Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal

This document specifies the metrological characteristics of areal instruments for measuring surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, most of the terms defined in this document can also be applied to profiling measurements.

Spécification géométrique des produits (GPS) -- État de surface: Surfacique

Le présent document spécifie les caractéristiques métrologiques des instruments de mesure des surfaces par topologie surfacique. Comme les profils de surface peuvent ętre extraits des images par topographie de surface, la plupart des termes définis dans le présent document peuvent également ętre appliqués aux mesures de profilage.

General Information

Status
Published
Publication Date
28-Feb-2019
Current Stage
6060 - International Standard published
Start Date
15-Jan-2019
Completion Date
01-Mar-2019
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ISO 25178-600:2019 - Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal
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ISO 25178-600:2019 - Spécification géométrique des produits (GPS) -- État de surface: Surfacique
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Standards Content (sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-600
First edition
2019-02
Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 600:
Metrological characteristics for areal
topography measuring methods
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 600: Caractéristiques métrologiques pour les méthodes de
mesure par topographie surfacique
Reference number
ISO 25178-600:2019(E)
ISO 2019
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 25178-600:2019(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2019

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be reproduced or utilized otherwise in any form or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting

on the internet or an intranet, without prior written permission. Permission can be requested from either ISO at the address

below or ISO’s member body in the country of the requester.
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Website: www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2019 – All rights reserved
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ISO 25178-600:2019(E)
Contents Page

Foreword ........................................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Scope ................................................................................................................................................................................................................................. 1

2 Normative references ...................................................................................................................................................................................... 1

3 Terms and definitions ..................................................................................................................................................................................... 1

3.1 All areal topography measuring methods ....................................................................................................................... 1

3.2 x- and y-scanning systems ......................................................................................................................................................... 10

3.3 Optical systems ....................................................................................................................................................................................11

3.4 Optical properties of the workpiece ..................................................................................................................................14

4 Standard metrological characteristics for surface texture measurement ............................................15

Annex A (informative) Maximum measurable local slope vs. A .........................................................................................16

Annex B (informative) Relation to the GPS matrix model ...........................................................................................................19

Bibliography .............................................................................................................................................................................................................................20

© ISO 2019 – All rights reserved iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 25178-600:2019(E)
Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards

bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out

through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical

committee has been established has the right to be represented on that committee. International

organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.

ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of

electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are

described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the

different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the

editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/directives).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of

patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of

any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or

on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/patents).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not

constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and

expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the

World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT) see www .iso

.org/iso/foreword .html.

This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product

specifications and verification.
A list of all parts in the ISO 25178 series can be found on the ISO website.

Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A

complete listing of these bodies can be found at www .iso .org/members .html.
iv © ISO 2019 – All rights reserved
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ISO 25178-600:2019(E)
Introduction

This document is a geometrical product specification standard and is to be regarded as a general GPS

standard (see ISO 14638). It influences the chain link F of the chains of standards on areal surface

texture and profile surface texture.

The ISO/GPS matrix model given in ISO 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this

document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and

the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to the specifications made in accordance with this

document, unless otherwise indicated.

For more detailed information of the relation of this document to other standards and the GPS matrix

model, see Annex B.

This document describes the metrological characteristics of areal topography methods designed for

the measurement of surface topography maps. Several standards (ISO 25178-601, ISO 25178-602,

ISO 25178-603, ISO 25178-604, ISO 25178-605 and ISO 25178-606) have already been developed

to define terms and metrological characteristics for individual methods. Although we have striven

for consistency throughout the series, some slight differences can appear between them. Therefore

Technical Committee ISO/TC 213 decided in 2012 to concentrate all common aspects into one standard

– this document – and to describe in ISO 25178-601 to ISO 25178-606 only the terms relevant to each

individual method. For the existing standards of ISO 25178-601 to ISO 25178-606 it will be necessary

to adapt this decision within the next revision. Until then it will be possible to have different definitions

for a single term. Further, if any differences between the current ISO 25178-601 to ISO 25178-606 are

discovered that give rise to conflict, then parties involved in the conflict should agree how to handle the

differences.

NOTE Portions of this document describe patented systems and methods. This information is provided

only to assist users in understanding basic principles of areal surface topography measuring instruments. This

document is not intended to establish priority for any intellectual property, nor does it imply a license to any

proprietary technologies described herein.
© ISO 2019 – All rights reserved v
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INTERNATIONAL STANDARD ISO 25178-600:2019(E)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface
texture: Areal —
Part 600:
Metrological characteristics for areal topography
measuring methods
1 Scope

This document specifies the metrological characteristics of areal instruments for measuring surface

topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, most of the

terms defined in this document can also be applied to profiling measurements.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

— ISO Online browsing platform: available at https: //www .iso .org/obp
— IEC Electropedia: available at http: //www .electropedia .org/
3.1 All areal topography measuring methods
3.1.1
areal reference

component of the instrument that generates a reference surface with respect to which the surface

topography is measured
3.1.2
coordinate system of the instrument
right handed orthogonal system of axes (x,y,z) consisting of:

— the z-axis oriented nominally parallel to the z-scan axis (for optical systems with z-scan), the

optical axis (for non-scanning optical systems) or the stylus trajectory (for stylus or scanning probe

instruments);
— an (x,y) plane perpendicular to the z-axis.
Note 1 to entry: See Figure 1.

Note 2 to entry: Normally, the x-axis is the tracing axis and the y-axis is the stepping axis. (Valid for instruments

that scan in the horizontal plane.)

Note 3 to entry: See also specification coordinate system [ISO 25178-2:2012, 3.1.2] and measurement coordinate

system [ISO 25178-6:2010, 3.1.1].

Note 4 to entry: Certain types of optical instruments do not possess a physical areal guide.

© ISO 2019 – All rights reserved 1
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ISO 25178-600:2019(E)

Note 5 to entry: The z-axis is sometimes referred to as the vertical axis, and the x- and y-axes are sometimes

referred to as the horizontal axes.
3.1.3
z-scan axis

instrument axis used to scan in the z-direction to measure the surface

topography

Note 1 to entry: The z-scan axis is nominally but not necessarily parallel to the z-axis of the coordinate system of

the instrument.
3.1.4
measurement area
area that is measured by a surface topography instrument

Note 1 to entry: For point optical sensors and stylus methods, the measurement area is typically the scan area of

the lateral translation stage(s). For topography microscopes the measurement area can be a single field of view

as determined by the objective or a larger area realized by stitching or only part of a field of view as specified by

the operator.

Note 2 to entry: For related concepts, evaluation area and definition area, see ISO 25178-2:2012, 3.1.9 and 3.1.10.

Key
1 coordinate system of the instrument
2 measurement loop
3 z-scan axis
Figure 1 — Coordinate system and measurement loop of the instrument
2 © ISO 2019 – All rights reserved
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ISO 25178-600:2019(E)
3.1.5
measurement loop

closed chain which comprises all components connecting the workpiece and the probe, for example the

means of positioning, the work holding fixture, the measuring stand, the drive unit and the probing system

Note 1 to entry: See Figure 1.

Note 2 to entry: The measurement loop will be subjected to external and internal disturbances that influence the

measurement uncertainty.
3.1.6
real surface

set of features which physically exist and separate the entire workpiece from the

surrounding medium

Note 1 to entry: The real surface is a mathematical representation of the surface that is independent of the

measurement process.

Note 2 to entry: See also mechanical surface [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 or ISO 14406:2010, 3.1.1] and

electromagnetic surface [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 or ISO 14406:2010, 3.1.2].

Note 3 to entry: The electro-magnetic surface determined with different optical methods can be different.

Examples of optical methods are found in ISO 25178-602 to ISO 25178-607.
[SOURCE: ISO 17450-1:2011, 3.1, modified — Notes to entry added.]
3.1.7
surface probe
device that converts the surface height into a signal during measurement
Note 1 to entry: In earlier standards this was termed transducer.
3.1.8
measuring volume

range of the instrument stated in terms of the limits on all three coordinates measurable by the

instrument

Note 1 to entry: For areal surface texture measuring instruments, the measuring volume is defined by:

— the measuring range of the x- and y- drive units;
— the measuring range of the z-probing system.
3.1.9
response function
F , F , F
x y z

function that describes the relation between the actual quantity and the measured quantity

Note 1 to entry: The response curve is the graphical representation of the response function. See Figure 2.

Note 2 to entry: An actual quantity in x (respectively y or z) corresponds to a measured quantity x (respectively

y or z ).
M M

Note 3 to entry: The response function can be used for adjustments and error corrections.

3.1.10
amplification coefficient
α , α , α
x y z
slope of the linear regression line obtained from the response function
Note 1 to entry: See Figure 2.

Note 2 to entry: There will be amplification coefficients applicable to the x, y and z quantities.

© ISO 2019 – All rights reserved 3
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ISO 25178-600:2019(E)

Note 3 to entry: The ideal response is a straight line with a slope equal to 1, which means that the values of the

measurand are equal to the values of the input quantities.
[10]
Note 4 to entry: See also sensitivity of a measuring system (VIM, 4.12 ).
Note 5 to entry: This quantity is also termed scaling factor.
3.1.11
linearity deviation
l , l , l
x y z

maximum local difference between the line from which the amplification coefficient is derived and the

response function
Note 1 to entry: For example, see element 4 in Figure 2.
Key
a actual input quantities
b measured quantities
0 coordinate origin
1 ideal response curve
2 actual response curve of the instrument
3 line from which the amplification coefficient α (slope) is calculated
4 local linearity deviation (l)
Figure 2 — Example of linearity deviation of a response curve
3.1.12
flatness deviation
FLT
deviation of the measured topography of an ideally flat object from a plane

Note 1 to entry: Flatness deviation can be caused by residual flatness of an imperfect areal reference or by

imperfection in the optical setup of an instrument.
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ISO 25178-600:2019(E)
3.1.13
x-y mapping deviation
Δ (x,y), Δ (x,y)
x y

gridded image of x- and y-deviations of actual coordinate positions on a surface from their nominal

positions

Note 1 to entry: The mapping deviations can be used to calculate the x- and y- linearity deviations, and x-y axis

perpendicularity.
3.1.14
instrument noise

internal noise added to the output signal caused by the instrument if ideally placed in a noise-free

environment

Note 1 to entry: Internal noise can be due to electronic noise, such as that arising in amplifiers, or optical noise,

such as that arising from stray light.

Note 2 to entry: The S-filter according to ISO 25178-3 can reduce the high spatial frequency components of

this noise.

Note 3 to entry: For some instruments, instrument noise cannot be completely separated from other types of

measurement noise because the instrument only takes data while moving. If so, any measured noise includes a

dynamic component. See also static noise (3.2.6) and dynamic noise (3.2.7).

Note 4 to entry: Because noise is a bandwidth-related quantity, its magnitude depends on the time over which it

is measured or averaged.
3.1.15
measurement noise

noise added to the output signal occurring during the normal use of the instrument

Note 1 to entry: 3.1.14 Notes to entry 2 and 4 also apply to this definition.

Note 2 to entry: Measurement noise includes the instrument noise as well as components arising from the

environment (thermal, vibration, air turbulence) and other sources.

Note 3 to entry: Figure 3 provides an illustration of typical sources of noise and shows the contrast between

laboratory conditions producing instrument noise and measurement noise.
3.1.16
surface topography repeatability

closeness of agreement between successive measurements of the same surface topography under the

same conditions of measurement

Note 1 to entry: Surface topography repeatability provides a measure of the likely agreement between repeated

measurements normally expressed as a standard deviation.
[10]

Note 2 to entry: See VIM , 2.15 and 2.21, for a general discussion of repeatability and related concepts.

Note 3 to entry: Evaluation of surface topography repeatability is a common method for estimating measurement

noise and other time-varying errors, such as drift.
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ISO 25178-600:2019(E)
3.1.17
x-sampling interval
distance between two adjacent measured points along the x-axis

Note 1 to entry: In many microscopy systems the sampling interval is determined by the distance between

[11]

sensor elements in a camera, called pixels , and by the magnification of the optical setup. For such systems, the

terms ‘pixel pitch’ and ‘pixel spacing’ are often used interchangeably with the term ‘sampling interval’. Another

term, ‘pixel width’, indicates a length associated with one side (x or y) of the sensitive area of a single pixel and is

always smaller than the pixel spacing.

Note 2 to entry: Another term, ‘sampling zone’, is sometimes used to indicate the length or region over which a

height sample is determined. This quantity can be different from the sampling interval.

Note 3 to entry: x is replaced by y in the term and the symbol when referring to the y-axis.

a) Conditions under which the instrument noise might be assessed for some types of

instruments
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ISO 25178-600:2019(E)

b) Conditions under which the measurement noise might be assessed for some types of

instruments
Key
A instrument D signal
B sample E environmental vibration
B′ sample plus interaction F external light sources
C data processing G thermal changes
Figure 3 — Typical sources of instrument noise and measurement noise
3.1.18
digitisation step in z

smallest height variation along the z-axis between two ordinates of the extracted surface

Note 1 to entry: The term extracted surface is defined in ISO 12180-1:2011, 3.2.1.

3.1.19
instrument transfer function
ITF
ITF

curve describing an instrument’s height response as a function of the spatial frequency of the surface

topography

Note 1 to entry: Ideally, the ITF tells us what the measured height of a sinusoidal grating of a specified spatial

frequency ν would be relative to the true height of the grating.

Note 2 to entry: For several types of optical instruments, the ITF can be a nonlinear function of height except for

heights much smaller than the optical wavelength.

Note 3 to entry: A number of methods can be used to characterize properties of the instrument transfer function

with a single parameter. See 3.1.20 for an introduction.
© ISO 2019 – All rights reserved 7
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ISO 25178-600:2019(E)
Note 4 to entry: See also References [12] and [13].
3.1.20
topographic spatial resolution

metrological characteristic describing the ability of a surface topography

measuring instrument to distinguish closely spaced surface features

Note 1 to entry: The topographic spatial resolution designates an important property of a surface topography

measuring instrument, but several parameters and functions can be used to actually quantify the topographic

spatial resolution, depending on the application and the method of measurement. These include:

— lateral period limit D (see 3.1.21 and ISO 25178-3);
LIM
— stylus tip radius r (see ISO 25178-601);
TIP
— lateral resolution R (see 3.1.22);
— width limit for full height transmission W (see 3.1.23);
— small scale fidelity limit T (see 3.1.27);
FIL
— Rayleigh criterion (see 3.3.8);
— Sparrow criterion (see 3.3.9);
— Abbe resolution limit (see 3.3.10).

Note 2 to entry: Other quantities can also be defined for characterizing topographic spatial resolution.

Note 3 to entry: Another related term is structural resolution.
3.1.21
lateral period limit
LIM

spatial period of a sinusoidal profile at which the height response of the instrument transfer function

falls to 50 %

Note 1 to entry: The lateral period limit is one measure for describing spatial or lateral resolution of a surface

topography measuring instrument and its ability to distinguish and measure closely spaced surface features.

The value of the lateral period limit depends on the heights of surface features and on the method used to probe

the surface. Maximum values for this parameter are listed in ISO 25178-3:2012, Table 3, in comparison with

recommended values for short wavelength (s-) filters and sampling intervals.

Note 2 to entry: Spatial period is the same concept as spatial wavelength and is the inverse of spatial frequency.

Note 3 to entry: One factor related to the value of D for optical tools is the Rayleigh criterion (3.3.8). Another

LIM
is the degree of focus of the objective on the surface.

Note 4 to entry: One factor related to the value of D for contact tools is the stylus tip radius, r (see

LIM TIP

ISO 25178-601). For a discussion of spatial resolution issues involving stylus instruments, see Reference [14].

3.1.22
lateral resolution
smallest distance between two features which can be recognized
3.1.23
width limit for full height transmission

width of the narrowest rectangular groove whose step height is measured within a given tolerance

Note 1 to entry: When evaluating R and W by measurement, instrument properties, such as

l l
— the sampling interval in x and y,
8 © ISO 2019 – All rights reserved
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ISO 25178-600:2019(E)
— the digitisation step in z, and
— the S-filter (see ISO 25178-2:2012, 3.1.4.1),
are normally chosen so that they do not influence the result.

Note 2 to entry: Implementation of this concept depends on both the width and step height of the grooved surface

used. When evaluating W by measurement, the depth of the rectangular groove is normally chosen to be close to

that of the surface to be measured.

Note 3 to entry: This concept is mainly useful for contacting (stylus) instruments. See Figure 4 for examples.

Note 4 to entry: For a discussion of spatial resolution issues related to measurement of sinusoidal surfaces by

stylus instruments, see Reference [14].
a) Rectangular grid with groove width t and depth d

b) Profile measured with a stylus instrument when t is greater than W ; the depth of the grid is

measured correctly

c) Profile measured when t is less than W ; the depth of the grid is attenuated and points in the

bottoms of the valleys are not accessible by the stylus
Key
t groove width
d groove depth
d′ measured groove depth
W width limit for full height transmission
Figure 4 — Examples of results for measurement of narrow grooves
3.1.24
maximum measurable local slope

greatest local slope of a surface feature that can be assessed by the probing system

Note 1 to entry: The term local slope is defined in ISO 4287:1997, 3.2.9.

Note 2 to entry: This property depends on both the surface texture to be measured and the measuring instrument.

For more information see Annex A.
© ISO 2019 – All rights reserved 9
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ISO 25178-600:2019(E)
3.1.25
hysteresis
x , y , z
HYS HYS HYS

property of measuring equipment, or characteristic whereby the indication of the equipment or value

of the characteristic depends on the orientation of the preceding stimuli

Note 1 to entry: Hysteresis can also depend, for example, on the distance travelled after the orientation of stimuli

has changed.

Note 2 to entry: For lateral scanning systems, the hysteresis is mainly a repositioning error.

[SOURCE: ISO 14978:2018, 3.5.11, modified — Notes to entry added.]
3.1.26
topography fidelity

closeness of agreement between a measured surface profile or

measured topography and one whose uncertainties are insignificant by comparison

Note 1 to entry: When the concept of topography fidelity is applied to profiles, the term profile fidelity is

sometimes used.
3.1.27
small scale fidelity limit
FIL

smallest lateral surface feature for which the reported topography parameters deviate from accepted

values by less than specified amounts
Note 1 to entry: Deviations can be positive or negative.

Note 2 to entry: A practical value for the maximum deviation could be 10 %, for example.

Note 3 to entry: This property depends on the type of surface feature under investigation.

3.1.28
metrological characteristic

characteristic of measuring equipment, which can influence the results of

measurement
[15][16][17]

Note 1 to entry: Calibration of metrological characteristics is often necessary .

Note 2 to entry: The metrological characteristics have an immediate contribution to measurement uncertainty.

[SOURCE: ISO 14978:2018, 3.5.2, modified — Notes to entry replaced.]
3.2 x- and y-scanning systems
3.2.1
areal reference guide

component(s) of the instrument that generate(s) the reference surface, in which the probing system

moves relative to the surface being measured according to a theoretically exact trajectory

Note 1 to entry: In the case of x- and y-scanning areal surface texture measuring instruments, the areal reference

guide establishes a reference surface [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. It can be achieved through the use of two linear

and perpendicular reference guides [ISO 3274:1996, 3.3.2] or one reference surface guide.

3.2.2
lateral scanning system

system that performs the scanning of the surface to be measured in the (x,y) plane

Note 1 to entry: There are essentially four components to a surface texture scanning instrument system: the

x-axis drive, the y-axis drive, the z-measurement probe and the surface to be measured.

10 © ISO 2019 – All rights reserved
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ISO 25178-600:2019(E)

Note 2 to entry: When a measurement consists of a single field of view of a microscope, x- and y-scanning is

not used. However, when several stationary fields of view, overlapping along the lateral directions, are linked

[18]

together by stitching methods , the system is customarily considered to be a scanning system.

3.2.3
x-drive unit

component of the instrument that moves the probing system or the surface being measured along the

reference guide on the x-axis and returns the horizontal position of the measured point in terms of the

lateral x-coordinate of the profile
Note 1 to entry: x is replaced by y in the term when referring to the y-axis.
3.2.4
lateral position sensor

component of the drive unit that provides the lateral position of the measured point

Note 1 to entry: The lateral position is customarily measured or inferred by using, for example, a linear encoder,

a laser interferometer or a counting device coupled with a micrometer screw.
3.2.5
speed of measurement

speed of the probing system relative to the surface to be measured during the measurement along

the x-axis
3.2.6
static noise

combination of the instrument noise (3.1.14) and environmental noise on the output signal when the

instrument is not scanning laterally

Note 1 to entry: Environmental noise is caused by, for example, seismic, sonic or external electromagnetic

disturbances.
Note 2 to entry: Notes to entry 2 and 4 in 3.1.14 also apply to this definition.
Note 3 to entry: Static noise is included in measurement noise (3.1.15).
3.2.7
dynamic noise
noise occurring during the motion of the drive units on the output signal
Note 1 to entry: Notes to entry 2 and 4 in 3.1.14 also apply to this definition.
Note 2 to entry: Dynamic noise includes static noise (3.2.6).
Note 3 to entry: Dynamic noise is included in measurement noise (3.1.15).
3.3 Optical systems
3.3.1
light source

optical device emitting light with an appropriate range of wavelengths in a specified spectral region

3.3.2
measurement optical bandwidth
range of wavelengths of light used to measure a surface

Note 1 to entry: Instruments are normally constructed with light sources with a limited optical bandwidth and/

or with additional filter elements to further limit the optical bandwidth.
© ISO 2019 – All rights reserved 11
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ISO 25178-600:2019(E)

Note 2 to entry: Bandwidth is quantifiable in different ways, such as the full width at half maximum (FWHM) or

the fu
...

NORME ISO
INTERNATIONALE25178-600
Première édition
2019-02
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 600:
Caractéristiques métrologiques
pour les méthodes de mesure par
topographie surfacique
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 600: Metrological characteristics for areal topography
measuring methods
Numéro de référence
ISO 25178-600:2019(F)
ISO 2019
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publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,

y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut

être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.

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Sommaire Page

Avant-propos ..............................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Domaine d'application ...................................................................................................................................................................................1

2 Références normatives ...................................................................................................................................................................................1

3 Termes et définitions .......................................................................................................................................................................................1

3.1 Toutes les méthodes de mesure par topographie surfacique ......................................................................... 1

3.2 Systèmes de balayage x et y .......................................................................................................................................................11

3.3 Systèmes optiques .............................................................................................................................................................................12

3.4 Propriétés optiques de la pièce .............................................................................................................................................14

4 Caractéristiques métrologiques standard pour la mesure de l'état de surface ..............................15

Annexe A (informative) Pente locale mesurable maximale en fonction de A ......................................................17

Annexe B (informative) Relation avec le modèle de matrice GPS........................................................................................20

Bibliographie ...........................................................................................................................................................................................................................21

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Avant-propos

L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes

nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est

en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude

a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,

gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.

L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui

concerne la normalisation électrotechnique.

Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont

décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents

critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été

rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www

.iso .org/directives).

L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de

droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable

de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant

les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de

l'élaboration du document sont indiqués dans l'Introduction et/ou dans la liste des déclarations de

brevets reçues par l’ISO (voir www .iso .org/patents).

Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données

pour information, par souci de commodité à l'intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un

engagement.

Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l'ISO liés à l'évaluation

de la conformité, ou pour toute information au sujet de l'adhésion de l'ISO aux principes de l'Organisation

mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles techniques au commerce (OTC) voir www .iso

.org/iso/foreword .html.

Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 213, Spécifications et vérification

dimensionnelles et géométriques des produits.

Une liste de toutes les parties de la série de normes ISO 25178 peut être consultée sur le site de l'ISO.

Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent

document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes

se trouve à l’adresse www .iso .org/members .html.
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ISO 25178-600:2019(F)
Introduction

Le présent document est une norme traitant de la spécification géométrique des produits et doit être

considérée comme une norme GPS générale (voir l'ISO 14638). Elle influence le maillon F de la chaîne de

normes concernant l'état de surface surfacique et l'état de surface du profil.

Le modèle de matrice ISO/GPS de l'ISO 14638 donne une vue d'ensemble du système ISO/GPS, dont le

présent document fait partie. Les principes fondamentaux du système ISO/GPS donnés dans l'ISO 8015

s'appliquent au présent document et les règles de décision par défaut données dans l'ISO 14253-1

s'appliquent aux spécifications faites conformément au présent document, sauf indication contraire.

Pour de plus amples informations sur la relation du présent document avec les autres normes et le

modèle de matrice GPS, voir l'Annexe B.

Le présent document décrit les caractéristiques métrologiques des méthodes par topographie surfacique

conçues pour réaliser des mesurages sur des cartes topographiques de surfaces. Plusieurs normes

(ISO 25178-601, ISO 25178-602, ISO 25178-603, ISO 25178-604, ISO 25178-605, et ISO 25178-606) ont

déjà été développées pour définir des termes et des caractéristiques métrologiques pour des méthodes

individuelles. Bien que tous les efforts nécessaires aient été déployés pour assurer une certaine

cohérence entre les séries, de légères différences peuvent apparaître entre elles. C'est pour cela que

le comité ISO/TC 213 a décidé en 2012 de regrouper tous les aspects communs dans une norme, le

présent document, et de ne décrire dans l'ISO 25178-601 à ISO 25178-606 que les termes se rapportant

à chaque méthode individuelle. Pour les normes existantes de la série ISO 25178-601 à ISO 25178-606,

il sera nécessaire d'adapter cette décision dans la prochaine révision. En attendant, il est possible qu'il y

ait des références différentes pour un seul terme. En outre, si l'on constate qu'il existe, entre les normes

ISO 25178-601 à ISO 25178-606 actuelles, des différences donnant lieu à un litige, il convient que les

parties concernées s'entendent sur la manière de traiter ces différences.

NOTE Certaines parties du présent document peuvent décrire des systèmes et des méthodes brevetés.

Cette information est donnée uniquement pour aider les utilisateurs à mieux comprendre les principes de base

des instruments de mesure des surfaces par topographie surfacique. Le présent document n'est ni destiné à

privilégier un quelconque droit de propriété intellectuelle, ni ne concède de licence d'utilisation de techniques

brevetées susceptibles d'y être décrites.
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NORME INTERNATIONALE ISO 25178-600:2019(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 600:
Caractéristiques métrologiques pour les méthodes de
mesure par topographie surfacique
1 Domaine d'application

Le présent document spécifie les caractéristiques métrologiques des instruments de mesure des

surfaces par topologie surfacique. Comme les profils de surface peuvent être extraits des images par

topographie de surface, la plupart des termes définis dans le présent document peuvent également être

appliqués aux mesures de profilage.
2 Références normatives
Le présent document ne contient pas de références normatives.
3 Termes et définitions

Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s'appliquent.

L'ISO et l'IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en

normalisation, consultables aux adresses suivantes :

— ISO Online browsing platform : disponible à l’adresse http: //www .iso .org/obp

— IEC Electropedia : disponible à l’adresse http: //www .electropedia .org/
3.1 Toutes les méthodes de mesure par topographie surfacique
3.1.1
référence surfacique

composant de l'instrument générant la surface de référence par rapport à laquelle la topographie de

surface est mesurée
3.1.2
système de coordonnées de l'instrument
système d'axes (x,y,z) de coordonnées orthogonales de sens direct comprenant :

— l'axe z orienté nominalement parallèle à l'axe de balayage vertical z (pour les systèmes optiques à

balayage vertical z), l'axe optique (pour les systèmes optiques sans balayage) ou la trajectoire du

stylet (pour les instruments à stylet ou à palpeur)
— un plan (x,y) perpendiculaire à l'axe z.
Note 1 à l'article: Voir Figure 1.

Note 2 à l'article: Normalement, l'axe x est l'axe d'avance et l'axe y celui de déplacement. (La présente Note à

l'article est valable pour les instruments à balayage dans le plan horizontal.)

Note 3 à l'article: Voir également système de coordonnées de spécification [ISO 25178-2:2012, 3.1.2] et système de

coordonnées du mesurage [ISO 25178-6:2010, 3.1.1].
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Note 4 à l'article: Certain types d'instruments optiques ne possèdent pas de guide surfacique physique.

Note 5 à l'article: L'axe z est parfois appelé axe vertical, et les axes x et y sont parfois appelés axes horizontaux.

3.1.3
axe de balayage z

axe d'instrument utilisé pour balayer dans la direction z pour mesurer la

topographie de surface

Note 1 à l'article: L'axe de balayage z est nominalement mais pas nécessairement parallèle à l'axe z du système de

coordonnées de l'instrument.
3.1.4
aire de mesure
aire mesurée par un instrument de mesure de topographie de surface

Note 1 à l'article: Pour les méthodes utilisant des capteurs optiques de points et des stylets, l'aire de mesure est

en général l'aire de balayage de la ou des étapes de translation latérale. Pour les microscopes de caractérisation

de topographie de surface, l'aire de mesure peut être un champ de vision unique tel que déterminé par l'objectif,

une aire plus étendue réalisée par montage, ou seulement une partie d'un champ de vision telle que spécifiée par

l'opérateur.

Note 2 à l'article: Pour les concepts associés, aire d'évaluation et aire de définition, voir l'ISO 25178-2:2012, 3.1.9

et 3.1.10.
Légende
1 système de coordonnées de l'instrument
2 boucle de mesure
3 axe de balayage z
Figure 1 — Système de coordonnées et boucle de mesure de l'instrument
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3.1.5
boucle de mesure

chaine fermée comprenant tous les composants connectant la pièce et le palpeur, par exemple le

matériel de positionnement, le dispositif de serrage de la pièce, la table de mesure, les unités d'avance et

de déplacement transversal, le système de palpage
Note 1 à l'article: Voir Figure 1.

Note 2 à l'article: La boucle de mesure est soumise à des perturbations extérieures et intérieures qui influencent

l'incertitude de mesure.
3.1.6
surface réelle

ensemble des éléments géométriques qui existent physiquement et séparent la totalité de

la pièce de son environnement

Note 1 à l'article: La surface réelle est une représentation mathématique de la surface qui est indépendante du

processus de mesurage.

Note 2 à l'article: Voir aussi surface mécanique [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 ou ISO 14406:2010, 3.1.1] et surface

électromagnétique [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 ou ISO 14406:2010, 3.1.2].

Note 3 à l'article: La surface électromagnétique déterminée avec différentes méthodes optiques peut être

différente. Des exemples de méthodes optiques se trouvent dans l'ISO 25178-602 à ISO 25178-607.

[SOURCE: ISO 17450-1:2011, 3.1, modifié — Notes à l'article ajoutées.]
3.1.7
palpeur de surface
dispositif convertissant la hauteur de surface en un signal pendant le mesurage

Note 1 à l'article: Dans les normes antérieures, ce dispositif était appelé transducteur.

3.1.8
volume de mesure

étendue de l'instrument définie par les limites de l'ensemble des trois coordonnées mesurables par

l'instrument

Note 1 à l'article: Pour les instruments mesurant l'état de surface surfacique, le volume de mesure est défini par :

— l'étendue de mesure des unités d'avance x et de déplacement transversal y;
— l'étendue de mesure du système de palpage z.
3.1.9
fonction de réponse
F , F , F
x y z
fonction décrivant la relation entre la grandeur réelle et la grandeur mesurée

Note 1 à l'article: La courbe de réponse est la représentation graphique de la fonction de réponse. Voir la Figure 2.

Note 2 à l'article: Une grandeur réelle en x (respectivement y ou z) correspond à une grandeur mesurée x

(respectivement y ou z ).
M M

Note 3 à l'article: La fonction de réponse peut être utilisée pour l'ajustage et la correction des erreurs.

3.1.10
coefficient d'amplification

α , α , α pente de la droite de régression linéaire obtenue à partir de la fonction de réponse

x y z
Note 1 à l'article: Voir Figure 2.

Note 2 à l'article: Il y aura des coefficients d'amplification applicables aux grandeurs en x, y et z.

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Note 3 à l'article: La réponse idéale est une droite de pente égale à 1, signifiant que les valeurs du mesurande sont

égales aux valeurs des grandeurs d'entrée.
[10]
Note 4 à l'article: Voir aussi sensibilité d'un système de mesure (VIM, 4.12 ).
Note 5 à l'article: Cette quantité est également appelée facteur d'échelle.
3.1.11
écart de linéarité
l , l , l
x y z

différence locale maximale entre la droite à partir de laquelle est calculé le coefficient d'amplification et

la fonction de réponse
Note 1 à l'article: Par exemple, voir l'élément 4 dans la Figure 2.
Légende
a grandeurs réelles d'entrée
b grandeurs mesurées
0 origine des coordonnées
1 courbe de réponse idéale
2 courbe de réponse réelle de l'instrument

3 ligne à partir de laquelle le coefficient d'amplification α (pente) est calculé

4 écart local de linéarité (l)
Figure 2 — Exemple d'écart de linéarité d'une courbe de réponse
3.1.12
écart de planéité
FLT
écart de la topographie mesurée par rapport à un plan idéal

Note 1 à l'article: L'écart de planéité peut être dû à une référence surfacique imparfaite, à des configurations

optiques dans l'instrument, ou à la planéité résiduelle.
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3.1.13
écart de cartographie x-y
Δ (x,y), Δ (x,y)
x y

image quadrillée des écarts x et y des positions de coordonnées réelles sur une surface par rapport à

leurs positions nominales

Note 1 à l'article: Les écarts de cartographie peuvent être utilisés pour calculer les écarts de linéarité x- et y- et la

perpendicularité de l'axe x-y.
3.1.14
bruit de l'instrument

bruit interne ajouté au signal de sortie, causé par l'instrument lorsqu'il est placé de façon idéale dans un

environnement non générateur de bruit

Note 1 à l'article: Le bruit interne peut être dû au bruit électronique, tel que celui des amplificateurs, ou au bruit

optique, tel que celui de la lumière parasite.

Note 2 à l'article: Le filtre S spécifié dans l'ISO 25178-3 peut réduire les composantes de fréquence spatiale élevée

de ce bruit.

Note 3 à l'article: Pour certains instruments, le bruit de l'instrument ne peut pas être totalement séparé des

autres types de bruit de mesure car l'instrument ne recueille des données que lorsqu'il se déplace. Dans ce cas,

tout bruit mesuré comprend une composante dynamique. Voir également bruit statique (3.2.6) et bruit dynamique

(3.2.7).

Note 4 à l'article: Étant donné que le bruit est une grandeur liée à la largeur de bande, son amplitude dépend de la

durée pendant laquelle elle est mesurée ou moyennée.
3.1.15
bruit de mesure

bruit ajouté au signal de sortie, survenant en cours d'utilisation normale de l'instrument

Note 1 à l'article: Les Notes 2 et 4 en 3.1.14 s'appliquent aussi à cette définition.

Note 2 à l'article: Le bruit de mesure inclut le bruit de l'instrument ainsi que les composantes issues du milieu

environnant (variations thermiques, vibrations ambiantes, turbulence de l'air) et d'autres sources.

Note 3 à l'article: La Figure 3 fournit une illustration des sources habituelles de bruit et montre le contraste entre

les conditions de laboratoire générant un bruit d'instrument et un bruit de mesure.

3.1.16
répétabilité de la topographie d'une surface

étroitesse de la correspondance entre les mesurages successifs de la même topographie de surface dans

les mêmes conditions de mesure

Note 1 à l'article: La répétabilité topographique de la surface fournit une mesure de la correspondance possible

entre les mesurages répétés, généralement décrits comme un écart-type.
[1]

Note 2 à l'article: Voir le VIM, 2.15 et 2.21, pour une discussion générale sur la répétabilité et les concepts sous-

jacents.

Note 3 à l'article: L'évaluation de la répétabilité de la topographie d'une surface est une méthode courante

d'estimation du bruit de mesure et d'autres erreurs variables telles que la dérive.

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ISO 25178-600:2019(F)
3.1.17
pas d’échantillonnage x
distance entre deux points adjacents mesurés suivant l'axe x

Note 1 à l'article: Pour de nombreux systèmes de microscopie, le pas d'échantillonnage est déterminé par la distance

[11]

entre les éléments de capteur dans une caméra, appelés pixels, et par le grossissement du dispositif optique. Pour

ces systèmes, les termes « pas de pixel » et « espacement entre les pixels » sont souvent employés indifféremment

avec le terme « pas d'échantillonnage ». Un autre terme, largeur de pixel, indique une longueur associée à un côté (x

ou y) de la zone sensible d'un seul pixel et est toujours plus petite que l'espacement entre les pixels.

Note 2 à l'article: 1 à l'article: Un autre terme, zone d'échantillonnage, peut être utilisé pour désigner la longueur

ou la zone dans laquelle un échantillon de hauteur est déterminé. Cette grandeur peut être supérieure ou

inférieure au pas d'échantillonnage.

Note 3 à l'article: x est remplacé par y dans le terme et le symbole lorsqu'il s'agit de l'axe y.

a) Conditions dans lesquelles le bruit de l'instrument peut être évalué pour certains types

d'instruments
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b) Conditions dans lesquelles le bruit de l'instrument peut être évalué pour certains types

d'instruments
Légende
A instrument D signal
B échantillon E vibrations ambiantes
B′ échantillon plus interaction F sources lumineuses externes
C traitement des données G variations thermiques
Figure 3 — Sources typiques du bruit des instruments et du bruit de mesure
3.1.18
pas de numérisation en z

plus petite variation de hauteur suivant l'axe z entre deux ordonnées de la surface extraite

Note 1 à l'article: Le terme surface extraite est défini dans l'ISO 12180-1:2011, 3.2.1.

3.1.19
fonction de transfert de l'instrument
ITF
ITF

courbe décrivant la réponse en hauteur d'un instrument en fonction de la fréquence spatiale de la

topographie de la surface

Note 1 à l'article: Idéalement, l'ITF indique quelle serait la hauteur mesurée d'un réseau sinusoïdal à une fréquence

spatiale spécifiée ν par rapport à la hauteur réelle du réseau.

Note 2 à l'article: Pour plusieurs types d'instruments optiques, l'ITF peut être une fonction non linéaire de la

hauteur, excepté lorsque les hauteurs sont beaucoup plus petites que la longueur d'onde optique.

Note 3 à l'article: Plusieurs méthodes peuvent être utilisées pour caractériser les propriétés de la fonction de

transfert de l'instrument avec un seul paramètre. Voir 3.1.20 ci-dessous pour une introduction.

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ISO 25178-600:2019(F)
Note 4 à l'article: Voir également les références [12] et [13].
3.1.20
résolution spatiale topographique

caractéristique métrologique décrivant la capacité d'un instrument de

mesure de topographie de surface à distinguer des éléments de surface proches

Note 1 à l'article: La résolution spatiale topographique désigne une importante propriété d'un instrument de

mesure de topographie de surface, mais plusieurs paramètres et fonctions peuvent être utilisés pour quantifier

réellement la résolution spatiale topographique, selon l'application et la méthode de mesure. Ces paramètres et

fonctions comprennent :
— la période latérale limite D (voir 3.1.21 et ISO 25178-3);
LIM
— le rayon de la touche du stylet r (voir ISO 25178-601);
TIP
— la résolution latérale R (voir 3.1.22);
— la largeur limite pour une transmission de la hauteur totale W (voir 3.1.23);
— la limite de fidélité à petite échelle T (voir 3.1.27);
FIL
— le critère de Rayleigh (voir 3.3.8);
— le critère de Sparrow (voir 3.3.9);
— la limite de résolution d'Abbe (voir 3.3.10).

Note 2 à l'article: D'autres grandeurs peuvent être également définies pour caractériser la résolution spatiale

topographique.

Note 3 à l'article: Un autre terme lié à la résolution spatiale topographique est la résolution structurelle.

3.1.21
période latérale limite
LIM

période spatiale d'un profil sinusoïdal à laquelle la réponse en hauteur de la fonction de transfert de

l'instrument chute à 50 %

Note 1 à l'article: La période latérale limite est une mesure permettant de décrire la résolution spatiale ou latérale

d'un instrument de mesure de la topographie d'une surface et ses capacités à distinguer et mesurer des éléments

de surface proches. La valeur de la période latérale limite dépend des hauteurs des éléments de surface et de la

méthode utilisée pour sonder la surface. Les valeurs maximales de ce paramètre sont données dans le Tableau 3

de l'ISO 25178-3, en comparaison avec les valeurs recommandées pour les filtres (s) à longueurs d'onde courtes et

les pas d'échantillonnage.

Note 2 à l'article: La période spatiale est le même concept que celui de longueur d'onde spatiale et est l’inverse de

la fréquence spatiale.

Note 3 à l'article: Un facteur lié à la valeur de D pour les outils optiques est le critère de Rayleigh (3.3.7). Un

LIM
autre facteur est le degré de focalisation de l'objectif sur la surface.

Note 4 à l'article: Un facteur lié à la valeur de D pour les palpeurs de contact est le rayon de la touche du

LIM

stylet, r (voir ISO 25178-601). Pour un examen des questions liées à la résolution spatiale et impliquant les

TIP
instruments à stylet, voir [14].
3.1.22
résolution latérale
plus petite distance pouvant être reconnue entre deux éléments de surface
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ISO 25178-600:2019(F)
3.1.23
largeur limite pour une transmission de la hauteur totale

plus petite largeur de rainure rectangulaire dont la hauteur de marche est mesurée dans une zone de

tolérance donnée

Note 1 à l'article: Lors de l'évaluation de R et W par mesurage, il convient que les propriétés telles que :

l l
— le pas d'échantillonnage en x et y,
— le pas de numérisation en z,
— le filtre S (voir ISO 25178-2:2012, 3.1.4.1)
soient choisies de sorte qu'elles n'influencent pas le résultat.

Note 2 à l'article: La mise en œuvre de ce concept dépend à la fois de la largeur et de la hauteur de marche de la

surface rainurée utilisée. Lors de l'évaluation de W par mesurage, il convient que la profondeur de la rainure

rectangulaire soit proche de celle de la surface à mesurer.

Note 3 à l'article: Ce concept est principalement utilisé pour les instruments à contact (à palpeur). Voir la Figure 4

pour des exemples.

Note 4 à l'article: Pour un examen des questions liées à la résolution spatiale impliquant les mesurages de surfaces

sinusoïdales par des instruments à stylet, voir [14].
a) Grille rectangulaire avec rainures de largeur t et de profondeur d

b) Profil mesuré à l'aide d'un instrument à stylet lorsque t est supérieure à W : la profondeur de

la grille est mesurée correctement

c) Profil mesuré lorsque t est inférieure à W : la profondeur de la grille est atténuée et les

points situés au fond des creux ne sont pas accessibles par le stylet
Légende
t largeur de rainure
d profondeur de rainure
d′ profondeur de rainure mesurée
W largeur limite pour une transmission de la hauteur totale
Figure 4 — Exemples de résultats pour la mesure de rainures étroites
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ISO 25178-600:2019(F)
3.1.24
pente locale mesurable maximale

pente locale la plus raide d'un élément de surface pouvant être évaluée par le système de palpage

Note 1 à l'article: Le terme « pente locale » est défini dans l'ISO 4287:1997, 3.2.9.

Note 2 à l'article: Cette propriété dépend à la fois de l'état de surface à mesurer et de l'instrument de mesure.

Pour plus d’information, voir l’Annexe A.
3.1.25
hysteresis
x , y , z
HYS HYS HYS

propriété d'un équipement de mesure, ou caractéristique par laquelle l'indication de l'équipement ou la

valeur de la caractéristique dépend de l'orientation des stimuli précédents

Note 1 à l'article: L'hystérésis peut également dépendre, par exemple, de la longueur du déplacement après

modification de l'orientation des signaux d'entrée.

Note 2 à l'article: Pour les systèmes de balayage latéral, l'hystérésis est principalement une erreur de

repositionnement.
[SOURCE: ISO 14978:2018, 3.5.11, modifié — Notes à l’article ajoutées.]
3.1.26
fidélité de topographie

étroitesse de la correspondance entre un profil

de surface mesuré ou une topographie mesurée et celui (celle) dont les incertitudes ne sont pas

significatives par comparaison

Note 1 à l'article: Lorsque le concept de fidélité de topographie est appliqué à des profils, le terme «fidélité de

profil» peut être utilisé.
3.1.27
limité de fidélité à petite échelle
FIL

accepted values by less than specified amounts le plus petit élément de la surface latérale pour laquelle

les paramètres topographiques rapportés s'écartent des valeurs acceptées d‘un niveau inférieur aux

valeurs spécifiées
Note 1 à l'article: Les écarts peuvent être positifs ou négatifs.

Note 2 à l'article: Une valeur pratique pour l'écart maximal serait de 10 % par exemple.

Note 3 à l'article: Cette propriété dépend du type d'élément de surface étudié.
3.1.28
caractéristique métrologique

<équipement de mesure> caractéristique susceptible d'avoir une influence sur les résultats de mesurage

[15][16][17]

Note 1 à l'article: L'étalonnage des caractéristiques métrologiques peut s'avérer nécessaire .

Note 2 à l'article: Les caractéristiques métrologiques ont une contribution immédiate à l'incertitude de mesure.

[SOURCE: ISO 14978:2018, 3.5.2, modifiée — Notes à l’article remplacées.]
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3.2 Systèmes de balayage x et y
3.2.1
référence de guidage surfacique

composant(s) de l'instrument générant la surface de référence sur laquelle le système de palpage se

déplace suivant une trajectoire théoriquem
...

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