximum allowable concentration of the specified chemical substance or group of substances,

SCC

is expressed in g/m . The measured chemical concentration on a surface shall not exceed the maximum

allowable concentration of SCC, C to satisfy the predetermined SCC that is agreed between the

SCC
customer and supplier.
2 © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)
In all cases, N class numbers shall include the negative sign.
SCC

NOTE 1 An SCC class number is only valid in connection with a descriptor (see 4.3).

NOTE 2 For converting from gravimetric concentration (g/m ) to numeric concentration (number of atoms,

molecules or ions per unit area), see 4.4.

Table 1 and Figure 1 further illustrate the ISO-SCC classification as a function of chemical concentration

on a surface.
Note also the parameters listed in Annex B that influence classification.
Table 1 — ISO-SCC classes
ISO-SCC class Concentration Concentration Concentration
2 2 2
(g/m ) (μg/cm ) (ng/cm )
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
−1 10 10 10
−2 4 7
−2 10 10 10
−3 3 6
−3 10 10 10
−4 2 5
−4 10 10 10
−5 1 4
−5 10 10 10
−6 0 3
−6 10 10 10
−7 −1 2
−7 10 10 10
−8 −2 1
−8 10 10 10
−9 −3 0
−9 10 10 10
−10 −4 −1
−10 10 10 10
−11 −5 −2
−11 10 10 10
−12 −6 −3
−12 10 10 10
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ISO 14644-10:2013(E)
Key
X surface mass concentration (g/m )
X surface mass concentration (μg/cm )
X surface mass concentration (ng/cm )
Y ISO-SCC class
Figure 1 — ISO-SCC classes as a function of concentration
4.3 ISO-SCC designation

An SCC class number is only valid in connection with a descriptor that includes the chemical substance

or group of substances for which this class number is valid. The ISO-SCC descriptor is expressed in the

format ISO-SCC Class N (X), where X is a chemical substance or group of chemical substances.

EXAMPLE 1 With an N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP) sample, the measured value of chemical contamination

2 2

on a surface was 9,8E-7 g/m . This is within the class limit of 1E-6 g/m for Class −6. The designation would be:

“ISO-SCC Class −6 (NMP).”

EXAMPLE 2 With an organic compound sample, the measured value was 6E-5 g/m of total organic compounds

(TOC). This is within the class limit of 1E-4 g/m for Class −4. The designation would be: “ISO-SCC Class −4 (TOC).”

4.4 Converter for substances into surface atomic concentration

Very low concentrations are usually measured in surface number concentrations in the units of number

of molecules, atoms or ions per surface area [1/m ]. For classification purposes, these should be

4 © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)

converted into surface mass concentrations in the unit mass per surface area [g/m ]. This conversion is

made using Formula (2):
MC()
SCC_number
C =
SCC
(2)
where

C is the surface number concentration = number of molecules, atoms or ions per sur-

SCC_number
face area [1/m ];
C is the surface mass concentration [g/m ];
SCC
N is Avogadro’s number [6,02 × 10 /mol];
M is the molar mass of atomic, molecular or ionic species [g/mol].

For information purposes, Figure A.4 in Annex A illustrates the relationship between chemical

concentration on a surface (expressed in g/m ) and the atomic concentration on a surface (expressed in

atoms/m ) for typical substances.
5 Measuring and monitoring the cleanliness of surfaces for chemical contamina-
tion and demonstration of compliance
5.1 Criteria for good cleanliness assessment

Figure D.2 in Annex D illustrates how to measure different types of contamination, showing differing

sampling and measuring methods.

Tests performed to demonstrate compliance shall be conducted in a classified environment where the

airborne chemical contaminant and the airborne particle contaminant levels do not negatively influence

the classification. Suitable measurement methods and calibrated instruments shall be used for all tests. The

environment, measurement methods and instruments shall be agreed upon between customer and supplier.

Additional test essentials are discussed in Annex C, while Annex D details measurement methods for

demonstrating compliance.

The list of typical measurement methods is not exhaustive. Alternative methods that produce results

with comparable accuracy may be specified by agreement between customer and supplier.

Measurement by different methods, even when those methods are correctly applied, may produce

different results of equal validity.
Repeated measurements are recommended as part of the statistical approach.

Specific problems such as concentration spikes may occur when measuring high levels of cleanliness.

Special quality control techniques will then be required, as explained in Figure D.4 in Annex D.

Precautions should be taken to reduce electrostatic charge around the test zone, as electrostatic charge

enhances chemical deposition onto surfaces. If the surface is neither conductive nor grounded or charge-

neutralized, electrostatic charges might occur. Therefore, test results may vary.

For typical methods of measurement for testing surface cleanliness by chemical concentration, refer

to Annex D.
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ISO 14644-10:2013(E)
5.2 Documentation and reporting
5.2.1 Principle

Compliance with surface cleanliness by chemical concentration (SCC) class requirements, as specified

by the customer, is verified by performing measurements and by providing documentation of the results

and conditions of measurement. Details for demonstrating compliance shall be agreed upon between

customer and supplier in advance.
5.2.2 Testing

Tests performed to demonstrate compliance shall be conducted using suitable measurement methods

together with calibrated instruments whenever possible.

Measurement methods for demonstrating compliance are described in Annex D. The list of typical

methods described is not exhaustive. The testing environment shall be agreed between customer and

supplier. Alternative methods of comparable accuracy also may be specified by agreement between

customer and supplier.

Measurement by different methods, even when correctly applied, may produce different results of

equal validity.
Repeated measurements are recommended.
The testing environment should be agreed between customer and supplier.
5.2.3 Test report

The results from testing each surface shall be recorded and submitted as a comprehensive report,

together with a statement of compliance or non-compliance of the specified SCC class. The test report

shall include as a minimum the following:
a) name and address of the testing organization;
b) name of the person performing the test;
c) measurement environment;
d) date, time and duration of sampling;
e) time of measurement;

f) number and year of publication of this part of ISO 14644, i.e. ISO 14644-10:2013

g) clear identification of the location of the surface measured and specific designations for coordinates

of the surface, if applicable;

h) surface cleanliness by chemical concentration class with designation expressed as SCC class N;

i) acceptance criteria for the clean surface if agreed between customer and supplier;

j) specified measurement method(s), equipment resolution and detection limits;

k) details of the test procedure used, with any available data describing deviations from the test

procedure (if agreed);

l) identification of the instrument(s) used and current calibration certificate(s);

m) number of measurements performed;

n) test results, including chemical concentration(s) data for given substances, for all measurements

performed;
6 © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)

o) surface condition, i.e. after final cleaning, before or after packaging, with agreement on type and

quality of packaging required.

An example of how this test report may be constructed can be found in Annex E. Other variations of the

test report which are agreeable to both the customer and supplier may be used.
© ISO 2013 – All rights reserved 7
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ISO 14644-10:2013(E)
Annex A
(informative)
Conversion between different unit expressions of surface
concentration for chemical substances
A.1 Principle

In addition to the unit of surface mass concentration of g/m , there exist several different units to express

surface number concentration of an organic compound or a group of organics such as molecules/m ,

based on a number of organic molecules, and atoms C/m , based on a number of atoms of carbon

composing organic compound(s) under consideration.
A.2 Examples

For information purposes, Tables A.1 to A.3 illustrate how the different units of surface number

2 2

concentrations (molecules/m or atoms C/m ) can be converted into surface mass concentrations

2 2

in terms of carbon (g C/m ) or whole compound (g/m ) respectively using the examples of heptane,

hexadecane and di (2-ethylhexyl) phthalate.

Table A.1 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ] and

2 2

surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for heptane (C H ), CAS No. 142-82-5

7 16
Symbol Unit M = 100,2, N = 7
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number molecular
C [molecules/m ] 1,00E+19 1,42E+18 7,16E+16 6,01E+16
molecule
concentration
Surface number concentra-
C [atoms C/m ] 7,00E+19 1,00E+19 5,00E+17 4,19E+17
carbon_number
tion in terms of carbon
Surface mass concentration
C [g C/m ] 1,39E-3 1,98E-4 1,00E-4 8,39E-6
carbon_mass
in terms of carbon
Surface mass concentration C [g/m ] 1,66E-3 2,36E-4 1,19E-4 1,00E-6
SCC

Table A.2 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ]

2 2

and surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for hexadecane (C H ),

17 34
CAS No. 544-76-3
Symbol Unit M = 226,4, N = 17
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number molecular
C [molecules/m ] 1,00E+19 6,20E+18 3,12E+16 2,60E+16
molecule
concentration
Surface number concentra-
C [atoms C/m ] 1,59E+20 1,00E+19 5,00E+17 4,20E+17
carbon_atom
tion in terms of carbon
Surface mass concentration
C [g C/m ] 3,19E-3 2,00E-4 1,00E-4 8,49E-6
carbon_mass
in terms of carbon
Surface mass concentration C [g/m ] 3,77E-3 2,35E-4 1,17E-4 1,00E-4
SCC
8 © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)

Table A.3 — Illustration of the relationship between unit of surface concentration [g/m ] and

2 2

surface number concentration [molecules/m , atoms C/m ] for di (2-ethylhexyl) phthalate

(C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4
Symbol Unit M = 390,6, N = 24
Example 1 Example 2 Example 3 Example 4
Surface number molecular
C [molecules/m ] 1,00E+19 4,20E+18 2,00E+16 1,50E+16
molecule
concentration
Surface number concentra-
C [atoms C/m ] 2,39E+20 1,00E+19 4,89E+17 3,60E+17
carbon_atom
tion in terms of carbon
Surface mass concentration
C [g C/m ] 4,89E-3 2,04E-4 1,00E-4 7,37E-6
carbon_mass
in terms of carbon
Surface mass concentration C [g/m ] 6,62E-3 2,76E-4 1,35E-4 1,00E-4
SCC

Each surface number concentration can be converted to the original surface concentration from

Formulae (A.1) to (A.3):
M gm/ ol
   
CCgm//= moleculesm ×
SCCmolecule
   
N molecules//mol
(A.1)
 
C atoms Cm/
carbon _ atom M gm/ ol
 
 
C gm/ = ×
SCC
 
N atoms Cm/ olecule N moleculesm/ ol
[ ]] []
c a
(A.2)
 
C [/g Cm ]
carbon _ mass
 
M [g /mol]
 
2  c 
 
C gm/ = ×M [g /mol] (A.3)
SCC
 
N [atoms C/molecule]
where
N is the number of carbon composing organic compound(s) under consideration; and
M is the molar mass of carbon.

Surface number concentration with different types of unit expression based on Langmuir–Blodgett (LB)

film for typical organics is also listed in Table A.4. The surface number concentration can be obtained

from Formula (A.4):
2 13//23
 
CMgm/(= /)Nd (A.4)
SCCL_ Ba
 
where
d is the density of organic compound(s) in g/m .
© ISO 2013 – All rights reserved 9
---------------------- Page: 13 ----------------------
ISO 14644-10:2013(E)
Table A.4 — Monolayer concentration based on Langmuir–Blodgett film
Di (2-ethylhexyl)
Heptane (C H ), Hexadecane (C H ),
7 16 17 34
phthalate (C H O ),
24 38 4
CAS No. 142-82-5 CAS No. 544-76-3
CAS No. 117-817-7
Surface number molecular
2,55E+18 1,62E+18 1,34E+18
concentration
Surface number concentration
1,79E+19 2,59E+19 3,21E+19
in terms of carbon
Surface mass concentration
3,56E-4 5,18E-4 6,56E-4
in terms of carbon
Surface mass concentration 4,24E-4 6,10E-4 8,88E-4

For information purposes, Figures A.1 to A.4 illustrate how the different units of surface number

2 2

concentrations (molecules/m or atoms C/m ) can be converted into surface mass concentrations in

2 2
terms of carbon (g C/m ) or whole compound (g/m ), respectively.
10 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 14 ----------------------
ISO 14644-10:2013(E)
Key
2 2

X surface molecular concentration (molecules/m ) [surface molecular concentration (molecules/cm )]

2 2
Y surface mass concentration (g/m ) [surface mass concentration (g/cm )]
• surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4

Figure A.1 — The relationship between the units of surface mass concentration (g/m ) and

surface molecular concentration (molecules/m ) for typical organics
© ISO 2013 – All rights reserved 11
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ISO 14644-10:2013(E)
Key

X surface atomic concentration in terms of mass of carbon (grams C/m ) [surface atomic concentration in terms

of mass of carbon (grams C/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
• surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4

Figure A.2 — The relationship between the units of surface concentration (g/m ) and surface

atomic concentrations, in terms of mass of carbon (grams C/m ) for typical organics

12 © ISO 2013 – All rights reserved
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ISO 14644-10:2013(E)
Key

X surface atomic concentration in terms of numbers of carbon (atoms C/m ) [surface atomic concentration in

terms of numbers of carbon (atoms C/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
• surface concentration corresponding to monolayer based on LB model
1 heptane (C H ), CAS No. 142-82-5
7 16
2 hexadecane (C H ), CAS No. 544-76-3
17 34
3 di (2-ethylhexyl) phthalate (C H O ), CAS No. 117-817-7
24 38 4

Figure A.3 — The relationship between the units of surface concentration (g/m ) and surface

atomic concentration, in terms of numbers of carbon (atoms C/m ) for typical organics

© ISO 2013 – All rights reserved 13
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ISO 14644-10:2013(E)
Key

X surface atomic concentration in terms of numbers of atoms (atoms/m ) [surface atomic concentration in

terms of numbers of atoms (atoms/cm )]
2 2
Y surface concentration (g/m ) [surface concentration (g/cm )]
1 Li (M = 6,9) 8 Ti (M = 47,8) 15 Zn (M = 65,4)
2 B (M = 10,8) 9 Cr (M = 52,0) 16 As (M = 74,9)
3 Na (M = 23,0) 10 Mn (M = 54,9) 17 Sn (M = 118,7)
4 Mg (M = 24,3) 11 Fe (M = 55,9) 18 Ba (M = 137,33)
5 Al (M = 27,0) 12 Co (M = 58,9) 19 Pb (M = 207,2)
6 K (M = 39,1) 13 Ni (M = 58,7)
7 Ca (M = 40,1) 14 Cu (M = 63,4)

Figure A.4 — The relationship between the units of surface mass concentration (g/m ) and

surface atomic concentration in terms of numbers of atoms (atoms/m ) for typical substances

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ISO 14644-10:2013(E)
Annex B
(informative)
Parameters influencing testing and interpretation of results
B.1 Parameters

Parameters influencing testing and interpretation of results include the following:

a) skill level of personnel doing sampling or making the test;
b) reliability, repeatability and capability level of the testing laboratory;
c) cleanliness level of sample vessels, tools and test equipment;
d) cleanliness level of packaging used for shipping the samples;

e) use of an agreed sampling, blank and error management procedure for collecting and measuring

samples (see Figure D.3 in Annex D);
f) unauthorized opening of the sample;
g) opening the sample outside a controlled environment;
h) quality of chemical or water used to strip the chemical from its substrate;
i) loss of analyte during sampling, shipping or testing;

j) loss or change of analyte by desorption or thermal decomposition during test heating;

k) failure to continually recalibrate test equipment or to investigate unusual data excursions (test spikes);

l) errors in measuring or calculating the sample area.
B.2 Considerations
The list in B.1 is not comprehensive.
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ISO 14644-10:2013(E)
Annex C
(informative)
Essential considerations for a good cleanliness assessment
C.1 Principle

The following considerations should be established, agreed and managed before starting and during

the assessment:
a) surface wettability state, i.e. hydrophilic or hydrophobic;
b) substance or group of substances used in the subject material;
c) substance or group of substances of interest used in the subject process;
d) substance or group of substances used in the maintenance process;
e) substance or group of substances found in
...

NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-10
Première édition
2013-03-01
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Classification de la propreté
chimique des surfaces
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical
concentration
Numéro de référence
ISO 14644-10:2013(F)
ISO 2013
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ISO 14644-10:2013(F)
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sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur

l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à

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Publié en Suisse
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ISO 14644-10:2013(F)
Sommaire Page

Avant-propos ..............................................................................................................................................................................................................................iv

1 Domaine d’application ................................................................................................................................................................................... 1

2 Références normatives ................................................................................................................................................................................... 1

3 Termes et définitions ....................................................................................................................................................................................... 1

4 Classification ............................................................................................................................................................................................................ 2

4.1 Principes d’établissement de la classification de la propreté chimique des surfaces dans

les salles propres et environnements contrôlés......................................................................................................... 2

4.2 Classification de la propreté des surfaces par la concentration en chimiques ................................ 2

4.3 Désignation ISO-SCC ........................................................................................................................................................................... 4

4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface ...................................................................... 4

5 Mesurer et surveiller la propreté des surfaces par rapport à la contamination chimique et

démontrer la conformité ............................................................................................................................................................................. 5

5.1 Critères d’évaluation de la propreté ..................................................................................................................................... 5

5.2 Documentation et rapport ............................................................................................................................................................ 6

Annexe A (informative) Conversion entre différentes unités d’expression de la concentration

surfacique des substances chimiques ............................................................................................................................................ 8

Annexe B (informative) Paramètres influençant les essais et l’interprétation des résultats ................15

Annexe C (informative) Considérations essentielles pour une évaluation correcte de la propreté 16

Annexe D (informative) Méthodes de détermination de la propreté chimique de surface ......................18

Annexe E (informative) Documentation relative à l’enregistrement des essais ..................................................31

Bibliographie ...........................................................................................................................................................................................................................32

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ISO 14644-10:2013(F)
Avant-propos

L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes

nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est

en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude

a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,

gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.

L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne

la normalisation électrotechnique.

Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives

ISO/CEI, Partie 2.

La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de

Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote.

Leur publication comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités

membres votants.

L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de

droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de

ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.

L’ISO 14644-10 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements

maîtrisés apparentés.

L’ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et

environnements maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté particulaire de l’air

— Partie 2: Spécifications pour les essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la conformité

avec l’ISO 14644-1
— Partie 3: Méthodes d’essai
— Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
— Partie 5: Exploitation
— Partie 6: Vocabulaire

— Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements)

— Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air

— Partie 9: Classification de la propreté des surfaces par la concentration de particules

— Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
La partie suivante est en préparation:

— Partie 12: Classification de la propreté de l’air en fonction de la concentration des nanoparticules

Le nettoyage des surfaces afin d’obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particule

et chimique fera l’objet d’une future Partie 13.
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NORME INTERNATIONALE ISO 14644-10:2013(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Classification de la propreté chimique des surfaces
1 Domaine d’application

La présente partie de l’ISO 14644 définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les

salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes

et particules). Elle s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé,

telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.

NOTE 1 Dans le cadre de la présente partie de l’ISO 14644, il n’est tenu compte que des caractéristiques

chimiques des particules. Leurs propriétés physiques sont ignorées et la présente partie de l’ISO 14644 ne traite

pas non plus les interactions entre la contamination et la surface.

NOTE 2 La présente partie de l’ISO 14644 n’inclut pas le processus de génération de contamination ni aucune

influence dépendant du temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des

procédés telle que le transport et la manipulation, pas plus qu’elle ne comporte de directive sur les techniques

statistiques de maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.
2 Références normatives

Les documents de référence suivants sont recommandés pour l’application du présent document. Pour

les références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition

du document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).

ISO 14644-1:— , Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 1: Classification de la

propreté particulaire de l’air

ISO 14644-6, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 6: Vocabulaire

3 Termes et définitions

Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 14644-6 ainsi que les

termes et définitions suivants s’appliquent.
3.1
propreté de l’air selon la concentration en chimiques
ACC

niveau exprimé sous forme d’une classe ISO N, qui représente la concentration maximale admissible d’une

espèce chimique ou d’un groupe d’espèces chimiques donné, exprimée en grammes par mètre cube (g/m )

Note 1 à l’article: Cette définition n’inclut pas les macromolécules d’origine biologique, lesquelles sont assimilées

à des particules.
3.2
catégorie de contaminant

nom courant d’un groupe de composés aux effets néfastes similaires lorsqu’ils se trouvent sur la

surface d’intérêt
1) À publier. (Révision de l’ISO 14644-1:1999.)
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ISO 14644-10:2013(F)
3.3
contamination chimique

substances chimiques (non-particulaires) pouvant avoir un effet dommageable sur le produit, le procédé

ou l’équipement
3.4
surface solide
frontière entre la phase solide et une seconde phase
3.5
surface
frontière entre deux phases

Note 1 à l’article: Une des phases est normalement une phase solide et l’autre un gaz, un liquide ou un autre solide.

3.6
propreté de surface selon la concentration en substances chimiques
SCC
état d’une surface en fonction de sa concentration en substances chimiques
3.7
propreté de surface selon la classe de concentration en substances chimiques
SCC

logarithme décimal (de base 10) de la concentration en substances chimiques sur une surface, en

grammes par mètre carré (g/m )
4 Classification

4.1 Principes d’établissement de la classification de la propreté chimique des surfaces

dans les salles propres et environnements contrôlés

La classification doit être précisée via l’utilisation d’un descripteur de classification. Ce descripteur est

désigné par « ISO-SCC » et indique la concentration totale admise sur une surface pour une substance

chimique individuelle ou un groupe de substances. La classification de la SCC repose sur la concentration

en substances chimiques sur une surface, calculée d’après l’Équation (1) (donnée en 4.2) et exprimée

2 2

en g/m . Pour calculer la classe, toutes les autres unités doivent être converties en g/m . Dans les cas

particuliers où de faibles concentrations doivent être indiquées, la concentration maximale admissible

en substances chimiques sur une surface peut être exprimée en atomes par centimètre carré, ISO-

SCC , au moyen de l’Équation (2) en 4.4.
atomique
4.2 Classification de la propreté des surfaces par la concentration en chimiques

La classe de SCC doit être représentée par un numéro, N , qui soit le logarithme décimal de la

SCC

concentration, C en g/m . L’énoncé de classe SCC doit toujours mentionner une substance chimique

SCC

ou un groupe de substances chimiques à laquelle/auquel la classe correspond. Des concentrations

intermédiaires peuvent être indiquées, avec 0,1 comme plus petit incrément autorisé de N . La C

SCC SCC
est déterminée à partir de l’Équation (1):
SCC
C =10 (1)
SCC
Par conséquent, NC= log .
SCCS10 CC

C , la concentration maximale admissible pour la substance ou le groupe de substances chimiques

SCC

indiqué est exprimée en g/m . La concentration en chimiques sur une surface ne doit pas dépasser cette

concentration C pour satisfaire à la concentration maximale admissible de la classe SCC prédéterminée

SCC
convenue entre le client et le fournisseur.
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ISO 14644-10:2013(F)
Dans tous les cas, les numéros de classe N doivent comporter un signe négatif.
SCC

NOTE 1 Un numéro de classe SCC n’est valable qu’associé à un descripteur (voir 4.3).

NOTE 2 Pour convertir les concentrations gravimétriques (g/m ) en concentrations numériques (nombre

d’atomes ou molécules ou ions par unité de surface), voir 4.4.

Le Tableau 1 et la Figure 1 illustrent la classification ISO-SCC en fonction de la concentration sur une

surface en produits chimiques.

Les paramètres répertoriés dans l’Annexe B influent sur la classification et sont également à noter.

Tableau 1 — Classes ISO-SCC
Classe ISO-SCC Concentration Concentration Concentration
2 2 2
(g/m ) (μg/cm ) (ng/cm )
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
-1 10 10 10
−2 4 7
-2 10 10 10
−3 3 6
-3 10 10 10
−4 2 5
-4 10 10 10
−5 1 4
-5 10 10 10
−6 0 3
-6 10 10 10
−7 −1 2
-7 10 10 10
−8 −2 1
-8 10 10 10
−9 −3 0
-9 10 10 10
−10 −4 −1
-10 10 10 10
−11 −5 −2
-11 10 10 10
−12 −6 −3
-12 10 10 10
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ISO 14644-10:2013(F)
Légende
X concentration massique par unité de surface (g/m )
X concentration massique par unité de surface (μg/cm )
X concentration massique par unité de surface (ng/cm )
Y classe ISO-SCC
Figure 1 — Classes ISO-SCC en fonction de la concentration
4.3 Désignation ISO-SCC

Un numéro de classe SCC n’est valable qu’associé à un descripteur comportant la substance chimique ou

le groupe de substances auquel ce numéro s’applique. Le descripteur ISO-SCC est exprimé sous la forme

classe ISO-SCC N (X), où X est une substance chimique ou un groupe de substances chimiques.

EXEMPLE 1 Avec un échantillon de N-méthyl-2-pyrrolidone (NMP), il a été mesuré une contamination chimique

2 2

sur une surface de 9,8E-7 g/m . Ce chiffre est inférieur à la limite de la classe 1E-6 g/m pour la classe −6. La

désignation serait donc: « Classe ISO-SCC −6 (NMP) ».

EXEMPLE 2 Dans un échantillon de composé organique, il a été mesuré une teneur totale en carbone organique

−5 2 2

(TOC) de 6.10 g/m . Ce chiffre est inférieur à la limite de la classe 1E-4 g/m pour la classe −4. La désignation

serait donc: « Classe ISO-SCC −4 (TOC) ».
4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface

Les concentrations très faibles sont généralement mesurées en concentrations numériques par unité de

surface, c’est-à-dire en nombre de molécules, atomes ou ions par unité de surface [1/m ]. Pour permettre

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ISO 14644-10:2013(F)

une classification, il convient de convertir ces concentrations en concentrations massiques par unité de

surface [g/m ]. Cette conversion se fait au moyen de l’Équation (2).
SCC_num
C = (2)
SCC
C concentration numérique par unité de surface = nombre de molécules, atomes ou
scc_num
ions par unité de surface [1/m ]
C concentration massique par unité de surface [g/m ]
scc
N nombre d’Avogadro [6,02 × 10 /mol]
M masse molaire de l’espèce atomique, moléculaire ou ionique [g/mol]

À titre informatif, la Figure A.4 de l’Annexe A illustre la relation entre la concentration chimique sur une

2 2

surface (exprimée en g/m ) et la concentration atomique sur cette surface (exprimée en atomes/m )

pour des substances types.
5 Mesurer et surveiller la propreté des surfaces par rapport à la contamination
chimique et démontrer la conformité
5.1 Critères d’évaluation de la propreté

La Figure D.2 de l’Annexe D montre comment mesurer différents types de contamination et présente

différentes méthodes de prélèvement et de mesurage.

Les essais pour démontrer la conformité doivent être réalisés dans un environnement classé où les

niveaux de contaminants chimiques et particulaires aéroportés n’influencent pas négativement la

classification. Tous ces essais doivent être effectués au moyen de méthodes et instruments de mesurage

adaptés et étalonnés. L’environnement, les méthodes et instruments de mesurage doivent être convenus

entre le client et le fournisseur.

D’autres facteurs à considérer pour l’évaluation de la propreté des surfaces sont traités dans l’Annexe C,

tandis que l’Annexe D détaille les méthodes de mesure permettant de démontrer la conformité.

La liste des méthodes de mesure types n’est pas exhaustive. D’autres méthodes produisant des résultats

d’une justesse comparable peuvent être acceptées sur accord entre le client et le fournisseur.

Des méthodes de mesure différentes, même lorsqu’elles sont correctement appliquées, peuvent produire

des résultats différents d’égales validités.
L’approche statistique recommande des mesurages répétés.

Des problèmes particuliers tels que des pics de concentration peuvent survenir lors de mesurages de

hauts niveaux de propreté. Dans de tels cas, des techniques spéciales de maîtrise de la qualité sont alors

requises, comme l’explique la Figure D.4 de l’Annexe D.

Il convient de prendre des précautions pour réduire la charge électrostatique aux alentours de la

zone de mesure. La présence d’une charge électrostatique augmente en effet le dépôt de substances

chimiques sur les surfaces. Si la surface n’est ni conductrice ni mise à la terre ni neutralisée, des charges

électrostatiques peuvent s’accumuler, ce qui peut influencer les résultats des essais.

Des méthodes de mesure types de détermination de la propreté chimique de surface sont décrites dans

l’Annexe D.
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ISO 14644-10:2013(F)
5.2 Documentation et rapport
5.2.1 Principe

La conformité aux exigences de classe de propreté chimique de surface (SCC) spécifiées par le client

est vérifiée par des mesurages et par la fourniture d’une documentation contenant les résultats et les

conditions de mesurage. Les détails de la démonstration de conformité sont à convenir par avance entre

le client et le fournisseur.
5.2.2 Essais

Chaque fois que possible, les essais réalisés pour démontrer la conformité doivent être effectués au

moyen de méthodes d’essai appropriées et d’instruments étalonnés.

Les méthodes de mesure permettant de démontrer la conformité sont décrites à l’Annexe D. La liste des

méthodes de mesure types n’est pas exhaustive. L’environnement d’essai doit faire l’objet d’un accord

entre le client et le fournisseur. D’autres méthodes de justesse comparable peuvent également être

choisies, sur accord entre le client et le fournisseur.

Des méthodes de mesure différentes, même lorsqu’elles sont correctement appliquées, peuvent produire

des résultats différents d’égales validités.
Il est recommandé de répéter les mesurages.

Il convient que l’environnement d’essai fasse l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.

5.2.3 Rapport d’essai

Les résultats des essais sur chaque surface doivent être consignés et soumis sous forme d’un rapport

détaillé, avec une déclaration de conformité ou non-conformité à la classe SCC spécifiée. Le rapport doit

inclure au minimum les éléments suivants:
a) le nom et l’adresse de l’organisme d’essai;
b) le nom de l’opérateur réalisant l’essai;
c) l’environnement de mesurage;
d) la date, l’heure et la durée de l’échantillonnage;
e) l’heure du mesurage;

f) la référence et l’année de publication de la présente partie de l’ISO 14644; c’est-à-dire

ISO 14644-10:2013;

g) l’identification claire de l’endroit où se situe la surface dont la propreté est à mesurer et les

désignations spécifiques des coordonnées de la surface, le cas échéant;

h) la classe de propreté chimique de surface avec son descripteur sous la forme SCC classe N;

i) les critères d’acceptation de la surface propre convenus entre le client et le fournisseur;

j) les méthodes de mesure, la résolution des équipements et les limites de détection spécifiées;

k) les détails des modes opératoires utilisés, avec toutes les données disponibles décrivant les écarts

convenus par rapport au mode opératoire;

l) l’identification des instruments utilisés et des certificats d’étalonnage en cours de validité;

m) le nombre de mesures effectuées;
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n) les résultats des essais, y compris les concentrations pour des substances chimiques données, pour

toutes les mesures effectuées;

o) l’état de la surface; c’est-à-dire après le nettoyage final, avant ou après l’emballage, avec l’accord sur

le type et la qualité de l’emballage requis.

Un exemple de la façon dont ce rapport d’essai peut être élaboré est donné en Annexe E. D’autres

variations du rapport d’essai en accord avec le client et le fournisseur peuvent être utilisées.

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Annexe A
(informative)
Conversion entre différentes unités d’expression de la
concentration surfacique des substances chimiques
A.1 Principe

Outre l’expression de la concentration d’un composé organique ou groupe de composés organiques par

une masse par unité de surface en g/m , il existe plusieurs unités alternatives qui permettent d’exprimer

cette même concentration par un nombre d’unités par unité de surface. On peut ainsi obtenir un nombre

de molécules organiques/m , d’après la masse molaire de la molécule en question, puis un nombre

d’atomes de carbone/m , d’après le nombre d’atomes de carbone dans le composé organique en question.

A.2 Exemples

À titre informatif, les Tableaux A.1 et A.3 montrent comment les différentes unités de concentration

2 2

numérique par unité de surface (molécules/m ou atomes C/m ) peuvent être converties en masse de

2 2

carbone par unité de surface (g C/m ) ou masse de molécules par unité de surface (g/m ) au moyen des

exemples de l’heptane, de l’hexadécane et du di(2-éthylhexyl)phtalate.

Tableau A.1 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ] et la

2 2

concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface pour l’heptane

(C H ), N . CAS 142-82-5
7 16
Symbole Unité M = 100,2; N = 7
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en C [molécules/ 1,00E+19 1,42E+18 7,16E+16 6,01E+16
molécule
molécules par unité de m ]
surface
Concentration en atomes C [atomes C/m ] 7,00E+19 1,00E+19 5,00E+17 4,19E+17
nb_carbone
de carbone par unité de
surface
Concentration en masse C [g C/m ] 1,39E-3 1,98E-4 1,00E-4 8,39E-6
masse_carbone
de carbone par unité de
surface
Concentration en masse C [g/m ] 1,66E-3 2,36E-4 1,19E-4 1,00E-6
SCC
par unité de surface
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Tableau A.2 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ] et la

2 2

concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface pour l’hexadécane

(C H ), N . CAS 544-76-3
17 34
Symbole Unité M = 226,4; Nc = 17
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en C [molécules/ 1,00E+19 6,20E+18 3,12E+16 2,60E+16
molécule
molécules par unité de m2]
surface
Concentration en atomes C [atomes C/m2] 1,59E+20 1,00E+19 5,00E+17 4,20E+17
nb_carbone
de carbone par unité de
surface
Concentration en masse Cmasse_car- [g C/m2] 3,19E-3 2,00E-4 1,00E-4 8,49E-6
de carbone par unité de bone
surface
Concentration en masse CSCC [g/m2] 3,77E-3 2,35E-4 1,17E-4 1,00E-4
par unité de surface

Tableau A.3 — Illustration de la relation entre la concentration massique [g/m ] et la

2 2

concentration numérique [molécules/m , atomes C/m ] par unité de surface pour le Di(2-

éthylhexyl)phtalate (C H O ), N . CAS 117-817-7
24 38 4
Symbole Unité M = 390,6; Nc = 24
Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Exemple 4
Concentration en C [molécules/ 1,00E+19 4,20E+18 2,00E+16 1,50E+16
molécule
molécules par unité de m ]
surface
Concentration en atomes C [atomes C/m ] 2,39E+20 1,00E+19 4,89E+17 3,60E+17
nb_carbone
de carbone par unité de
surface
Concentration en masse C [g C/m ] 4,89E-3 2,04E-4 1,00E-4 7,37E-6
masse_carbone
de carbone par unité de
surface
Concentration en masse C [g/m ] 6,62E-3 2,76E-4 1,35E-4 1,00E-4
SCC
par unité de surface

Chaque concentration numérique peut être convertie en sa concentration massique originelle grâce aux

Équations (A.1) à (A.3).
M g/mol
 
22  
   
CCg/mm= olécules/m × (A.1)
SCCmolécule
   
N moléculee/mol
a  
M g/mol
22  
   
CCg/ma= tome C / m × (A.2)
SCC nb_carbones
   
N moléculle/mol
 
a  
 
C g Cm/
masse_carbone
 
M g/mol
 
C g/m = ×M g/mol (A.3)
 
SCC  
 
N atome C/mollécule
N est le nombre d’atomes de carbone composant l’élément organique considéré, et
M est la masse molaire du carbone.
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La concentration numérique exprimée en différentes unités, pour un film Langmuir-Blodgett (LB)

dans le cas des substances organiques types, est aussi donnée dans le Tableau A.4. La concentration

numérique peut être obtenue via l’Équation (A.4).
2 13//23
 
CMgm/( = /)Nd (A.4)
SCCL_ B a
 
d, est la masse volumique du composé organique, en g/m .
Tableau A.4 — Concentration monocouche pour un film LB
Di(2-éthylhexyl)
Heptane (C H ), Hexadécane (C H ),
7 16 17 34
phtalate (C H O ),
24 38 4
o o
N . CAS 142-82-5 N . CAS 544-76-3
N . CAS 117-817-7
Concentration en molécules par
2,55E+18 1,62E+18 1,34E+18
surface
Concentration en atomes de carbone
1,79E+19 2,59E+19 3,21E+19
par surface
Concentration en masse de carbone
3,56E-4 5,18E-4 6,56E-4
par surface
Concentration en masse par surface 4,24E-4 6,10E-4 8,88E-4

À titre informatif, les Figures A.1 à A.4 montrent comment les différentes unités de concentration

2 2

numérique par unité de surface (molécules/m ou atomes C/m ) peuvent être converties en masse de

2 2

carbone par unité de surface (g C/m ) ou masse de molécules par unité de surface (g/m ).

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Légende

X concentration moléculaire par unité de surface (molécules/m ) [concentration moléculaire par unité de

surface (molécules/cm )]

Y concentration massique par unité de surface (g/m2) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]

• concentration surfacique correspondant à une monocouche pour le modèle LB
1 heptane (C H ), No. CAS 142-82-5
7 16
2 hexadécane (C H ), No. CAS 544-76-3
17 34
3 di(2-éthylhexyl)phtalate (C H O ), No. CAS 117-817-7
24 38 4

Figure A.1 — Relation entre les concentrations massiques par surface (g/m ) et en nombre de

molécules par surface (molécules/m ) pour des substances organiques types
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Légende

X masse de carbone par unité de surface (grammes C/m ) [masse de carbone par unité de surface (grammes C/

cm )]
2 2

Y concentration massique par unité de surface (g/m ) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]

• concentration surfacique correspondant à une monocouche pour le modèle LB
1 heptane (C H ), No. CAS 142-82-5
7 16
2 hexadécane (C H ), No. CAS 544-76-3
17 34
3 di(2-éthylhexyl)phtalate (C H O ), No. CAS 117-817-7
24 38 4

Figure A.2 — Relation entre la concentration massique par surface (g/m ) et la concentration

atomique exprimée en masse de carbone par surface (g C/m ) pour des substances
organiques types
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Légende

X concentration atomique par surface exprimée en nombre d’atomes de carbone par unité de surface (atomes

C/m ) [concentration atomique par surface exprimée en nombre d’atomes de carbone par unité de surface

(atomes C/cm )]
2 2

Y concentration massique par unité de surface (g/m ) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]

• concentration surfacique correspondant à une monocouche pour le modèle LB
1 heptane (C H ), No. CAS 142-82-5
7 16
2 hexadécane (C H ), No. CAS 544-76-3
17 34
3 di(2-éthylhexyl)phtalate (C H O ), No. CAS 117-817-7
24 38 4

Figure A.3 — Relation entre la concentration massique par surface (g/m ) et la concentration

atomique exprimée en nombre d’atomes de carbone par surface (atomes C/m ) pour des

substances organiques types
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Légende

X concentration atomique par surface exprimée en nombre d’atomes par unité de surface (atomes/m )

2 2

Y concentration massique par unité de surface (g/m ) [concentration massique par unité de surface (g/cm )]

1 Li (M = 6,9) 8 Ti (M = 47,8) 15 Zn (M = 65,4)
2 B (M = 10,8) 9 Cr (M = 52,0) 16 As (M = 74,9)
3 Na (M = 23,0) 10 Mn (M = 54,9) 17 Sn (M = 118,7)
4 Mg (M = 24,3) 11 Fe (M = 55,9) 18 Ba (M = 137,33)
5 Al (M = 27,0) 12 Co (M = 58,9) 19 Pb (M = 207,2)
6 K (M =
...

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