ISO 23833:2006

Microbeam analysis - Electron probe microanalysis (EPMA) - Vocabulary

ISO 23833:2006 is a bilingual (English/French) vocabulary which defines terms used in the practices of electron probe microanalysis (EPMA). It covers both general and specific concepts classified according to their hierarchy in a systematic order. It is applicable to all standardization documents relevant to the practices of EPMA. In addition, some parts of the standard are applicable to those documents relevant to the practices of related fields (e.g. SEM, AEM, EDX) for definition of those terms common to them.

Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing) — Vocabulaire

L'ISO 23833:2006 définit des termes employés dans la pratique de l'analyse par microsonde de Castaing (EPMA). Elle couvre à la fois des concepts généraux et des concepts spécifiques, classés selon le rang hiérarchique qu'ils occupent dans un ordre systématique. L'ISO 23833:2006 est applicable à tous les documents de normalisation relatifs à la pratique de l'EPMA. En outre, certaines parties de l'ISO 23833:2006 sont applicables aux documents relatifs à la pratique de techniques apparentées (par exemple MEB, AEM, EDX) pour la définition des termes communs à ces techniques.

General Information

• Status: Withdrawn
• Publication Date: 30-Nov-2006
• Withdrawal Date: 30-Nov-2006
• ICS: 01.040.71 - Chemical technology (Vocabularies)
• ICS: 71.040.99 - Other standards related to analytical chemistry
• Technical Committee: ISO/TC 202/SC 1 - Terminology
• Drafting Committee: ISO/TC 202/SC 1 - Terminology
• Current Stage: 9599 - Withdrawal of International Standard
• Start Date: 05-Apr-2013
• Completion Date: 13-Dec-2025

Relations

• Revised: ISO 23833:2013 - Microbeam analysis - Electron probe microanalysis (EPMA) - Vocabulary
• Effective Date: 31-Mar-2012

Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 23833
NORME
First edition
Première édition
INTERNATIONALE
2006-12-01
Microbeam analysis — Electron probe
microanalysis (EPMA) — Vocabulary
Analyse par microfaisceaux — Analyse
par microsonde électronique
(microsonde de Castaing) — Vocabulaire

Reference number
Numéro de référence
©
ISO 2006
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Contents Page
Foreword. v
Introduction . vii
Scope . 1
1 Abbreviated terms. 1
2 Definitions of general terms used in electron probe microanalysis. 2
3 Definitions of terms used to describe EPMA instrumentation . 11
4 Definitions of terms used in EPMA methodology.27
Symbols list. 44
Bibliography . 45
Alphabetical index . 46
French alphabetical index (Index alphabétique). 49

Sommaire Page
Avant-propos.vi
Introduction .viii
Domaine d'application .1
1 Abréviations.1
2 Définitions de termes généraux utilisés dans l'analyse par microsonde de Castaing .2
3 Définitions de termes utilisés pour décrire l'instrumentation EPMA.11
4 Définition de termes utilisés en EPMA .27
Liste des symboles .44
Bibliographie .45
Index alphabétique anglais (Alphabetical index) .46
Index alphabétique.49

iv © ISO 2006 – All rights reserved/Tous droits réservés

Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
ISO 23833 was prepared by Technical Committee ISO/TC 202, Microbeam analysis, Subcommittee SC 1,
Terminology.
The European Microbeam Analysis Society (EMAS) made contributions to the preparation of the document.
This International Standard has a cross-reference relationship with the surface chemical analysis vocabulary
prepared by ISO/TC 201 (ISO 18115:2001).

Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'ISO 23833 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 202, Analyse par microfaisceaux, sous-comité
SC 1, Terminologie.
La Société européenne d'analyse par microfaisceaux (EMAS) a contribué à la préparation de ce document.
La présente Norme internationale est liée par référence croisée à la norme relative au vocabulaire de
l'analyse chimique des surfaces préparée par l'ISO/TC 201 (ISO 18115:2001).
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Introduction
Electron probe X-ray microanalysis (EPMA) is a modern technique used to qualitatively determine and
quantitatively measure the elemental composition of solid materials, including metal alloys, ceramics, glasses,
minerals, polymers, powders, etc., on a spatial scale of approximately one micrometre laterally and in depth.
EPMA is based on the physical mechanism of electron-stimulated X-ray emission and X-ray spectrometry.
As a major sub-field of microbeam analysis (MBA), the EPMA technique is widely applied in diverse business
sectors (high-tech industries, basic industries, metallurgy and geology, biology and medicine, environmental
protection, trade, etc.) and has a wide business environment for standardization.
Standardization of terminology in a technical field is one of the basic prerequisites for development of
standards on other aspects of that field.
This International Standard is relevant to the need for an EPMA vocabulary that contains consistent definitions
of terms as they are used in the practice of electron probe microanalysis by the international scientific and
engineering communities that employ the technique.
This International Standard is the first one developed in a package of standards on scanning electron
microscopy (SEM), analytical electron microscopy (AEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS), etc., to be
developed by ISO/TC 202, Microbeam analysis, Subcommittee SC 1, Terminology, to cover the complete field
of MBA.
Introduction
L'analyse de rayons X par microsonde électronique ou microsonde de Castaing (EPMA) est une technique
moderne utilisée pour déterminer sur le plan qualitatif et mesurer sur le plan quantitatif la composition
élémentaire de matériaux solides, y compris des alliages métalliques, des céramiques, des verres, des
minéraux, des polymères, des poudres, etc., sur une échelle spatiale d'environ un micromètre latéralement et
en profondeur. L'EPMA est basée sur le mécanisme physique de l'émission de rayons X stimulée par des
électrons et de la spectrométrie X.
Étant l'un des principaux sous-domaines de l'analyse par microfaisceaux, la technique EPMA est largement
appliquée dans différents secteurs de l'économie (hautes technologies, industries de base, métallurgie et
géologie, biologie et médecine, protection de l'environnement, commerce, etc.) et elle présente un vaste
environnement commercial pour la normalisation.
La normalisation de la terminologie dans un domaine technique donné est l'une des conditions de base
préalables au développement de normes sur d'autres aspects de ce domaine.
La présente Norme internationale répond à la nécessité de disposer d'un vocabulaire EPMA contenant des
définitions cohérentes de termes qui sont utilisés dans la pratique de l'analyse par microsonde électronique,
par les communautés scientifiques et techniques internationales qui emploient cette technique.
La présente Norme internationale est la première norme élaborée parmi une série de normes sur la
microscopie électronique à balayage (SEM) , la microscopie électronique analytique (AEM), la spectroscopie
à sélection d'énergie (EDS), etc., qui seront élaborées par le comité technique ISO/TC 202, Analyse par
microfaisceaux, sous-comité SC 1, Terminologie, pour couvrir le domaine de l'analyse par microfaisceaux
dans son ensemble.
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DRAFT INTERNATIONAL STANDARD
PROJET DE NORME INTERNATIONALE

Microbeam analysis — Analyse par microfaisceaux —
Electron probe microanalysis Analyse par microsonde
(EPMA) — Vocabulary électronique (microsonde de
Castaing) — Vocabulaire
Scope Domaine d'application
This International Standard defines terms used in the La présente Norme internationale définit des termes
practices of electron probe microanalysis (EPMA). It employés dans la pratique de l'analyse par
covers both general and specific concepts classified microsonde de Castaing (EPMA). Elle couvre à la
according to their hierarchy in a systematic order. fois des concepts généraux et des concepts
spécifiques, classés selon le rang hiérarchique qu'ils
This International Standard is applicable to all
occupent dans un ordre systématique.
standardization documents relevant to the practices
of EPMA. In addition, some parts of this International La présente Norme internationale est applicable à
Standard are applicable to those documents relevant tous les documents de normalisation relatifs à la
to the practices of related fields (e.g. SEM, AEM, pratique de l'EPMA. En outre, certaines parties de la
EDX) for definition of those terms common to them. présente Norme internationale sont applicables aux
documents relatifs à la pratique de techniques
apparentées (par exemple MEB, AEM, EDX) pour la
définition des termes communs à ces techniques.

1 Abbreviated terms 1 Abréviations

BSE backscattered electron BSE électron rétrodiffusé
CRM certified reference material CRM matériau de référence certifié
EDS energy-dispersive spectrometer EDS spectromètre à sélection d'énergie
EDX energy-dispersive X-ray spectrometry EDX spectrométrie X à sélection d'énergie
EPMA electron probe microanalysis or electron EPMA analyse par microsonde électronique ou
microsonde de Castaing
probe microanalyser
eV electronvolt eV électronVolt
keV kiloelectronvolt keV kiloélectronVolt
SE secondary electron SE électron secondaire
SEM scanning electron microscope MEB microscope électronique à balayage
WDS wavelength-dispersive spectrometer WDS spectromètre à dispersion de longueur
d'onde
WDX wavelength-dispersive X-ray spectrometry
WDX spectrométrie X à dispersion de longueur
d'onde
2 Definitions of general terms used in 2 Définitions de termes généraux
electron probe microanalysis utilisés dans l'analyse par microsonde
de Castaing
2.1 2.1
electron probe microanalysis analyse par microsonde de Castaing
EPMA EPMA
technique of spatially-resolved elemental analysis technique d'analyse élémentaire à résolution
based upon electron-excited X-ray spectrometry with spatiale, basée sur la spectrométrie X par excitation
a focussed electron probe and an electron interaction d'électrons, utilisant une sonde électronique
volume with micrometre to sub-micrometre focalisée et un volume d'interaction des électrons
dimensions ayant des dimensions micrométriques à
submicrométriques
2.1.1 2.1.1
qualitative EPMA EPMA qualitative
procedure in EPMA leading to the identification of the mode opératoire de l'EPMA entraînant l'identification
elements present in the electron-excited interaction des éléments présents dans le volume d'interaction
volume by a systematic method for the recognition provoqué par l'excitation d'électrons, par une
and assignment of X-ray spectral peaks to specific méthode systématique de reconnaissance et
elements d'affectation des pics de spectres de rayons X à des
éléments spécifiques
2.1.2 2.1.2
quantitative EPMA EPMA quantitative
procedure leading to the assignment of numerical mode opératoire entraînant l'affectation de valeurs
values to represent the concentrations of elemental numériques pour représenter les concentrations de
constituents measured in the electron-excited constituants élémentaires qui sont mesurées dans le
interaction volume and previously identified during volume d'interaction provoqué par l'excitation
the qualitative analysis phase in EPMA d'électrons et qui ont été identifiées précédemment
lors de la phase d'analyse qualitative de l'EPMA
NOTE Quantitative analysis can be accomplished by
comparing the unknown X-ray peak intensities to X-ray
NOTE L'analyse quantitative peut être réalisée en
peak intensities measured under the same conditions
comparant les intensités inconnues de pics X aux
using reference material(s) or by calculating the
intensités de pics X mesurées dans les mêmes conditions
concentration from first principles (also known as
sur un ou des matériaux de référence, ou bien en calculant
standardless analysis).
la concentration à partir des premiers principes (également
connue sous le nom d'analyse sans témoin).

2.2 2.2
electron probe microanalyser microsonde de Castaing
instrument for carrying out electron-excited X-ray instrument permettant de réaliser une microanalyse
microanalysis de rayons X émis par excitation d'électrons
NOTE This instrument is usually equipped with more NOTE Cet instrument est généralement équipé de plus
than one wavelength spectrometer and an optical d'un spectromètre de longueur d'onde et d'un microscope
microscope for precise sample placement. optique pour positionner les échantillons avec fidélité.

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2.3 2.3
electron scattering diffusion d'électrons
deviation in trajectory and/or kinetic energy suffered écart de trajectoire et/ou d'énergie cinétique subi par
by an impinging energetic beam electron as a result les électrons d'un faisceau énergétique incident suite
of an interaction with a sample atom or electron à une interaction avec un atome ou électron de
l'échantillon
2.3.1 2.3.1
angle of scattering angle de diffusion
angle between the direction of the incident particle or angle entre la direction de la particule ou du photon
photon and the direction that the particle or photon is incident et la direction que prend la particule ou le
travelling after scattering photon après la diffusion
[ISO 18115:2001] [ISO 18115:2001]

2.3.2 2.3.2
backscattering rétrodiffusion
escape of beam electrons from the sample following échappement d'électrons du faisceau hors de
sufficient scattering events to cause the trajectories l'échantillon, suite à des événements de diffusion
to intersect the entrance surface of the sample suffisants pour faire en sorte que les trajectoires
croisent la surface d'entrée de l'échantillon

2.3.2.1 2.3.2.1
backscatter coefficient coefficient de rétrodiffusion
η η
fraction of beam electrons that are backscattered, fraction d'électrons du faisceau qui sont
given by the equation rétrodiffusés, définie par l'équation suivante:
η = n(BS)/n(B) η = n(BS)/n(B)
where n(B) is the number of incident electrons and où n(B) est le nombre d'électrons incidents et n(BS)
n(BS) is the number of backscattered electrons le nombre d'électrons rétrodiffusés

2.3.2.2 2.3.2.2
backscattered electron électron rétrodiffusé
electron ejected through the entrance surface of the électron éjecté au travers de la surface d'entrée de
sample by a backscattering process l'échantillon par un processus de rétrodiffusion

2.3.2.3 2.3.2.3
backscattered electron angular distribution angulaire d'électrons
distribution rétrodiffusés
distribution of backscattered electrons as a function distribution d'électrons rétrodiffusés en tant que
of the angle relative to the surface normal fonction de l'angle relatif à la normale de la surface

2.3.2.4 2.3.2.4
backscattered electron depth distribution distribution en profondeur d'électrons
distribution of backscattered electrons as a function rétrodiffusés
of the maximum depth into the sample reached distribution d'électrons rétrodiffusés en tant que
before travelling back to the entrance surface to exit fonction de la profondeur maximale atteinte dans
the sample l'échantillon avant qu'ils ne reviennent à la surface
d'entrée pour quitter l'échantillon

2.3.3 2.3.3
continuous energy loss approximation approximation de la perte d'énergie
mathematical description of energy loss by fast continue
electrons propagating through matter, whereby all of description mathématique de la perte d'énergie par
the discrete inelastic processes are approximated as la propagation rapide d'électrons dans la matière,
a single continuous energy loss process selon laquelle tous les processus inélastiques
discrets sont donnés approximativement sous la
forme d'un processus unique de perte d'énergie
continue
2.3.4 2.3.4
elastic scattering diffusion élastique
interaction of an energetic electron from the interaction d'un électron énergétique issu du
impinging beam and a sample atom during which the faisceau incident et d'un atome de l'échantillon,
electron's energy remains essentially unaltered but pendant laquelle l'énergie de l'électron reste
its trajectory is changed by an angle from 0 rad up to principalement inchangée mais sa trajectoire est
π rad (180°) with an average of approximately modifiée selon un angle compris entre 0 et π rad
0,1 rad (180°), avec une moyenne d'environ 0,1 rad

2.3.5 2.3.5
inelastic scattering diffusion inélastique
interaction of an energetic electron from the interaction d'un électron énergétique issu du
impinging beam and a sample atom or electron faisceau incident et d'un atome ou électron de
during which kinetic energy is lost to the sample by l'échantillon, pendant laquelle de l'énergie cinétique
various mechanisms (secondary electron generation, est perdue pour l'échantillon par divers mécanismes
bremsstrahlung, inner shell ionization, plasmon and (génération d'électrons secondaires, bremsstrahlung,
photon excitation) ionisation de la couche interne, excitation du
plasmon et du photon)
NOTE For inelastic scattering, the electron trajectory is
modified by a small angle, generally less than 0,01 rad.
NOTE Pour la diffusion inélastique, la trajectoire des
électrons est modifiée selon un angle faible, généralement
inférieur à 0,01 rad.
2.3.6 2.3.6
scattering cross-section section efficace de diffusion
number of scattering events per unit area nombre d'événements de diffusion par unité de
mathematical description of the probability of a surface
scattering event (elastic or inelastic) description mathématique de la probabilité d'un
événement de diffusion (élastique ou inélastique)
cf. ionization cross-section (2.4.4)
cf. section efficace d'ionisation (2.4.4)
NOTE Scattering cross-section is usually expressed
simply as an area, in cm . The number of scattering events
NOTE La section efficace de diffusion est généralement
per unit area is expressed in events/(atoms/cm ).
exprimée simplement comme une surface, en cm . Le
nombre d'événements de diffusion par unité de surface est
exprimé par le nombre d'événements/(atomes/cm ).

4 © ISO 2006 – All rights reserved/Tous droits réservés

2.3.7 2.3.7
scattering effect effet de diffusion
measurable physical phenomenon, such as electron phénomène physique mesurable tel que la
backscattering or loss of X-ray generation, that rétrodiffusion d'électrons ou la perte de génération
results from modification of the trajectory and/or de rayons X, résultant de la modification de la
kinetic energy of an impinging energetic beam trajectoire et/ou de l'énergie cinétique d'un électron
electron by scattering processes in the sample du faisceau énergétique incident, par des processus
de diffusion dans l'échantillon

2.3.8 2.3.8
secondary electron électron secondaire
electron of a sample emitted as a result of inelastic électron d'un échantillon, émis suite à la diffusion
scattering of the primary beam electron by loosely inélastique de l'électron primaire du faisceau par des
bound valence-level electrons of the sample électrons de valence faiblement liés de l'échantillon
NOTE Secondary electrons have conventionally an NOTE Les électrons secondaires ont par convention une
energy less than 50 eV. énergie inférieure à 50 eV.

2.4 2.4
X-ray rayon X
photon of electromagnetic radiation created by inner photon de rayonnement électromagnétique créé par
shell ionization or by deceleration of an energetic l'ionisation de la couche interne ou par décélération
electron in the Coulombic field of an atom d'un électron énergétique dans le champ coulombien
d'un atome
2.4.1 2.4.1
characteristic X-ray rayon X caractéristique
photon of electromagnetic radiation produced by the photon de rayonnement électromagnétique produit
relaxation of an excited atomic state created by inner par la relaxation d'un état atomique excité créé par
shell ionization following inelastic scattering of an l'ionisation de la couche interne suite à la diffusion
energetic electron or ion, or by absorption of an inélastique d'un électron ou d'un ion énergétique, ou
X-ray photon par absorption d'un photon X

2.4.2 2.4.2
continuous X-ray rayon X continu
photon of electromagnetic radiation created by photon de rayonnement électromagnétique produit
deceleration (an inelastic scattering mechanism) of par la décélération (mécanisme de diffusion
an energetic electron in the Coulombic field of an inélastique) d'un électron énergétique dans le champ
atom coulombien d'un atome
2.4.3 2.4.3
fluorescence yield rendement de fluorescence
ω ω
fraction of inner shell ionization events that give rise fraction d'événements d'ionisation de la couche
to characteristic X-ray emission during subsequent interne qui provoquent l'émission de rayons X
de-excitation caractéristiques pendant la désexcitation qui suit
NOTE The fluorescence yield is independent of the NOTE Le rendement de fluorescence est indépendant de
method of ionization. la méthode d'ionisation.

2.4.4 2.4.4
ionization cross-section section efficace d'ionisation
number of ionization events per unit area nombre d'événements d'ionisation par unité de
mathematical description of the probability of ionizing surface
an atom by removing an atomic electron from a description mathématique de la probabilité d'ioniser
particular bound electron shell out of the electrical un atome en retirant un électron atomique d'une
field of the atom couche particulière d'électrons liés hors du champ
électrique de l'atome
cf. scattering cross-section (2.3.6)
cf. section efficace de diffusion (2.3.6)
NOTE 1 Ionization cross-section is usually expressed
2 –24 2
simply as an area, in cm or in barns (10 cm ).
NOTE 1 La section efficace d'ionisation est
Ionization event probability is expressed in
généralement exprimée simplement comme une surface,
2 –24 2
events/(atoms/cm ).
en cm ou en barns (10 cm). La probabilité
d'événements d'ionisation est exprimée par le nombre
NOTE 2 Ionization cross-section is usually denoted by 2
d'événements/(atomes/cm ).
Q, which is defined by the mathematical expression
dn = Q(Nρ/A)dx where dn is the number of ionization events
NOTE 2 La section efficace d'ionisation est
which occur in each increment dx of electron path and Nρ/A
généralement désignée par Q, qui est défini par
is the number of atoms per unit volume.
l'expression mathématique suivante: dn = Q(Nρ/A)dx où dn
est le nombre d'événements d'ionisation qui se produisent
à chaque incrément dx du trajet des électrons et Nρ/A est
le nombre d'atomes par unité de volume.

2.4.5 2.4.5
ionization energy énergie d'ionisation
critical excitation energy énergie d'excitation critique
edge energy énergie de seuil
minimum energy required to ionize an atomic énergie minimale requise pour ioniser un électron
electron, i.e. to remove a bound electron from a shell atomique, c'est-à-dire pour retirer un électron lié
(e.g. K, L) to (as a minimum) the continuum of d'une couche (par exemple K, L) afin d'obtenir (au
energy states in a solid minimum) le continuum d'états énergétiques dans un
solide
NOTE Ionization energy units are eV or keV.
NOTE Les unités d'énergie d'ionisation sont
l'électronVolt (eV) ou le kiloélectronVolt (keV).

2.4.6 2.4.6
J-value valeur J
mean ionization energy, a critical parameter in énergie d'ionisation moyenne, un paramètre critique
mathematical descriptions of the continuous energy dans les descriptions mathématiques de
loss approximation l'approximation de la perte d'énergie continue

2.4.7 2.4.7
stopping power loi de ralentissement
dE/ds dE/ds
rate of energy loss experienced by a primary electron taux de perte d'énergie d'un électron primaire (à
(from all inelastic scattering processes) with distance partir de tous les processus de diffusion inélastique)
travelled in the sample par rapport à la distance parcourue dans l'échantillon
NOTE Stopping power is expressed as energy loss/unit NOTE La loi de ralentissement est exprimée comme
distance (e.g. eV/nm). étant la perte d'énergie par rapport à l'unité de distance
(par exemple eV/nm).
6 © ISO 2006 – All rights reserved/Tous droits réservés

2.4.8 2.4.8
X-ray fluorescence effect effet de fluorescence X
secondary fluorescence fluorescence secondaire
photoelectric absorption of an X-ray (characteristic or absorption photoélectrique d'un rayon X
bremsstrahlung) by an atom, resulting in an excited (caractéristique ou bremsstrahlung) par un atome,
atomic state which will de-excite with electron shell donnant un état atomique excité qui se désexcitera
transitions and subsequent emission of an Auger avec une transition d'électron d'une couche à une
electron or the characteristic X-ray of the absorbing autre et l'émission ultérieure d'un électron Auger ou
atom d'un rayon X caractéristique de l'atome absorbant

2.4.9 2.4.9
X-ray generation génération de rayons X
generation of X-rays in the sample under the génération de rayons X dans l'échantillon sous l'effet
stimulation of an incident beam of radiation du bombardement d'un faisceau incident (électrons,
(electrons, ions or photons) ions ou photons)
NOTE X-rays can be generated through the ionization of NOTE Les rayons X peuvent être générés par l'ionisation
inner atomic shells (characteristic X-rays) or through the de couches atomiques internes (rayons X caractéristiques)
“braking radiation” (bremsstrahlung) process (continuum or ou par le processus de «rayonnement de freinage»
white radiation). (bremsstrahlung) (rayonnement du continuum ou
rayonnement blanc).
2.5 2.5
X-ray absorption absorption de rayons X
attenuation of the intensity of X-rays passing through atténuation de l'intensité de rayons X traversant la
matter, arising primarily from photoelectric absorption matière, due principalement à l'absorption
for X-ray energies appropriate to EPMA photoélectrique pour les énergies X adaptées à
l'EPMA
2.5.1 2.5.1
absorption edge saut d'absorption
critical ionization energy for a particular shell or énergie d'ionisation pour une couche ou sous-
subshell of an atom species couche particulière d'une espèce d'atome
NOTE Absorption edges are detected in spectra as NOTE Les sauts d'absorption sont détectés dans des
discontinuities in the X-ray continuum (bremsstrahlung) spectres comme des discontinuités du fond continu de
background due to a sharp change in the X-ray mass rayons X (bremsstrahlung) dues à un changement net du
absorption coefficient at the edge. coefficient d'absorption massique de rayons X à la
discontinuité.
2.5.2 2.5.2
absorption factor facteur d'absorption
f(χ) f(χ)
ratio of emitted X-ray intensity to the generated rapport entre l'intensité de rayons X émise et
intensity in a specific direction towards the X-ray l'intensité générée dans une direction précise vers le
detector détecteur de rayons X

2.5.3 2.5.3
depth distribution function fonction de distribution en profondeur
φ(ρz) φ(ρz)
function which describes the distribution of generated fonction décrivant la distribution de rayons X générés
X-rays as a function of depth below the sample en fonction de la profondeur en dessous de la
surface surface de l'échantillon
NOTE ρz is expressed in units of mass × thickness. NOTE ρz est exprimé en unités de masse multipliées par
l'épaisseur.
2.5.4 2.5.4
jump ratio discontinuité d'absorption
ratio of the X-ray absorption coefficient at an energy rapport du coefficient d'absorption des rayons X à
just above an absorption edge to that at an energy une énergie située juste avant un saut d'absorption à
just below the edge celui obtenu à une énergie située juste après ce saut
NOTE X-ray absorption spectra can have complex NOTE Les spectres d'absorption des rayons X peuvent
shapes for X-ray energies in the vicinity of photoionization avoir des formes complexes pour les énergies de rayons X
thresholds, and a well-defined edge is not always observed proches des seuils de photo-ionisation et un saut
at the threshold. correctement défini n'est pas toujours observé au niveau
du seuil.
[ISO 18115:2001]
[ISO 18115:2001]
2.5.5 2.5.5
mass attenuation coefficient coefficient d'absorption massique
µ/ρ µ/ρ
material parameter that describes the loss of X-ray paramètre matériel qui décrit la perte d'intensité des
intensity during passage through matter, given by the rayons X pendant le passage dans la matière, donné
equation par l'équation suivante:
I/I = exp[–(µ/ρ)ρs] I/I = exp[–(µ/ρ)ρs]
0 0
where I is the incident X-ray intensity, I is the où I est l'intensité des rayons X incidents, I est
0 0
intensity remaining after passage through a l'intensité restante après traversée sur une
thickness s, in cm, of the material, µ is the linear épaisseur, s, en cm, du matériau, µ est le coefficient
absorption coefficient, ρ is the material density d'absorption linéaire, ρ est la masse volumique du
matériau
NOTE Its dimensions are area/mass (e.g. cm /g).
NOTE Les dimensions sont exprimées en unité de
surface par unité de masse (exemple: cm /g).

2.5.6 2.5.6
mass-depth distance profondeur massique
ρz ρz
description of a dimension in terms of the product of description d'une dimension comme produit de la
linear distance (cm) and density (g/cm ) distance linéaire (cm) et de la masse volumique
(g/cm )
NOTE It is expressed in grams per square centimetre.
NOTE Elle est exprimée en grammes par centimètre
carré.
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2.5.7 2.5.7
X-ray take-off angle angle d'émergence des rayons X
ψ ψ
angle between the sample surface and the central angle formé par la surface de l'échantillon et l'axe
axis of the X-ray spectrometer central du spectromètre X

2.6 2.6
X-ray spectrum spectre de rayons X
plot of the X-ray photon abundance as a function of courbe de l'intensité de photons X en tant que
the energy or wavelength fonction de l'énergie ou de la longueur d'onde
NOTE Most often, the number of photons/unit time is NOTE Le plus souvent, c'est le nombre de photons par
plotted, but other measures of the intensity are possible. unité de temps qui est représenté, mais d'autres mesures
de l'intensité sont possibles.

2.6.1 2.6.1
characteristic X-ray spectrum spectre de rayons X caractéristiques
X-ray peaks or lines associated with a particular pics ou raies X associés à une espèce d'atome en
atom species and generated as a result of inner shell particulier et générés par l'ionisation de la couche
ionization (caused by an energetic electron, ion or interne (causée par un photon, un ion ou un électron
photon) followed by inter-shell electron transitions énergétique), suivie de transitions électroniques
and emission of excess energy as a photon of entre couches et de l'émission d'énergie
electromagnetic radiation excédentaire sous forme d'un photon de radiation
électromagnétique
2.6.1.1 2.6.1.1
family of X-ray lines famille de raies X
systematic set of characteristic X-rays produced as a ensemble systématique de rayons X caractéristiques
result of all possible routes of ionization of a produits en tant que résultat de tous les trajets
particular shell/subshell and the subsequent inter- possibles d'ionisation d'une couche/sous-couche
shell electron transitions that occur particulière et des transitions électroniques entre les
couches qui se produisent par la suite

2.6.1.2 2.6.1.2
K-line raie K
one of the characteristic line emissions following une des émissions de raies caractéristiques
K-shell ionization provenant de l'ionisation de la couche K

2.6.1.3 2.6.1.3
K-spectrum spectre K
series of characteristic X-rays arising from ionization série de rayons X caractéristiques provenant de
of an electron bound in the K-shell of an atom l'ionisation de la couche K d'un atome

2.6.1.4 2.6.1.4
L-line raie L
one of the characteristic line emissions following une des émissions de raies caractéristiques
L-shell ionization provenant de l'ionisation de la couche L

2.6.1.5 2.6.1.5
L-spectrum spectre L
series of characteristic X-rays arising from ionization série de rayons X caractéristiques provenant de
of an electron bound in the L-shell of an atom l'ionisation des couches L d'un atome

2.6.1.6 2.6.1.6
M-line raie M
one of the characteristic line emissions following une des émissions de raies caractéristiques
M-shell ionization provenant de l'ionisation de la couche M

2.6.1.7 2.6.1.7
M-spectrum spectre M
series of characteristic X-rays arising from ionization série de rayons X caractéristiques provenant de
of an electron bound in the M-shell of an atom l'ionisation des couches M d'un atome

2.6.1.8 2.6.1.8
satellite line raie satellite
low relative abundance feature near a characteristic composante à abondance relative faible, proche d'un
peak that can result from any of a variety of pic caractéristique, qui peut résulter de l'un
processes or situations: “forbidden” transitions, “non- quelconque de divers processus ou situations:
diagram” lines and doubly-ionized atoms transitions «interdites», raies «hors diagramme» et
atomes doublement ionisés
2.6.1.9 2.6.1.9
X-ray line table  table de raies X
table of fundamental parameters for qualitative table des paramètres fondamentaux pour l'analyse
analysis by EPMA qualitative par EPMA
NOTE The X-ray line table for qualitative analysis by NOTE La table de raies X pour l'analyse qualitative par
EPMA contains the wavelengths (or energies) of K-, L- and EPMA contient les longueurs d'onde (ou énergies) des
M-lines of the elements to be analysed. It may also include raies K, L et M des éléments à analyser. Il peut inclure
their relative intensities, the full width at half maximum également leurs intensités relatives, la largeur à mi-
(FWHM) of each peak, the names of the diffraction crystals hauteur (FWHM) de chaque pic, les noms des cristaux de
used and their interplanar spacings, and the wavelengths diffraction utilisés et leur distance interplanaire, ainsi que
(or energies) of satellite lines. les longueurs d'onde (ou énergies) des raies satellites.

2.6.2 2.6.2
continuous X-ray spectrum spectre continu de rayons X
continuum continuum
bremsstrahlung bremsstrahlung
braking radiation rayonnement de freinage
non-characteristic X-ray spectrum created by spectre de rayons X non caractéristique créé par la
electron deceleration in the Coulombic field of an décélération d'électrons dans le champ coulombien
atom and having an energy distribution from 0 up to d'un atome et ayant une distribution en énergie
the incident beam energy E (Duane-Hunt limit) comprise entre 0 et l'énergie du faisceau incident E
0 0
(limite de Duane-Hunt)
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2.6.2.1 2.6.2.1
Duane-Hunt limit limite de Duane-Hunt
beam energy énergie du faisceau
E E
0 0
maximum photon energy found in the continuous énergie photonique maximale dans le spectre de
X-ray spectrum corresponding to complete rayons X continu, correspondant à la conversion
conversion of an incident electron's energy in a complète de l'énergie d'un électron incident en un
single event événement isolé
2.6.2.2 2.6.2.2
Kramers' law loi de Kramers
experimental observation of the intensity of the X-ray observation expérimentale de l'intensité du
continuum as a function of the incident electron continuum de rayons X en tant que fonction de
beam energy, the photon energy and the atomic l'énergie du faisceau d'électrons incident, de
number of the sample l'énergie photonique et du numéro atomique de
l'échantillon
3 Definitions of terms used to describe 3 Définitions de termes utilisés pour
EPMA instrumentation décrire l'instrumentation EPMA

3.1 3.1
electron optics optique électronique
system of electrostatic and electromagnetic lenses
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