ISO/TS 80004-8:2020
(Main)Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes
Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes
This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies. All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at the nanoscale or, alternatively, at larger scales. There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document. Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for context and better understanding.
Nanotechnologies — Vocabulaire — Partie 8: Processus de nanofabrication
Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication; cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles. Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais qui ne relèvent pas du domaine d'application du présent document. Des termes et définitions d'autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l'Article 3 à des fins de contexte et d'une meilleure compréhension.
General Information
Relations
Standards Content (Sample)
TECHNICAL ISO/TS
SPECIFICATION 80004-8
Second edition
2020-11
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8: Processus de nanofabrication
Reference number
©
ISO 2020
© ISO 2020
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Published in Switzerland
ii © ISO 2020 – All rights reserved
Contents Page
Foreword .iv
Introduction .v
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Terms related to general aspects . 3
5 Terms related to directed assembly . 4
6 Terms related to self-assembly processes . 5
7 Terms related to synthesis . 6
7.1 Gas process phase — Physical methods . 6
7.2 Gas process phase — Chemical methods . 7
7.2.1 Flame synthesis processes . 7
7.2.2 Other terms . 8
7.3 Liquid process phase — Physical methods . 8
7.4 Liquid process phase — Chemical methods . 9
7.5 Solid process phase — Physical methods .10
7.6 Solid process phase — Chemical methods .12
8 Terms related to fabrication .12
8.1 Nanopatterning lithography .12
8.2 Deposition processes .16
8.3 Etching processes .18
8.4 Printing and coating .21
Annex A (informative) Identification of output resulting from defined synthesis processes .22
Bibliography .25
Index .26
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www .iso .org/ directives).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of
patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of
any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www .iso .org/ patents).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and
expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO’s adherence to the
World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www .iso .org/
iso/ foreword .html.
This document was prepared jointly by Technical Committee ISO/TC 229, Nanotechnologies, and
Technical Committee IEC/TC 113, Nanotechnology for electrotechnical products and systems, in
collaboration with the European Committee for Standardization (CEN) Technical Committee CEN/
TC 352, Nanotechnologies, in accordance with the Agreement on technical cooperation between ISO and
CEN (Vienna Agreement). The draft was circulated for voting to the national bodies of both ISO and IEC.
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO/TS 80004-8:2013), which has been
technically revised throughout.
A list of all parts in the ISO/TS 80004 series can be found on the ISO website.
Any feedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A
complete listing of these bodies can be found at www .iso .org/ members .html.
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Introduction
Nanomanufacturing is the essential bridge between the discoveries of the nanosciences and real-world
nanotechnology products.
Advancing nanotechnology from the laboratory into volume production ultimately requires careful
study of manufacturing process issues including product design, reliability and quality, process design
and control, shop floor operations, supply chain management, workplace safety and health practices
during the production, use and handling of nanomaterials. Nanomanufacturing encompasses directed
self-assembly and assembly techniques, synthetic methodologies, and fabrication processes such as
lithography and biological processes. Nanomanufacturing also includes bottom-up directed assembly,
top-down high-resolution processing, molecular systems engineering and hierarchical integration with
larger scale systems. As dimensional scales of materials and molecular systems approach the nanoscale,
the conventional rules governing their behaviour may change significantly. As such, the behaviour of a
final product is enabled by the collective performance of its nanoscale building blocks.
Biological process terms are not included in this second edition of the nanomanufacturing vocabulary,
but considering the rapid development of the field, it is expected that terms in this important area will
be added in a future update to this document or in companion documents in the ISO/TS 80004 series.
This could include both the processing of biological nanomaterials and the use of biological processes to
manufacture materials at the nanoscale.
Similarly, additional terms from other developing areas of nanomanufacturing, including composite
manufacturing, roll-to-roll manufacturing and others, will be included in future documents.
There is a distinction between the terms “nanomanufacturing” and “nanofabrication”.
Nanomanufacturing encompasses a broader range of processes than does nanofabrication.
Nanomanufacturing encompasses all nanofabrication techniques and also techniques associated with
materials processing and chemical synthesis.
This document provides an introduction to processes used in the early stages of the nanomanufacturing
value chain, namely the intentional synthesis, generation or control of nanomaterials, including
fabrication steps in the nanoscale. The nanomaterials that result from these manufacturing processes
are distributed in commerce where, for example, they may be further purified, be compatabilized to
be dispersed in mixtures or composite matrices, or serve as integrated components of systems and
devices. The nanomanufacturing value chain is, in actuality, a large and diverse group of commercial
value chains that stretch across these sectors:
— the semiconductor industry (where the push to create smaller, faster, and more efficient
microprocessors heralded the creation of circuitry less than 100 nm in size);
— electronics and telecommunications;
— aerospace, defence and national security;
— energy and automotive;
— plastics and ceramics;
— forest and paper products;
— food and food packaging;
— pharmaceuticals, biomedicine and biotechnology;
— environmental remediation;
— clothing and personal care.
There are thousands of tonnes of nanomaterials on the market with end-use applications in several of
these sectors, such as carbon black and fumed silica. Nanomaterials that are rationally designed with
specific purpose are expected to radically change the landscape in areas such as biotechnology, water
purification and energy development.
The majority of clauses in this document are organized by process type. In Clause 6, the logic of
placement is as follows: in the step before the particle is made, the material itself is in a gas/liquid/
solid phase. The phase of the substrate or carrier in the process does not drive the categorization of the
process. As an example, consider iron particles that are catalysts in a process by which you seed oil with
iron particles, the oil vaporizes and condenses forming carbon particles on the iron particles. What
vaporizes is the oil, and therefore it is a gas phase process. Nanotubes grow from the gas phase, starting
with catalyst particles that react with the gas phase to grow the nanotubes, thus this is characterized
as a gas process. Indication of whether synthesis processes are used to manufacture nano-objects,
nanoparticles or both is provided in Annex A.
In addition, Annex A identifies the processes that are also applicable to macroscopic materials and are
therefore not exclusively relevant to nanomanufacturing. A common understanding of the terminology
used in practical applications will enable communities of practice in nanomanufacturing and will
advance nanomanufacturing strength worldwide. Extending the understanding of terms across the
existing manufacturing infrastructure will serve to bridge the transition between the innovations of
the research laboratory and the economic viability of nanotechnologies.
[11]
For informative terms supportive of nanomanufacturing terminology, see BSI PAS 135 .
This document belongs to a multi-part vocabulary covering the different aspects of nanotechnologies.
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TECHNICAL SPECIFICATION ISO/TS 80004-8:2020(E)
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8:
Nanomanufacturing processes
1 Scope
This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies.
All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed
processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within
the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at
the nanoscale or, alternatively, at larger scales.
There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or
metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document.
Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for
context and better understanding.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
— ISO Online browsing platform: available at https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: available at http:// www .electropedia .org/
3.1
carbon nanotube
CNT
nanotube (3.9) composed of carbon
Note 1 to entry: Carbon nanotubes usually consist of curved graphene layers, including single-walled carbon
nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.
[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite
solid comprising a mixture of two or more phase-separated materials, one or more being nanophase
Note 1 to entry: Gaseous nanophases are excluded (they are covered by nanoporous material).
Note 2 to entry: Materials with nanoscale (3.7) phases formed by precipitation alone are not considered to be
nanocomposite materials.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
3.3
nanofibre
nano-object (3.5) with two external dimensions in the nanoscale (3.7) and the third dimension
significantly larger
Note 1 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.
Note 2 to entry: The terms “nanofibril” and “nanofilament” can also be used.
Note 3 to entry: The largest external dimension is not necessarily in the nanoscale.
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modified — Note 3 to entry has been replaced.]
3.4
nanomaterial
material with any external dimension in the nanoscale (3.7) or having internal structure or surface
structure in the nanoscale
Note 1 to entry: This generic term is inclusive of nano-object (3.5) and nanostructured material (3.8).
Note 2 to entry: See also engineered nanomaterial, manufactured nanomaterial and incidental nanomaterial.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-object
discrete piece of material with one, two or three external dimensions in the nanoscale (3.7)
Note 1 to entry: Generic term for all discrete nano-objects.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modified — Note 1 to entry has been replaced.]
3.6
nanoparticle
nano-object (3.5) with all external dimensions in the nanoscale (3.7) where the lengths of the longest
and the shortest axes of the nano-object do not differ significantly
Note 1 to entry: If the dimensions differ significantly (typically by more than three times), terms such as
“nanofibre” or “nanoplate” may be preferred to the term “nanoparticle”.
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
nanoscale
length range from approximately from 1 nm to 100 nm
Note 1 to entry: Properties that are not extrapolations from a larger size are predominately exhibited in this
length range.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
nanostructured material
material having internal or surface structure in the nanoscale (3.7)
Note 1 to entry: If external dimensions are in the nanoscale, the term nano-object (3.5) is recommended.
Note 2 to entry: Adapted from ISO/TS 80004-1:2015, 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
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3.9
nanotube
hollow nanofibre (3.3)
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Terms related to general aspects
4.1
bottom-up nanomanufacturing
processes that use small fundamental units in the nanoscale (3.7) to create larger, functionally rich
structures or assemblies
4.2
co-deposition
simultaneous deposition of two or more source materials
Note 1 to entry: Common methods include vacuum, thermal spray (8.2.16), electrodeposition (8.2.7) and liquid
suspension deposition techniques.
4.3
comminution
crushing or grinding (7.5.6) for particle size reduction
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
4.4
directed assembly
guided formation of a structure guided by external intervention using components at the nanoscale
(3.7) that can, in principle, have any defined pattern
4.5
directed self-assembly
self-assembly (4.11) influenced by external intervention to produce a preferred structure, orientation
or pattern
Note 1 to entry: Examples of external intervention include an applied field, a chemical or structural template,
chemical gradient and fluidic flow.
4.6
lithography
reproducible creation of a pattern
Note 1 to entry: The pattern can be formed in a radiation sensitive material or by transfer of material onto a
substrate by one of the following: transfer, printing or direct writing.
4.7
multilayer deposition
alternating deposition of two or more source materials to produce a composite layer structure
4.8
nanofabrication
ensemble of activities to intentionally create nano-objects (3.5) or nanostructured materials (3.8)
4.9
nanomanufacturing
intentional synthesis, generation or control of nanomaterials (3.4), or fabrication steps in the nanoscale
(3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
4.10
nanomanufacturing process
ensemble of activities to intentionally synthesize, generate or control nanomaterials (3.4), or fabrication
steps in the nanoscale (3.7), for commercial purposes
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
self-assembly
autonomous action by which components organize themselves into patterns or structures
4.12
surface functionalization
chemical process that acts upon a surface to impart a selected chemical or physical functionality
4.13
top-down nanomanufacturing
processes that create structures at the nanoscale (3.7) from macroscopic objects
5 Terms related to directed assembly
5.1
electrostatic driven assembly
use of electrostatic force to orient or place nanoscale (3.7) elements in a device or material
5.2
fluidic alignment
use of fluid flow to orient nanoscale (3.7) elements in a device or material
5.3
hierarchical assembly
use of more than one type of nanomanufacturing (4.9) process to control a structure at multiple
length scales
5.4
magnetic driven assembly
use of magnetic force to assemble elements/particles at the nanoscale (3.7) in a desired pattern or
configuration
5.5
shape-based assembly
use of geometric shapes of nanoparticles (3.6) to achieve a desired pattern or configuration
5.6
supramolecular assembly
use of non-covalent chemical bonding to assemble molecules or nanoparticles (3.6) with surface ligands
5.7
surface-to-surface transfer
transfer of nanoparticles (3.6) or structures from the surface of one substrate, on which they have been
deposited, grown or assembled, onto another substrate
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6 Terms related to self-assembly processes
6.1
colloidal crystallization
sedimentation of nanoparticles (3.6) from a solution containing nano-objects (3.5) and their aggregates
and agglomerates (NOAAs) to form a solid, which consists of an organization of particles to form an
array of repeating units
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
6.2
graphioepitaxy
directed self-assembly (4.5) using nanoscale (3.7) topographical features
Note 1 to entry: Includes the growth of a thin layer on the surface and growth of an additional layer on top of a
substrate, which has the same or different structure as the underlying crystal.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
6.3
ion beam surface reconstruction
use of an accelerated ion beam to cause surface modification, which can be at the nanoscale (3.7)
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
6.4
Langmuir-Blodgett film formation
creation of a film at an air-liquid interface
6.5
Langmuir-Blodgett film transfer
transfer of a Langmuir-Blodgett film formed at an air-liquid interface onto a solid surface by dipping a
solid substrate into the supporting liquid
6.6
layer-by-layer deposition
LbL deposition
electrostatic process of depositing polyelectrolytes with opposite charges laid over or under another
6.7
modulated elemental reactant method
use of vapour deposited precursors with regions of controlled composition as a template for the
formation of interleaved layers of two or more structures
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
6.8
self-assembled monolayer formation
SAM formation
spontaneous formation of an organized molecular layer on a solid surface from solution or the vapour
phase, driven by molecule-to-surface bonding and weak intermolecular interaction
6.9
Stranski-Krastanow growth
mode of thin film growth which starts as a two-dimensional Frank-van der Merve growth (6.10), and
then continues as a three-dimensional Volmer-Weber growth (6.11)
6.10
Frank-van der Merve growth
layer-by-layer film growth
Note 1 to entry: Frank-van der Merve growth corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger
connection with a substrate than with each other. As a result, the next layer growth could not begin until the
previous is completed.
Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth is strictly a two-dimensional growth mode.
6.11
Volmer-Weber growth
island film growth
Note 1 to entry: Volmer-Weber growth mode corresponds to the situation when atoms of a film have a stronger
connection with each other than with a substrate.
Note 2 to entry: Frank-van der Merve growth (6.10) is a three-dimensional growth mode.
7 Terms related to synthesis
7.1 Gas process phase — Physical methods
7.1.1
cold gas dynamic spraying
process in which either nanoscale (3.7) crystalline powders or conventional powders are fluidized and
then consolidated onto a surface coating in a high velocity inert gas
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.1.2
electro-spark deposition
pulsed-arc micro-welding process using short-duration, high-current electrical pulses to deposit an
electrode material onto a substrate
7.1.3
electron-beam evaporation
process in which a material is vaporized by incidence of high energy electrons in high or ultra-high
vacuum conditions for subsequent deposition onto a substrate
7.1.4
wire electric explosion
formation of nanoparticles (3.6) by applying an electrical pulse of high current density through a wire
causing it to volatilize with subsequent recondensation
7.1.5
freeze drying
dehydration or solvent removal by rapid cooling immediately followed by vacuum sublimation
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.1.6
spray drying
method in which a dry powder is produced from a liquid or slurry by rapid evaporation (8.2.10) of the
liquid from droplets formed by nebulization, via contact with a hot gas or equivalent
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
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7.1.7
supercritical expansion
precipitation of nano-objects (3.5) resulting from an expansion of a solution above its critical
temperature and critical pressure through a spray device
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.1.8
suspension combustion thermal spray
thermal spray (8.2.16) in which the precursor is introduced to a plasma jet in the form of a liquid
suspension
7.1.9
vaporization
process of assisted change of phase from solid or liquid to gas or plasma phases
Note 1 to entry: The vaporization process is often used to consequently deposit the vaporized material on a
target substrate. The whole process is known as physical vapour deposition (PVD) (8.2.14).
−6 −9
Note 2 to entry: High vacuum PVD is usually performed at pressures in the range of 10 to 10 Torr. Ultra-high
−9
vacuum (UHV) PVD is the deposition performed at pressures below 10 Torr.
Note 3 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2 Gas process phase — Chemical methods
7.2.1 Flame synthesis processes
7.2.1.1
liquid precursor combustion
creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, via exothermic reaction of a
feedstock solution with an oxidizer
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.1.2
plasma spray
creation of a jet of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from an ionized
gaseous source
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.1.3
pyrogenesis
process using combustion or another heat source to produce solid product, typically a nanomaterial
(3.4) in aggregate form, facilitated by an aerosolized spray
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.1.4
solution precursor plasma spray
gas phase process in which a thermal (equilibrium) plasma is formed into which a solution containing
precursors is introduced resulting in gaseous species that during cooling form a solid product, typically
a nanomaterial (3.4) in aggregate form
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.1.5
thermal spray pyrolysis
creation of solid product, typically a nanomaterial (3.4) in aggregate form, from liquid precursors
through liquid atomization and reaction using a thermal source
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.2 Other terms
7.2.2.1
hot wall tubular reaction
chemical vapour deposition (8.2.4) performed in a tubular furnace in which the reaction surface is
maintained at a controlled elevated temperature
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.2.2.2
photothermal synthesis
gas phase process where a precursor or other gaseous species is heated by absorption of infrared
radiation resulting in heating of the gas and thermal decomposition of the precursor producing a solid
product, typically a nanoparticle (3.6)
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.2.2.3
vapour-liquid-solid nanofibre synthesis
VLS
growth of nanofibres (3.3) onto a substrate with feed material in gaseous form in the presence of a
liquid catalyst
Note 1 to entry: The VLS method for fibres exploits a liquid phase on the end of a fibre, which can rapidly adsorb
a vapour to supersaturation levels, and from which crystal growth subsequently occurs.
7.3 Liquid process phase — Physical methods
7.3.1
electrospinning
use of electrical potential to induce drawing of fine fibres from a liquid phase
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.3.2
in situ intercalative polymerization
insertion of monomers into layered inorganic materials followed by polymerization, which results in
nanocomposites (3.2)
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.3.3
nanoparticle dispersion
creation of a suspension of nanoparticles (3.6) in a liquid through the use of added molecular ligands,
surface charges or other interactions to prevent or slow sedimentation
7.3.4
tape casting
deposition of a macroscopic layer by spreading a slurry of ceramic paste onto a flat surface
Note 1 to entry: Nanoparticles (3.6) may be part of the composition of the layer.
8 © ISO 2020 – All rights reserved
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.3.5
wet ball milling
grinding (7.5.6) process in liquid via rolling feedstock material with crushing balls of greater hardness
to create a force of impact in order to reduce the size of target components
Note 1 to entry: The product of the process is known as “slurry”.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.4 Liquid process phase — Chemical methods
7.4.1
acid hydrolysis of cellulose biomass
process in which strong mineral acids are used under controlled reaction conditions to digest amorphous
cellulosic regions and release cellulose nanocrystals from appropriately pretreated cellulosic biomass
(e.g. lignin or protein removal)
Note 1 to entry: As described in ISO/TR 19716:2016, cellulose nanocrystals can be released from a variety of
naturally occurring (or “native”) cellulose sources such as wood, annual plants, algae, bacteria and tunicates.
These sources are collectively termed “cellulosic biomass”.
Note 2 to entry: It should be noted that microcrystalline cellulose (also called “cellulose microcrystals”, see
ISO/TS 20477:2017, Annex A can also be released from cellulosic biomass by using mineral acids. The acids and
reaction conditions generally used to produce cellulose microcrystals differ from those used to produce cellulose
nanocrystals.
7.4.2
nanoparticle precipitation
formation of nanoparticles (3.6) from solution reactions where particle size may be controlled by
kinetic factors
7.4.3
prompt inorganic condensation
formation of atomically smooth and dense films by spin coating (8.2.17) and low-temperature curing of
organic free aqueous solutions based on organometallic molecular precursors
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.4.4
sol-gel processing
conversion of a chemical solution or colloidal suspension (sol) to an integrated network (gel), which can
then be further densified
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.4.5
Stober process
generation of particles of silica by using a tetra-alkyl orthosilicate and a combination of low molecular
weight alcohol and ammonia, used with or without water
Note 1 to entry: This is a sol-gel processing (7.4.4) method for synthesizing silica.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.4.6
surfactant templating
use of surfactants to self-assemble molecular species such that they can be subsequently solidified in a
structured configuration at the nanoscale (3.7)
EXAMPLE Mobil Composition of Matter No. 41.
7.5 Solid process phase — Physical methods
7.5.1
block copolymer phase segregation
formation of repeatable 2D and 3D structures from the segregation of immiscible polymer chain
segments
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.2
block copolymer templating
incorporation of a material into the phase of a block copolymer to achieve a nanoscale (3.7) structure
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.3
cold pressing
compaction of nanoscale (3.7) particles, typically at room temperatures, to fuse them together and to
increase the density
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.4
conshearing continuous confined strip shearing
C2S2
use of very large plastic strain to produce grains in a bulk metal without any significant change in the
overall dimensions
Note 1 to entry: The main objective is to produce lightweight parts with greatly improved mechanical properties.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.5
devitrification
structural transformation from a glassy state to a crystalline state that introduces nanoscale (3.7) voids
or structure
7.5.6
grinding
creation of nanoparticles (3.6) via mechanical shearing in contact with a material of greater hardness
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.5.7
high-speed micromachining
creating precise two- and three-dimensional workpieces from the bulk or on the surface of an object or
material by cutting using defined geometry cutting tools
Note 1 to entry: Precision is achieved through high cutting spindle speeds usually between 30 000 r/min and
100 000 r/min.
10 © ISO 2020 – All rights reserved
Note 2 to entry: Laser, e-beam, ion beam, ultrasound, milling and computer numerical controlled machining can
be used.
Note 3 to entry: The definition of high speed varies with each specific technology.
Note 4 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.8
ion implantation
use of incident flux high energy ions to modify the surface material by damage and recrystallization
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.9
cryogenic milling
grinding (7.5.6) at or below cryogenic temperatures (below −150 °C, −238 °F or 123 K)
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.10
dry ball milling
creation of nanoparticles (3.6) via rolling feedstock material with crushing balls of greater hardness to
mix two or more immiscible nanoparticles, which are then heated to sinter them
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.5.11
multi-pass coin forging
production of nanoscale (3.7) grain structures using severe plastic deformation by mechanical pressing
of a sheet of material between two sine-shaped dies with successive rotation of the workpiece followed
by flat forging or rolling
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
7.5.12
nanotemplated growth
deposition from the solution or vapour phase of material into nanoscale (3.7) confined spaces to form
nanoparticles (3.6) or nanostructured materials (3.8)
7.5.13
polymer nanoparticle dispersion
mixing of nanoparticles (3.6) into a liquid polymer matrix, which is solidified to produce a polymer
matrix nanoparticle composite
7.5.14
hot pressing
high-pressure powder metallurgy process for forming hard and brittle materials at high temperatures
Note 1 to entry: Pressures of up to 50 MPa (7 300 psi) and temperatures of typically 2 400 °C (4 350 °F) may be used.
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.5.15
nanoparticle sintering
joining of nanoparticles (3.6) and increasing their contact interfaces by atom movement within and
between the particles due to the application of heat
[SOURCE: ISO 836:2001, 120, modified — “nanoparticle” has been added to the term and “nanoparticles”
has replaced “particles” in the definition.]
7.5.16
spark plasma sintering
densifying powders under mechanical pressure by applying DC pulsed currents to conducting powders
at a very high heating or cooling rate (up to 1 000 K/min), avoiding coarsening the internal structure
7.6 Solid process phase — Chemical methods
7.6.1
block copolymer chemical derivatization
modification of block copolymer solid through the addition of atoms or molecules that selectively bind
or segregate to only one phase
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
7.6.2
electrochemical anodization
process in which the anode is simultaneously oxidized and etched, resulting in nanoscale (3.7) pores
usually with a high degree of regularity and controllability
Note 1 to entry: This process may also be referred to as “anodic etching”.
7.6.3
intercalation
process by which a heterogeneous material (atoms, small molecules) is inserted into a host structure
(crystal lattice or other macromolecular structure)
7.6.4
two-phase method
method in which a binary mixture of materials is heated and then rapidly cooled to produce a solid
composite with nanoscale (3.7) features
8 Terms related to fabrication
8.1 Nanopatterning lithography
8.1.1
3D lithography
process in which patterns or structuring can be achieved with nanoscale (3.7) dimensions in all three
dimensions
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
8.1.2
additive processing
process in which the addition of a layer of new material is used to create a pattern of deposited material
on the substrate
Note 1 to entry: Two terms are used to describe additive processing using resist: “lift-off” and “stencil”. In lift-
off, the layer of new material is applied to the whole surface, and the pattern is revealed after the removal of the
unexposed resist with the overlaid material. With a stencil, the new material is only added where the surface is
not protected by resist [as with electrodeposition (8.2.7) with a resist layer in place].
Note 2 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
12 © ISO 2020 – All rights reserved
8.1.3
block copolymer lithography
process in which microphase separation in diblock copolymers is used to create polymer templates
with nanoscale (3.7) patterns
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
8.1.4
colloidal crystal template lithography
process in which crystallized colloidal particles are used to create a 2D or 3D framework for subsequent
deposition or etching
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
8.1.5
deep ultraviolet lithography
DUV
patterned exposure of a photoactive polymer using ultraviolet light in the wavelength range 100 nm
to 280 nm
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing.
8.1.6
dip-pen nanolithography
method in which a scanning tip is used to transfer specific material onto a substrate surface, via a
solvent meniscus, for patterning a substrate at length scales below 100 nm
Note 1 to entry: Often the tip is an atomic-force microscopy (AFM) tip coated with specific molecules that are to
be deposited on the surface in a layer that can be a monolayer. In other cases, the material to be deposited could
be nanoparticles (3.6).
Note 2 to entry: “Dip Pen Nanolithography” was the trade name of a product supplied by NanoInk, Inc. This
information is given for the convenience of users of this document and does not constitute an endorsement by ISO
of the product named. Equivalent products may be used if they can be shown to lead to the same results.
[SOURCE: ISO 18115-2:2013, 5.40]
8.1.7
electron-beam lithography
direct write patterning process that uses a focused, concentrated stream of electrons to modify the
solubility of a resist layer
8.1.8
extreme ultraviolet lithography
EUV
exposure of a resist material using electromagnetic radiation of approximately 10 nm to 20 nm
wavelength
Note 1 to entry: Usually reflective optics are used to focus the radiation.
8.1.9
focused ion-beam lithography
FIB lithography
direct write patterning process that uses a focused ion beam to modify the solubility of a resist layer
8.1.10
immersion optics
photolithography (8.1.21) process that immerses the objective lens and resist in a liquid to provide
refractive index matching
8.1.11
interference lithography
use of diffraction gratings to create an interference pattern of radiation to create nanoscale (3.7)
exposure patterns in resist
8.1.12
ion-induced deposition
use of a focused, concentrated stream of ions to bring about or give rise to the localized reaction of an
adsorbed molecule to deposit material
8.1.13
ion-induced etching
use of a focused ion beam to induce the localized reaction of an adsorbed molecule to etch the substrate
material
8.1.14
ion projection lithography
use of accelerated ions in conjunction with a mask to create nanoscale (3.7) exposure patterns in resist
8.1.15
micro-contact printing
form of soft lithography (8.1.25) in which a soft mould is dipped into an ink and the pattern transferred
to a substate by pressing
Note 1 to entry: The fidelity of the transfer is strongly dependent on the local surface characteristics of the
substrate for the particular material used as an ink.
8.1.16
microfluidic deposition
use of micrometre scale or nanoscale (3.7) channels in a solid manifold to facilitate the transfer of
material from a liquid or solution state into a solid state onto a substrate surface
Note 1 to entry: The term is not exclusive to nanomanufacturing but has been adapted to apply to
nanomanufacturing processes.
8.1.17
nano-embossing
transfer of a pattern using a template into bulk material rather than into a thin film
Note 1 to entry: This definition also includes 3D patterning.
Note 2 to entry: In embossing (8.4.1), the flow of material displaced by the template is not constrained. The
embossed artefact is normally the end product, while in imprinting,
...
SPÉCIFICATION ISO/TS
TECHNIQUE 80004-8
Deuxième édition
2020-11
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
Nanotechnologies — Vocabulary —
Part 8: Nanomanufacturing processes
Numéro de référence
©
ISO 2020
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publication ne peut être reproduite ni utilisée sous quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique,
y compris la photocopie, ou la diffusion sur l’internet ou sur un intranet, sans autorisation écrite préalable. Une autorisation peut
être demandée à l’ISO à l’adresse ci-après ou au comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
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Case postale 401 • Ch. de Blandonnet 8
CH-1214 Vernier, Genève
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Web: www.iso.org
Publié en Suisse
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Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction .v
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Termes relatifs aux aspects généraux . 3
5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé . 4
6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage . 5
7 Termes relatifs à la synthèse . 6
7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques . . 6
7.2 Procédés en phase gazeuse — Méthodes chimiques . 7
7.2.1 Procédés de synthèse par flamme . 7
7.2.2 Autres termes . 8
7.3 Procédés en phase liquide — Méthodes physiques . 8
7.4 Procédés en phase liquide — Méthodes chimiques. 9
7.5 Procédés en phase solide — Méthodes physiques.10
7.6 Procédés en phase solide — Méthodes chimiques .12
8 Termes relatifs à la fabrication .13
8.1 Lithographie par structuration de nanomotifs .13
8.2 Procédés par dépôt .16
8.3 Procédés de gravure .19
8.4 Impression et revêtement .22
Annexe A (informative) Identification des applications possibles des procédés de synthèse
présentés .23
Bibliographie .27
Index .28
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes L’ISO
(Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes nationaux
de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général
confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de
faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales
et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux. L’ISO collabore
étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui concerne la
normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier, de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso .org/ directives).
L’attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l’ISO (voir www .iso .org/ brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion
de l’ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir www .iso .org/ avant -propos.
Le présent document a été élaboré conjointement par le comité technique ISO/TC 229, Nanotechnologies,
et le comité d’étude IEC/TC 113, Nanotechnologies relatives aux appareils et systèmes électrotechnologiques,
en collaboration avec le comité technique CEN/TC 352, Nanotechnologies, du Comité européen de
normalisation (CEN) conformément à l’Accord de coopération technique entre l’ISO et le CEN (Accord de
Vienne). Le projet a été soumis aux organismes nationaux de l’ISO et de l’IEC pour vote.
Cette seconde édition annule et remplace la première édition (ISO/TS 80004-8:2013), qui a fait l’objet
d’une révision technique.
Une liste de toutes les parties de la série ISO/TS 80004 se trouve sur le site web de l’ISO.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www .iso .org/ fr/ members .html.
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Introduction
La nanofabrication constitue le pont essentiel entre les découvertes du domaine des nanosciences et les
produits du monde réel issus des nanotechnologies.
Le passage des nanotechnologies du laboratoire à la production de masse exige, à terme, une étude
approfondie des questions liées aux procédés de fabrication, y compris la conception, la fiabilité
et la qualité des produits, la conception et la maîtrise des procédés, les opérations en atelier, la
gestion de la chaîne d’approvisionnement, les pratiques de sécurité et de santé sur le lieu de travail
durant la production, l’utilisation et la manipulation de nanomatériaux. La nanofabrication englobe
des techniques d’assemblage et d’auto-assemblage dirigées, des méthodologies de synthèse et des
procédés de fabrication tels que la lithographie et des processus biologiques. La nanofabrication
comprend également l’assemblage dirigé par approche ascendante («bottom-up»), le traitement à
haute résolution par approche descendante («top-down»), l’ingénierie des systèmes moléculaires et
l’intégration hiérarchique avec des systèmes à plus grande échelle. Au fur et à mesure que les échelles
dimensionnelles des matériaux et des systèmes moléculaires se rapprochent de l’échelle nanométrique,
les règles conventionnelles régissant leur comportement peuvent varier considérablement. À ce titre, le
comportement d’un produit final est directement lié à la performance collective de ses constituants de
base à l’échelle nanométrique.
Les termes propres aux procédés biologiques ne sont pas inclus dans cette deuxième édition du
vocabulaire de la nanofabrication, mais, compte tenu de l’évolution rapide dans ce domaine, il est
prévu que les termes propres à cet important domaine soient ajoutés lors d’une mise à jour ultérieure
du présent document ou dans des documents accompagnant la série de normes ISO/TS 80004. Ces
documents pourraient inclure à la fois le traitement des nanomatériaux biologiques et l’utilisation de
procédés biologiques pour la fabrication de matériaux à l’échelle nanométrique.
De la même manière, des termes supplémentaires issus d’autres domaines de nanofabrication
en développement, y compris la fabrication de composites, la technique bobine/bobine et autres
techniques, seront inclus dans de futurs documents.
Une distinction doit être faite entre les termes «nanofabrication» et «nanoproduction».
La«nanofabrication» englobe un éventail de procédés plus vaste que celui de la «nanoproduction».
La «nanofabrication» comprend toutes les techniques de «nanoproduction», ainsi que les techniques
associées au traitement des matériaux et à la synthèse chimique.
Le présent document se veut une introduction aux procédés utilisés pour les premières étapes de la
chaîne de valeur de la nanofabrication, c’est-à-dire la synthèse, la production ou le contrôle intentionnels
de nanomatériaux, y compris les étapes de fabrication à l’échelle nanométrique. Les nanomatériaux
issus de ces procédés de fabrication sont commercialisés lorsqu’ils peuvent, par exemple, faire l’objet
d’une purification supplémentaire, être rendus compatibles pour une dispersion dans des mélanges
ou des matrices composites, ou servir de composants intégrés dans des systèmes et des appareils. En
réalité, la chaîne de valeur de la nanofabrication est un ensemble important et diversifié de chaînes de
valeur commerciales qui couvrent les secteurs suivants:
— l’industrie des semi-conducteurs (où la pression exercée pour créer des microprocesseurs plus
petits, plus rapides et plus performants a conduit à la création de circuits inférieurs à 100 nm);
— l’électronique et les télécommunications;
— l’aérospatiale, la défense et la sécurité nationale;
— l’énergie et l’automobile;
— les plastiques et les céramiques;
— les produits forestiers et papetiers;
— l’alimentation et l’emballage alimentaire;
— l’industrie pharmaceutique, la biomédecine et les biotechnologies;
— l’assainissement de l’environnement;
— l’habillement et les soins de santé.
Sur le marché, des milliers de tonnes de nanomatériaux font l’objet d’applications finales dans plusieurs
des secteurs en question, tels que le noir de carbone et la fumée de silice. Les nanomatériaux qui sont
conçus de manière rationnelle dans un but spécifique sont censés bouleverser le paysage de secteurs
tels que les biotechnologies, l’assainissement de l’eau et le développement des énergies.
La plupart des articles du présent document sont organisés par type de procédés. Dans l’Article 6, la
logique de classement est la suivante: avant la fabrication de la particule, le matériau lui-même est en
phase gazeuse/liquide/solide. La phase du substrat ou porteur dans le procédé ne détermine pas la
catégorisation du procédé. Par exemple, des particules de fer sont des catalyseurs pour un procédé dans
lequel de l’hydrocarbure est ensemencée par des particules de fer, l’hydrocarbure se vaporise puis se
condense, formant des particules de carbone sur les particules de fer. Dans la mesure où l’hydrocarbure
est l’élément qui se vaporise, il s’agit d’un procédé en phase gazeuse. Du fait que les nanotubes sont
synthétisés en phase gazeuse, en présence de particules de catalyseur réagissant avec la phase gazeuse
pour produire les nanotubes, ce procédé est caractérisé comme étant un procédé en phase gazeuse.
L’Annexe A fournit des indications permettant d’établir si des procédés de synthèse sont utilisés ou non
pour fabriquer des nano-objets, des nanoparticules ou les deux.
En outre, l’Annexe A identifie les procédés qui sont également applicables aux matériaux macroscopiques
et qui ne sont donc pas exclusivement pertinents pour la nanofabrication. Une compréhension commune
de la terminologie utilisée dans des applications pratiques permettra aux entités concernées d’employer
des méthodes communes dans la nanofabrication et permettra de renforcer le développement de
la nanofabrication à travers le monde. Une généralisation de la compréhension des termes au sein
de l’infrastructure de fabrication existante assurera la transition entre les innovations dans les
laboratoires de recherche et la viabilité économique des nanotechnologies.
En ce qui concerne les termes informatifs venant à l’appui de la terminologie relative à la nanofabrication,
[11]
voir la norme BSI PAS 135 .
Le présent document fait partie d’un vocabulaire constitué de plusieurs parties et traitant des différents
aspects des nanotechnologies.
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SPÉCIFICATION TECHNIQUE ISO/TS 80004-8:2020(F)
Nanotechnologies — Vocabulaire —
Partie 8:
Processus de nanofabrication
1 Domaine d’application
Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine
des nanotechnologies.
Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication;
cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l’échelle
nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur
définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des
matériaux à l’échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.
Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des
méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais
qui ne relèvent pas du domaine d’application du présent document.
Des termes et définitions d’autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l’Article 3
à des fins de contexte et d’une meilleure compréhension.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions
L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https:// www .iso .org/ obp
— IEC Electropedia: disponible à l’adresse http:// www .electropedia .org/
3.1
nanotube de carbone
CNT (NTC)
nanotube (3.9) composé de carbone
Note 1 à l'article: Les nanotubes de carbone sont, en général, constitués de couches de graphène enroulées sur
elles-mêmes, et comprennent des nanotubes de carbone simple paroi et des nanotubes de carbone multi-parois.
[SOURCE: ISO/TS 80004-3:2010, 4.3]
3.2
nanocomposite
solide composé d’un mélange de deux ou plusieurs matériaux de phases distinctes, dont une ou plusieurs
sont des nanophases
Note 1 à l'article: Les nanophases gazeuses sont exclues (elles sont traitées dans la catégorie des matériaux
nanoporeux).
Note 2 à l'article: Les matériaux composés de phases à l’échelle nanométrique (3.7) formées uniquement par
précipitation ne sont pas considérés comme des nanocomposites.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 3.2]
3.3
nanofibre
nano-objet (3.5) ayant deux dimensions externes à l’échelle nanométrique (3.7) et la troisième dimension
externe significativement plus grande
Note 1 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.
Note 2 à l'article: Les termes «nanofibrille» et «nanofilament» peuvent également être utilisés.
Note 3 à l'article: La plus grande des dimensions externes n’est pas nécessairement à l’échelle nanométrique.
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.5, modifiée — la Note 3 à l’article a été remplacée.]
3.4
nanomatériau
matériau ayant une dimension extérieure à l’échelle nanométrique (3.7) ou ayant une structure interne
ou une structure de surface à l’échelle nanométrique
Note 1 à l'article: Ce terme générique englobe les nano-objets (3.5) et les matériaux nanostructurés (3.8).
Note 2 à l'article: Voir également nanomatériau d’ingénierie, nanomatériau manufacturé et nanomatériau
incidentel.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.4]
3.5
nano-objet
portion discrète de matériau dont une, deux ou les trois dimensions externes sont à l’échelle
nanométrique (3.7)
Note 1 à l'article: Terme générique pour tous les objets discrets à l’échelle nanométrique.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.5, modifiée — la Note 1 à l’article a été remplacée.]
3.6
nanoparticule
nano-objet (3.5) dont toutes les dimensions externes sont à l’échelle nanométrique (3.7) et dont les
longueurs du plus grand et du plus petit axes ne diffèrent pas de façon significative
Note 1 à l'article: Si les dimensions diffèrent de façon significative (généralement d’un facteur supérieur à 3), des
termes tels que «nanofibre» ou «nanoplaque» peuvent être préférés au terme «nanoparticule».
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]
3.7
échelle nanométrique
échelle de longueur s’étendant approximativement de 1 nm à 100 nm
Note 1 à l'article: Les propriétés qui ne constituent pas des extrapolations par rapport à des dimensions plus
grandes sont principalement manifestes dans cette échelle de longueur.
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.1]
3.8
matériau nanostructuré
matériau ayant une structure interne ou de surface à l’échelle nanométrique (3.7)
Note 1 à l'article: Si une ou plusieurs dimensions externes sont à l’échelle nanométrique, il est recommandé
d’utiliser le terme nano-objet (3.5).
2 © ISO 2020 – Tous droits réservés
Note 2 à l'article: Adapté de l’ISO/TS 80004-1:2015, définition 2.7.
[SOURCE: ISO/TS 80004-4:2011, 2.11]
3.9
nanotube
nanofibre (3.3) creuse
[SOURCE: ISO/TS 80004-2:2015, 4.8]
4 Termes relatifs aux aspects généraux
4.1
nanofabrication ascendante
procédés qui utilisent de petites unités fondamentales à l’échelle nanométrique (3.7) afin de créer des
structures ou assemblages de plus grande taille riches en fonctionnalités
4.2
codépôt
dépôt simultané de deux matériaux sources ou plus
Note 1 à l'article: Les méthodes courantes incluent le dépôt sous vide, le dépôt par pulvérisation thermique (8.2.16),
le dépôt électrolytique (8.2.7) et le dépôt par sédimentation.
4.3
comminution
concassage ou broyage (7.5.6) afin de réduire la taille des particules
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
4.4
assemblage dirigé
formation d’une structure guidée par une intervention extérieure à l’aide de composants à l’échelle
nanométrique (3.7) qui peuvent, en principe, avoir n’importe quel motif défini
4.5
auto-assemblage dirigé
auto-assemblage (4.11) influencé par une intervention extérieure afin de produire une structure, une
orientation ou un motif préférentiel(le)
Note 1 à l'article: Une intervention extérieure peut être, par exemple, un champ appliqué, un gabarit chimique ou
structural, un gradient chimique ou un débit fluidique.
4.6
lithographie
reproduction d’un motif
Note 1 à l'article: Le motif peut être formé dans un matériau radiosensible ou par le déplacement de matériau sur
un substrat par l’un des moyens suivants: transfert, impression ou écriture directe.
4.7
dépôt multi-couches
dépôt alterné de deux matériaux sources ou plus afin de produire une structure composite en couches
4.8
nanoproduction
ensemble des activités visant à élaborer intentionnellement des nano-objets (3.5) ou des matériaux
nanostructurés (3.8)
4.9
nanofabrication
synthèse, génération ou contrôle intentionnels de nanomatériaux (3.4), ou étapes de production à
l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.11]
4.10
procédés de nanofabrication
ensemble des activités visant à synthétiser, produire ou contrôler intentionnellement des nanomatériaux
(3.4), ou des étapes de fabrication à l’échelle nanométrique (3.7), à des fins commerciales
[SOURCE: ISO/TS 80004-1:2015, 2.12]
4.11
auto-assemblage
action autonome par laquelle des composants s’organisent eux-mêmes sous forme de motifs ou de
structures
4.12
fonctionnalisation de surface
procédé chimique qui permet de créer sur une surface une fonctionnalité chimique ou physique définie
4.13
nanofabrication descendante
procédés qui permettent de créer des structures à l’échelle nanométrique (3.7) à partir d’objets
macroscopiques
5 Termes relatifs à l’assemblage dirigé
5.1
assemblage par guidage électrostatique
utilisation d’une force électrostatique afin d’orienter ou introduire des éléments à l’échelle nanométrique
(3.7) dans un dispositif ou un matériau
5.2
alignement fluidique
utilisation de l’écoulement d’un fluide afin d’orienter des éléments à l’échelle nanométrique (3.7) dans un
dispositif ou un matériau
5.3
assemblage hiérarchique
utilisation de plusieurs types de procédés de nanofabrication (4.9) afin de contrôler la structure à
différentes échelles de longueur
5.4
assemblage par guidage magnétique
utilisation d’une force magnétique pour créer un assemblage d’éléments/particules à l’échelle
nanométrique (3.7) selon un motif ou une configuration souhaité(e)
5.5
assemblage par forme
utilisation des formes géométriques de nanoparticules (3.6) afin d’obtenir un motif ou une configuration
souhaité(e)
5.6
assemblage supramoléculaire
utilisation d’une liaison chimique non covalente afin d’assembler des molécules ou des nanoparticules
(3.6) avec des ligands de surface
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5.7
transfert entre surfaces
transfert de nanoparticules (3.6) ou de structures depuis la surface d’un substrat, sur lequel elles ont
été déposées, synthétisées ou assemblées, vers un autre substrat
6 Termes relatifs aux procédés d’auto-assemblage
6.1
cristallisation colloïdale
sédimentation de nanoparticules (3.6) à partir d’une solution contenant des nano-objets (3.5) ainsi que
leurs agrégats et agglomérats (NOAA) pour former un solide constitué d’un groupement de particules
formant un réseau de motifs répétés
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
6.2
grapho-épitaxie
auto-assemblage dirigé (4.5) utilisant des caractéristiques topographiques à l’échelle nanométrique (3.7)
Note 1 à l'article: Ce procédé inclut la croissance d’une couche mince sur la surface et la croissance d’une couche
supplémentaire au-dessus d’un substrat qui possède une structure identique à ou différente de celle du cristal
sous-jacent.
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
6.3
reconstruction de surface par faisceau d’ions
utilisation d’un faisceau d’ions accélérés afin de provoquer une modification de surface qui peut être à
l’échelle nanométrique (3.7)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
6.4
formation d’un film de Langmuir-Blodgett
création d’un film au niveau d’une interface air-liquide
6.5
transfert d’un film de Langmuir-Blodgett
transfert d’un film de Langmuir-Blodgett formé au niveau d’une interface air-liquide vers une surface
solide en plongeant un substrat solide dans le liquide support
6.6
dépôt couche par couche
dépôt LBL (CPC)
procédé électrostatique qui consiste à déposer, l’un au-dessus de l’autre, des polyélectrolytes de charges
opposées
6.7
méthode impliquant des réactifs élémentaires modulés
utilisation de précurseurs déposés en phase vapeur avec des régions de composition contrôlée, en tant
que matrice pour former des couches imbriquées de deux structures ou plus
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
6.8
formation d’une monocouche auto-assemblée
formation d’une SAM (MAM)
formation spontanée d’une couche moléculaire organisée sur une surface solide à partir d’une solution
ou de la phase vapeur, guidée par une liaison molécule-surface et une interaction intermoléculaire faible
6.9
croissance de Stranski-Krastanov
mode de croissance de film mince qui commence comme une croissance Frank-van der Merwe (6.10)
bidimensionnelle, puis continue comme une croissance Volmer-Weber (6.11) tridimensionnelle
6.10
croissance Frank-van der Merwe
croissance d’un film couche par couche
Note 1 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film
ont une liaison plus forte avec un substrat qu’entre eux. En conséquence, la croissance de la couche suivante ne
peut commencer tant que la croissance de la précédente n’est pas terminée.
Note 2 à l'article: La croissance Frank-van der Merwe est un mode de croissance strictement bidimensionnel.
6.11
croissance Volmer-Weber
croissance d’un film par formation d’îlots
Note 1 à l'article: La croissance Volmer-Weber correspond à la situation dans laquelle les atomes d’un film ont
une liaison plus forte entre eux qu’avec un substrat.
Note 2 à l'article: La croissance Volmer-Weber (6.10) est un mode de croissance tridimensionnel.
7 Termes relatifs à la synthèse
7.1 Procédés en phase gazeuse — Méthodes physiques
7.1.1
pulvérisation dynamique par gaz froid
procédé dans lequel des poudres cristallines à l’échelle nanométrique (3.7) ou des poudres
conventionnelles sont fluidisées, puis consolidées sur un revêtement de surface dans un gaz inerte à
grande vitesse
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.1.2
dépôt par électro-étincelles
procédé de microsoudage à l’arc pulsé utilisant des impulsions électriques de haute intensité et de
courte durée pour déposer un matériau d’électrode sur un substrat
7.1.3
évaporation par faisceau d’électrons
procédé dans lequel un matériau est vaporisé par irradiation d’électrons à haute énergie dans des
conditions de vide poussé ou d’ultravide en vue d’un dépôt ultérieur sur un substrat
7.1.4
explosion électrique d’un fil
formation de nanoparticules (3.6) par application d’une impulsion électrique de densité de courant
élevée à un fil, entraînant la volatilisation de celui-ci, puis une recondensation
6 © ISO 2020 – Tous droits réservés
7.1.5
lyophilisation
déshydratation ou élimination de solvant par un refroidissement rapide immédiatement suivi d’une
sublimation sous vide
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.1.6
séchage par pulvérisation
méthode dans laquelle une poudre sèche est produite à partir d’un liquide ou d’une suspension par
évaporation (8.2.10) rapide de gouttelettes de liquide formées par nébulisation, par contact avec un
gaz chaud
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.1.7
détente supercritique
précipitation de nano-objets (3.5) résultant de la détente d’une solution au-dessus de sa température
critique et de sa pression critique au moyen d’un dispositif de projection (ou de pulvérisation)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.1.8
pulvérisation thermique de suspensions
pulvérisation thermique (8.2.16) dans laquelle le précurseur est introduit dans un jet de plasma sous la
forme d’une suspension liquide
7.1.9
vaporisation
procédé permettant de passer des phases solide ou liquide aux phases gazeuse ou plasma
Note 1 à l'article: Le procédé de vaporisation est souvent utilisé pour déposer le matériau vaporisé sur un substrat
cible. L’ensemble du procédé est connu sous le nom de «dépôt physique en phase vapeur» (8.2.14).
Note 2 à l'article: Le dépôt physique en phase vapeur sous vide poussé est généralement réalisé à des pressions
−6 −9
comprises entre 10 et 10 Torr. Le dépôt physique en phase vapeur sous ultravide est réalisé à des pressions
−9
inférieures à 10 Torr.
Note 3 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.2 Procédés en phase gazeuse — Méthodes chimiques
7.2.1 Procédés de synthèse par flamme
7.2.1.1
combustion d’un précurseur liquide
création d’un produit solide, typiquement un nanomatériau (3.4) sous forme d’agrégat, par la réaction
exothermique d’une solution de matière première avec un comburant
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.1.2
pulvérisation par plasma
création d’un jet de produit solide, typiquement un nanomatériau (3.4) sous forme d’agrégat, à partir
d’une source de gaz ionisé
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.1.3
pyrogénèse
procédé utilisant une combustion ou une autre source de chaleur pour créer un produit solide,
typiquement un nanomatériau (3.4) sous forme d’agrégat, le procédé étant facilité par une projection
d’aérosols
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.1.4
pulvérisation d’un précurseur en solution dans un plasma
procédé en phase gazeuse durant lequel il se forme un plasma en équilibre thermique dans lequel
une solution contenant des précurseurs est introduite, engendrant des espèces gazeuses qui, lors du
refroidissement, forment un produit solide, typiquement un nanomatériau (3.4) sous forme d’agrégat
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.1.5
pyrolyse par pulvérisation thermique
création d’un produit solide, typiquement un nanomatériau (3.4) sous forme d’agrégat, à partir de
précurseurs liquides par atomisation de liquide et réaction à l’aide d’une source thermique
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.2 Autres termes
7.2.2.1
réaction dans un four tubulaire
dépôt chimique en phase vapeur (8.2.4) effectué dans un four tubulaire dans lequel la surface de réaction
est maintenue à une température élevée et contrôlée
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.2.2.2
synthèse photothermique
procédé en phase gazeuse pendant lequel un précurseur ou une autre espèce gazeuse est chauffé(e) par
absorption de rayonnement infrarouge aboutissant au chauffage du gaz et à la décomposition thermique
du précurseur générant un produit solide, typiquement une nanoparticule (3.6)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.2.2.3
synthèse vapeur-liquide-solide de nanofibres
VLS
croissance de nanofibres (3.3) sur un substrat avec un matériau précurseur sous forme gazeuse, en
présence d’un catalyseur liquide
Note 1 à l'article: La méthode VLS pour les fibres utilise une phase liquide à l’extrémité d’une fibre qui peut
rapidement adsorber une vapeur jusqu’à des niveaux de sursaturation, et à partir de laquelle se produit la
croissance cristalline.
7.3 Procédés en phase liquide — Méthodes physiques
7.3.1
électrofilage
utilisation d’un potentiel électrique pour induire la production de fibres fines à partir d’une phase liquide
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
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7.3.2
polymérisation intercalative in situ
insertion de monomères dans des matériaux inorganiques stratifiés suivie d’une polymérisation qui
entraîne la formation de nanocomposites (3.2)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.3.3
dispersion de nanoparticules
création d’une suspension de nanoparticules (3.6) dans un liquide par l’utilisation de ligands
moléculaires ajoutés, de charges de surface ou d’autres interactions afin d’empêcher ou de ralentir la
sédimentation
7.3.4
coulage en bande
dépôt d’une couche macroscopique obtenu en étalant une pâte céramique sur une surface plane
Note 1 à l'article: Des nanoparticules (3.6) peuvent faire partie de la composition de la couche.
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.3.5
broyage à boulets en phase humide
procédé de broyage (7.5.6) dans un liquide en roulant de la matière première avec des billes d’écrasement
de dureté supérieure pour créer une force d’impact afin de réduire la taille des composants cibles
Note 1 à l'article: Le produit de ce procédé est connu sous le nom de «suspension».
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.4 Procédés en phase liquide — Méthodes chimiques
7.4.1
hydrolyse acide de biomasse cellulosique
procédé dans lequel des acides minéraux forts sont utilisés dans des conditions de réaction contrôlée
pour digérer des régions cellulosiques amorphes et libérer des nanocristaux de cellulose à partir d’une
biomasse cellulosique prétraitée appropriée (par exemple, lignine ou extraction protéique)
Note 1 à l'article: Comme décrit dans l’ISO/TR 19716:2016, les nanocristaux de cellulose peuvent être libérés
à partir de diverses sources de cellulose naturellement présentes (ou «natives»), telles que le bois, les plantes
annuelles, les algues, les bactéries et les tuniciers. Ces sources sont collectivement appelées «biomasse
cellulosique».
Note 2 à l'article: Il convient de noter que de la cellulose microcristalline (également appelée «microcristaux de
cellulose», voir ISO/TS 20477:2017, Annexe A) peut également être libérée de la biomasse cellulosique en utilisant
des acides minéraux forts. Les acides et les conditions de réaction généralement utilisés pour produire des
microcristaux de cellulose diffèrent de ceux utilisés pour produire des nanocristaux de cellulose.
7.4.2
précipitation de nanoparticules
formation de nanoparticules (3.6) à partir de réactions de solutions au cours desquelles la taille des
particules peut être contrôlée par des facteurs cinétiques
7.4.3
condensation inorganique rapide
formation de films réguliers et denses au niveau atomique, par revêtement centrifuge (8.2.17) et
durcissement à basse température de solutions aqueuses exemptes de composés organiques, à base de
précurseurs moléculaires organométalliques
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.4.4
procédé sol-gel
transformation d’une solution chimique ou d’une suspension colloïdale (sol) en un réseau intégré (gel),
qui peut ensuite être densifié
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.4.5
procédé de Stöber
production de particules de silice en utilisant de l’orthosilicate tétra-alkylé et une combinaison d’alcool
et d’ammoniaque à faible poids moléculaire, avec ou sans eau
Note 1 à l'article: Il s’agit d’une méthode par procédé sol-gel (7.4.4) pour la synthèse de la silice.
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.4.6
structuration par des agents tensioactifs
utilisation d’agents tensioactifs pour provoquer l’auto-assemblage d’espèces moléculaires de sorte
qu’elles puissent être ensuite solidifiées dans une configuration structurée à l’échelle nanométrique (3.7)
EXEMPLE Mobil Composition of Matter n° 41.
7.5 Procédés en phase solide — Méthodes physiques
7.5.1
séparation de phases d’un copolymère à blocs
formation de structures à deux ou trois dimensions répétables à partir de la ségrégation de segments
de chaînes de polymères non miscibles
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.2
structuration d’un copolymère à blocs
incorporation d’un matériau dans la phase d’un copolymère à blocs pour obtenir une structure à l’échelle
nanométrique (3.7)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.3
pressage à froid
compactage de particules à l’échelle nanométrique (3.7), généralement à température ambiante, pour les
agréger et augmenter la densité
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
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7.5.4
co-cisaillement en continu de bandes confinées
C2S2
utilisation d’une déformation plastique très importante pour produire des grains dans un métal
massique sans changement notable des dimensions globales
Note 1 à l'article: Le principal objectif est de produire des pièces légères présentant des propriétés mécaniques
grandement améliorées.
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.5
dévitrification
transformation structurale d’un état vitreux à un état cristallin qui introduit des cavités ou une
structure à l’échelle nanométrique (3.7)
7.5.6
broyage
création de nanoparticules (3.6) par cisaillement mécanique au contact d’un matériau de dureté
supérieure
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.5.7
micro-usinage à grande vitesse
création de pièces précises à deux ou trois dimensions à partir du matériau massique (ou volumique) ou
sur la surface d’un objet ou matériau par découpe à l’aide d’outils de coupe à géométrie définie
Note 1 à l'article: La précision est obtenue avec des vitesses de rotation élevées de la broche de coupe,
généralement comprises entre 30 000 r/min et 100 000 r/min.
Note 2 à l'article: Il est possible d’utiliser l’usinage laser, par faisceau d’électrons, par faisceau d’ions, par
ultrasons, par broyage et l’usinage à commande numérique par ordinateur.
Note 3 à l'article: La définition de «grande vitesse» varie en fonction de chaque technologie spécifique.
Note 4 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.8
implantation ionique
utilisation d’ions de haute énergie en flux incident pour modifier la surface du matériau en le dégradant
et le recristallisant
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.9
broyage cryogénique
broyage (7.5.6) à des températures cryogéniques (inférieures à −150 °C, −238 °F ou 123 K)
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.10
broyage en phase sèche
création de nanoparticules (3.6) par broyage de la matière première avec des billes d’écrasement de
dureté supérieure afin de mélanger deux nanoparticules non miscibles ou plus, qui sont ensuite
chauffées pour être agrégées par frittage
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.5.11
forgeage multi-passes de pièces
production de structures granulaires à l’échelle nanométrique (3.7) en utilisant une déformation
plastique importante par pressage mécanique d’une feuille de matériau entre deux matrices ondulées
et rotation successive de la pièce suivie d’un forgeage ou laminage à plat
Note 1 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication, mais a été adapté pour s’appliquer aux procédés
de nanofabrication.
7.5.12
croissance dans des nanostructures
dépôt à partir d’une solution ou d’une phase vapeur d’un matériau dans des espaces confinés à l’échelle
nanométrique (3.7) pour former des nanoparticules (3.6) ou des matériaux nanostructurés (3.8)
7.5.13
dispersion de nanoparticules dans une matrice polymère
mélange de nanoparticules (3.6) dans une matrice polymère liquide qui est solidifiée pour produire un
composite matrice polymère–nanoparticules
7.5.14
pressage à chaud
procédé de métallurgie des poudres à haute pression permettant de former des matériaux durs et
fragiles à des températures élevées
Note 1 à l'article: Il est possible d’utiliser des pressions pouvant aller jusqu’à 50 MPa (7 300 psi) et des
températures de 2 400 °C (4 350 °F).
Note 2 à l'article: Le terme n’est pas exclusif à la nanofabrication.
7.5.15
frittage de nanoparticules
jonction des nanoparticules (3.6) et augmentation de leurs interfaces de contact par mouvement
d’atomes à l’intérieur et entre les particules par l’application d’une source de chaleur
[SOURCE: ISO 836:2001, 120, modifiée — «nanoparticule» a été ajouté au terme et «particules» a été
remplacé par «nanoparticules» dans la définition.]
7.5.16
frittage par déchar
...
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