ISO 25178-606:2015
(Main)Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
ISO 25178-606:2015 defines the metrological characteristics of a particular non-contact method measuring surface texture using a focus variation (FV) sensor.
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à variation de focale)
L'ISO 25178-606:2015 définit les caractéristiques métrologiques d'une méthode de mesure sans contact particulière de l'état de surface au moyen d'un capteur à variation de focale (FV).
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INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-606
First edition
2015-06-15
Geometrical product specification
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 606:
Nominal characteristics of non-contact
(focus variation) instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(à variation de focale)
Reference number
ISO 25178-606:2015(E)
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ISO 2015
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Contents Page
Foreword .iv
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
3.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods . 2
3.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems . 9
3.3 Terms and definitions related to optical systems .11
3.4 Terms and definitions related to optical properties of the workpiece .13
3.5 Terms and definitions specific to focus variation instruments .13
4 Description of the influence quantities .16
4.1 General .16
4.2 Overview .17
4.3 Influence quantities .17
Annex A (informative) Components of a focus variation microscope .19
Annex B (informative) Relation to the GPS matrix model .25
Bibliography .27
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Foreword
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bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in lia
...
NORME ISO
INTERNATIONALE25178-606
Première édition
2015-06-15
Spécification géométrique des
produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 606:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (à variation
de focale)
Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation)
instruments
Numéro de référence
ISO 25178-606:2015(F)
©
ISO 2015
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Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .vi
1 Domaine d’application .1
2 Références normatives .1
3 Termes et définitions .2
3.1 Termes et définitions liés à toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique . 2
3.2 Termes et définitions liés aux systèmes de balayage x et y .10
3.3 Termes et définitions liés aux systèmes optiques .12
3.4 Termes et définitions liés aux propriétés optiques de la pièce .14
3.5 Termes et définitions spécifiques des instruments à variation de focale .15
4 Description des grandeurs d’influence .18
4.1 Généralités .18
4.2 Vue d’ensemble .18
4.3 Grandeurs d’influence.18
Annexe A (informative) Composants d’un microscope de focalisation dynamique .20
Annexe B (informative) Relation avec le modèle de matrice GPS.26
Bibliographie .28
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Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique
...
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