ISO/TS 24597:2011

Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Methods of evaluating image sharpness

ISO/TS 24597:2011 specifies methods of evaluating the sharpness of digitized images generated by a scanning electron microscope by means of a Fourier transform method, a contrast-to-gradient method and a derivative method.

Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Méthodes d'évaluation de la netteté d'image

L'ISO/TS 24597:2011 spécifie des méthodes d'évaluation de la netteté d'images numérisées produites par un microscope électronique à balayage au moyen de la méthode de la transformée de Fourier, la méthode contraste sur gradient et la méthode de la dérivée.

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 06-Jun-2011
• ICS: 37.020 - Optical equipment
• Technical Committee: ISO/TC 202/SC 4 - Scanning electron microscopy
• Drafting Committee: ISO/TC 202/SC 4 - Scanning electron microscopy
• Current Stage: 9093 - International Standard confirmed
• Completion Date: 18-Nov-2023

Standards Content (Sample)

TECHNICAL ISO/TS
SPECIFICATION 24597
First edition
2011-06-15

Microbeam analysis — Scanning electron
microscopy — Methods of evaluating
image sharpness
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage —
Méthodes d'évaluation de la netteté d'image




Reference number
ISO/TS 24597:2011(E)
©
ISO 2011

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ISO/TS 24597:2011(E)

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ISO/TS 24597:2011(E)
Contents Page
Foreword .iv
Introduction.v
1 Scope.1
2 Normative references.1
3 Terms and definitions .1
4 Steps for acquisition of an SEM image.2
4.1 General .2
4.2 Specimen.2
4.3 Specimen tilt .3
4.4 Selection of the field of view .3
4.5 Selection of the pixel size.3
4.6 Brightness and contrast of the image.4
4.7 Contrast-to-noise ratio of the image .5
4.8 Focus and astigmatism of the image .7
4.9 Interference from external factors .7
4.10 Erroneous contrast .7
4.11 SEM image data file.7
5 Acquisition of an SEM image and selection of an area within the image .7
6 Evaluation methods .8
6.1 General .8
6.2 Contrast-to-noise ratio.9
6.3 Fourier transform (FT) method .9
6.4 Contrast-to-gradient (CG) method.12
6.5 Derivative (DR) method.16
7 Test report.18
7.1 General .
...

SPÉCIFICATION ISO/TS
TECHNIQUE 24597
Première édition
2011-06-15


Analyse par microfaisceaux —
Microscopie électronique à balayage —
Méthodes d'évaluation de la netteté
d'image
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Methods of
evaluating image sharpness




Numéro de référence
ISO/TS 24597:2011(F)
©
ISO 2011

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ISO/TS 24597:2011(F)
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction.v
1 Domaine d'application .1
2 Références normatives.1
3 Termes et définitions .1
4 Étapes pour l'acquisition d'une image MEB.2
4.1 Généralités .2
4.2 Échantillon .2
4.3 Inclinaison de l'échantillon.3
4.4 Sélection du champ balayé .3
4.5 Sélection de la dimension d'un pixel.3
4.6 Brillance et contraste de l'image .4
4.7 Rapport contraste sur bruit de l'image .5
4.8 Focalisation et astigmatisme de l'image.7
4.9 Interférence provenant de facteurs externes .7
4.10 Contraste erroné.7
4.11 Fichier de données d'une image MEB.7
5 Acquisition d'une image MEB et sélection d'une zone de l'image.7
6 Méthodes d'évaluation.8
6.1 Généralités .8
6.2 Rapport contraste sur bruit.9
6.3 Méthode de la transformée de Fourier (TF) .9
6.4 Méthode contraste sur gradient (CG).12
6.5 Méthode de la dérivée (DR) .16
7 Rapport d'essai.18
7.1 Généralités .18
7.2 Contenu du rapp
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