Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 607: Nominal characteristics of non-contact (confocal microscopy) instruments

This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.

Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 607: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopie confocale)

Le présent document décrit les grandeurs d'influence et les caractéristiques des instruments utilisés dans les systèmes de microscopie confocale (MC) pour le mesurage surfacique de la topographie des surfaces. Comme les profils de surface peuvent être extraits des images par topographie de surface, les métodes décrites dans le présent document peuvent également être appliqués aux mesures de profilage

General Information

Status
Published
Publication Date
04-Mar-2019
Current Stage
9020 - International Standard under periodical review
Start Date
15-Jan-2024
Completion Date
15-Jan-2024
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ISO 25178-607:2019 - Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal
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Standards Content (Sample)

INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-607
First edition
2019-03
Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 607:
Nominal characteristics of non-contact
(confocal microscopy) instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 607: Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(microscopie confocale)
Reference number
ISO 25178-607:2019(E)
©
ISO 2019

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Website: www.iso.org
Published in Switzerland
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ISO 25178-607:2019(E)

Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Descriptions of the influence quantities . 5
Annex A (informative) Classification of in-plane scanning techniques for confocal microscopes .7
Annex B (informative) Theory of operation of confocal microscopes .13
Annex C (informative) Thin and thick films with confocal microscopes.17
Annex D (informative) Relation to the GPS matrix model .19
Bibliography .20
© ISO 2019 – All rights reserved iii

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Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/patents).
Any trade name used i
...

NORME ISO
INTERNATIONALE25178-607
Première édition
2019-03
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 607:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (microscopie
confocale)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 607: Nominal characteristics of non-contact (confocal
microscopy) instruments
Numéro de référence
ISO 25178-607:2019(F)
©
ISO 2019

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Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d'application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions .1
4 Descriptions des grandeurs d'influence .5
Annexe A (informative) Classification des techniques de balayage dans le planpour les
microscopes confocaux .8
Annexe B (informative) Théorie de fonctionnement des microscopes confocaux .14
Annexe C (informative) Mesurages de couches minces et de couches épaisses avec des
microscopes confocaux .18
Annexe D (informative) Relation avec le modèle de matrice GPS .20
Bibliographie .21
© ISO 2019 – Tous droits réservés iii

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Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux.
L'ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d'approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/directives).
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments
...

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