ISO 14644-10:2013
(Main)Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
ISO 14644-10:2012 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). It is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices.
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
L'ISO 14644-10:2013 définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Elle s'applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé, telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.
General Information
Relations
Buy Standard
Related Packages
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 14644-10
First edition
2013-03-01
Cleanrooms and associated controlled
environments —
Part 10:
Classification of surface cleanliness by
chemical concentration
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
Reference number
©
ISO 2013
© ISO 2013
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form
or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior
written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
the requester.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2013 – All rights reserved
Contents Page
Foreword .iv
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Classification . 2
4.1 Principles for establishing classification of clean surfaces in cleanrooms and
controlled environments . 2
4.2 Classification for surface cleanliness by chemical concentration . 2
4.3 ISO-SCC designation . 4
4.4 Converter for substances into surface atomic concentration . 4
5 Measuring and monitoring the cleanliness of surfaces for chemical contamination and
demonstration of compliance . 5
5.1 Criteria for good cleanliness assessment . 5
5.2 Documentation and reporting . 6
Annex A (informative) Conversion between different unit expressions of surface concentration for
chemical substances . 8
Annex B (informative) Parameters influencing testing and interpretation of results .15
Annex C (informative) Essential considerations for a good cleanliness assessment .16
Annex D (informative) Methods for testing surface cleanliness by chemical concentration .17
Annex E (informative) Test record documentation .28
Bibliography .29
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International
Standards adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting.
Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies
casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 14644-10 was prepared by Technical Committee ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled
environments.
ISO 14644 consists of the following parts, under the general title Cleanrooms and associated controlled
environments:
— Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
— Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
— Part 3: Test methods
— Part 4: Design, construction and start-up
— Part 5: Operations
— Part 6: Vocabulary
— Part 7: Separative devices (clean air hoods, glove boxes, isolators, mini-environments)
— Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
— Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
— Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
The following part is under preparation:
— Part 12: Classification of air cleanliness by nanoscale particle concentration
Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
will form the subject of a future Part 13.
iv © ISO 2013 – All rights reserved
INTERNATIONAL STANDARD ISO 14644-10:2013(E)
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10:
Classification of surface cleanliness by chemical
concentration
1 Scope
This part of ISO 14644 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with
regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and
particles). This part of ISO 14644 is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled
environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices.
NOTE 1 For the purpose of this part of ISO 14644, consideration is only given to the chemical characteristics of
a particle. The physical properties of the particle are not considered and this part of ISO 14644 does not cover the
interaction between the contamination and the surface.
NOTE 2 This part of ISO 14644 does not include the contamination generation process and any time-dependent
influences (deposition, sedimentation, ageing, etc.) or process-dependent activities such as transportation and
handling. Neither does it include guidance on statistical quality control techniques to ensure compliance.
2 Normative references
The following referenced documents are recommended for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced
document (including any amendments) applies.
1)
ISO 14644-1:— , Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air
cleanliness by particle concentration
ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 14644-6 and the following apply.
3.1
air cleanliness by chemical concentration
ACC
level, expressed as an ISO Class N, which represents the maximum allowable concentration of a given
chemical species or group of chemical species, expressed in grams per cubic metre (g/m )
Note 1 to entry: This definition does not include macromolecules of biological origin, which are judged to be particles.
3.2
contaminant category
common name for a group of compounds with a specific and similar deleterious effect when deposited
on the surface of interest
1) To be published. (Revision of ISO 14644-1:1999.)
3.3
chemical contamination
chemical (non-particulate) substances that can have a deleterious effect on the product, process or equipment
3.4
solid surface
boundary between the solid phase and a second phase
3.5
surface
boundary between two phases
Note 1 to entry: One of the phases is normally a solid phase and the other a gas, a liquid or another solid.
3.6
surface cleanliness by chemical concentration
SCC
condition of a surface with respect to its chemical concentration
3.7
surface cleanliness by chemical concentration class
N
SCC
common logarithm (to the base of 10) of the chemical concentration on a surface in grams per square
metre (g/m )
4 Classification
4.1 Principles for establishing classification of clean surfaces in cleanrooms and con-
trolled environments
Classification shall be specified by use of a classification descriptor. This descriptor is designated
“ISO-SCC” and specifies the maximum total chemical concentration permitted on a surface for an
individual chemical substance or group of substances. The classification of SCC is based upon the
concentration of chemicals on a surface as calculated using Formula (1) (given in 4.2) and expressed in
2 2
g/m . For calculation of the class, all other units shall be converted to g/m . In specific cases where low
concentrations need to be specified, the maximum allowable concentration of chemicals on a surface
may be expressed in atoms per square centimetre, ISO-SCC , using Formula (2) in 4.4.
_atomic
4.2 Classification for surface cleanliness by chemical concentration
The SCC class shall be designated by a classification number, N , where N is the common logarithm
SCC SCC
index of concentration C , expressed in g/m . The SCC class statement shall always be connected with
SCC
a chemical substance or group of substances to which it is related. Intermediate concentrations may be
specified, with 0,1 being the smallest permitted increment of N . C is determined from Formula (1),
SCC SCC
in terms of N :
SCC
N
SCC
C =10
SCC
(1)
NC=log
SCCS10 CC
Therefore, .
C , the maximum allowable concentration of the specified chemical substance or group of substances,
SCC
is expressed in g/m . The measured chemical concentration on a surface shall not exceed the maximum
allowable concentration of SCC, C to satisfy the predetermined SCC that is agreed between the
SCC
customer and supplier.
2 © ISO 2013 – All rights reserved
In all cases, N class numbers shall include the negative sign.
SCC
NOTE 1 An SCC class number is only valid in connection with a descriptor (see 4.3).
NOTE 2 For converting from gravimetric concentration (g/m ) to numeric concentration (number of atoms,
molecules or ions per unit area), see 4.4.
Table 1 and Figure 1 further illustrate the ISO-SCC classification as a function of chemical concentration
on a surface.
Note also the parameters listed in Annex B that influence classification.
Table 1 — ISO-SCC classes
ISO-SCC class Concentration Concentration Concentration
2 2 2
(g/m ) (μg/cm ) (ng/cm )
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
−1 10 10 10
−2 4 7
−2 10 10 10
−3 3 6
−3 10 10 10
−4 2 5
−4 10 10 10
−5 1 4
−5 10 10 10
−6 0 3
−6 10 10 10
−7 −1 2
−7 10 10 10
−8 −2 1
−8 10 10 10
−9 −3 0
−9 10 10 10
−10 −4 −1
−10 10 10 10
−11 −5 −2
−11 10 10 10
−12 −6 −3
−12 10 10 10
Y
X
+6
X
X
Key
X surface mass concentration (g/m )
X surface mass concentration (μg/cm )
X surface mass concentration (ng/cm )
Y ISO-SCC class
Figure 1 — ISO-SCC classes as a function of concentration
4.3 ISO-SCC designation
An SCC class number is only valid in connection with a descriptor that includes the chemical substance
or group of substances for which this class number is valid. The ISO-SCC descriptor is expressed in the
format ISO-SCC Class N (X), where X is a chemical substance or group of chemical substances.
EXAMPLE 1 With an N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP) sample, the measured value of chemical contamination
2 2
on a surface was 9,8E-7 g/m . This is within the class limit of 1E-6 g/m for Class −6. The designation would be:
“ISO-SCC Class −6 (NMP).”
EXAMPLE 2 With an organic compound sample, the measured value was 6E-5 g/m of total organic compounds
(TOC). This is within the class limit of 1E-4 g/m for Class −4. The designation would be: “ISO-SCC Class −4 (TOC).”
4.4 Converter for substances into surface atomic concentration
Very low concentrations are usually measured in surface number concentrations in the units of number
of molecules, atoms or ions per surface area [1/m ]. For classification purposes, these should be
4 © ISO 2013 – All rights reserved
converted into surface mass concentrations in the unit mass per surface area [g/m ]. This conversion is
made using Formula (2):
MC()
SCC_number
C =
SCC
N
a
(2)
where
C is the surface number concentration = number of molecules, atoms or ions per sur-
SCC_number
face area [1/m ]
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 14644-10
Première édition
2013-03-01
Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Classification de la propreté
chimique des surfaces
Cleanrooms and associated controlled environments —
Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical
concentration
Numéro de référence
©
ISO 2013
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2013
Droits de reproduction réservés. Sauf indication contraire, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée
sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2013 – Tous droits réservés
Sommaire Page
Avant-propos .iv
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Classification . 2
4.1 Principes d’établissement de la classification de la propreté chimique des surfaces dans
les salles propres et environnements contrôlés. 2
4.2 Classification de la propreté des surfaces par la concentration en chimiques . 2
4.3 Désignation ISO-SCC . 4
4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface . 4
5 Mesurer et surveiller la propreté des surfaces par rapport à la contamination chimique et
démontrer la conformité . 5
5.1 Critères d’évaluation de la propreté . 5
5.2 Documentation et rapport . 6
Annexe A (informative) Conversion entre différentes unités d’expression de la concentration
surfacique des substances chimiques . 8
Annexe B (informative) Paramètres influençant les essais et l’interprétation des résultats .15
Annexe C (informative) Considérations essentielles pour une évaluation correcte de la propreté 16
Annexe D (informative) Méthodes de détermination de la propreté chimique de surface .18
Annexe E (informative) Documentation relative à l’enregistrement des essais .31
Bibliographie .32
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives
ISO/CEI, Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de
Normes internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote.
Leur publication comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités
membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de
ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L’ISO 14644-10 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
L’ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté particulaire de l’air
— Partie 2: Spécifications pour les essais et la surveillance en vue de démontrer le maintien de la conformité
avec l’ISO 14644-1
— Partie 3: Méthodes d’essai
— Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
— Partie 5: Exploitation
— Partie 6: Vocabulaire
— Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements)
— Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
— Partie 9: Classification de la propreté des surfaces par la concentration de particules
— Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
La partie suivante est en préparation:
— Partie 12: Classification de la propreté de l’air en fonction de la concentration des nanoparticules
Le nettoyage des surfaces afin d’obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particule
et chimique fera l’objet d’une future Partie 13.
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés
NORME INTERNATIONALE ISO 14644-10:2013(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —
Partie 10:
Classification de la propreté chimique des surfaces
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 14644 définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les
salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes
et particules). Elle s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé,
telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.
NOTE 1 Dans le cadre de la présente partie de l’ISO 14644, il n’est tenu compte que des caractéristiques
chimiques des particules. Leurs propriétés physiques sont ignorées et la présente partie de l’ISO 14644 ne traite
pas non plus les interactions entre la contamination et la surface.
NOTE 2 La présente partie de l’ISO 14644 n’inclut pas le processus de génération de contamination ni aucune
influence dépendant du temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des
procédés telle que le transport et la manipulation, pas plus qu’elle ne comporte de directive sur les techniques
statistiques de maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont recommandés pour l’application du présent document. Pour
les références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition
du document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).
1)
ISO 14644-1:— , Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 1: Classification de la
propreté particulaire de l’air
ISO 14644-6, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 6: Vocabulaire
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 14644-6 ainsi que les
termes et définitions suivants s’appliquent.
3.1
propreté de l’air selon la concentration en chimiques
ACC
niveau exprimé sous forme d’une classe ISO N, qui représente la concentration maximale admissible d’une
espèce chimique ou d’un groupe d’espèces chimiques donné, exprimée en grammes par mètre cube (g/m )
Note 1 à l’article: Cette définition n’inclut pas les macromolécules d’origine biologique, lesquelles sont assimilées
à des particules.
3.2
catégorie de contaminant
nom courant d’un groupe de composés aux effets néfastes similaires lorsqu’ils se trouvent sur la
surface d’intérêt
1) À publier. (Révision de l’ISO 14644-1:1999.)
3.3
contamination chimique
substances chimiques (non-particulaires) pouvant avoir un effet dommageable sur le produit, le procédé
ou l’équipement
3.4
surface solide
frontière entre la phase solide et une seconde phase
3.5
surface
frontière entre deux phases
Note 1 à l’article: Une des phases est normalement une phase solide et l’autre un gaz, un liquide ou un autre solide.
3.6
propreté de surface selon la concentration en substances chimiques
SCC
état d’une surface en fonction de sa concentration en substances chimiques
3.7
propreté de surface selon la classe de concentration en substances chimiques
N
SCC
logarithme décimal (de base 10) de la concentration en substances chimiques sur une surface, en
grammes par mètre carré (g/m )
4 Classification
4.1 Principes d’établissement de la classification de la propreté chimique des surfaces
dans les salles propres et environnements contrôlés
La classification doit être précisée via l’utilisation d’un descripteur de classification. Ce descripteur est
désigné par « ISO-SCC » et indique la concentration totale admise sur une surface pour une substance
chimique individuelle ou un groupe de substances. La classification de la SCC repose sur la concentration
en substances chimiques sur une surface, calculée d’après l’Équation (1) (donnée en 4.2) et exprimée
2 2
en g/m . Pour calculer la classe, toutes les autres unités doivent être converties en g/m . Dans les cas
particuliers où de faibles concentrations doivent être indiquées, la concentration maximale admissible
en substances chimiques sur une surface peut être exprimée en atomes par centimètre carré, ISO-
SCC , au moyen de l’Équation (2) en 4.4.
atomique
4.2 Classification de la propreté des surfaces par la concentration en chimiques
La classe de SCC doit être représentée par un numéro, N , qui soit le logarithme décimal de la
SCC
concentration, C en g/m . L’énoncé de classe SCC doit toujours mentionner une substance chimique
SCC
ou un groupe de substances chimiques à laquelle/auquel la classe correspond. Des concentrations
intermédiaires peuvent être indiquées, avec 0,1 comme plus petit incrément autorisé de N . La C
SCC SCC
est déterminée à partir de l’Équation (1):
N
SCC
C =10 (1)
SCC
Par conséquent, NC= log .
SCCS10 CC
C , la concentration maximale admissible pour la substance ou le groupe de substances chimiques
SCC
indiqué est exprimée en g/m . La concentration en chimiques sur une surface ne doit pas dépasser cette
concentration C pour satisfaire à la concentration maximale admissible de la classe SCC prédéterminée
SCC
convenue entre le client et le fournisseur.
2 © ISO 2013 – Tous droits réservés
Dans tous les cas, les numéros de classe N doivent comporter un signe négatif.
SCC
NOTE 1 Un numéro de classe SCC n’est valable qu’associé à un descripteur (voir 4.3).
NOTE 2 Pour convertir les concentrations gravimétriques (g/m ) en concentrations numériques (nombre
d’atomes ou molécules ou ions par unité de surface), voir 4.4.
Le Tableau 1 et la Figure 1 illustrent la classification ISO-SCC en fonction de la concentration sur une
surface en produits chimiques.
Les paramètres répertoriés dans l’Annexe B influent sur la classification et sont également à noter.
Tableau 1 — Classes ISO-SCC
Classe ISO-SCC Concentration Concentration Concentration
2 2 2
(g/m ) (μg/cm ) (ng/cm )
0 6 9
0 10 10 10
−1 5 8
-1 10 10 10
−2 4 7
-2 10 10 10
−3 3 6
-3 10 10 10
−4 2 5
-4 10 10 10
−5 1 4
-5 10 10 10
−6 0 3
-6 10 10 10
−7 −1 2
-7 10 10 10
−8 −2 1
-8 10 10 10
−9 −3 0
-9 10 10 10
−10 −4 −1
-10 10 10 10
−11 −5 −2
-11 10 10 10
−12 −6 −3
-12 10 10 10
Y
X
+6
X
X
Légende
X concentration massique par unité de surface (g/m )
X concentration massique par unité de surface (μg/cm )
X concentration massique par unité de surface (ng/cm )
Y classe ISO-SCC
Figure 1 — Classes ISO-SCC en fonction de la concentration
4.3 Désignation ISO-SCC
Un numéro de classe SCC n’est valable qu’associé à un descripteur comportant la substance chimique ou
le groupe de substances auquel ce numéro s’applique. Le descripteur ISO-SCC est exprimé sous la forme
classe ISO-SCC N (X), où X est une substance chimique ou un groupe de substances chimiques.
EXEMPLE 1 Avec un échantillon de N-méthyl-2-pyrrolidone (NMP), il a été mesuré une contamination chimique
2 2
sur une surface de 9,8E-7 g/m . Ce chiffre est inférieur à la limite de la classe 1E-6 g/m pour la classe −6. La
désignation serait donc: « Classe ISO-SCC −6 (NMP) ».
EXEMPLE 2 Dans un échantillon de composé organique, il a été mesuré une teneur totale en carbone organique
−5 2 2
(TOC) de 6.10 g/m . Ce chiffre est inférie
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.