Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum pump performance — Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps

This document specifies methods and special requirements for measuring the maximum tolerable pressure difference, effective compression ratio, compression ratio with zero throughput and overflow valve pressure difference of mechanical booster vacuum pumps. It applies to mechanical booster vacuum pumps employed for medium vacuum or rough vacuum applications including gas-cooled mechanical booster vacuum pump and multiple mechanical booster vacuum pump systems. It covers particular characteristics of mechanical boosters that are different from those of the usual positive displacement vacuum pumps. Maximum tolerable pressure difference Δpmax, effective compression ratio Keff, compression ratio with zero throughput K0 and overflow valve pressure difference Δp1 are special characteristics of the performance of mechanical booster vacuum pumps.

Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide — Partie 3: Paramètres spécifiques aux pompes à vide intermédiaires mécaniques

Le présent document spécifie les méthodes et les exigences particulières applicables aux pompes à vide intermédiaires mécaniques pour le mesurage de la différence maximale de pression admissible, du taux de compression effectif, du taux de compression avec une puissance d'aspiration nulle et de la différence de pression au niveau du robinet de trop-plein. Il s'applique aux pompes à vide intermédiaires mécaniques, utilisées pour des applications sous vide moyen ou vide primaire, y compris aux pompes à vide intermédiaires mécaniques refroidies au gaz et aux systèmes comprenant plusieurs pompes à vide intermédiaires mécaniques. Il couvre les caractéristiques particulières des surpresseurs mécaniques, qui sont différentes de celles des pompes à vide volumétriques habituelles. La différence maximale de pression admissible Δpmax, le taux de compression effectif Keff, le taux de compression avec une puissance d'aspiration nulle K0 et la différence de pression au niveau du robinet de trop-plein Δp1 sont des caractéristiques particulières de la performance des pompes à vide intermédiaires mécaniques.

General Information

Status
Published
Publication Date
29-Jan-2019
Current Stage
9020 - International Standard under periodical review
Start Date
15-Jan-2024
Completion Date
15-Jan-2024
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ISO 21360-3:2019 - Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum pump performance
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Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 21360-3
First edition
2019-01
Vacuum technology — Standard
methods for measuring vacuum pump
performance —
Part 3:
Specific parameters for mechanical
booster vacuum pumps
Technique du vide — Méthodes normalisées pour mesurer les
performances des pompes à vide —
Partie 3: Paramètres spécifiques aux pompes à vide intermédiaires
mécaniques
Reference number
ISO 21360-3:2019(E)
©
ISO 2019

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CH-1214 Vernier, Geneva
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Fax: +41 22 749 09 47
Email: copyright@iso.org
Website: www.iso.org
Published in Switzerland
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ISO 21360-3:2019(E)

Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Symbols . 2
5 Measurement conditions . 3
6 Experimental setup . 3
6.1 General . 3
6.2 Schematic diagram . 3
6.3 Test dome on test pump . 5
6.4 Buffer volume on backing line . 5
6.5 Vacuum gauges. 5
7 Test methods . 5
7.1 Measurement of maximum tolerable pressure difference, Δp . 5
max
7.1.1 General. 5
7.1.2 Measuring method . 5
7.1.3 Measuring procedure . 5
7.1.4 M
...

NORME ISO
INTERNATIONALE 21360-3
Première édition
2019-01
Technique du vide — Méthodes
normalisées pour mesurer les
performances des pompes à vide —
Partie 3:
Paramètres spécifiques aux pompes à
vide intermédiaires mécaniques
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum
pump performance —
Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps
Numéro de référence
ISO 21360-3:2019(F)
©
ISO 2019

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Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d'application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Symboles et termes abrégés . 2
5 Conditions de mesurage . 3
6 Configuration expérimentale . 3
6.1 Généralités . 3
6.2 Représentation schématique . 4
6.3 Dôme d'essai sur la pompe d'essai . 5
6.4 Volume tampon sur la conduite de refoulement . 5
6.5 Manomètres à vide . 5
7 Méthodes d'essai . 5
7.1 Mesurage de la différence maximale de pression admissible Δp .
max 5
7.1.1 Généralités . 5
7.1.2 Méthode de mesure . 5
7.1.3 Mode opératoire de mesure . 6
7.1.4 Incertitude de mesure .
...

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