ISO 25178-604:2013
(Main)Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
ISO 25178-604:2013 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à cohérence)
L'ISO 25178-604:2013 spécifie les caractéristiques métrologiques des systèmes d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour la cartographie 3D de la hauteur de surface.
General Information
Relations
Buy Standard
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 25178-604
First edition
2013-08-01
Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal —
Part 604:
Nominal characteristics of non-
contact (coherence scanning
interferometry) instruments
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:
Surfacique —
Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(à interférométrie par balayage à cohérence)
Reference number
ISO 25178-604:2013(E)
©
ISO 2013
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2013
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized otherwise in any form
or by any means, electronic or mechanical, including photocopying, or posting on the internet or an intranet, without prior
written permission. Permission can be requested from either ISO at the address below or ISO’s member body in the country of
the requester.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Terms and definitions . 1
2.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods . 1
2.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems . 6
2.3 Terms and definitions related to optical systems . 8
2.4 Terms and definitions related to optical properties of the workpiece .10
2.5 Terms and definitions specific to coherence scanning interferometric microscopy .10
3 Descriptions of the influence quantities .14
3.1 General .14
3.2 Influence quantities .14
Annex A (informative) Overview and components of a coherence scanning interferometry
(CSI) microscope .17
Annex B (informative) Coherence scanning interferometry (CSI) theory of operation .22
Annex C (informative) Spatial resolution .31
Annex D (informative) Example procedure for estimating surface topography repeatability .36
Annex E (informative) Relation to the GPS matrix model.37
Bibliography .39
© ISO 2013 – All rights reserved iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2. www.iso.org/directives
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received. www.iso.org/patents
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
The committee responsible for this document is ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification. The document was prepared in collaboration with Technical Committee
CEN/TC 290, Dimensional and geometrical product specifications and verification.
ISO 25178 consists of the following parts, under the general title Geometrical product specifications
(GPS) — Surface texture: Areal:
— Part 1: Indication of surface texture
— Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
— Part 3: Specification operators
— Part 6: Classification of methods for measuring surface texture
— Part 70: Physical measurement standards
— Part 71: Software measurement standards
— Part 601: Nominal characteristics of contact (stylus) instruments
— Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments
— Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments
— Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
— Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments
— Part 606: Nominal characteristics of non-contact (focus variation) instruments
— Part 701: Calibration and measurement standards for contact (stylus) instruments
The following part is under preparation:
— Part 72: XML file format x3p
iv © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Introduction
This part of ISO 25178 is a geometrical product specification (GPS) standard and is to be regarded as
a general GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences chain link 5 of the chains of standards on
roughness profile, waviness profile, primary profile and areal surface texture.
The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this
document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and
the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this
document, unless otherwise indicated.
For more detailed information on the relation of this part of ISO 25178 to other standards and to the GPS
matrix model, see Annex E.
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of coherence scanning interferometric
microscopes, designed for the measurement of surface topography maps. For more detailed information
on the coherence scanning technique, see Annex A and Annex B.
NOTE Portions of this document, particularly the informative texts, may describe patented systems and
methods. This information is provided only to assist users in understanding the operating principles of coherence
scanning interferometry. This document is not intended to establish priority for any intellectual property, nor
does it imply a license to any proprietary technologies that may be described herein.
© ISO 2013 – All rights reserved v
---------------------- Page: 5 ----------------------
INTERNATIONAL STANDARD ISO 25178-604:2013(E)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface
texture: Areal —
Part 604:
Nominal characteristics of non-contact (coherence
scanning interferometry) instruments
1 Scope
This part of ISO 25178 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry
(CSI) systems for 3D mapping of surface height.
2 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
2.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods
2.1.1
areal reference
component of the instrument that generates a reference surface with respect to which the surface
topography is measured
2.1.2
coordinate system of the instrument
right hand orthonormal system of axes (x, y, z) defined as:
— (x, y) is the plane established by the areal reference of the instrument (note that there are optical
instruments that do not possess a physical areal guide)
— z-axis is mounted parallel to the optical axis and is perpendicular to the (x, y) plane for an optical
instrument; the z-axis is in the plane of the stylus trajectory and is perpendicular to the (x, y) plane
for a stylus instrument (see Figure 1)
© ISO 2013 – All rights reserved 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Key
1 coordinate system of the instrument
2 measurement loop
Figure 1 — Coordinate system and measurement loop of the instrument
Note 1 to entry: Normally, the x-axis is the tracing axis and the y-axis is the stepping axis. (This note is valid for
instruments that scan in the horizontal plane.)
Note 2 to entry: See also “specification coordinate system” [ISO 25178-2:2012, 3.1.2] and “measurement coordinate
system” [ISO 25178-6:2010, 3.1.1].
2.1.3
measurement loop
closed chain which comprises all components connecting the workpiece and the probe, e.g. the means of
positioning, the work holding fixture, the measuring stand, the drive unit, the probing system
Note 1 to entry: The measurement loop will be subjected to external and internal disturbances that influence the
measurement uncertainty.
SEE: Figure 1.
2.1.4
real surface of a workpiece
set of features which physically exist and separate the entire workpiece from the surrounding medium
Note 1 to entry: The real surface is a mathematical representation of the surface that is independent of the
measurement process.
Note 2 to entry: See also “mechanical surface” [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 or ISO 14406:2010, 3.1.1] and
“electromagnetic surface” [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 or ISO 14406:2010, 3.1.2].
Note 3 to entry: The electro-magnetic surface considered for one type of optical instrument may be different from
the electro-magnetic surface for other types of optical instruments.
2 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
2.1.5
surface probe
device that converts the surface height into a signal during measurement
Note 1 to entry: In earlier standards, this was termed “transducer”.
2.1.6
measuring volume
range of the instrument stated in terms of the limits on all three coordinates measured by the instrument
Note 1 to entry: For areal surface texture measuring instruments, the measuring volume is defined by the
measuring range of the x- and y- drive units, and the measuring range of the z-probing system.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.1]
2.1.7
response curve
F , F , F
x y z
graphical representation of the function that describes the relation between the actual quantity and the
measured quantity
Note 1 to entry: An actual quantity in x (respectively y or z) corresponds to a measured quantity x
M
(respectively y or z ).
M M
Note 2 to entry: The response curve can be used for adjustments and error corrections.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.2]
2.1.8
amplification coefficient
α , α , α
x y z
slope of the linear regression curve obtained from the response curve (2.1.7)
Note 1 to entry: There will be amplification coefficients applicable to the x, y and z quantities.
Note 2 to entry: The ideal response is a straight line with a slope equal to 1, which means that the values of the
measurand are equal to the values of the input quantities.
[1]
Note 3 to entry: See also “sensitivity of a measuring system” (ISO/IEC Guide 99:2007, 4.12)
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.3, modified —Note 3 to entry has been added.]
2.1.9
instrument noise
N
i
internal noise added to the output signal caused by the instrument if ideally placed in a noise-free environment
Note 1 to entry: Internal noise can be due to electronic noise, as e.g. amplifiers, or optical noise, as e.g. stray light.
Note 2 to entry: This noise typically has high frequencies and it limits the ability of the instrument to detect small
spatial wavelengths of the surface texture.
Note 3 to entry: The S-filter according ISO 25178-3 may reduce this noise.
Note 4 to entry: For some instruments, instrument noise cannot be estimated because the instrument only takes
data while moving.
2.1.10
measurement noise
N
M
noise added to the output signal occurring during the normal use of the instrument
Note 1 to entry: Notes 2 and 3 of 2.1.9 apply as well to this definition.
© ISO 2013 – All rights reserved 3
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Note 2 to entry: Measurement noise includes instrument noise (2.1.9).
2.1.11
surface topography repeatability
repeatability of topography map in successive measurements of the same surface under the same
conditions of measurement
Note 1 to entry: Surface topography repeatability provides a measure of the likely agreement between repeated
measurements normally expressed as a standard deviation.
[1]
Note 2 to entry: See ISO/IEC Guide 99:2007, 2.15 and 2.21, for a general discussion of repeatability and
related concepts.
Note 3 to entry: Evaluation of surface topography repeatability is a common method for determining the
measurement noise.
2.1.12
sampling interval in x
D
x
distance between two adjacent measured points along the x-axis
Note 1 to entry: In many microscopy systems, the sampling interval is determined by the distance between
sensor elements in a camera, called pixels. For such systems, the terms pixel pitch and pixel spacing are often
used interchangeably with the term sampling interval. Another term, pixel width, indicates a length associated
with one side (x or y) of the sensitive area of a single pixel and is always smaller than the pixel spacing. Yet another
term, sampling zone, may be used to indicate the length or region over which a height sample is determined. This
quantity could either be larger or smaller than the sampling interval.
2.1.13
sampling interval in y
D
y
distance between two adjacent measured points along the y-axis
Note 1 to entry: In many microscopy systems, the sampling interval is determined by the distance between
sensor elements in a camera, called pixels. For such systems, the terms pixel pitch and pixel spacing are often
used interchangeably with the term sampling interval. Another term, pixel width, indicates a length associated
with one side (x or y) of the sensitive area of a single pixel and is always smaller than the pixel spacing. Yet another
term, sampling zone, may be used to indicate the length or region over which a height sample is determined. This
quantity could either be larger or smaller than the sampling interval.
2.1.14
digitization step in z
D
z
smallest height variation along the z-axis between two ordinates of the extracted surface
2.1.15
lateral resolution
R
l
smallest distance between two features which can be detected
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.10, modified —The word “separation” has been removed before
“distance”.]
2.1.16
width limit for full height transmission
W
l
width of the narrowest rectangular groove whose measured height remains unchanged by the measurement
Note 1 to entry: Instrument properties (such as the sampling interval in x and y, the digitization step in z, and the
short wavelength cutoff filter) should be chosen so that they do not influence the lateral resolution and the width
limit for full height transmission.
4 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Note 2 to entry: When determining this parameter by measurement, the depth of the rectangular groove should
be close to that of the surface to be measured.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.11, modified —The notes have been changed.]
2.1.17
lateral period limit
D
LIM
spatial period of a sinusoidal profile at which the height response of an instrument falls to 50 %
Note 1 to entry: The lateral period limit is one metric for describing spatial or lateral resolution of a surface
topography measuring instrument and its ability to distinguish and measure closely spaced surface features. Its
value depends on the heights of surface features and on the method used to probe the surface. Maximum values
for this parameter are listed in ISO 25178-3:2012, Table 3, in comparison with recommended values for short
wavelength (s-)filters and sampling intervals.
Note 2 to entry: Spatial period is the same concept as spatial wavelength and is the inverse of spatial frequency.
Note 3 to entry: One factor related to the value of D for optical tools is the Rayleigh criterion (2.3.7). Another is
LIM
the degree of focus of the objective on the surface.
Note 4 to entry: One factor related to the value of D for contact tools is the stylus tip radius, r (see
LIM TIP
ISO 25178-601).
Note 5 to entry: Other terms related to lateral period limit are structural resolution and topographic spatial resolution.
2.1.18
maximum local slope
greatest local slope of a surface feature that can be assessed by the probing system
Note 1 to entry: The term “local slope” is defined in ISO 4287:1997, 3.2.9.
2.1.19
instrument transfer function
ITF
f
ITF
function of spatial frequency describing how a surface topography measuring instrument responds to
an object surface topography having a specific spatial frequency
Note 1 to entry: Ideally, the ITF tells us what the measured amplitude of a sinusoidal grating of a specified spatial
frequency ν would be relative to the true amplitude of the grating.
Note 2 to entry: For several types of optical instruments, the ITF may be a nonlinear function of height except for
heights much smaller than the optical wavelength.
2.1.20
hysteresis
x , y , z
HYS HYS HYS
property of measuring equipment, or characteristic whereby the indication of the equipment or value of
the characteristic depends on the orientation of the preceding stimuli
Note 1 to entry: Hysteresis can also depend, for example, on the distance travelled after the orientation of
stimuli has changed.
Note 2 to entry: For lateral scanning systems, the hysteresis is mainly a repositioning error.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.24, modified —Note 2 to entry and the symbols have been added.]
© ISO 2013 – All rights reserved 5
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
2.1.21
metrological characteristic
metrological characteristic of a measuring instrument
characteristic of measuring equipment, which may influence the results of
measurement
Note 1 to entry: Calibration of metrological characteristics may be necessary.
Note 2 to entry: The metrological characteristics have an immediate contribution to measurement uncertainty.
Note 3 to entry: Metrological characteristics for areal surface texture measuring instruments are given in Table 1.
Table 1 — List of metrological characteristics for surface texture measurement methods
Metrological characteristic Symbol Definition Main poten-
tial error
along
Amplification coefficient α , α , α 2.1.8 x, y, z
x y z
Linearity deviation l , l , l Maximum local difference between x, y, z
x y z
the line from which the amplifica-
tion coefficient is derived and the
response curve.
Residual flatness z Flatness of the areal reference z
FLT
Measurement noise N 2.1.10 z
M
Lateral period limit D 2.1.17. z
LIM
Perpendicularity Δ Deviation from 90° of the angle x, y
PERxy
between the x- and y-axes
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.12, modified — The notes are different and the table has been added.]
2.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems
2.2.1
areal reference guide
component(s) of the instrument that generate(s) the reference surface, in which the probing system
moves relative to the surface being measured according to a theoretically exact trajectory
Note 1 to entry: In the case of x- and y-scanning areal surface texture measuring instruments, the areal reference
guide establishes a reference surface [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. It can be achieved through the use of two linear
and perpendicular reference guides [ISO 3274:1996, 3.3.2] or one reference surface guide.
2.2.2
lateral scanning system
system that performs the scanning of the surface to be measured in the (x, y) plane
Note 1 to entry: There are essentially four aspects to a surface texture scanning instrument system: the x-axis
drive, the y-axis drive, the z-measurement probe and the surface to be measured. There are different ways in
which these may be configured and thus there will be a difference between different configurations as explained
in Table 2.
Note 2 to entry: When a measurement consists of a single field of view of a microscope, x- and y-scanning is not
used. However, when several fields of view are linked together by stitching methods, see Reference [2] the system
is considered to be a scanning system.
6 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Table 2 — Possible different configurations for reference guides (x and y)
Drive unit
a
Two reference guides (x and y) One areal reference guide
Px o Cy Px o Py Cx o Cy Pxy Cxy
A: without arcuate
Px o Cy-A Px o Py-A Cx o Cy-A Pxy-A Cxy-A
error correction
Probing
S: without arcu-
System
ate error or with
Px ο Cy-S Px o Py-S Cx o Cy-S Pxy-S Cxy-S
arcuate error cor-
rected
a For two given functions f and g, f ο g is the combination of these functions
Px = probing systems moving along the x-axis
Py = probing systems moving along the y-axis
Cx = component moving along the x-axis
Cy = component moving along the y-axis
2.2.3
drive unit x
component of the instrument that moves the probing system or the surface being measured along the
reference guide on the x-axis and returns the horizontal position of the measured point in terms of the
lateral x coordinate of the profile
2.2.4
drive unit y
component of the instrument that moves the probing system or the surface being measured along the
reference guide on the y-axis and returns the horizontal position of the measured point in terms of the
lateral y coordinate of the profile
2.2.5
lateral position sensor
component of the drive unit that provides the lateral position of the measured point
Note 1 to entry: The lateral position can be measured or inferred by using, for example, a linear encoder, a laser
interferometer, or a counting device coupled with a micrometre screw.
2.2.6
speed of measurement
v
x
speed of the probing system relative to the surface to be measured during the measurement along the x-axis
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.13]
2.2.7
static noise
N
S
combination of the instrument noise (2.1.9) and environmental noise on the output signal when the
instrument is not scanning laterally
Note 1 to entry: Environmental noise is caused by e.g. seismic, sonic and external electromagnetic disturbances.
Note 2 to entry: Notes 2 and 3 in 2.1.9 also apply to this definition.
Note 3 to entry: Static noise is included in measurement noise (2.1.10)
© ISO 2013 – All rights reserved 7
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
2.2.8
dynamic noise
N
D
noise occurring during the motion of the drive units on the output signal
Note 1 to entry: Notes 2 and 3 in 2.1.9 also apply to this definition.
Note 2 to entry: Dynamic noise includes the static noise.
Note 3 to entry: Dynamic noise is included in measurement noise (2.1.10).
2.3 Terms and definitions related to optical systems
2.3.1
light source
optical device emitting an appropriate range of wavelengths in a specified spectral region
2.3.2
measurement optical bandwidth
B
λ0
range of wavelengths of light used to measure a surface
Note 1 to entry: Instruments may be constructed with light sources with a limited optical bandwidth and/or with
additional filter elements to further limit the optical bandwidth.
2.3.3
measurement optical wavelength
λ
0
effective value of the wavelength of the light used to measure a surface
Note 1 to entry: The measurement optical wavelength is affected by conditions such as the light source spectrum,
spectral transmission of the optical components, and spectral response of the image sensor array.
2.3.4
angular aperture
angle of the cone of light entering an optical system from a point on the surface being measured
[SOURCE: ISO 25178-602:2010, 3.3.3]
2.3.5
half aperture angle
α
one half of the angular aperture
Note 1 to entry: This angle is sometimes called the “half cone angle” (see Figure 2).
8 © ISO 2013 – All rights reserved
---------------------- Page: 13 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
Key
L lens or optical system
P focal point
α half aperture angle
Figure 2 — Half aperture angle
2.3.6
numerical aperture
A
N
sine of the half aperture angle multiplied by the refractive index n of the surrounding medium
A = n sinα
N
Note 1 to entry: In air for visible light, n ≅ 1.
Note 2 to entry: The numerical aperture is dependent on the wavelength of light. Typically, the numerical aperture
is specified for the wavelength that is in the middle of the measurement optical bandwidth.
2.3.7
Rayleigh criterion
quantity characterizing the spatial resolution of an optical system given by the separation of two point
sources at which the first diffraction minimum of the image of one point source coincides with the
maximum of the other
Note 1 to entry: For a theoretically perfect, incoherent optical system with a filled objective pupil, the Rayleigh
criterion of the optical system is equal to 0,61 λ /A .
0 N
Note 2 to entry: This parameter is useful for characterizing the instrument response to features with heights
much less than λ for optical 3D metrology instruments.
0
2.3.8
Sparrow criterion
quantity characterizing the spatial resolution of an optical system given by the separation of two point
sources at which the second derivative of the intensity distribution vanishes between the two imaged points
Note 1 to entry: For a theoretically perfect, incoherent optical system with filled objective pupil, the Sparrow
criterion of the optical system is equal to 0,47 λ /A , approximately 0,77 times the Rayleigh criterion (2.3.7).
0 N
Note 2 to entry: This parameter is useful for characterizing the instrument response to features with heights
much less than λ for optical 3D metrology instruments.
0
Note 3 to entry: Under the same measurement conditions as the notes above, the Sparrow criterion is nearly equal
to the spatial period of 0,50 λ /A , for which the theoretical instrument response falls to zero.
0 N
© ISO 2013 – All rights reserved 9
---------------------- Page: 14 ----------------------
ISO 25178-604:2013(E)
2.4 Terms and definitions related to optical properties of the workpiece
2.4.1
surface film
material deposited onto another surface whose optical properties are different from that surface
Note 1 to entry: This concept may also be called “surface layer”.
2.4.2
thin film
film whose thickness is such that the top and bottom surfaces cannot be readily separated by the optical
measuring system
Note 1 to entry: For some measurement systems with special properties and algorithms, the thicknesses of thin
films may be derived.
2.4.3
thick film
film whose thickness is such that the top and bottom surfaces can be readily separated by the optical
measuring system
2.4.4
optically smooth surface
surface from which the reflected light is primarily specular and scattered light is not significant
Note 1 to entry: An optically smooth surface behaves locally like a mirror.
Note 2 to entry: A surface that acts as optically smooth under certain conditions, such as wavelength range,
numerical aperture, pixel resolution, etc. can act as optically rough when one or more of these conditions change.
2.4.5
optically rough surface
surface that does not behave as an optically smooth surface, i.e. where scattered light is si
...
NORME ISO
INTERNATIONALE25178-604
Première édition
2013-08-01
Spécification géométrique des produits
(GPS) — État de surface: Surfacique —
Partie 604:
Caractéristiques nominales des
instruments sans contact (à
interférométrie par balayage à
cohérence)
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —
Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning
interferometry) instruments
Numéro de référence
ISO 25178-604:2013(F)
©
ISO 2013
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2013
Droits de reproduction réservés. Sauf indication contraire, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée
sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie, l’affichage sur
l’internet ou sur un Intranet, sans autorisation écrite préalable. Les demandes d’autorisation peuvent être adressées à l’ISO à
l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Publié en Suisse
ii © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .vi
1 Domaine d’application .1
2 Termes et définitions .1
2.1 Termes et définitions relatifs à toutes les méthodes de mesure de l’état de
surface surfacique . 1
2.2 Termes et définitions relatifs aux systèmes de scanning suivant x et y .6
2.3 Termes et définitions relatifs aux systèmes optiques . 8
2.4 Termes et définitions relatifs aux propriétés optiques de la pièce .10
2.5 Termes et définitions spécifiques aux microscopes interférométriques par balayage
à cohérence .10
3 Descriptions des grandeurs d’influence .14
3.1 Généralités .14
3.2 Grandeurs d’influence.14
Annexe A (informative) Vue d’ensemble et composants du microscope interférométrique par
balayage à cohérence (CSI) .17
Annexe B (informative) Théorie du fonctionnement de l’interférométrie par balayage à
cohérence (CSI) .22
Annexe C (informative) Résolution spatiale .32
Annexe D (informative) Exemple de procédure d’estimation de la répétabilité de la topographie
de surface .37
Annexe E (informative) Relation avec la matrice GPS .38
Bibliographie .40
© ISO 2013 – Tous droits réservés iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne
la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/CEI, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2, www.iso.
org/directives.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant les
références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de l’élaboration
du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou sur la liste ISO des déclarations de brevets reçues,
www.iso.org/patents.
Les éventuelles appellations commerciales utilisées dans le présent document sont données pour
information à l’intention des utilisateurs et ne constituent pas une approbation ou une recommandation.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 213, Spécifications et vérification
dimensionnelles et géométriques des produits. Le document a été préparé en collaboration avec le
Comité technique CEN/TC 290, Spécifications dimensionnelle et géométrique des produits, et vérification
correspondante.
L’ISO 25178 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Spécification géométrique
des produits (GPS) — État de surface: Surfacique:
— Partie 1: Indication des états de surface
— Partie 2: Termes, définitions et paramètres d’états de surface
— Partie 3: Opérateurs de spécification
— Partie 6: Classification des méthodes de mesurage de l’état de surface
— Partie 70: Étalons de mesure physiques
— Partie 71: Étalons logiciels
— Partie 601: Caractéristiques nominales des instruments à contact (à palpeur)
— Partie 602: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur confocal chromatique)
— Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques
à glissement de franges)
— Partie 604: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par
balayage à cohérence)
— Partie 605: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à capteur autofocus à point)
— Partie 606: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (à variation focale)
— Partie 701: Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments à contact (à palpeur)
iv © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
La partie suivante est en préparation:
— Partie 72: Format de fichier XML x3p
© ISO 2013 – Tous droits réservés v
---------------------- Page: 5 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
Introduction
La présente partie de l’ISO 25178 est une norme traitant de la spécification géométrique des produits
et est à considérer comme une norme GPS générale (voir l’ISO/TR 14638). Elle influence le maillon 5 de
la chaîne de normes concernant le profil de rugosité, le profil d’ondulation, le profil primaire et l’état de
surface surfacique.
Le schéma directeur ISO/GPS de l’ISO/TR 14638 donne une vue d’ensemble du système ISO/GPS, dont le
présent document fait partie. Les principes fondamentaux du système ISO/GPS donnés dans l’ISO 8015
s’appliquent au présent document et les règles de décision par défaut données dans l’ISO 14253-1
s’appliquent aux spécifications faites conformément au présent document, sauf indication contraire.
Pour de plus amples informations sur la relation entre la présente partie de l’ISO 25178 et les autres
normes et la matrice GPS, voir l’Annexe E.
La présente partie de l’ISO 25178 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes
interférométriques par balayage à cohérence, conçus pour le mesurage de cartes topographiques de
surface. Pour de plus amples informations sur la technique de balayage à cohérence, voir les Annexes A et B.
NOTE Des parties du présent document, particulièrement les textes informatifs, peuvent décrire des systèmes
et méthodes brevetés. Cette information est donnée uniquement pour aider les utilisateurs à mieux comprendre
les principes de fonctionnement de l’interférométrie par balayage à cohérence. Ce document ne vise pas à établir
de priorité pour une quelconque propriété intellectuelle et il n’implique pas non plus un droit de licence pour les
technologies propriétaires pouvant être décrites dans le présent document.
vi © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 6 ----------------------
NORME INTERNATIONALE ISO 25178-604:2013(F)
Spécification géométrique des produits (GPS) — État de
surface: Surfacique —
Partie 604:
Caractéristiques nominales des instruments sans contact
(à interférométrie par balayage à cohérence)
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 25178 spécifie les caractéristiques métrologiques des systèmes
d’interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour la cartographie 3D de la hauteur de surface.
2 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
2.1 Termes et définitions relatifs à toutes les méthodes de mesure de l’état de sur-
face surfacique
2.1.1
référence surfacique
composant de l’instrument qui génère une surface de référence par rapport à laquelle est mesurée la
topographie de surface
2.1.2
système de coordonnées de l’instrument
système d’axes (x, y, z) orthonormé de sens direct défini ainsi:
— (x, y) est le plan constitué par la référence surfacique de l’instrument (noter que certains instruments
optiques ne possèdent pas de référence de guidage physique)
— l’axe z est parallèle à l’axe optique et perpendiculaire au plan (x, y) pour un instrument d’optique; l’axe
z est dans le plan de la trajectoire du palpeur et perpendiculaire au plan (x, y) pour un instrument à
palpeur (voir Figure 1)
© ISO 2013 – Tous droits réservés 1
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
Légende
1 système de coordonnées de l’instrument
2 boucle de mesure
Figure 1 — Système de coordonnées et boucle de mesure de l’instrument
Note 1 à l’article: Normalement, l’axe x est l’axe d’avance et l’axe y celui de déplacement entre chaque profil. (Cette
note est valable pour les instruments à balayage dans le plan horizontal.)
Note 2 à l’article: Voir également «système de coordonnées de spécification» [ISO 25178-2:2012, 3.1.2] et «système
de coordonnées du mesurage» [ISO 25178-6:2010, 3.1.1].
2.1.3
boucle de mesure
chaîne fermée comprenant tous les composants connectant la pièce et le palpeur, par exemple le matériel
de positionnement, le dispositif de serrage de la pièce, la table de mesure, les unités d’avance et de
déplacement, le système de palpage
Note 1 à l’article: La boucle de mesure est soumise à des perturbations extérieures et intérieures qui influenceront
l’incertitude de mesure.
VOIR: Figure 1.
2.1.4
surface réelle d’une pièce
ensemble des éléments qui existent physiquement et séparent la totalité de la pièce de son environnement
Note 1 à l’article: La surface réelle est une représentation mathématique de la surface qui est indépendante du
processus de mesure.
Note 2 à l’article: Voir également «surface mécanique» [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.1 ou ISO 14406:2010, 3.1.1] et
«surface électromagnétique» [ISO 25178-2:2012, 3.1.1.2 ou ISO 14406:2010, 3.1.2].
Note 3 à l’article: La surface électromagnétique considérée pour un type d’instrument d’optique peut être
différente de la surface électromagnétique pour d’autres types d’instruments d’optique.
2 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 8 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.1.5
palpeur de surface
dispositif convertissant la hauteur de surface en un signal pendant le mesurage
Note 1 à l’article: Le palpeur est appelé «transducteur» dans les anciennes normes.
2.1.6
volume de mesure
étendue de l’instrument définie par les limites simultanées de toutes les coordonnées spatiales mesurées
par l’instrument
Note 1 à l’article: Pour les instruments mesurant l’état de surface surfacique, le volume de mesure est défini par
l’étendue de mesure des unités d’avance et de déplacement x et y, et par l’étendue de mesure du système de palpage z.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.1]
2.1.7
courbe de réponse
F , F , F
x y z
représentation graphique de la fonction décrivant la relation entre la grandeur réelle et la grandeur mesurée
Note 1 à l’article: Une grandeur réelle en x (respectivement y ou z) correspond à une grandeur mesurée x
M
(respectivement y ou z ).
M M
Note 2 à l’article: La courbe de réponse peut être utilisée pour l’ajustage d’un système de mesure et la
correction des erreurs.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.2]
2.1.8
coefficient d’amplification
α , α , α
x y z
pente de la courbe de régression linéaire obtenue à partir de la courbe de réponse (2.1.7)
Note 1 à l’article: Il y aura des coefficients d’amplification applicables aux grandeurs en x, y et z.
Note 2 à l’article: La réponse idéale est une ligne droite avec une pente égale à 1, signifiant que les valeurs du
mesurande sont égales aux valeurs des grandeurs d’entrée.
[1]
Note 3 à l’article: Voir également «sensibilité» (Guide ISO/CEI 99:2007 , 4.12).
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.3, modifié — La Note 3 à l’article a été ajoutée.]
2.1.9
bruit de l’instrument
N
i
bruit interne, ajouté au signal de sortie, causé par l’instrument s’il est idéalement placé dans un
environnement non générateur de bruit
Note 1 à l’article: Le bruit interne peut être dû au bruit électronique tel que celui des amplificateurs par exemple,
ou au bruit optique, tel que celui de la lumière parasite par exemple.
Note 2 à l’article: Ce bruit a généralement des fréquences élevées et il limite la capacité de l’instrument à détecter
les petites longueurs d’onde spatiales de l’état de surface.
Note 3 à l’article: Le filtre S conforme à l’ISO 25178-3 peut réduire ce bruit.
Note 4 à l’article: Pour certains instruments, le bruit de l’instrument ne peut pas être estimé parce que l’instrument
ne relève les données que lorsqu’il se déplace.
© ISO 2013 – Tous droits réservés 3
---------------------- Page: 9 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.1.10
bruit de mesurage
N
M
bruit ajouté au signal de sortie se produisant pendant l’utilisation normale de l’instrument
Note 1 à l’article: Les notes 2 et 3 en 2.1.9 s’appliquent aussi à cette définition.
Note 2 à l’article: Le bruit de mesurage englobe le bruit de l’instrument (2.1.9).
2.1.11
répétabilité de topographie de surface
répétabilité d’une carte topographique lors de mesures successives de la même surface effectuées dans
les mêmes conditions de mesure
Note 1 à l’article: La répétabilité de topographie de surface fournit une mesure de la probable concordance entre
des mesures répétées, normalement exprimée sous forme d’un écart-type.
[1]
Note 2 à l’article: Voir le Guide ISO/CEI 99:2007 , 2.15 et 2.21, pour une discussion générale relative à la
répétabilité et aux concepts associés.
Note 3 à l’article: L’évaluation de la répétabilité de topographie de surface est une méthode courante de
détermination du bruit de mesurage.
2.1.12
pas d’échantillonnage en x
D
x
distance entre deux points mesurés adjacents suivant l’axe x
Note 1 à l’article: Dans un grand nombre de systèmes de microscopie, le pas d’échantillonnage est déterminé par
la distance entre les capteurs d’une caméra, appelés pixels. Pour de tels systèmes, les termes «pas des pixels» et
«espacement des pixels» sont souvent utilisés de façon interchangeable avec le terme «pas d’échantillonnage».
Un autre terme, «largeur de pixel», indique une longueur associée à un côté (x ou y) de la surface sensible d’un
seul pixel; elle est toujours inférieure à l’espacement des pixels. Un autre terme encore, «zone d’échantillonnage»,
peut être utilisé pour indiquer la longueur ou la région sur laquelle est déterminé un échantillon de hauteur. Cette
grandeur peut être supérieure ou inférieure au pas d’échantillonnage.
2.1.13
pas d’échantillonnage en y
D
y
distance entre deux points mesurés adjacents suivant l’axe y)
Note 1 à l’article: Dans un grand nombre de systèmes de microscopie, le pas d’échantillonnage est déterminé par
la distance entre les capteurs d’une caméra, appelés pixels. Pour de tels systèmes, les termes «pas des pixels» et
«espacement des pixels» sont souvent utilisés de façon interchangeable avec le terme «pas d’échantillonnage».
Un autre terme, «largeur de pixel», indique une longueur associée à un côté (x ou y) de la surface sensible d’un
seul pixel; elle est toujours inférieure à l’espacement des pixels. Un autre terme encore, «zone d’échantillonnage»,
peut être utilisé pour indiquer la longueur ou la région sur laquelle est déterminé un échantillon de hauteur. Cette
grandeur peut être supérieure ou inférieure au pas d’échantillonnage.
2.1.14
pas de numérisation en z
D
z
plus petite variation de hauteur suivant l’axe z entre deux ordonnées de la surface extraite
2.1.15
résolution latérale
R
l
plus petite distance pouvant être détectée entre deux éléments de surface
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.10]
4 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 10 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.1.16
largeur limite pour une transmission de la hauteur totale
W
l
plus petite largeur de rainure rectangulaire dont la profondeur reste inchangée par le mesurage
Note 1 à l’article: Il convient de choisir les caractéristiques de l’instrument (telles que le pas d’échantillonnage en
x et y, le pas de numérisation en z, le filtre de coupure de courtes longueurs d’onde) de sorte qu’elles n’influencent
pas la résolution latérale ni la largeur limite pour une transmission de la hauteur totale.
Note 2 à l’article: Lors de la détermination de ce paramètre par mesurage, il convient que la profondeur de la
rainure rectangulaire soit proche de celle de la surface à mesurer.
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.11, modifié — Les notes ont été modifiées.]
2.1.17
limite latérale de la période
D
LIM
période spatiale d’un profil sinusoïdal pour laquelle la réponse en hauteur d’un instrument chute à 50 %
Note 1 à l’article: La limite latérale de la période est une grandeur permettant de décrire la résolution spatiale ou
latérale d’un instrument de mesure de la topographie de surface et sa capacité à faire la distinction et à mesurer
des éléments de surface très rapprochés. Sa valeur dépend des hauteurs des éléments de surface et de la méthode
utilisée pour palper la surface. Les valeurs maximales de ce paramètre sont indiquées dans l’ISO 25178-3:2012,
Tableau 3, par comparaison aux valeurs recommandées pour le(s) filtre(s) de courtes longueurs d’onde et les pas
d’échantillonnage.
Note 2 à l’article: La période spatiale représente le même concept que la longueur d’onde spatiale et l’inverse de la
fréquence spatiale.
Note 3 à l’article: Un facteur lié à la valeur de D pour les outils d’optique est le critère de Rayleigh (2.3.7). Un
LIM
autre est le degré de focalisation de l’objectif sur la surface.
Note 4 à l’article: Un facteur lié à la valeur de D pour les outils à contact est le rayon de la touche du palpeur,
LIM
r (voir l’ISO 25178-601).
TIP
Note 5 à l’article: Les autres termes liés à la limite latérale de la période sont la résolution de structure et la résolution
spatiale topographique.
2.1.18
pente locale maximale acceptable
pente locale la plus raide d’un élément de la surface pouvant être évaluée par le système de palpage
Note 1 à l’article: Le terme «pente locale» est défini dans l’ISO 4287:1997, 3.2.9.
2.1.19
fonction de transfert de l’instrument
ITF
fI
TF
fonction de fréquence spatiale décrivant la manière dont un instrument de mesure de la topographie de
surface répond à la topographie de surface d’un objet ayant une fréquence spatiale spécifique
Note 1 à l’article: Dans l’idéal, l’ITF indique la relation entre l’amplitude mesurée d’un réseau sinusoïdal d’une
fréquence spatiale spécifiée ν et l’amplitude vraie du réseau.
Note 2 à l’article: Pour plusieurs types d’instruments d’optique, l’ITF peut être une fonction non linéaire de la
hauteur, excepté pour des hauteurs beaucoup plus petites que la longueur d’onde optique.
© ISO 2013 – Tous droits réservés 5
---------------------- Page: 11 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.1.20
hystérésis
x , y , z
HYS HYS HYS
propriété d’un équipement de mesure, ou caractéristique par laquelle l’indication de l’équipement ou la
valeur de la caractéristique dépend de l’orientation des stimuli précédents
Note 1 à l’article: L’hystérésis peut également dépendre, par exemple, de la distance parcourue après le changement
d’orientation des stimuli.
Note 2 à l’article: Pour les systèmes de scanning latéral, l’hystérésis est principalement une erreur de
repositionnement.
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.24, modifié — La Note 2 à l’article et les symboles ont été ajoutés.]
2.1.21
caractéristique métrologique
caractéristique métrologique d’un instrument de mesure
<équipement de mesure> caractéristique susceptible d’avoir une influence sur les résultats de mesurage
Note 1 à l’article: L’étalonnage des caractéristiques métrologiques peut être nécessaire.
Note 2 à l’article: Les caractéristiques métrologiques ont une contribution immédiate à l’incertitude de mesure.
Note 3 à l’article: Les caractéristiques métrologiques des instruments de mesure de l’état de surface surfacique
sont indiquées dans le Tableau 1.
Tableau 1 — Liste des caractéristiques métrologiques pour les méthodes de mesure de l’état de
surface
Caractéristique métrologique Symbole Définition Erreur poten-
tielle princi-
pale suivant
Coefficient d’amplification α , α , α 2.1.8 x, y, z
x y z
Écart de linéarité l , l , l Différence locale maximale entre la x, y, z
x y z
droite à partir de laquelle est calculé le
coefficient d’amplification et la courbe de
réponse
Planéité résiduelle z Planéité de la référence surfacique z
FLT
Bruit de mesurage N 2.1.10 z
M
Limite latérale de la période D 2.1.17 z
LIM
Perpendicularité Δ Écart par rapport à 90° de l’angle formé x, y
PERxy
par les axes x et y
[SOURCE: ISO 14978:2006, 3.12, modifié — Les notes sont différentes et le tableau a été ajouté.]
2.2 Termes et définitions relatifs aux systèmes de scanning suivant x et y
2.2.1
référence de guidage surfacique
composant(s) de l’instrument générant la surface de référence, sur laquelle le système de palpage se
déplace suivant une trajectoire théoriquement exacte par rapport à la surface mesurée
Note 1 à l’article: Dans le cas d’instruments de mesure de l’état de surface surfacique par balayage suivant x et
y, la référence de guidage surfacique établit une surface de référence [ISO 25178-2:2012, 3.1.8]. Elle peut être
obtenue en utilisant deux références de guidage linéaires et perpendiculaires (voir l’ISO 3274:1996, 3.3.2) ou une
référence de guidage surfacique.
6 © ISO 2013 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 12 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.2.2
système de scanning latéral
système réalisant le balayage de la surface à mesurer dans le plan (x, y)
Note 1 à l’article: Il existe essentiellement quatre composants à considérer dans une chaîne de mesurage par
balayage de l’état de surface: l’unité d’avance, l’unité à déplacement latéral, le palpeur de mesure de la hauteur (z)
et la surface à mesurer. Ceux-ci peuvent être configurés de différentes manières et les différentes configurations
présentent donc des différences, comme l’explique le Tableau 2.
Note 2 à l’article: Lorsqu’un mesurage consiste en un seul champ de visée d’un microscope, un balayage suivant x
et y n’est pas utilisé. Toutefois, lorsque plusieurs champs de visée sont réunis par des méthodes de montage (voir
Référence [2]), le système est considéré comme un système de scanning.
Tableau 2 — Différentes configurations possibles pour les références de guidage (x et y)
Unités d’avance et de déplacement
Une référence de guidage
a
Deux références de guidage (x et y)
surfacique
Px o Cy Px o Py Cx o Cy Pxy Cxy
A: sans correction de
l’erreur de distorsion Px o Cy-A Px o Py-A Cx o Cy-A Pxy-A Cxy-A
Système
d’arc
de pal-
S: sans erreur de dis-
page
torsion d’arc ou avec Px ο Cy-S Px o Py-S Cx o Cy-S Pxy-S Cxy-S
erreur corrigée
a
Pour deux fonctions données, f et g, f ο g est la composée de ces fonctions.
Px = systèmes de palpage se déplaçant suivant l’axe x
Py = systèmes de palpage se déplaçant suivant l’axe y
Cx = composant se déplaçant suivant l’axe x
Cy = composant se déplaçant suivant l’axe y
2.2.3
unité d’avance x
composant de l’instrument qui déplace le système de palpage ou la surface mesurée suivant la référence
de guidage de l’axe x et fournit la position horizontale du point mesuré en termes de coordonnée latérale
x pour le profil
2.2.4
unité d’avance y
composant de l’instrument qui déplace le système de palpage ou la surface mesurée suivant la référence
de guidage de l’axe y et fournit la position horizontale du point mesuré en termes de coordonnée latérale
y pour le profil
2.2.5
capteur de position latérale
composant des unités d’avance et de déplacement qui fournit la position latérale du point mesuré
Note 1 à l’article: La position latérale peut être mesurée ou déduite à l’aide, par exemple, d’un encodeur linéaire,
d’un interféromètre laser ou d’un dispositif de comptage associé à une vis micrométrique.
2.2.6
vitesse de mesure
v
x
vitesse du système de palpage suivant l’axe x par rapport à la surface à mesurer, pendant le mesurage
[SOURCE: ISO 25178-601:2010, 3.4.13]
© ISO 2013 – Tous droits réservés 7
---------------------- Page: 13 ----------------------
ISO 25178-604:2013(F)
2.2.7
bruit statique
N
S
combinaison du bruit de l’instrument (2.1.9) et du bruit de l’environnement dans le signal de sortie, en
l’absence de scanning latéral de l’instrument
Note 1 à l’article: Le bruit de l’environnement résulte par exemple des perturbations électromagnétiques externes,
sismiques ou acoustiques.
Note 2 à l’article: Les notes 2 et 3 en 2.1.9 s’appliquent également à cette définition.
Note 3 à l’article: Le bruit statique est inclus dans le bruit de mesurage (2.1.10).
2.2.8
bruit dynamique
N
D
bruit dans le signal de sortie se produisant lors du mouvement des unités d’avance et de déplacement
Note 1 à l’article: Les notes 2 et 3 en 2.1.9 s’appliquent également à cette définition.
Note 2 à l’article: Le bruit dynamique englobe le bruit statique.
Note 3 à l’article: Le bruit dynamique est inclus dans le bruit de mesurage (2.1.10).
2.3 Termes et définitions relatifs aux systèmes optiques
2.3.1
source lumineuse
dispositif optique émettant un intervalle de longueurs d’onde approprié dans un domaine spectral spécifié
2.3.2
largeur de bande spectrale de mesurage
B
λ0
intervalle de longueurs d’ondes de la lumière utilisée pour mesurer une surface
Note 1 à l’article: Des instruments peuvent être construits avec des sources lumineuses ayant une largeur de bande
spectrale limitée et/ou avec des filtres supplémentaires pour limiter davantage la largeur de bande spectrale.
2.3.3
longueur d’onde lumineuse de mesurage
λ
0
valeur efficace de la longueur d’onde de la lumière utilisée pour mesurer une surface
Note 1 à l’article: La longueur d’onde lumineuse de mesurage est affectée par des conditions telles que le spectre
de la source lumineuse, la transmission spectrale des composants optiques et la réponse spectrale du réseau de
capteurs d’image.
2.3.4
ouverture angulaire
angle du cône de lumière pénétrant dans un système optique depuis un po
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.