ISO 25178-605:2014
(Main)Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
ISO 25178-605:2014 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for measuring surface texture using point autofocus probing.
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)
l'ISO 25178-605:2014 décrit les caractéristiques métrologiques d'un instrument sans contact pour le mesurage de l'état de surface à l'aide d'un capteur autofocus à point.
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DRAFT INTERNATIONAL STANDARD ISO/DIS 25178-605
ISO/TC 213 Secretariat: DS
Voting begins on Voting terminates on
2011-10-06 2012-03-06
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATION МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ ORGANISATION INTERNATIONALE DE NORMALISATION
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture:
Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe)
instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur autofocus à point)
ICS 17.040.20
ISO/CEN PARALLEL PROCESSING
This draft has been developed within the International Organization for Standardization (ISO), and
processed under the ISO-lead mode of collaboration as defined in the Vienna Agreement.
This draft is hereby submitted to the ISO member bodies and to the CEN member bodies for a parallel
five-month enquiry.
Should this draft be accepted, a final draft, established on the basis of comments received, will be
submitted to a parallel two-month approval vote in ISO and formal vote in CEN.
To expedite distribution, this document is circulated as received from the committee
secretariat. ISO Central Secretariat work of editing and text composition will be undertaken at
publication stage.
Pour accélérer la distribution, le présent document est distribué tel qu'il est parvenu du
secrétariat du comité. Le travail de rédaction et de composition de texte sera effectué au
Secrétariat central de l'ISO au stade de publication.
THIS DOCUMENT IS A DRAFT CIRCULATED FOR COMMENT AND APPROVAL. IT IS THEREFORE SUBJECT TO CHANGE AND MAY NOT BE
REFERRED TO AS AN INTERNATIONAL STANDARD UNTIL PUBLISHED AS SUCH.
IN ADDITION TO THEIR EVALUATION AS BEING ACCEPTABLE FOR INDUSTRIAL, TECHNOLOGICAL, COMMERCIAL AND USER PURPOSES,
DRAFT INTERNATIONAL STANDARDS MAY ON OCCASION HAVE TO BE CONSIDERED IN THE LIGHT OF THEIR POTENTIAL TO BECOME
STANDARDS TO WHICH REFERENCE MAY BE MADE IN NATIONAL REGULATIONS.
RECIPIENTS OF THIS DRAFT ARE INVITED TO SUBMIT, WITH THEIR COMMENTS, NOTIFICATION OF ANY RELEVANT PATENT RIGHTS OF WHICH
THEY ARE AWARE AND TO PROVIDE SUPPORTING DOCUMENTATION.
© International Organization for Standardization, 2011
ISO/DIS 25178-605
Copyright notice
This ISO document is a Draft International Standard and is copyright-protected by ISO. Except as permitted
under the applicable laws of the user’s country, neither this ISO draft nor any extract from it may be
reproduced, stored in a retrieval system or transmitted in any form or by any means, electronic,
photocopying, recording or otherwise, without prior written permission being secured.
Requests for permission to reproduce should be addressed to either ISO at the address below or ISO’s
member body in the country of the requester.
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Case postale 56 CH-1211 Geneva 20
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Violators may be prosecuted.
ii © ISO 2011 – All rights reserved
ISO/DIS 25178-605
Contents Page
Foreword .iv
Introduction.vi
1 Scope.1
2 Normative references.1
3 Terms and definitions .2
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods.2
3.2 Terms and definitions related to x and y scanning systems.9
3.3 Terms and definitions related to optical systems.10
3.4 Terms and definitions specific to optical properties of the workpiece .11
3.5 Terms and definitions specific to point autofocus profiling.12
4 Descriptions of the influence quantities.13
4.1 General .13
4.2 Overview.13
4.3 Influence quantities.14
Annex A (normative) Classification of the different configurations for areal surface texture
scanning instrument .15
Annex B (informative) General principles .16
Annex C (informative) Spot size and focal shift.18
Annex D (informative) Beam offset direction and maximum acceptable local slope .20
Annex E (informative) Features of an areal surface texture measuring instrument.22
Annex F (informative) Others.24
Annex G (informative) Relation to the GPS matrix .25
Bibliography.26
ISO/DIS 25178-605
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the
International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 25178-605 was prepared by Technical Committee ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification.
ISO 25178 consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications (GPS) —
Surface texture : Areal:
⎯ Part 1: Indication of surface texture
⎯ Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
⎯ Part 3: Specification operators
⎯ Part 4: Comparison rules
⎯ Part 5: Verification operators
⎯ Part 6: Classification of methods for measuring surface texture
⎯ Part 7: Software measurement standards
⎯ Part 70: Material measures
⎯ Part 71: Part 71: STF softgage file format
⎯ Part 601: Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
⎯ Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
⎯ Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments
⎯ Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
⎯ Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
⎯ Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
iv © ISO 2011 – All rights reserved
ISO/DIS 25178-605
⎯ Part 701: Calibration and measurement standards for contact (stylus) instruments
⎯ Part 702 Calibration of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
⎯ Part 703: Calibration and measurement standards for non-contact (interferometric) instruments
ISO/DIS 25178-605
Introduction
This part of ISO 25178 is a Geometrical Product Specification standard and is to be regarded as a General
GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences the chain link 5 of the chains of standards on roughness
profile, waviness profile, primary profile, and areal surface texture.
For more detailed information on the relationship of this standard to the GPS matrix model, see Annex G.
The point autofocus optical principle can be implemented in various set-ups. The configuration described in this
document comprises three basic elements: an autofocus optical system, an autofocus mechanism, and an
electronic controller.
This type of instrument is mainly designed for areal measurements, but it is also able to perform profile
measurements.
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of an optical profiler using a point auto
focusing method for the measurement of areal surface texture.
For more detailed information on the point autofocus method, see Annex B. Reading this Annex before the
main body may lead to a better understanding of this standard.
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DRAFT INTERNATIONAL STANDARD ISO/DIS 25178-605
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture:
Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe)
instruments
1 Scope
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for measuring
surface texture using point autofocus probing.
2 Normative references
The following normative documents contain provisions, which, through reference in this text, constitute
provisions of this part of ISO 25178. Subsequent amendments to or revisions of these dated references do not
apply. However, parties to agreements based on this part of ISO 25178 are encouraged to investigate the
possibility of applying the most recent editions of the normative documents indicated below.
ISO 3274:1996, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Nominal
characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 4287:1997, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Profile method — Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 10360-1:2000, Geometrical product specification (GPS) — Acceptance test and reverification test for
coordinate measuring machines (CMM) — Part 1: Vocabulary
ISO 14406:2010, Geometrical Product Specifications (GPS) — Extraction
ISO 14460-1:1999, Geometrical Product Specifications (GPS) — Geometrical features — Part 1: General
terms and definitions
ISO 25178-6:2010, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 6:
Classification of methods for measuring surface texture
ISO 25178-601:2010, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Nominal
characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 25178-602:2010, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Nominal
characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
ISO 25178-701:2010, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Calibration and
measurement standards of contact (stylus) instruments
ISO/IEC Guide 99:2007 International vocabulary of metrology — Basic and general concepts and associated
terms (VIM)
ISO/DIS 25178-605
3 Terms and definitions
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 3274, ISO 4287, ISO 10360-1, ISO
25178-2, ISO 14406, ISO 14978, ISO/IEC Guide 99 and the following apply.
3.1.1
coordinate system of the instrument
right hand orthonormal system of axes (X,Y,Z) where:
⎯ (X,Y) is the plane established by the areal reference (note that there are optical instruments that do
not posses a physical areal guide) of the instrument,
⎯ Z axis is mounted parallel to the optical axis and is perpendicular to the (X,Y) plane for an optical
instrument. Z-axis is in the plane of the stylus trajectory and is perpendicular to the (X,Y) plane for a stylus
instrument
See Figure 1.
NOTE 1 Normally, the X-axis is the tracing axis and the Y-axis is the stepping axis (this note is valid for instruments
that scan in the horizontal plane).
NOTE 2 See also specification coordinate system in ISO 25178-2 and measurement coordinate system ISO 25178 -6.
3.1.2
measurement loop
closed chain which comprises all components connecting the workpiece and the probe, e.g. the means of
positioning, the work holding fixture, the measuring stand, the drive unit, the probing system
See Figure 1.
NOTE The measurement loop will be subjected to external and internal disturbances that influence the measurement
uncertainty.
Key
1 coordinate system of the instrument
2 measurement loop
Figure 1 — Coordinate system and measurement loop of the instrument
3.1.3
real surface of a workpiece
set of features which physically exist and separate the entire workpiece from the surrounding medium
[ISO 14660-1, 2.4]
2 © ISO 2011 – All rights reserved
---------------------- P
...
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-605
First edition
2014-02-01
Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact
(point autofocus probe) instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(capteur autofocus à point)
Reference number
©
ISO 2014
© ISO 2014
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form
or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior
written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
the requester.
ISO copyright office
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Published in Switzerland
ii © ISO 2014 – All rights reserved
Contents Page
Foreword .iv
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods . 2
3.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems . 9
3.3 Terms and definitions related to optical systems .11
3.4 Terms and definitions related to optical properties of workpiece .12
3.5 Terms and definitions specific to point autofocus profiling .13
4 Descriptions of the influence quantities .14
4.1 General .14
4.2 Influence quantities .14
Annex A (informative) General principles .16
Annex B (informative) Spot size and focal shift.20
Annex C (informative) Beam offset direction and maximum acceptable local slope .23
Annex D (informative) Features of an areal surface texture measuring instrument .26
Annex E (informative) Others: Non-measured point (autofocus error) .28
Annex F (informative) Relation to the GPS matrix .29
Bibliography .31
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2. www.iso.org/directives
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any
patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on
the ISO list of patent declarations received. www.iso.org/patents
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation on the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity
assessment, as well as information about ISO’s adherence to the WTO principles in the Technical
Barriers to Trade (TBT) see the following URL: Foreword - Supplementary information
The committee responsible for this document is ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification.
ISO 25178 consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal:
— Part 1: Indication of surface texture
— Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
— Part 3: Specification operators
— Part 6: Classification of methods for measuring surface texture
— Part 70: Material measures
— Part 71: Software measurement standards
— Part 601: Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
— Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
— Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)
instruments
— Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
— Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
— Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
— Part 701: Calibration and measurement standards for contact (stylus) instruments
The following parts are under preparation:
iv © ISO 2014 – All rights reserved
— Part 72: XML file format x3p
Calibration and measurement standards for non-contact (confocal chromatic probe) instruments and
calibration and measurement standards for non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)
instruments are to form the subject of future parts 702 and 703.
A part 600 is planned which is intended to contain provisions common with the other 600-level parts of
ISO 25178. Once it has been submitted as a Final Draft International Standard, those provisions in the
other 600-level parts that are then redundant will be removed from them.
Introduction
This part of ISO 25178 is a Geometrical Product Specification standard and is to be regarded as a General
GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences the chain link 5 of the chains of standards on roughness
profile, waviness profile, primary profile, and areal surface texture.
For more detailed information on the relationship of this standard to the GPS matrix model, see Annex G.
The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which
this standard is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this standard and
the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this
standard, unless otherwise indicated.
The point autofocus optical principle can be implemented in various set-ups. The configuration described
in this document comprises three basic elements: an autofocus optical system, an autofocus mechanism,
and an electronic controller.
This type of instrument is mainly designed for areal measurements, but it is also able to perform profile
measurements.
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of an optical profiler using a point
autofocus probe for the measurement of areal surface texture.
For more detailed information on the point autofocus method, see Annex A. Reading this annex before
the main body may lead to a better understanding of this standard.
vi © ISO 2014 – All rights reserved
INTERNATIONAL STANDARD ISO 25178-605:2014(E)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface
texture: Areal —
Part 605:
Nominal characteristics of non-contact (point autofocus
probe) instruments
1 Scope
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of a non-contact instrument for
measuring surface texture using point autofocus probing.
2 Normative references
The following documents, in whole or in part, are normatively referenced in this document and are
indispensable for its application. For dated references, only the edition cited applies. For undated
references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
ISO 4287:1997, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 10360-1, Geometrical Product Specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate
measuring machines (CMM) — Part 1: Vocabulary
ISO 14406:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction
ISO 14978:2006, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts and requirements for GPS
measuring equipment
ISO 25178-2:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 2: Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 25178-3:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 3: Specification
operators
ISO 25178-6:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 6: Classification
of methods for measuring surface texture
ISO 25178-601:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 601:
Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 25178-602:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 602:
Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 4287, ISO 10360-1, ISO 14406,
ISO 14978, ISO 25178-2, ISO 25178-3, ISO 25178-6, ISO 25178-601, ISO 25178-602 and the following
apply.
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods
3.1.1
areal reference
component of the instrument that generates a reference surface with respect to which the surface
topography is measured
3.1.2
coordinate system of the instrument
right hand orthonormal system of axes (x,y,z)
Note 1 to entry: In this system (x,y) is the plane established by the areal reference of the instrument (Note that
there are optical instruments that do not posses a physical areal guide).
Note 2 to entry: In this system, z-axis is mounted parallel to the optical axis and is perpendicular to the (x,y) plane
for an optical instrument. The z-axis is in the plane of the stylus trajectory and is perpendicular to the (x,y) plane
for a stylus instrument (see Figure 1)
Note 3 to entry: Normally, the x-axis is the tracing axis and the y-axis is the stepping axis. (This note is valid for
instruments that scan in the horizontal plane.)
Note 4 to entry: See also specification coordinate system and measurement coordinate system, as defined in
ISO 25178-2:2012, 3.1.2 and ISO 25178-6:2010, 3.1.1, respectively.
3.1.3
measurement loop
closed chain which comprises all components connecting the workpiece and the probe, e.g. the means of
positioning, the work holding fixture, the measuring stand, the drive unit, the probing system
Note 1 to entry: See Figure 1. The measurement loop will be subjected to external and internal disturbances that
influence the measurement uncertainty.
Z
Y
X
Key
1 coordinate system of the instrument
2 measurement loop
Figure 1 — Coordinate system and measurement loop of instrument
2 © ISO 2014 – All rights reserved
3.1.4
real surface of a workpiece
set of features which physically exist and separate the entire workpiece from the surrounding medium
[SOURCE: ISO 14660-1:1999, 2.4]
Note 1 to entry: The real surface is a mathematical representation of the surface that is independent of the
measurement process.
Note 2 to entry: See also mechanical surface, as defined in ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 or ISO 14406:2010, 3.1.1, and
electromagnetic surface, as defined in ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 or ISO 14406:2010, 3.1.2.
Note 3 to entry: The electromagnetic surface considered for one type of optical instrument may be different from
the electromagnetic surface for other types of optical inst
...
PROJET DE NORME INTERNATIONALE ISO/DIS 25178-605
ISO/TC 213 Secrétariat: DS
Début de vote Vote clos le
2011-10-06 2012-03-06
INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR STANDARDIZATION МЕЖДУНАРОДНАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ ORGANISATION INTERNATIONALE DE NORMALISATION
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à
capteur autofocus à point)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
ICS 17.040.20
TRAITEMENT PARALLÈLE ISO/CEN
Le présent projet a été élaboré dans le cadre de l'Organisation internationale de normalisation (ISO) et
soumis selon le mode de collaboration sous la direction de l'ISO, tel que défini dans l'Accord de
Vienne.
Le projet est par conséquent soumis en parallèle aux comités membres de l'ISO et aux comités
membres du CEN pour enquête de cinq mois.
En cas d'acceptation de ce projet, un projet final, établi sur la base des observations reçues, sera
soumis en parallèle à un vote d'approbation de deux mois au sein de l'ISO et à un vote formel au sein
du CEN.
Pour accélérer la distribution, le présent document est distribué tel qu'il est parvenu du
secrétariat du comité. Le travail de rédaction et de composition de texte sera effectué au
Secrétariat central de l'ISO au stade de publication.
To expedite distribution, this document is circulated as received from the committee
secretariat. ISO Central Secretariat work of editing and text composition will be undertaken at
publication stage.
CE DOCUMENT EST UN PROJET DIFFUSÉ POUR OBSERVATIONS ET APPROBATION. IL EST DONC SUSCEPTIBLE DE MODIFICATION ET NE
PEUT ETRE CITE COMME NORME INTERNATIONALE AVANT SA PUBLICATION EN TANT QUE TELLE.
OUTRE LE FAIT D'ETRE EXAMINES POUR ETABLIR S'ILS SONT ACCEPTABLES A DES FINS INDUSTRIELLES, TECHNOLOGIQUES ET
COMMERCIALES, AINSI QUE DU POINT DE VUE DES UTILISATEURS, LES PROJETS DE NORMES INTERNATIONALES DOIVENT PARFOIS ETRE
CONSIDERES DU POINT DE VUE DE LEUR POSSIBILITE DE DEVENIR DES NORMES POUVANT SERVIR DE REFERENCE DANS LA
REGLEMENTATION NATIONALE.
LES DESTINATAIRES DU PRÉSENT PROJET SONT INVITÉS À PRÉSENTER, AVEC LEURS OBSERVATIONS, NOTIFICATION DES DROITS DE PRO-
PRIÉTÉ DONT ILS AURAIENT ÉVENTUELLEMENT CONNAISSANCE ET À FOURNIR UNE DOCUMENTATION EXPLICATIVE.
© Organisation Internationale de Normalisation, 2011
ISO/DIS 25178-605
Notice de droit d'auteur
Ce document de l'ISO est un projet de Norme internationale qui est protégé par les droits d'auteur de l'ISO.
Sauf autorisé par les lois en matière de droits d'auteur du pays utilisateur, aucune partie de ce projet ISO ne
peut être reproduite, enregistrée dans un système d'extraction ou transmise sous quelque forme que ce soit
et par aucun procédé électronique ou mécanique, y compris la photocopie, les enregistrements ou autres,
sans autorisation écrite préalable.
Les demandes d'autorisation de reproduction doivent être envoyées à l'ISO à l'adresse ci-après ou au
comité membre de l'ISO dans le pays du demandeur.
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Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Toute reproduction est soumise au paiement de droits ou à un contrat de licence.
Les contrevenants pourront être poursuivis.
ii © ISO 2011 – Tous droits réservés
ISO/DIS 25178-605
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction.vi
1 Domaine d'application .1
2 Références normatives.1
3 Termes et définitions .2
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l'état de surface
surfacique .2
3.2 Termes et définitions en rapport avec les systèmes de scanning x et y .9
3.3 Termes et définitions en rapport avec les systèmes optiques.10
3.4 Termes et définitions en rapport avec les propriétés optiques de la pièce.11
3.5 Termes et définitions en rapport avec la profilométrie par autofocus à point .12
4 Descriptions des grandeurs d'influence.13
4.1 Généralités .13
4.2 Vue d'ensemble .14
4.3 Grandeurs d'influence .14
Annexe A (normative) Classification des différentes configurations pour les instruments de
mesure de l’état de surface surfacique par scanning .15
Annexe B (informative) Principes généraux.16
Annexe C (informative) Taille du spot et déplacement focal.18
Annexe D (informative) Direction du décalage du faisceau et pente locale maximale acceptable.20
Annexe E (informative) Caractéristiques d'un instrument de mesure de l'état de surface
surfacique .22
Annexe F (informative) Autres.24
Annexe G (informative) Relation avec la matrice GPS.25
Bibliographie.27
ISO/DIS 25178-605
Avant-propos
L'ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d'organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l'ISO). L'élaboration des Normes internationales est en général confiée
aux comités techniques de l'ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du
comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non
gouvernementales, en liaison avec l'ISO participent également aux travaux. L'ISO collabore étroitement avec
la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI,
Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d'élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur
publication comme Normes internationales requiert l'approbation de 75 % au moins des comités membres
votants.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L'ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne
pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L'ISO 25178-605 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 213, Spécifications et vérification
dimensionnelles et géométriques des produits.
L'ISO 25178 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface : Surfacique:
Partie 1 : Indication des états de surface
Partie 2 : Termes, définitions et paramètres d'états de surface
Partie 3 : Opérateurs de spécification
Partie 4 : Règles de comparaison
Partie 5 : Opérateurs de vérification
Partie 6 : Classification des méthodes de mesurage de l'état de surface
Partie 7 : Étalons logiciels
Partie 70 : Étalons matérialisés
Partie 71 : Format de fichier avec calibre virtuel STF
Partie 601 : Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
Partie 602 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
Partie 603 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à
glissement de franges)
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ISO/DIS 25178-605
Partie 604 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à
cohérence)
Partie 605 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)
Partie 606 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (variation focale)
Partie 701 : Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
Partie 702 Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments sans contact (à capteur confocal
chromatique)
Partie 703 : Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments sans contact (microscopes
interférométriques à glissement de franges)
ISO/DIS 25178-605
Introduction
La présente partie de l’ISO 25178 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits et doit
être considérée comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le maillon 5 des
chaînes de normes concernant le profil de rugosité, le profil d’ondulation, le profil primaire et l’état de surface
surfacique.
Pour de plus amples informations sur la relation de la présente norme avec la matrice GPS, voir l’Annexe G.
Le principe optique d’autofocus à point peut être mis en œuvre de diverses manières. La configuration décrite
dans le présent document comprend trois éléments de base : un système optique autofocus, un mécanisme
autofocus et un dispositif de commande électronique.
Ce type d’instrument est principalement conçu pour les mesurages surfaciques, mais est également capable
d’effectuer des mesurages de profil.
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un profilomètre optique utilisant
une méthode d’autofocus à point pour le mesurage de l'état de surface surfacique.
Pour de plus amples informations sur la méthode autofocus à point, voir l’Annexe B. La lecture de cette
annexe avant le corps principal peut aider à comprendre la présente norme.
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PROJET DE NORME INTERNATIONALE ISO/DIS 25178-605
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à
capteur autofocus à point)
1 Domaine d'application
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un instrument sans contact pour
le mesurage de l'état de surface à l'aide d'un capteur autofocus à point.
2 Références normatives
Les documents normatifs suivantes contiennent des dispositions qui, en faisant référence à ce texte,
constituent des dispositions de la présente partie de l’ISO 25178. Pour les références datées, les
amendements ou révisions ultérieurs de l'une quelconque de ces publications ne s'appliquent pas. Il est
cependant recommandé aux parties des accords basés sur la présente norme particulière d’envisager la
possibilité d’appliquer les éditions les plus récents des documents normatifs indiqués ci-dessous.
ISO 3274:1996, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : Méthode du profil —
Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur)
ISO 4287:1997, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : Méthode du profil —
Termes, définitions et paramètres d'état de surface
ISO 10360-1:2000, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 1 : Vocabulaire
ISO 14406:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — Extraction
ISO 14660-1:1999, Spécification géométrique des produits (GPS) — Éléments géométriques — Partie 1 :
Termes généraux et définitions
ISO 25178-6:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : Surfacique — Partie
6 : Classification des méthodes de mesurage de l'état de surface
ISO 25178-601:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : Surfacique — Partie
601 : Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
ISO 25178-602:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : Surfacique — Partie
602 : Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
ISO 25178-701:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface : surfacique — Partie
701 : Etalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
ISO/CEI GUIDE 99:2007, Vocabulaire international de métrologie — Concepts fondamentaux et généraux et
termes associés (VIM)
ISO/DIS 25178-605
3 Termes et définitions
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l'état de
surface surfacique
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l'ISO 3274, l'ISO 4287,
l'ISO 10360-1, l'ISO 25178-2, l'ISO 14406, l'ISO 14978, le Guide ISO/CEI 99 ainsi que les suivants
s'appliquent.
3.1.1
système de coordonnées de l’instrument
système d’axes (X,Y,Z) orthonormé de sens direct défini ainsi :
(X,
...
NORME ISO
INTERNATIONALE25178-605
Première édition
2014-02-01
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (capteur
autofocus à point)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus
probe) instruments
Numéro de référence
©
ISO 2014
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2014
Droits de reproduction réservés. Sauf indication contraire, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée
sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
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E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .vi
1 Domaine d’application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions .1
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique . 2
3.2 Termes et définitions en rapport avec les systèmes de scanning x et y .10
3.3 Termes et définitions en rapport avec les systèmes optiques .12
3.4 Termes et définitions en rapport avec les propriétés optiques de la pièce .13
3.5 Termes et définitions spécifiques à la profilométrie par autofocus à point .14
4 Descriptions des grandeurs d’influence .15
4.1 Généralités .15
4.2 Grandeurs d’influence.16
Annexe A (informative) Principes généraux .17
Annexe B (informative) Taille du spot et déplacement focal .21
Annexe C (informative) Direction du décalage du faisceau et pente locale maximale acceptable .24
Annexe D (informative) Caractéristiques d’un instrument de mesure de l’état de
surface surfacique .27
Annexe E (informative) Autres: Point non mesuré (erreur d’autofocus) .29
Annexe F (informative) Relation avec la matrice GPS .30
Bibliographie .32
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2 (voir www.
iso.org/directives).
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de
brevets reçues (voir www.iso.org/brevets).
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation
de la conformité, aussi bien que pour des informations au sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes de
l’OMC concernant les obstacles techniques au commerce (OTC) voir le lien suivant: Avant-propos —
Informations supplémentaires.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 213, Spécifications et vérification
dimensionnelles et géométriques des produits.
L’ISO 25178 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Spécification géométriques
des produits (GPS) — État de surface: Surfacique:
— Partie 1: Indication des états de surface
— Partie 2: Termes, définitions et paramètres d’états de surface
— Partie 3: Opérateurs de spécification
— Partie 6: Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
— Partie 70: Mesure matérialisées
— Partie 71: Étalons logiciels
— Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
— Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
— Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
à glissement de franges)
— Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
par balayage à cohérence)
— Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (capteur autofocus à point)
— Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à variation focale)
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— Partie 701: Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
Les parties suivantes sont en préparation:
— Partie 72: Format de fichier XML x3p
L’étalonnage et les étalons de mesure pour les instruments sans contact, à capteur confocal chromatique
et microscopes interférométriques à glissement de franges, feront l’objet des futures Parties 702 et 703.
Une Partie 600 est prévue, qui comportera des dispositions communes aux autres parties du niveau 600
de l’ISO 25178. Une fois la Partie 600 soumise en tant que projet final de Norme internationale (FDIS),
les dispositions des autres parties du niveau 600 en redondance avec les dispositions de la Partie 600
en seront retirées.
Introduction
La présente partie de l’ISO 25178 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits et
doit être considérée comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le maillon 5
des chaînes de normes concernant le profil de rugosité, le profil d’ondulation, le profil primaire et l’état
de surface surfacique.
Pour de plus amples informations sur la relation de la présente norme avec la matrice GPS, voir l’Annexe G.
Le schéma directeur ISO/GPS de l’ISO/TR 14638 donne une vue d’ensemble du système ISO/GPS
dont la présente norme fait partie intégrante. Les règles fondamentales de l’ISO/GPS indiquées dans
l’ISO 8015 s’appliquent à la présente norme et les règles de décision par défaut de l’ISO 14253-1
s’appliquent aux spécifications établies conformément à la présente norme, sauf indication contraire.
Le principe optique d’autofocus à point peut être mis en œuvre de diverses manières. La configuration
décrite dans le présent document comprend trois éléments de base: un système optique autofocus, un
mécanisme autofocus et un dispositif de commande électronique.
Ce type d’instrument est principalement conçu pour les mesurages surfaciques, mais est également
capable d’effectuer des mesurages de profil.
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un profilomètre optique
utilisant un capteur autofocus à point pour le mesurage de l’état de surface surfacique.
Pour de plus amples informations sur la méthode par autofocus à point, voir l’Annexe A. La consultation
de cette annexe avant la lecture du corps principal peut aider à comprendre la présente norme.
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NORME INTERNATIONALE ISO 25178-605:2014(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 605:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(capteur autofocus à point)
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques d’un instrument sans contact
pour le mesurage de l’état de surface à l’aide d’un capteur autofocus à point.
2 Références normatives
Les documents suivants, en tout ou partie, sont référencés de manière normative dans le présent
document et sont indispensables à son application. Pour les références datées, seule l’édition citée
s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du document de référence s’applique (y
compris les éventuels amendements).
ISO 4287:1997, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Méthode du profil —
Termes, définitions et paramètres d’état de surface
ISO 10360-1, Spécification géométrique des produits (GPS) — Essais de réception et de vérification
périodique des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) — Partie 1: Vocabulaire
ISO 14406:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — Extraction
ISO 14978:2006, Spécification géométrique des produits (GPS) - Concepts et exigences généraux pour les
équipements de mesure GPS
ISO 25178-2:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 2:
Termes, définitions et paramètres d’états de surface
ISO 25178-3:2012, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 3:
Opérateurs de spécification
ISO 25178-6:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 6:
Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
ISO 25178-601:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
ISO 25178-602:2010, Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 4287, l’ISO 10360-1,
l’ISO 14406, l’ISO 14978, l’ISO 25178-2, l’ISO 25178-3, l’ISO 25178-6, l’ISO 25178-601, l’ISO 25178-602,
ainsi que les suivants s’appliquent.
3.1 Termes et définitions en rapport avec toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique
3.1.1
référence surfacique
composant de l’instrument générant la surface de référence par rapport à laquelle la topographie de la
surface est mesurée
3.1.2
système de coordonnées de l’instrument
système d’axes (x,y,z) orthonormé de sens direct
Note 1 à l’article: Dans ce système, (x,y) est le plan constitué par la référence surfacique de l’instrument (il est à
noter que certains instruments optiques ne possèdent pas de guide surfacique physique).
Note 2 à l’article: Dans ce système, l’axe z est monté parallèle à l’axe optique et perpendiculaire au plan (x,y) pour
un instrument optique. L’axe z est dans le plan de la trajectoire du stylet et perpendiculaire au plan (x,y) pour un
instrument à stylet (voir Figure 1).
Note 3 à l’article: Normalement, l’axe X est l’axe d’avance et l’axe Y, celui de déplacement entre chaque profil (la
présente note est valable pour les instruments à balayage dans le plan horizontal).
Note 4 à l’article: Voir aussi système de coordonnées de spécification et système de coordonnées du mesurage,
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.