ISO/TS 80004-8:2020

Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes

This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies. All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at the nanoscale or, alternatively, at larger scales. There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document. Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for context and better understanding.

Nanotechnologies — Vocabulaire — Partie 8: Processus de nanofabrication

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication; cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles. Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais qui ne relèvent pas du domaine d'application du présent document. Des termes et définitions d'autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l'Article 3 à des fins de contexte et d'une meilleure compréhension.

General Information

• Status: Published
• Publication Date: 18-Nov-2020
• ICS: 01.040.07 - Natural and applied sciences (Vocabularies)
• ICS: 07.120 - Nanotechnologies
• Technical Committee: ISO/TC 229 - Nanotechnologies
• Drafting Committee: ISO/TC 229/JWG 1 - Terminology and nomenclature
• Parallel Committee: IEC/TC 113 - Nanotechnology for electrotechnical products and systems
• Current Stage: 6060 - International Standard published
• Start Date: 19-Nov-2020
• Due Date: 01-Sep-2020
• Completion Date: 19-Nov-2020

Relations

• Consolidates: ISO 20661:2020 - Ships and marine technology — Cutter suction dredger supervisory and control systems
• Effective Date: 06-Jun-2022
• Revises: ISO/TS 80004-8:2013 - Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes
• Effective Date: 07-Oct-2017

Standards Content (Sample)

TECHNICAL ISO/TS
SPECIFICATION 80004-8
Second edition
2020-11
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8: Processus de nanofabrication
Reference number
ISO/TS 80004-8:2020(E)
ISO 2020
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2020

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Published in Switzerland
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Contents Page

Foreword ........................................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Scope ................................................................................................................................................................................................................................. 1

2 Normative references ...................................................................................................................................................................................... 1

3 Terms and definitions ..................................................................................................................................................................................... 1

4 Terms related to general aspects ........................................................................................................................................................ 3

5 Terms related to directed assembly ................................................................................................................................................. 4

6 Terms related to self-assembly processes ................................................................................................................................. 5

7 Terms related to synthesis ......................................................................................................................................................................... 6

7.1 Gas process phase — Physical methods ........................................................................................................................... 6

7.2 Gas process phase — Chemical methods ......................................................................................................................... 7

7.2.1 Flame synthesis processes ...................................................................................................................................... 7

7.2.2 Other terms .......................................................................................................................................................................... 8

7.3 Liquid process phase — Physical methods .................................................................................................................... 8

7.4 Liquid process phase — Chemical methods .................................................................................................................. 9

7.5 Solid process phase — Physical methods .....................................................................................................................10

7.6 Solid process phase — Chemical methods ..................................................................................................................12

8 Terms related to fabrication .................................................................................................................................................................12

8.1 Nanopatterning lithography .....................................................................................................................................................12

8.2 Deposition processes ......................................................................................................................................................................16

8.3 Etching processes ..............................................................................................................................................................................18

8.4 Printing and coating ........................................................................................................................................................................21

Annex A (informative) Identification of output resulting from defined synthesis processes ................22

Bibliography .............................................................................................................................................................................................................................25

Index .................................................................................................................................................................................................................................................26

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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards

bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out

through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical

committee has been established has the right to be represented on that committee. International

organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.

ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of

electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are

described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the

different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the

editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/ directives).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of

patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of

any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or

on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/ patents).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not

constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and

expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO’s adherence to the

World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www .iso .org/

iso/ foreword .html.

This document was prepared jointly by Technical Committee ISO/TC 229, Nanotechnologies, and

Technical Committee IEC/TC 113, Nanotechnology for electrotechnical products and systems, in

collaboration with the European Committee for Standardization (CEN) Technical Committee CEN/

TC 352, Nanotechnologies, in accordance with the Agreement on technical cooperation between ISO and

CEN (Vienna Agreement). The draft was circulated for voting to the national bodies of both ISO and IEC.

This second edition cancels and replaces the first edition (ISO/TS 80004-8:2013), which has been

technically revised throughout.
A list of all parts in the ISO/TS 80004 series can be found on the ISO website.

Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A

complete listing of these bodies can be found at www .iso .org/ members .html.
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Introduction

Nanomanufacturing is the essential bridge between the discoveries of the nanosciences and real-world

nanotechnology products.

Advancing nanotechnology from the laboratory into volume production ultimately requires careful

study of manufacturing process issues including product design, reliability and quality, process design

and control, shop floor operations, supply chain management, workplace safety and health practices

during the production, use and handling of nanomaterials. Nanomanufacturing encompasses directed

self-assembly and assembly techniques, synthetic methodologies, and fabrication processes such as

lithography and biological processes. Nanomanufacturing also includes bottom-up directed assembly,

top-down high-resolution processing, molecular systems engineering and hierarchical integration with

larger scale systems. As dimensional scales of materials and molecular systems approach the nanoscale,

the conventional rules governing their behaviour may change significantly. As such, the behaviour of a

final product is enabled by the collective performance of its nanoscale building blocks.

Biological process terms are not included in this second edition of the nanomanufacturing vocabulary,

but considering the rapid development of the field, it is expected that terms in this important area will

be added in a future update to this document or in companion documents in the ISO/TS 80004 series.

This could include both the processing of biological nanomaterials and the use of biological processes to

manufacture materials at the nanoscale.

Similarly, additional terms from other developing areas of nanomanufacturing, including composite

manufacturing, roll-to-roll manufacturing and others, will be included in future documents.

There is a distinction between the terms “nanomanufacturing” and “nanofabrication”.

Nanomanufacturing encompasses a broader range of processes than does nanofabrication.

Nanomanufacturing encompasses all nanofabrication techniques and also techniques associated with

materials processing and chemical synthesis.

This document provides an introduction to processes used in the early stages of the nanomanufacturing

value chain, namely the intentional synthesis, generation or control of nanomaterials, including

fabrication steps in the nanoscale. The nanomaterials that result from these manufacturing processes

are distributed in commerce where, for example, they may be further purified, be compatabilized to

be dispersed in mixtures or composite matrices, or serve as integrated components of systems and

devices. The nanomanufacturing value chain is, in actuality, a large and diverse group of commercial

value chains that stretch across these sectors:

— the semiconductor industry (where the push to create smaller, faster, and more efficient

microprocessors heralded the creation of circuitry less than 100 nm in size);
— electronics and telecommunications;
— aerospace, defence and national security;
— energy and automotive;
— plastics and ceramics;
— forest and paper products;
— food and food packaging;
— pharmaceuticals, biomedicine and biotechnology;
— environmental remediation;
— clothing and personal care.

There are thousands of tonnes of nanomaterials on the market with end-use applications in several of

these sectors, such as carbon black and fumed silica. Nanomaterials that are rationally designed with

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ISO/TS 80004-8:2020(E)

specific purpose are expected to radically change the landscape in areas such as biotechnology, water

purification and energy development.

The majority of clauses in this document are organized by process type. In Clause 6, the logic of

placement is as follows: in the step before the particle is made, the material itself is in a gas/liquid/

solid phase. The phase of the substrate or carrier in the process does not drive the categorization of the

process. As an example, consider iron particles that are catalysts in a process by which you seed oil with

iron particles, the oil vaporizes and condenses forming carbon particles on the iron particles. What

vaporizes is the oil, and therefore it is a gas phase process. Nanotubes grow from the gas phase, starting

with catalyst particles that react with the gas phase to grow the nanotubes, thus this is characterized

as a gas process. Indication of whether synthesis processes are used to manufacture nano-objects,

nanoparticles or both is provided in Annex A.

In addition, Annex A identifies the processes that are also applicable to macroscopic materials and are

therefore not exclusively relevant to nanomanufacturing. A common understanding of the terminology

used in practical applications will enable communities of practice in nanomanufacturing and will

advance nanomanufacturing strength worldwide. Extending the understanding of terms across the

existing manufacturing infrastructure will serve to bridge the transition between the innovations of

the research laboratory and the economic viability of nanotechnologies.
[11]

For informative terms supportive of nanomanufacturing terminology, see BSI PAS 135 .

This document belongs to a multi-part vocabulary covering the different aspects of nanotechnologies.

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TECHNICAL SPECIFICATION ISO/TS 80004-8:2020(E)
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
1 Scope

This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies.

All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed

processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within

the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at

the nanoscale or, alternatively, at larger scales.

There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or

metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document.

Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for

context and better understanding.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

— ISO Online browsing platform: available at https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: available at http:// www .electropedia .org/
3.1
carbon nanotube
CNT
nanotube (3.9) composed of carbon

Note 1 to entry: Carbon nanotubes usually consist of curved graphene layers, including single-walled carbon

nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.
[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite

solid comprising a mixture of two or more phase-separated materials, one or more being nanophase

Note 1 to entry: Gaseous nanophases are excluded (they are covered by nanoporous material).

Note 2 to entry: Materials with nanoscale (3.7) phases formed by precipitation alone are not considered to be

nanocomposite materials.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
3.3
nanofibre

nano-object (3.5) with two external dimensions in the nanoscale (3.7) and the third dimension

significantly larger

Note 1 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.

Note 2 to entry: The terms “nanofibril” and “nanofilament” can also be used.

Note 3 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modified — Note 3 to entry has been replaced.]

3.4
nanomaterial

material with any external dimension in the nanoscale (3.7) or having internal structure or surface

structure in the nanoscale

Note 1 to entry: This generic term is inclusive of nano-object (3.5) and nanostructured material (3.8).

Note 2 to entry: See also engineered nanomaterial, manufactured nanomaterial and incidental nanomaterial.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-object

discrete piece of material with one, two or three external dimensions in the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: Generic term for all discrete nano-objects.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modified — Note 1 to entry has been replaced.]

3.6
nanoparticle

nano-object (3.5) with all external dimensions in the nanoscale (3.7) where the lengths of the longest

and the shortest axes of the nano-object do not differ significantly

Note 1 to entry: If the dimensions differ significantly (typically by more than three times), terms such as

“nanofibre” or “nanoplate” may be preferred to the term “nanoparticle”.
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
nanoscale
length range from approximately from 1 nm to 100 nm

Note 1 to entry: Properties that are not extrapolations from a larger size are predominately exhibited in this

length range.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
nanostructured material
material having internal or surface structure in the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: If external dimensions are in the nanoscale, the term nano-object (3.5) is recommended.

Note 2 to entry: Adapted from ISO/TS 80004-1:2015, 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
3.9
nanotube
hollow nanofibre (3.3)
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Terms related to general aspects
4.1
bottom-up nanomanufacturing

processes that use small fundamental units in the nanoscale (3.7) to create larger, functionally rich

structures or assemblies
4.2
co-deposition
simultaneous deposition of two or more source materials

Note 1 to entry: Common methods include vacuum, thermal spray (8.2.16), electrodeposition (8.2.7) and liquid

suspension deposition techniques.
4.3
comminution
crushing or grinding (7.5.6) for particle size reduction
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
4.4
directed assembly

guided formation of a structure guided by external intervention using components at the nanoscale

(3.7) that can, in principle, have any defined pattern
4.5
directed self-assembly

self-assembly (4.11) influenced by external intervention to produce a preferred structure, orientation

or pattern

Note 1 to entry: Examples of external intervention include an applied field, a chemical or structural template,

chemical gradient and fluidic flow.
4.6
lithography
reproducible creation of a pattern

Note 1 to entry: The pattern can be formed in a radiation sensitive material or by transfer of material onto a

substrate by one of the following: transfer, printing or direct writing.
4.7
multilayer deposition

alternating deposition of two or more source materials to produce a composite layer structure

4.8
nanofabrication

ensemble of activities to intentionally create nano-objects (3.5) or nanostructured materials (3.8)

4.9
nanomanufacturing

intentional synthesis, generation or control of nanomaterials (3.4), or fabrication steps in the nanoscale

(3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
© ISO 2020 – All rights reserved 3
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
4.10
nanomanufacturing process

ensemble of activities to intentionally synthesize, generate or control nanomaterials (3.4), or fabrication

steps in the nanoscale (3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
self-assembly

autonomous action by which components organize themselves into patterns or structures

4.12
surface functionalization

chemical process that acts upon a surface to impart a selected chemical or physical functionality

4.13
top-down nanomanufacturing
processes that create structures at the nanoscale (3.7) from macroscopic objects
5 Terms related to directed assembly
5.1
electrostatic driven assembly

use of electrostatic force to orient or place nanoscale (3.7) elements in a device or material

5.2
fluidic alignment
use of fluid flow to orient nanoscale (3.7) elements in a device or material
5.3
hierarchical assembly

use of more than one type of nanomanufacturing (4.9) process to control a structure at multiple

length scales
5.4
magnetic driven assembly

use of magnetic force to assemble elements/particles at the nanoscale (3.7) in a desired pattern or

configuration
5.5
shape-based assembly

use of geometric shapes of nanoparticles (3.6) to achieve a desired pattern or configuration

5.6
supramolecular assembly

use of non-covalent chemical bonding to assemble molecules or nanoparticles (3.6) with surface ligands

5.7
surface-to-surface transfer

transfer of nanoparticles (3.6) or structures from the surface of one substrate, on which they have been

deposited, grown or assembled, onto another substrate
4 © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
6 Terms related to self-assembly processes
6.1
colloidal crystallization

sedimentation of nanoparticles (3.6) from a solution containing nano-objects (3.5) and their aggregates

and agglomerates (NOAAs) to form a solid, which consists of an organization of particles to form an

array of repeating units

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.2
graphioepitaxy
directed self-assembly (4.5) using nanoscale (3.7) topographical features

Note 1 to entry: Includes the growth of a thin layer on the surface and growth of an additional layer on top of a

substrate, which has the same or different structure as the underlying crystal.

Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.3
ion beam surface reconstruction

use of an accelerated ion beam to cause surface modification, which can be at the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.4
Langmuir-Blodgett film formation
creation of a film at an air-liquid interface
6.5
Langmuir-Blodgett film transfer

transfer of a Langmuir-Blodgett film formed at an air-liquid interface onto a solid surface by dipping a

solid substrate into the supporting liquid
6.6
layer-by-layer deposition
LbL deposition

electrostatic process of depositing polyelectrolytes with opposite charges laid over or under another

6.7
modulated elemental reactant method

use of vapour deposited precursors with regions of controlled composition as a template for the

formation of interleaved layers of two or more structures
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
6.8
self-assembled monolayer formation
SAM formation

spontaneous formation of an organized molecular layer on a solid surface from solution or the vapour

phase, driven by molecule-to-surface bonding and weak intermolecular interaction
6.9
Stranski-Krastanow growth

mode of thin film growth which starts as a two-dimensional Frank-van der Merve growth (6.10), and

then continues as a three-dimensional Volmer-Weber growth (6.11)
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
6.10
Frank-van der Merve growth
layer-by-layer film growth

Note 1 to entry: Frank-van der Merve growth corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger

connection with a substrate than with each other. As a result, the next layer growth could not begin until the

previous is completed.

Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth is strictly a two-dimensional growth mode.

6.11
Volmer-Weber growth
island film growth

Note 1 to entry: Volmer-Weber growth mode corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger

connection with each other than with a substrate.

Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth (6.10) is a three-dimensional growth mode.

7 Terms related to synthesis
7.1 Gas process phase — Physical methods
7.1.1
cold gas dynamic spraying

process in which either nanoscale (3.7) crystalline powders or conventional powders are fluidized and

then consolidated onto a surface coating in a high velocity inert gas

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.1.2
electro-spark deposition

pulsed-arc micro-welding process using short-duration, high-current electrical pulses to deposit an

electrode material onto a substrate
7.1.3
electron-beam evaporation

process in which a material is vaporized by incidence of high energy electrons in high or ultra-high

vacuum conditions for subsequent deposition onto a substrate
7.1.4
wire electric explosion

formation of nanoparticles (3.6) by applying an electrical pulse of high current density through a wire

causing it to volatilize with subsequent recondensation
7.1.5
freeze drying

dehydration or solvent removal by rapid cooling immediately followed by vacuum sublimation

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.1.6
spray drying

method in which a dry powder is produced from a liquid or slurry by rapid evaporation (8.2.10) of the

liquid from droplets formed by nebulization, via contact with a hot gas or equivalent

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
6 © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
7.1.7
supercritical expansion

precipitation of nano-objects (3.5) resulting from an expansion of a solution above its critical

temperature and critical pressure through a spray device

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.1.8
suspension combustion thermal spray

thermal spray (8.2.16) in which the precursor is introduced to a plasma jet in the form of a liquid

suspension
7.1.9
vaporization
process of assisted change of phase from solid or liquid to gas or plasma phases

Note 1 to entry: The vaporization process is often used to consequently deposit the vaporized material on a

target substrate. The whole process is known as physical vapour deposition (PVD) (8.2.14).

−6 −9

Note 2 to entry: High vacuum PVD is usually performed at pressures in the range of 10 to 10 Torr. Ultra-high

vacuum (UHV) PVD is the deposition performed at pressures below 10 Torr.
Note 3 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2 Gas process phase — Chemical methods
7.2.1 Flame synthesis processes
7.2.1.1
liquid precursor combustion

creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, via exothermic reaction of a

feedstock solution with an oxidizer

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.2
plasma spray

creation of a jet of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from an ionized

gaseous source

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.3
pyrogenesis

process using combustion or another heat source to produce solid product, typically a nanomaterial

(3.4) in aggregate form, facilitated by an aerosolized spray

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.4
solution precursor plasma spray

gas phase process in which a thermal (equilibrium) plasma is formed into which a solution containing

precursors is introduced resulting in gaseous species that during cooling form a solid product, typically

a nanomaterial (3.4) in aggregate form

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
© ISO 2020 – All rights reserved 7
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
7.2.1.5
thermal spray pyrolysis

creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from liquid precursors

through liquid atomization and reaction using a thermal source

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.2 Other terms
7.2.2.1
hot wall tubular reaction

chemical vapour deposition (8.2.4) performed in a tubular furnace in which the reaction surface is

maintained at a controlled elevated temperature
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2.2.2
photothermal synthesis

gas phase process where a precursor or other gaseous species is heated by absorption of infrared

radiation resulting in heating of the gas and thermal decomposition of the precursor producing a solid

product, typically a nanoparticle (3.6)
Note 1 to entry: The term is not exclusive
...

SPÉCIFICATION ISO/TS
TECHNIQUE 80004-8
Deuxième édition
2020-11
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8: Nanomanufacturing processes
Numéro de référence
ISO/TS 80004-8:2020(F)
ISO 2020
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
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Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette

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y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut

être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.

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Sommaire Page

Avant-propos ..............................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Domaine d’application ................................................................................................................................................................................... 1

2 Références normatives ................................................................................................................................................................................... 1

3 Termes et définitions ....................................................................................................................................................................................... 1

4 Termes relatifs aux aspects généraux ............................................................................................................................................ 3

5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé ............................................................................................................................................. 4

6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage .............................................................................................................. 5

7 Termes relatifs à la synthèse ................................................................................................................................................................... 6

7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques ......... ..................................................................................... 6

7.2 Procédés en phase gazeuse — Méthodes chimiques ............................................................................................. 7

7.2.1 Procédés de synthèse par flamme .................................................................................................................... 7

7.2.2 Autres termes ..................................................................................................................................................................... 8

7.3 Procédés en phase liquide — Méthodes physiques ................................................................................................ 8

7.4 Procédés en phase liquide — Méthodes chimiques................................................................................................ 9

7.5 Procédés en phase solide — Méthodes physiques................................................................................................10

7.6 Procédés en phase solide — Méthodes chimiques ...............................................................................................12

8 Termes relatifs à la fabrication ..........................................................................................................................................................13

8.1 Lithographie par structuration de nanomotifs ........................................................................................................13

8.2 Procédés par dépôt ..........................................................................................................................................................................16

8.3 Procédés de gravure ........................................................................................................................................................................19

8.4 Impression et revêtement ..........................................................................................................................................................22

Annexe A (informative) Identification des applications possibles des procédés de synthèse

présentés ...................................................................................................................................................................................................................23

Bibliographie ...........................................................................................................................................................................................................................27

Index .................................................................................................................................................................................................................................................28

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ISO/TS 80004-8:2020(F)
Avant-propos

L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes L’ISO

(Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes nationaux

de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général

confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de

faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales

et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux. L’ISO collabore

étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui concerne la

normalisation électrotechnique.

Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont

décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents

critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été

rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www

.iso .org/ directives).

L’attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de

droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable

de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant

les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de

l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de

brevets reçues par l’ISO (voir www .iso .org/ brevets).

Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données

pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un

engagement.

Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions

spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion

de l’ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles

techniques au commerce (OTC), voir www .iso .org/ avant -propos.

Le présent document a été élaboré conjointement par le comité technique ISO/TC 229, Nanotechnologies,

et le comité d’étude IEC/TC 113, Nanotechnologies relatives aux appareils et systèmes électrotechnologiques,

en collaboration avec le comité technique CEN/TC 352, Nanotechnologies, du Comité européen de

normalisation (CEN) conformément à l’Accord de coopération technique entre l’ISO et le CEN (Accord de

Vienne). Le projet a été soumis aux organismes nationaux de l’ISO et de l’IEC pour vote.

Cette seconde édition annule et remplace la première édition (ISO/TS 80004-8:2013), qui a fait l’objet

d’une révision technique.

Une liste de toutes les parties de la série ISO/TS 80004 se trouve sur le site web de l’ISO.

Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent

document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes

se trouve à l’adresse www .iso .org/ fr/ members .html.
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
Introduction

La nanofabrication constitue le pont essentiel entre les découvertes du domaine des nanosciences et les

produits du monde réel issus des nanotechnologies.

Le passage des nanotechnologies du laboratoire à la production de masse exige, à terme, une étude

approfondie des questions liées aux procédés de fabrication, y compris la conception, la fiabilité

et la qualité des produits, la conception et la maîtrise des procédés, les opérations en atelier, la

gestion de la chaîne d’approvisionnement, les pratiques de sécurité et de santé sur le lieu de travail

durant la production, l’utilisation et la manipulation de nanomatériaux. La nanofabrication englobe

des techniques d’assemblage et d’auto-assemblage dirigées, des méthodologies de synthèse et des

procédés de fabrication tels que la lithographie et des processus biologiques. La nanofabrication

comprend également l’assemblage dirigé par approche ascendante («bottom-up»), le traitement à

haute résolution par approche descendante («top-down»), l’ingénierie des systèmes moléculaires et

l’intégration hiérarchique avec des systèmes à plus grande échelle. Au fur et à mesure que les échelles

dimensionnelles des matériaux et des systèmes moléculaires se rapprochent de l’échelle nanométrique,

les règles conventionnelles régissant leur comportement peuvent varier considérablement. À ce titre, le

comportement d’un produit final est directement lié à la performance collective de ses constituants de

base à l’échelle nanométrique.

Les termes propres aux procédés biologiques ne sont pas inclus dans cette deuxième édition du

vocabulaire de la nanofabrication, mais, compte tenu de l’évolution rapide dans ce domaine, il est

prévu que les termes propres à cet important domaine soient ajoutés lors d’une mise à jour ultérieure

du présent document ou dans des documents accompagnant la série de normes ISO/TS 80004. Ces

documents pourraient inclure à la fois le traitement des nanomatériaux biologiques et l’utilisation de

procédés biologiques pour la fabrication de matériaux à l’échelle nanométrique.

De la même manière, des termes supplémentaires issus d’autres domaines de nanofabrication

en développement, y compris la fabrication de composites, la technique bobine/bobine et autres

techniques, seront inclus dans de futurs documents.

Une distinction doit être faite entre les termes «nanofabrication» et «nanoproduction».

La«nanofabrication» englobe un éventail de procédés plus vaste que celui de la «nanoproduction».

La «nanofabrication» comprend toutes les techniques de «nanoproduction», ainsi que les techniques

associées au traitement des matériaux et à la synthèse chimique.

Le présent document se veut une introduction aux procédés utilisés pour les premières étapes de la

chaîne de valeur de la nanofabrication, c’est-à-dire la synthèse, la production ou le contrôle intentionnels

de nanomatériaux, y compris les étapes de fabrication à l’échelle nanométrique. Les nanomatériaux

issus de ces procédés de fabrication sont commercialisés lorsqu’ils peuvent, par exemple, faire l’objet

d’une purification supplémentaire, être rendus compatibles pour une dispersion dans des mélanges

ou des matrices composites, ou servir de composants intégrés dans des systèmes et des appareils. En

réalité, la chaîne de valeur de la nanofabrication est un ensemble important et diversifié de chaînes de

valeur commerciales qui couvrent les secteurs suivants:

— l’industrie des semi-conducteurs (où la pression exercée pour créer des microprocesseurs plus

petits, plus rapides et plus performants a conduit à la création de circuits inférieurs à 100 nm);

— l’électronique et les télécommunications;
— l’aérospatiale, la défense et la sécurité nationale;
— l’énergie et l’automobile;
— les plastiques et les céramiques;
— les produits forestiers et papetiers;
— l’alimentation et l’emballage alimentaire;
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
— l’industrie pharmaceutique, la biomédecine et les biotechnologies;
— l’assainissement de l’environnement;
— l’habillement et les soins de santé.

Sur le marché, des milliers de tonnes de nanomatériaux font l’objet d’applications finales dans plusieurs

des secteurs en question, tels que le noir de carbone et la fumée de silice. Les nanomatériaux qui sont

conçus de manière rationnelle dans un but spécifique sont censés bouleverser le paysage de secteurs

tels que les biotechnologies, l’assainissement de l’eau et le développement des énergies.

La plupart des articles du présent document sont organisés par type de procédés. Dans l’Article 6, la

logique de classement est la suivante: avant la fabrication de la particule, le matériau lui-même est en

phase gazeuse/liquide/solide. La phase du substrat ou porteur dans le procédé ne détermine pas la

catégorisation du procédé. Par exemple, des particules de fer sont des catalyseurs pour un procédé dans

lequel de l’hydrocarbure est ensemencée par des particules de fer, l’hydrocarbure se vaporise puis se

condense, formant des particules de carbone sur les particules de fer. Dans la mesure où l’hydrocarbure

est l’élément qui se vaporise, il s’agit d’un procédé en phase gazeuse. Du fait que les nanotubes sont

synthétisés en phase gazeuse, en présence de particules de catalyseur réagissant avec la phase gazeuse

pour produire les nanotubes, ce procédé est caractérisé comme étant un procédé en phase gazeuse.

L’Annexe A fournit des indications permettant d’établir si des procédés de synthèse sont utilisés ou non

pour fabriquer des nano-objets, des nanoparticules ou les deux.

En outre, l’Annexe A identifie les procédés qui sont également applicables aux matériaux macroscopiques

et qui ne sont donc pas exclusivement pertinents pour la nanofabrication. Une compréhension commune

de la terminologie utilisée dans des applications pratiques permettra aux entités concernées d’employer

des méthodes communes dans la nanofabrication et permettra de renforcer le développement de

la nanofabrication à travers le monde. Une généralisation de la compréhension des termes au sein

de l’infrastructure de fabrication existante assurera la transition entre les innovations dans les

laboratoires de recherche et la viabilité économique des nanotechnologies.

En ce qui concerne les termes informatifs venant à l’appui de la terminologie relative à la nanofabrication,

[11]
voir la norme BSI PAS 135 .

Le présent document fait partie d’un vocabulaire constitué de plusieurs parties et traitant des différents

aspects des nanotechnologies.
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SPÉCIFICATION TECHNIQUE ISO/TS 80004-8:2020(F)
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
1 Domaine d’application

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine

des nanotechnologies.

Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication;

cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l’échelle

nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur

définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des

matériaux à l’échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.

Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des

méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais

qui ne relèvent pas du domaine d’application du présent document.

Des termes et définitions d’autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l’Article 3

à des fins de contexte et d’une meilleure compréhension.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions

L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en

normalisation, consultables aux adresses suivantes:

— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https:// www .iso .org/ obp

— IEC Electropedia: disponible à l’adresse http:// www .electropedia .org/
3.1
nanotube de carbone
CNT (NTC)
nanotube (3.9) composé de carbone

Note 1 à l'article: Les nanotubes de carbone sont, en général, constitués de couches de graphène enroulées sur

elles-mêmes, et comprennent des nanotubes de carbone simple paroi et des nanotubes de carbone multi-parois.

[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite

solide composé d’un mélange de deux ou plusieurs matériaux de phases distinctes, dont une ou plusieurs

sont des nanophases

Note 1 à l'article: Les nanophases gazeuses sont exclues (elles sont traitées dans la catégorie des matériaux

nanoporeux).
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ISO/TS 80004-8:2020(F)

Note 2 à l'article: Les matériaux composés de phases à l’échelle nanométrique (3.7) formées uniquement par

précipitation ne sont pas considérés comme des nanocomposites.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
3.3
nanofibre

nano-objet (3.5) ayant deux dimensions externes à l’échelle nanométrique (3.7) et la troisième dimension

externe significativement plus grande

Note 1 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.

Note 2 à l'article: Les termes «nanofibrille» et «nanofilament» peuvent également être utilisés.

Note 3 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modifiée — la Note 3 à l’article a été remplacée.]

3.4
nanomatériau

matériau ayant une dimension extérieure à l’échelle nanométrique (3.7) ou ayant une structure interne

ou une structure de surface à l’échelle nanométrique

Note 1 à l'article: Ce terme générique englobe les nano-objets (3.5) et les matériaux nanostructurés (3.8).

Note 2 à l'article: Voir également nanomatériau d’ingénierie, nanomatériau manufacturé et nanomatériau

incidentel.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-objet

portion discrète de matériau dont une, deux ou les trois dimensions externes sont à l’échelle

nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Terme générique pour tous les objets discrets à l’échelle nanométrique.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modifiée — la Note 1 à l’article a été remplacée.]

3.6
nanoparticule

nano-objet (3.5) dont toutes les dimensions externes sont à l’échelle nanométrique (3.7) et dont les

longueurs du plus grand et du plus petit axes ne diffèrent pas de façon significative

Note 1 à l'article: Si les dimensions diffèrent de façon significative (généralement d’un facteur supérieur à 3), des

termes tels que «nanofibre» ou «nanoplaque» peuvent être préférés au terme «nanoparticule».

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
échelle nanométrique
échelle de longueur s’étendant approximativement de 1 nm à 100 nm

Note 1 à l'article: Les propriétés qui ne constituent pas des extrapolations par rapport à des dimensions plus

grandes sont principalement manifestes dans cette échelle de longueur.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
matériau nanostructuré

matériau ayant une structure interne ou de surface à l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Si une ou plusieurs dimensions externes sont à l’échelle nanométrique, il est recommandé

d’utiliser le terme nano-objet (3.5).
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
Note 2 à l'article: Adapté de l’ISO/TS 80004-1:2015, définition 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
3.9
nanotube
nanofibre (3.3) creuse
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Termes relatifs aux aspects généraux
4.1
nanofabrication ascendante

procédés qui utilisent de petites unités fondamentales à l’échelle nanométrique (3.7) afin de créer des

structures ou assemblages de plus grande taille riches en fonctionnalités
4.2
codépôt
dépôt simultané de deux matériaux sources ou plus

Note 1 à l'article: Les méthodes courantes incluent le dépôt sous vide, le dépôt par pulvérisation thermique (8.2.16),

le dépôt électrolytique (8.2.7) et le dépôt par sédimentation.
4.3
comminution
concassage ou broyage (7.5.6) afin de réduire la taille des particules
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
4.4
assemblage dirigé

formation d’une structure guidée par une intervention extérieure à l’aide de composants à l’échelle

nanométrique (3.7) qui peuvent, en principe, avoir n’importe quel motif défini
4.5
auto-assemblage dirigé

auto-assemblage (4.11) influencé par une intervention extérieure afin de produire une structure, une

orientation ou un motif préférentiel(le)

Note 1 à l'article: Une intervention extérieure peut être, par exemple, un champ appliqué, un gabarit chimique ou

structural, un gradient chimique ou un débit fluidique.
4.6
lithographie
reproduction d’un motif

Note 1 à l'article: Le motif peut être formé dans un matériau radiosensible ou par le déplacement de matériau sur

un substrat par l’un des moyens suivants: transfert, impression ou écriture directe.

4.7
dépôt multi-couches

dépôt alterné de deux matériaux sources ou plus afin de produire une structure composite en couches

4.8
nanoproduction

ensemble des activités visant à élaborer intentionnellement des nano-objets (3.5) ou des matériaux

nanostructurés (3.8)
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
4.9
nanofabrication

synthèse, génération ou contrôle intentionnels de nanomatériaux (3.4), ou étapes de production à

l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
4.10
procédés de nanofabrication

ensemble des activités visant à synthétiser, produire ou contrôler intentionnellement des nanomatériaux

(3.4), ou des étapes de fabrication à l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
auto-assemblage

action autonome par laquelle des composants s’organisent eux-mêmes sous forme de motifs ou de

structures
4.12
fonctionnalisation de surface

procédé chimique qui permet de créer sur une surface une fonctionnalité chimique ou physique définie

4.13
nanofabrication descendante

procédés qui permettent de créer des structures à l’échelle nanométrique (3.7) à partir d’objets

macroscopiques
5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé
5.1
assemblage par guidage électrostatique

utilisation d’une force électrostatique afin d’orienter ou introduire des éléments à l’échelle nanométrique

(3.7) dans un dispositif ou un matériau
5.2
alignement fluidique

utilisation de l’écoulement d’un fluide afin d’orienter des éléments à l’échelle nanométrique (3.7) dans un

dispositif ou un matériau
5.3
assemblage hiérarchique

utilisation de plusieurs types de procédés de nanofabrication (4.9) afin de contrôler la structure à

différentes échelles de longueur
5.4
assemblage par guidage magnétique

utilisation d’une force magnétique pour créer un assemblage d’éléments/particules à l’échelle

nanométrique (3.7) selon un motif ou une configuration souhaité(e)
5.5
assemblage par forme

utilisation des formes géométriques de nanoparticules (3.6) afin d’obtenir un motif ou une configuration

souhaité(e)
5.6
assemblage supramoléculaire

utilisation d’une liaison chimique non covalente afin d’assembler des molécules ou des nanoparticules

(3.6) avec des ligands de surface
4 © ISO 2020 – Tous droits réservés
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
5.7
transfert entre surfaces

transfert de nanoparticules (3.6) ou de structures depuis la surface d’un substrat, sur lequel elles ont

été déposées, synthétisées ou assemblées, vers un autre substrat
6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage
6.1
cristallisation colloïdale

sédimentation de nanoparticules (3.6) à partir d’une solution contenant des nano-objets (3.5) ainsi que

leurs agrégats et agglomérats (NOAA) pour former un solide constitué d’un groupement de particules

formant un réseau de motifs répétés

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.2
grapho-épitaxie

auto-assemblage dirigé (4.5) utilisant des caractéristiques topographiques à l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Ce procédé inclut la croissance d’une couche mince sur la surface et la croissance d’une couche

supplémentaire au-dessus d’un substrat qui possède une structure identique à ou différente de celle du cristal

sous-jacent.

Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.3
reconstruction de surface par faisceau d’ions

utilisation d’un faisceau d’ions accélérés afin de provoquer une modification de surface qui peut être à

l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.4
formation d’un film de Langmuir-Blodgett
création d’un film au niveau d’une interface air-liquide
6.5
transfert d’un film de Langmuir-Blodgett

transfert d’un film de Langmuir-Blodgett formé au niveau d’une interface air-liquide vers une surface

solide en plongeant un substrat solide dans le liquide support
6.6
dépôt couche par couche
dépôt LBL (CPC)

procédé électrostatique qui consiste à déposer, l’un au-dessus de l’autre, des polyélectrolytes de charges

opposées
6.7
méthode impliquant des réactifs élémentaires modulés

utilisation de précurseurs déposés en phase vapeur avec des régions de composition contrôlée, en tant

que matrice pour former des couches imbriquées de deux structures ou plus
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
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ISO/TS 80004-8:2020(F)
6.8
formation d’une monocouche auto-assemblée
formation d’une SAM (MAM)

formation spontanée d’une couche moléculaire organisée sur une surface solide à partir d’une solution

ou de la phase vapeur, guidée par une liaison molécule-surface et une interaction intermoléculaire faible

6.9
croissance de Stranski-Krastanov

mode de croissance de film mince qui commence comme une croissance Frank-van der Merwe (6.10)

bidimensionnelle, puis continue comme une croissance Volmer-Weber (6.11) tridimensionnelle

6.10
croissance Frank-van der Merwe
croissance d’un film couche par couche

Note 1 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film

ont une liaison plus forte avec un substrat qu’entre eux. En conséquence, la croissance de la couche suivante ne

peut commencer tant que la croissance de la précédente n’est pas terminée.

Note 2 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe est un mode de croissance strictement bidimensionnel.

6.11
croissance Volmer-Weber
croissance d’un film par formation d’îlots

Note 1 à l'article: La croissance Volmer-Weber correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film ont

une liaison plus forte entre eux qu’avec un substrat.

Note 2 à l'article: La croissance Volmer-Weber (6.10) est un mode de croissance tridimensionnel.

7 Termes relatifs à la synthèse
7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques
7.1.1
pulvérisation dynamique par gaz froid

procédé dans lequel des poudres cristallines à l’échelle nanométrique (3.7) ou des poudres

conventionnelles sont fluidisées, puis consolidées sur un revêtement de surface dans un gaz inerte à

grande vitesse

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
7.1.2
dépôt par électro-étincelles

procédé de microsoudage à l’arc pulsé utilisant des impulsions électriques de haute intensité et de

courte durée pour déposer un matériau d’électrode sur un substrat
7.1.3
évaporation par faisceau d’électrons

procédé dans lequel un matériau est vaporisé par irradiation d’électrons à haute énergie dans des

conditions de vide poussé ou d’ultravide en vue d’un dépôt ultérieur sur un substrat

7.1.4
explosion électrique d’un fil

formation de nanoparticules (3.6) par application d’une impulsion électrique de dens

...

TECHNICAL ISO/TS
SPECIFICATION 80004-8
Second edition
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8: Processus de nanofabrication
Member bodies are requested to consult relevant national interests in IEC/TC
113 before casting their ballot to the e-Balloting application.
PROOF/ÉPREUVE
Reference number
ISO/TS 80004-8:2020(E)
ISO 2020
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO/TS 80004-8:2020(E)
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© ISO 2020

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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Contents Page

Foreword ........................................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Scope ................................................................................................................................................................................................................................. 1

2 Normative references ...................................................................................................................................................................................... 1

3 Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series ............................................................1

4 Terms related to general aspects ........................................................................................................................................................ 3

5 Terms related to directed assembly ................................................................................................................................................. 4

6 Terms related to self-assembly processes ................................................................................................................................. 5

7 Terms related to synthesis ......................................................................................................................................................................... 6

7.1 Gas process phase — Physical methods ........................................................................................................................... 6

7.2 Gas process phase — Chemical methods ......................................................................................................................... 7

7.2.1 Flame synthesis processes ...................................................................................................................................... 7

7.2.2 Other terms .......................................................................................................................................................................... 8

7.3 Liquid process phase — Physical methods .................................................................................................................... 8

7.4 Liquid process phase — Chemical methods .................................................................................................................. 9

7.5 Solid process phase — Physical methods .....................................................................................................................10

7.6 Solid process phase — Chemical methods ..................................................................................................................12

8 Terms related to fabrication .................................................................................................................................................................12

8.1 Nanopatterning lithography .....................................................................................................................................................12

8.2 Deposition processes ......................................................................................................................................................................16

8.3 Etching processes ..............................................................................................................................................................................18

8.4 Printing and coating ........................................................................................................................................................................21

Annex A (informative) Identification of output resulting from defined synthesis processes ................22

Bibliography .............................................................................................................................................................................................................................25

Index .................................................................................................................................................................................................................................................26

© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE iii
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards

bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out

through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical

committee has been established has the right to be represented on that committee. International

organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.

ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of

electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are

described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the

different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the

editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/ directives).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of

patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of

any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or

on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/ patents).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not

constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and

expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO’s adherence to the

World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www .iso .org/

iso/ foreword .html.

This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 229, Nanotechnologies, in collaboration

with the European Committee for Standardization (CEN) Technical Committee CEN/TC 352,

Nanotechnologies, in accordance with the Agreement on technical cooperation between ISO and CEN

(Vienna Agreement).

This second edition cancels and replaces the first edition (ISO/TS 80004-8:2013), which has been

technically revised throughout.
A list of all parts in the ISO/TS 80004 series can be found on the ISO website.

Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A

complete listing of these bodies can be found at www .iso .org/ members .html.
iv PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
Introduction

Nanomanufacturing is the essential bridge between the discoveries of the nanosciences and real-world

nanotechnology products.

Advancing nanotechnology from the laboratory into volume production ultimately requires careful

study of manufacturing process issues including product design, reliability and quality, process design

and control, shop floor operations, supply chain management, workplace safety and health practices

during the production, use and handling of nanomaterials. Nanomanufacturing encompasses directed

self-assembly and assembly techniques, synthetic methodologies, and fabrication processes such as

lithography and biological processes. Nanomanufacturing also includes bottom-up directed assembly,

top-down high-resolution processing, molecular systems engineering and hierarchical integration with

larger scale systems. As dimensional scales of materials and molecular systems approach the nanoscale,

the conventional rules governing their behaviour may change significantly. As such, the behaviour of a

final product is enabled by the collective performance of its nanoscale building blocks.

Biological process terms are not included in this second edition of the nanomanufacturing vocabulary,

but considering the rapid development of the field, it is expected that terms in this important area will

be added in a future update to this document or in companion documents in the ISO/TS 80004 series.

This could include both the processing of biological nanomaterials and the use of biological processes to

manufacture materials at the nanoscale.

Similarly, additional terms from other developing areas of nanomanufacturing, including composite

manufacturing, roll-to-roll manufacturing and others, will be included in future documents.

There is a distinction between the terms “nanomanufacturing” and “nanofabrication”.

Nanomanufacturing encompasses a broader range of processes than does nanofabrication.

Nanomanufacturing encompasses all nanofabrication techniques and also techniques associated with

materials processing and chemical synthesis.

This document provides an introduction to processes used in the early stages of the nanomanufacturing

value chain, namely the intentional synthesis, generation or control of nanomaterials, including

fabrication steps in the nanoscale. The nanomaterials that result from these manufacturing processes

are distributed in commerce where, for example, they may be further purified, be compatabilized to

be dispersed in mixtures or composite matrices, or serve as integrated components of systems and

devices. The nanomanufacturing value chain is, in actuality, a large and diverse group of commercial

value chains that stretch across these sectors:

— the semiconductor industry (where the push to create smaller, faster, and more efficient

microprocessors heralded the creation of circuitry less than 100 nm in size);
— electronics and telecommunications;
— aerospace, defence and national security;
— energy and automotive;
— plastics and ceramics;
— forest and paper products;
— food and food packaging;
— pharmaceuticals, biomedicine and biotechnology;
— environmental remediation;
— clothing and personal care.

There are thousands of tonnes of nanomaterials on the market with end-use applications in several of

these sectors, such as carbon black and fumed silica. Nanomaterials that are rationally designed with

© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE v
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ISO/TS 80004-8:2020(E)

specific purpose are expected to radically change the landscape in areas such as biotechnology, water

purification and energy development.

The majority of clauses in this document are organized by process type. In Clause 6, the logic of

placement is as follows: in the step before the particle is made, the material itself is in a gas/liquid/

solid phase. The phase of the substrate or carrier in the process does not drive the categorization of the

process. As an example, consider iron particles that are catalysts in a process by which you seed oil with

iron particles, the oil vaporizes and condenses forming carbon particles on the iron particles. What

vaporizes is the oil, and therefore it is a gas phase process. Nanotubes grow from the gas phase, starting

with catalyst particles that react with the gas phase to grow the nanotubes, thus this is characterized

as a gas process. Indication of whether synthesis processes are used to manufacture nano-objects,

nanoparticles or both is provided in Annex A.

In addition, Annex A identifies the processes that are also applicable to macroscopic materials and are

therefore not exclusively relevant to nanomanufacturing. A common understanding of the terminology

used in practical applications will enable communities of practice in nanomanufacturing and will

advance nanomanufacturing strength worldwide. Extending the understanding of terms across the

existing manufacturing infrastructure will serve to bridge the transition between the innovations of

the research laboratory and the economic viability of nanotechnologies.
[11]

For informative terms supportive of nanomanufacturing terminology, see BSI PAS 135 .

This document belongs to a multi-part vocabulary covering the different aspects of nanotechnologies.

vi PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – All rights reserved
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TECHNICAL SPECIFICATION ISO/TS 80004-8:2020(E)
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
1 Scope

This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies.

All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed

processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within

the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at

the nanoscale or, alternatively, at larger scales.

There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or

metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document.

Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for

context and better understanding.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

— ISO Online browsing platform: available at https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: available at http:// www .electropedia .org/
3.1
carbon nanotube
CNT
nanotube (3.9) composed of carbon

Note 1 to entry: Carbon nanotubes usually consist of curved graphene layers, including single-walled carbon

nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.
[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite

solid comprising a mixture of two or more phase-separated materials, one or more being nanophase

Note 1 to entry: Gaseous nanophases are excluded (they are covered by nanoporous material).

Note 2 to entry: Materials with nanoscale (3.7) phases formed by precipitation alone are not considered to be

nanocomposite materials.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE 1
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
3.3
nanofibre

nano-object (3.5) with two external dimensions in the nanoscale (3.7) and the third dimension

significantly larger

Note 1 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.

Note 2 to entry: The terms “nanofibril” and “nanofilament” can also be used.

Note 3 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modified — Note 3 to entry has been replaced.]

3.4
nanomaterial

material with any external dimension in the nanoscale (3.7) or having internal structure or surface

structure in the nanoscale

Note 1 to entry: This generic term is inclusive of nano-object (3.5) and nanostructured material (3.8).

Note 2 to entry: See also engineered nanomaterial, manufactured nanomaterial and incidental nanomaterial.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-object

discrete piece of material with one, two or three external dimensions in the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: Generic term for all discrete nano-objects.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modified — Note 1 to entry has been replaced.]

3.6
nanoparticle

nano-object (3.5) with all external dimensions in the nanoscale (3.7) where the lengths of the longest

and the shortest axes of the nano-object do not differ significantly

Note 1 to entry: If the dimensions differ significantly (typically by more than three times), terms such as

“nanofibre” or “nanoplate” may be preferred to the term “nanoparticle”.
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
nanoscale
length range from approximately from 1 nm to 100 nm

Note 1 to entry: Properties that are not extrapolations from a larger size are predominately exhibited in this

length range.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
nanostructured material
material having internal or surface structure in the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: If external dimensions are in the nanoscale, the term nano-object (3.5) is recommended.

Note 2 to entry: Adapted from ISO/TS 80004-1:2015, 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
2 PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
3.9
nanotube
hollow nanofibre (3.3)
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Terms related to general aspects
4.1
bottom-up nanomanufacturing

processes that use small fundamental units in the nanoscale (3.7) to create larger, functionally rich

structures or assemblies
4.2
co-deposition
simultaneous deposition of two or more source materials

Note 1 to entry: Common methods include vacuum, thermal spray (8.2.16), electrodeposition (8.2.7) and liquid

suspension deposition techniques.
4.3
comminution
crushing or grinding (7.5.6) for particle size reduction
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
4.4
directed assembly

guided formation of a structure guided by external intervention using components at the nanoscale

(3.7) that can, in principle, have any defined pattern
4.5
directed self-assembly

self-assembly (4.11) influenced by external intervention to produce a preferred structure, orientation

or pattern

Note 1 to entry: Examples of external intervention include an applied field, a chemical or structural template,

chemical gradient and fluidic flow.
4.6
lithography
reproducible creation of a pattern

Note 1 to entry: The pattern can be formed in a radiation sensitive material or by transfer of material onto a

substrate by one of the following: transfer, printing or direct writing.
4.7
multilayer deposition

alternating deposition of two or more source materials to produce a composite layer structure

4.8
nanofabrication

ensemble of activities to intentionally create nano-objects (3.5) or nanostructured materials (3.8)

4.9
nanomanufacturing

intentional synthesis, generation or control of nanomaterials (3.4), or fabrication steps in the nanoscale

(3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE 3
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
4.10
nanomanufacturing process

ensemble of activities to intentionally synthesize, generate or control nanomaterials (3.4), or fabrication

steps in the nanoscale (3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
self-assembly

autonomous action by which components organize themselves into patterns or structures

4.12
surface functionalization

chemical process that acts upon a surface to impart a selected chemical or physical functionality

4.13
top-down nanomanufacturing
processes that create structures at the nanoscale (3.7) from macroscopic objects
5 Terms related to directed assembly
5.1
electrostatic driven assembly

use of electrostatic force to orient or place nanoscale (3.7) elements in a device or material

5.2
fluidic alignment
use of fluid flow to orient nanoscale (3.7) elements in a device or material
5.3
hierarchical assembly

use of more than one type of nanomanufacturing (4.9) process to control a structure at multiple

length scales
5.4
magnetic driven assembly

use of magnetic force to assemble elements/particles at the nanoscale (3.7) in a desired pattern or

configuration
5.5
shape-based assembly

use of geometric shapes of nanoparticles (3.6) to achieve a desired pattern or configuration

5.6
supramolecular assembly

use of non-covalent chemical bonding to assemble molecules or nanoparticles (3.6) with surface ligands

5.7
surface-to-surface transfer

transfer of nanoparticles (3.6) or structures from the surface of one substrate, on which they have been

deposited, grown or assembled, onto another substrate
4 PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
6 Terms related to self-assembly processes
6.1
colloidal crystallization

sedimentation of nanoparticles (3.6) from a solution containing nano-objects (3.5) and their aggregates

and agglomerates (NOAAs) to form a solid, which consists of an organization of particles to form an

array of repeating units

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.2
graphioepitaxy
directed self-assembly (4.5) using nanoscale (3.7) topographical features

Note 1 to entry: Includes the growth of a thin layer on the surface and growth of an additional layer on top of a

substrate, which has the same or different structure as the underlying crystal.

Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.3
ion beam surface reconstruction

use of an accelerated ion beam to cause surface modification, which can be at the nanoscale (3.7)

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
6.4
Langmuir-Blodgett film formation
creation of a film at an air-liquid interface
6.5
Langmuir-Blodgett film transfer

transfer of a Langmuir-Blodgett film formed at an air-liquid interface onto a solid surface by dipping a

solid substrate into the supporting liquid
6.6
layer-by-layer deposition
LbL deposition

electrostatic process of depositing polyelectrolytes with opposite charges laid over or under another

6.7
modulated elemental reactant method

use of vapour deposited precursors with regions of controlled composition as a template for the

formation of interleaved layers of two or more structures
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
6.8
self-assembled monolayer formation
SAM formation

spontaneous formation of an organized molecular layer on a solid surface from solution or the vapour

phase, driven by molecule-to-surface bonding and weak intermolecular interaction
6.9
Stranski-Krastanow growth

mode of thin film growth which starts as a two-dimensional Frank-van der Merve growth (6.10), and

then continues as a three-dimensional Volmer-Weber growth (6.11)
© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE 5
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
6.10
Frank-van der Merve growth
layer-by-layer film growth

Note 1 to entry: Frank-van der Merve growth corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger

connection with a substrate than with each other. As a result, the next layer growth could not begin until the

previous is completed.

Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth is strictly a two-dimensional growth mode.

6.11
Volmer-Weber growth
island film growth

Note 1 to entry: Volmer-Weber growth mode corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger

connection with each other than with a substrate.

Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth (6.10) is a three-dimensional growth mode.

7 Terms related to synthesis
7.1 Gas process phase — Physical methods
7.1.1
cold gas dynamic spraying

process in which either nanoscale (3.7) crystalline powders or conventional powders are fluidized and

then consolidated onto a surface coating in a high velocity inert gas

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.1.2
electro-spark deposition

pulsed-arc micro-welding process using short-duration, high-current electrical pulses to deposit an

electrode material onto a substrate
7.1.3
electron-beam evaporation

process in which a material is vaporized by incidence of high energy electrons in high or ultra-high

vacuum conditions for subsequent deposition onto a substrate
7.1.4
wire electric explosion

formation of nanoparticles (3.6) by applying an electrical pulse of high current density through a wire

causing it to volatilize with subsequent recondensation
7.1.5
freeze drying

dehydration or solvent removal by rapid cooling immediately followed by vacuum sublimation

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.1.6
spray drying

method in which a dry powder is produced from a liquid or slurry by rapid evaporation (8.2.10) of the

liquid from droplets formed by nebulization, via contact with a hot gas or equivalent

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
6 PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – All rights reserved
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
7.1.7
supercritical expansion

precipitation of nano-objects (3.5) resulting from an expansion of a solution above its critical

temperature and critical pressure through a spray device

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.1.8
suspension combustion thermal spray

thermal spray (8.2.16) in which the precursor is introduced to a plasma jet in the form of a liquid

suspension
7.1.9
vaporization
process of assisted change of phase from solid or liquid to gas or plasma phases

Note 1 to entry: The vaporization process is often used to consequently deposit the vaporized material on a

target substrate. The whole process is known as physical vapour deposition (PVD) (8.2.14).

−6 −9

Note 2 to entry: High vacuum PVD is usually performed at pressures in the range of 10 to 10 Torr. Ultra-high

vacuum (UHV) PVD is the deposition performed at pressures below 10 Torr.
Note 3 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2 Gas process phase — Chemical methods
7.2.1 Flame synthesis processes
7.2.1.1
liquid precursor combustion

creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, via exothermic reaction of a

feedstock solution with an oxidizer

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.2
plasma spray

creation of a jet of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from an ionized

gaseous source

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.3
pyrogenesis

process using combustion or another heat source to produce solid product, typically a nanomaterial

(3.4) in aggregate form, facilitated by an aerosolized spray

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.1.4
solution precursor plasma spray

gas phase process in which a thermal (equilibrium) plasma is formed into which a solution containing

precursors is introduced resulting in gaseous species that during cooling form a solid product, typically

a nanomaterial (3.4) in aggregate form

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
© ISO 2020 – All rights reserved PROOF/ÉPREUVE 7
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ISO/TS 80004-8:2020(E)
7.2.1.5
thermal spray pyrolysis

creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from liquid precursors

through liquid atomization and reaction using a thermal source

Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to

nanomanufacturing processes.
7.2.2 Other terms
7.2.1
hot wall tubular reaction

chemical vapour deposition (8.2.4) performed in a tubular furnace in which the reaction surface is

maintained at a controlled elevated temperature
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2.2
photothermal synthesis

gas phase process where a precursor or other gaseous species is heated by absorption of infrared

radiation resulting in heating of the gas and thermal decomposition of the precursor producing a solid

...

SPÉCIFICATION ISO/IEC TS
TECHNIQUE 80004-8
Deuxième édition
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8: Nanomanufacturing processes
Il est demandé aux comités membres de consulter les intérêts nationaux
respectifs concernant l’IEC/TC 113 avant de donner leur position sur la
plateforme de e-Balloting.
PROOF/ÉPREUVE
Numéro de référence
ISO 80004-8:2020(F)
ISO 2020
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ISO 80004-8:2020(F)
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Tous droits réservés. Sauf prescription différente ou nécessité dans le contexte de sa mise en œuvre, aucune partie de cette

publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,

y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut

être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.

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Case postale 401 • Ch. de Blandonnet 8
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Publié en Suisse
ii PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – Tous droits réservés
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ISO 80004-8:2020(F)
Sommaire Page

Avant-propos ..............................................................................................................................................................................................................................iv

Introduction ..................................................................................................................................................................................................................................v

1 Domaine d’application ................................................................................................................................................................................... 1

2 Références normatives ................................................................................................................................................................................... 1

3 Termes et définitions provenant d’autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 ..........1

4 Termes relatifs aux aspects généraux ............................................................................................................................................ 3

5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé ............................................................................................................................................. 4

6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage .............................................................................................................. 5

7 Termes relatifs à la synthèse ................................................................................................................................................................... 6

7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques ......... ..................................................................................... 6

7.2 Procédés en phase gazeuse — Méthodes chimiques ............................................................................................. 7

7.2.1 Procédés de synthèse par flamme .................................................................................................................... 7

7.2.2 Autres termes ..................................................................................................................................................................... 8

7.3 Procédés en phase liquide — Méthodes physiques ................................................................................................ 8

7.4 Procédés en phase liquide — Méthodes chimiques................................................................................................ 9

7.5 Procédés en phase solide — Méthodes physiques................................................................................................10

7.6 Procédés en phase solide — Méthodes chimiques ...............................................................................................12

8 Termes relatifs à la fabrication ..........................................................................................................................................................13

8.1 Lithographie par structuration de nanomotifs ........................................................................................................13

8.2 Procédés par dépôt ..........................................................................................................................................................................16

8.3 Procédés de gravure ........................................................................................................................................................................19

8.4 Impression et revêtement ..........................................................................................................................................................22

Annexe A (informative) Identification des applications possibles des procédés de synthèse

présentés ...................................................................................................................................................................................................................23

Bibliographie ...........................................................................................................................................................................................................................27

Index .................................................................................................................................................................................................................................................28

© ISO 2020 – Tous droits réservés PROOF/ÉPREUVE iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 80004-8:2020(F)
Avant-propos

L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes

nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est

en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude

a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,

gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.

L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui

concerne la normalisation électrotechnique.

Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont

décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents

critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été

rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www

.iso .org/ directives).

L’attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de

droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable

de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant

les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de

l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de

brevets reçues par l’ISO (voir www .iso .org/ brevets).

Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données

pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un

engagement.

Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions

spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion

de l’ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles

techniques au commerce (OTC), voir le lien suivant: www .iso .org/ iso/ fr/ avant -propos .html.

Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 229, Nanotechnologies, en collaboration

avec le Comité technique CEN/TC 352, Nanotechnologie, du Comité européen de normalisation (CEN),

conformément à l’Accord de coopération technique entre l’ISO et le CEN (Accord de Vienne).

Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO/TS 80004-8:2013), qui a fait l’objet

d’une révision technique.

Une liste de toutes les parties de la série ISO/TS 80004 se trouve sur le site Web de l’ISO.

Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent

document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes

se trouve à l’adresse www .iso .org/ fr/ members .html.
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ISO 80004-8:2020(F)
Introduction

La nanofabrication constitue le pont essentiel entre les découvertes du domaine des nanosciences et les

produits du monde réel issus des nanotechnologies.

Le passage des nanotechnologies du laboratoire à la production de masse exige, à terme, une étude

approfondie des questions liées aux procédés de fabrication, y compris la conception, la fiabilité

et la qualité des produits, la conception et la maîtrise des procédés, les opérations en atelier, la

gestion de la chaîne d’approvisionnement, les pratiques de sécurité et de santé sur le lieu de travail

durant la production, l’utilisation et la manipulation de nanomatériaux. La nanofabrication englobe

des techniques d’assemblage et d’auto-assemblage dirigées, des méthodologies de synthèse et des

procédés de fabrication tels que la lithographie et des processus biologiques. La nanofabrication

comprend également l’assemblage dirigé par approche ascendante («bottom-up»), le traitement à

haute résolution par approche descendante («top-down»), l’ingénierie des systèmes moléculaires et

l’intégration hiérarchique avec des systèmes à plus grande échelle. Au fur et à mesure que les échelles

dimensionnelles des matériaux et des systèmes moléculaires se rapprochent de l’échelle nanométrique,

les règles conventionnelles régissant leur comportement peuvent varier considérablement. À ce titre, le

comportement d’un produit final est directement lié à la performance collective de ses constituants de

base à l’échelle nanométrique.

Les termes propres aux procédés biologiques ne sont pas inclus dans cette deuxième édition du

vocabulaire de la nanofabrication, mais, compte tenu de l’évolution rapide dans ce domaine, il est

prévu que les termes propres à cet important domaine soient ajoutés lors d’une mise à jour ultérieure

du présent document ou dans des documents accompagnant la série de normes ISO/TS 80004. Ces

documents pourraient inclure à la fois le traitement des nanomatériaux biologiques et l’utilisation de

procédés biologiques pour la fabrication de matériaux à l’échelle nanométrique.

De la même manière, des termes supplémentaires issus d’autres domaines de nanofabrication

en développement, y compris la fabrication de composites, la technique bobine/bobine et autres

techniques, seront inclus dans de futurs documents.

Une distinction doit être faite entre les termes «nanofabrication» et «nanoproduction».

La«nanofabrication» englobe un éventail de procédés plus vaste que celui de la «nanoproduction».

La «nanofabrication» comprend toutes les techniques de «nanoproduction», ainsi que les techniques

associées au traitement des matériaux et à la synthèse chimique.

Le présent document se veut une introduction aux procédés utilisés pour les premières étapes de la

chaîne de valeur de la nanofabrication, c’est-à-dire la synthèse, la production ou le contrôle intentionnels

de nanomatériaux, y compris les étapes de fabrication à l’échelle nanométrique. Les nanomatériaux

issus de ces procédés de fabrication sont commercialisés lorsqu’ils peuvent, par exemple, faire l’objet

d’une purification supplémentaire, être rendus compatibles pour une dispersion dans des mélanges

ou des matrices composites, ou servir de composants intégrés dans des systèmes et des appareils. En

réalité, la chaîne de valeur de la nanofabrication est un ensemble important et diversifié de chaînes de

valeur commerciales qui couvrent les secteurs suivants:

— l’industrie des semi-conducteurs (où la pression exercée pour créer des microprocesseurs plus

petits, plus rapides et plus performants a conduit à la création de circuits inférieurs à 100 nm);

— l’électronique et les télécommunications;
— l’aérospatiale, la défense et la sécurité nationale;
— l’énergie et l’automobile;
— les plastiques et les céramiques;
— les produits forestiers et papetiers;
— l’alimentation et l’emballage alimentaire;
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ISO 80004-8:2020(F)
— l’industrie pharmaceutique, la biomédecine et les biotechnologies;
— l’assainissement de l’environnement;
— l’habillement et les soins de santé.

Sur le marché, des milliers de tonnes de nanomatériaux font l’objet d’applications finales dans plusieurs

des secteurs en question, tels que le noir de carbone et la fumée de silice. Les nanomatériaux qui sont

conçus de manière rationnelle dans un but spécifique sont censés bouleverser le paysage de secteurs

tels que les biotechnologies, l’assainissement de l’eau et le développement des énergies.

La plupart des articles du présent document sont organisés par type de procédés. Dans l’Article 6, la

logique de classement est la suivante: avant la fabrication de la particule, le matériau lui-même est en

phase gazeuse/liquide/solide. La phase du substrat ou porteur dans le procédé ne détermine pas la

catégorisation du procédé. Par exemple, des particules de fer sont des catalyseurs pour un procédé dans

lequel de l’hydrocarbure est ensemencée par des particules de fer, l’hydrocarbure se vaporise puis se

condense, formant des particules de carbone sur les particules de fer. Dans la mesure où l’hydrocarbure

est l’élément qui se vaporise, il s’agit d’un procédé en phase gazeuse. Du fait que les nanotubes sont

synthétisés en phase gazeuse, en présence de particules de catalyseur réagissant avec la phase gazeuse

pour produire les nanotubes, ce procédé est caractérisé comme étant un procédé en phase gazeuse.

L’Annexe A fournit des indications permettant d’établir si des procédés de synthèse sont utilisés ou non

pour fabriquer des nano-objets, des nanoparticules ou les deux.

En outre, l’Annexe A identifie les procédés qui sont également applicables aux matériaux macroscopiques

et qui ne sont donc pas exclusivement pertinents pour la nanofabrication. Une compréhension commune

de la terminologie utilisée dans des applications pratiques permettra aux entités concernées d’employer

des méthodes communes dans la nanofabrication et permettra de renforcer le développement de

la nanofabrication à travers le monde. Une généralisation de la compréhension des termes au sein

de l’infrastructure de fabrication existante assurera la transition entre les innovations dans les

laboratoires de recherche et la viabilité économique des nanotechnologies.

En ce qui concerne les termes informatifs venant à l’appui de la terminologie relative à la nanofabrication,

[11]
voir la norme BSI PAS 135 .

Le présent document fait partie d’un vocabulaire constitué de plusieurs parties et traitant des différents

aspects des nanotechnologies.
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SPÉCIFICATION TECHNIQUE ISO 80004-8:2020(F)
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
1 Domaine d’application

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine

des nanotechnologies.

Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication;

cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l’échelle

nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur

définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des

matériaux à l’échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.

Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des

méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais

qui ne relèvent pas du domaine d’application du présent document.

Des termes et définitions d’autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l’Article 3

à des fins de contexte et d’une meilleure compréhension.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions provenant d’autres parties de la série de normes ISO/
TS 80004

L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en

normalisation, consultables aux adresses suivantes:

— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https:// www .iso .org/ obp;

— IEC Electropedia: disponible à l’adresse http:// www .electropedia .org/ .
3.1
nanotube de carbone
CNT (NTC)
nanotube (3.9) composé de carbone

Note 1 à l'article: Les nanotubes de carbone sont, en général, constitués de couches de graphène enroulées sur

elles-mêmes, et comprennent des nanotubes de carbone simple paroi et des nanotubes de carbone multi-parois.

[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite

solide composé d’un mélange de deux ou plusieurs matériaux de phases distinctes, dont une ou plusieurs

sont des nanophases

Note 1 à l'article: Les nanophases gazeuses sont exclues (elles sont traitées dans la catégorie des matériaux

nanoporeux).
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ISO 80004-8:2020(F)

Note 2 à l'article: Les matériaux composés de phases à l’échelle nanométrique (3.7) formées uniquement par

précipitation ne sont pas considérés comme des nanocomposites.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
3.3
nanofibre

nano-objet (3.5) ayant deux dimensions externes à l’échelle nanométrique (3.7) et la troisième dimension

externe significativement plus grande

Note 1 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.

Note 2 à l'article: Les termes «nanofibrille» et «nanofilament» peuvent également être utilisés.

Note 3 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modifiée — la Note 3 à l’article a été remplacée.]

3.4
nanomatériau

matériau ayant une dimension extérieure à l’échelle nanométrique (3.7) ou ayant une structure interne

ou une structure de surface à l’échelle nanométrique

Note 1 à l'article: Ce terme générique englobe les nano-objets (3.5) et les matériaux nanostructurés (3.8).

Note 2 à l'article: Voir également nanomatériau d’ingénierie, nanomatériau manufacturé et nanomatériau

incidentel.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-objet

portion discrète de matériau dont une, deux ou les trois dimensions externes sont à l’échelle

nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Terme générique pour tous les objets discrets à l’échelle nanométrique.

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modifiée — la Note 1 à l’article a été remplacée.]

3.6
nanoparticule

nano-objet (3.5) dont toutes les dimensions externes sont à l’échelle nanométrique (3.7) et dont les

longueurs du plus grand et du plus petit axes ne diffèrent pas de façon significative

Note 1 à l'article: Si les dimensions diffèrent de façon significative (généralement d’un facteur supérieur à 3), des

termes tels que «nanofibre» ou «nanoplaque» peuvent être préférés au terme «nanoparticule».

[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
échelle nanométrique
échelle de longueur s’étendant approximativement de 1 nm à 100 nm

Note 1 à l'article: Les propriétés qui ne constituent pas des extrapolations par rapport à des dimensions plus

grandes sont principalement manifestes dans cette échelle de longueur.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
matériau nanostructuré

matériau ayant une structure interne ou de surface à l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Si une ou plusieurs dimensions externes sont à l’échelle nanométrique, il est recommandé

d’utiliser le terme nano-objet (3.5).
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ISO 80004-8:2020(F)
Note 2 à l'article: Adapté de l’ISO/TS 80004-1:2015, définition 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
3.9
nanotube
nanofibre (3.3) creuse
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Termes relatifs aux aspects généraux
4.1
nanofabrication ascendante

procédés qui utilisent de petites unités fondamentales à l’échelle nanométrique (3.7) afin de créer des

structures ou assemblages de plus grande taille riches en fonctionnalités
4.2
codépôt
dépôt simultané de deux matériaux sources ou plus

Note 1 à l'article: Les méthodes courantes incluent le dépôt sous vide, le dépôt par pulvérisation thermique (8.2.16),

le dépôt électrolytique (8.2.7) et le dépôt par sédimentation.
4.3
comminution
concassage ou broyage (7.5.6) afin de réduire la taille des particules
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
4.4
assemblage dirigé

formation d’une structure guidée par une intervention extérieure à l’aide de composants à l’échelle

nanométrique (3.7) qui peuvent, en principe, avoir n’importe quel motif défini
4.5
auto-assemblage dirigé

auto-assemblage (4.11) influencé par une intervention extérieure afin de produire une structure, une

orientation ou un motif préférentiel(le)

Note 1 à l'article: Une intervention extérieure peut être, par exemple, un champ appliqué, un gabarit chimique ou

structural, un gradient chimique ou un débit fluidique.
4.6
lithographie
reproduction d’un motif

Note 1 à l'article: Le motif peut être formé dans un matériau radiosensible ou par le déplacement de matériau sur

un substrat par l’un des moyens suivants: transfert, impression ou écriture directe.

4.7
dépôt multi-couches

dépôt alterné de deux matériaux sources ou plus afin de produire une structure composite en couches

4.8
nanoproduction

ensemble des activités visant à élaborer intentionnellement des nano-objets (3.5) ou des matériaux

nanostructurés (3.8)
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ISO 80004-8:2020(F)
4.9
nanofabrication

synthèse, génération ou contrôle intentionnels de nanomatériaux (3.4), ou étapes de production à

l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
4.10
procédés de nanofabrication

ensemble des activités visant à synthétiser, produire ou contrôler intentionnellement des nanomatériaux

(3.4), ou des étapes de fabrication à l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales

[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
auto-assemblage

action autonome par laquelle des composants s’organisent eux-mêmes sous forme de motifs ou de

structures
4.12
fonctionnalisation de surface

procédé chimique qui permet de créer sur une surface une fonctionnalité chimique ou physique définie

4.13
nanofabrication descendante

procédés qui permettent de créer des structures à l’échelle nanométrique (3.7) à partir d’objets

macroscopiques
5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé
5.1
assemblage par guidage électrostatique

utilisation d’une force électrostatique afin d’orienter ou introduire des éléments à l’échelle nanométrique

(3.7) dans un dispositif ou un matériau
5.2
alignement fluidique

utilisation de l’écoulement d’un fluide afin d’orienter des éléments à l’échelle nanométrique (3.7) dans un

dispositif ou un matériau
5.3
assemblage hiérarchique

utilisation de plusieurs types de procédés de nanofabrication (4.9) afin de contrôler la structure à

différentes échelles de longueur
5.4
assemblage par guidage magnétique

utilisation d’une force magnétique pour créer un assemblage d’éléments/particules à l’échelle

nanométrique (3.7) selon un motif ou une configuration souhaité(e)
5.5
assemblage par forme

utilisation des formes géométriques de nanoparticules (3.6) afin d’obtenir un motif ou une configuration

souhaité(e)
5.6
assemblage supramoléculaire

utilisation d’une liaison chimique non covalente afin d’assembler des molécules ou des nanoparticules

(3.6) avec des ligands de surface
4 PROOF/ÉPREUVE © ISO 2020 – Tous droits réservés
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ISO 80004-8:2020(F)
5.7
transfert entre surfaces

transfert de nanoparticules (3.6) ou de structures depuis la surface d’un substrat, sur lequel elles ont

été déposées, synthétisées ou assemblées, vers un autre substrat
6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage
6.1
cristallisation colloïdale

sédimentation de nanoparticules (3.6) à partir d’une solution contenant des nano-objets (3.5) ainsi que

leurs agrégats et agglomérats (NOAA) pour former un solide constitué d’un groupement de particules

formant un réseau de motifs répétés

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.2
grapho-épitaxie

auto-assemblage dirigé (4.5) utilisant des caractéristiques topographiques à l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Ce procédé inclut la croissance d’une couche mince sur la surface et la croissance d’une couche

supplémentaire au-dessus d’un substrat qui possède une structure identique à ou différente de celle du cristal

sous-jacent.

Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.3
reconstruction de surface par faisceau d’ions

utilisation d’un faisceau d’ions accélérés afin de provoquer une modification de surface qui peut être à

l’échelle nanométrique (3.7)

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
6.4
formation d’un film de Langmuir-Blodgett
création d’un film au niveau d’une interface air-liquide
6.5
transfert d’un film de Langmuir-Blodgett

transfert d’un film de Langmuir-Blodgett formé au niveau d’une interface air-liquide vers une surface

solide en plongeant un substrat solide dans le liquide support
6.6
dépôt couche par couche
dépôt LBL (CPC)

procédé électrostatique qui consiste à déposer, l’un au-dessus de l’autre, des polyélectrolytes de charges

opposées
6.7
méthode impliquant des réactifs élémentaires modulés

utilisation de précurseurs déposés en phase vapeur avec des régions de composition contrôlée, en tant

que matrice pour former des couches imbriquées de deux structures ou plus
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
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ISO 80004-8:2020(F)
6.8
formation d’une monocouche auto-assemblée
formation d’une SAM (MAM)

formation spontanée d’une couche moléculaire organisée sur une surface solide à partir d’une solution

ou de la phase vapeur, guidée par une liaison molécule-surface et une interaction intermoléculaire faible

6.9
croissance de Stranski-Krastanov

mode de croissance de film mince qui commence comme une croissance Frank-van der Merwe (6.10)

bidimensionnelle, puis continue comme une croissance Volmer-Weber (6.11) tridimensionnelle

6.10
croissance Frank-van der Merwe
croissance d’un film couche par couche

Note 1 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film

ont une liaison plus forte avec un substrat qu’entre eux. En conséquence, la croissance de la couche suivante ne

peut commencer tant que la croissance de la précédente n’est pas terminée.

Note 2 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe est un mode de croissance strictement bidimensionnel.

6.11
croissance Volmer-Weber
croissance d’un film par formation d’îlots

Note 1 à l'article: La croissance Volmer-Weber correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film ont

une liaison plus forte entre eux qu’avec un substrat.

Note 2 à l'article: La croissance Volmer-Weber (6.10) est un mode de croissance tridimensionnel.

7 Termes relatifs à la synthèse
7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques
7.1.1
pulvérisation dynamique par gaz froid

procédé dans lequel des poudres cristallines à l’échelle nanométrique (3.7) ou des poudres

conventionnelles sont fluidisées, puis consolidées sur un revêtement de surface dans un gaz inerte à

grande vitesse

Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés

de nanofabrication.
7.1.2
dépôt par électro-étincelles

procédé de microsoudage à l’arc pulsé utilisant des impulsions électriques de haute intensité et de

courte durée pour déposer un matériau d’électrode sur un substrat
7.1.3
évaporation par faisceau d’électrons

procédé dans lequel un matériau est vaporisé par irradiation d’électrons à haute énergie dans des

conditions de vide poussé ou d’ultravide en vue d’un dépôt ultérieur sur un substrat

7.1.4
explosion électrique d’un fil

formation de nanoparticules (3.6) par application d’une impulsion électrique de densité de courant

élevée à un fil, entraîn
...